JP4052781B2 - 静電インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、静電力を利用したマイクロアクチュエータを用いた静電インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図1は、本発明が適用される静電力を利用したインクジェットヘッドを説明するための要部斜視図、図2は、図1に示したインクジェットヘッドの1つのアクチュエータの構成を示す断面図(図1のII−II線断面図)で、図中、10は電極基板、20は液室・振動板基板、30はノズル基板(このノズル基板30は、図1においては、取り外して示してある)で、周知のように、ノズル基板30には、ノズル31が設けられており、液室・振動板基板20には、前記ノズル31に連通するインク液室21が設けられており、このインク液室21の一部としてかつ共通電極の一部として働き、しかも、可変できるように厚みを薄くして剛性を低くしてある導電性を有する振動板22が設けられている。電極基板10には、前記振動板22に対してかつ前記インク液室21外に該振動板22から所定の間隙をもって配設された個別電極11を有する。なお、12は個別電極11と振動板22との短絡等を防止するための保護膜、13は個別電極11が配設されている空間の開口部を封止する封止材である。図1に示したように、本発明が適用される静電インクジェットヘッドには、図2に示したようなアクチュエータが複数配設され、各アクチュエータよりインク液滴が吐出されるようになっている。
【0003】
図1,図2において、振動板22と個別電極11との間に電圧を印加すると、振動板22は、静電力により電極11側に変位することになる。ここで、印加した電圧をOFFにすると、振動板22は元の電圧印加前の位置に復帰する。この静電力に対する振動板22の機械的な振る舞いを、インクジェットのインク吐出力として利用したものが静電インクジェットである。なお、図2において、振動板22を有する基板20と個別電極11との間の空間は、一般的に、外界と隔離させるために、封止材13により封止処理が施されており、この空間をGap(ギャップ)室と称す。また、このギャップ室において、振動板直下に対応する部分を振動室と称す。
【0004】
上述のごとき静電インクジェットヘッドにおいては、振動板22と個別電極11との間に電圧を印加すると、振動板22は、該振動板22と個別電極11との間に働く静電力で変位するが、このような静電アクチュエータにおいては、振動板22の厚みを薄くすることで、駆動電圧は低下を図っている。結果として、駆動電圧を下げることはできるが、振動板を薄くするため、振動板の剛性が低いことが欠点でもある。そのため、振動室又はGap室内のエア(もしくは、その他のガス)の存在が、その振る舞いに大きく影響を与える。その一つとしては、振動板22が電極11に近づく際に、エアの圧縮抵抗を受けるため、振動板22が電極11に当接する電圧(以下、当接電圧と記す)が、静的な場合に比べ、動的な場合には大きくなるという点が挙げられる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述のごときエアの存在に起因する、以下に説明する、もう一つの大きな課題に対処する事を目的としてなされたものである。
【0006】
図3(A),図3(B)は、本発明が解決しようとする、静電インクジェットヘッドの課題を説明するための要部概略構成図で、図3(A)は駆動周波数が低い場合の振動板22の変位量(D)を示す図、図3(B)は駆動周波数が高い場合の振動板22の変位量(d)を示す図である。静電インクジェットヘッドの振動板22(22′は振動板22が変位して個別電極11に当接している状態を示す)は、〜10kHzのオーダーで動的に振動することを必要とされ、そのため、元来、振動室の容積は小さく、その内で振動板22が動くため、上述したように、振動板22はエアの圧縮抵抗を受ける一方、一度振動室から出ていったエア(矢印にて示す)は、再び振動室に戻りにくいという特性を持つ。それは、駆動条件(駆動電圧パルスの形状)が同じであれば、駆動電圧パルスの周波数により異なり、周波数が高い程、振動室から出ていって、振動室に戻れないエアの量が多くなり、振動位置は電極11側に近づく。
【0007】
図6は、従来の静電インクジェットヘッドによる駆動結果を示す図で、図6に示すように、周波数を高くしていくと、振動室から出て戻れないエアが多くなり、結果として、図3(B)に示したように、振動板22は電極11により近い位置で振動し、実質的に、電極11と振動板22との間の距離が短くなったことになり、当接電圧が下がることを示している。このように、駆動周波数が低い場合には問題とならなかった周波数特性が、周波数を高くすると顕在化してくる。この現象は、静電力により振動板を駆動するという静電アクチュエータに特有のものであり、高周波駆動を行う場合には解決すべき課題である。
【0008】
尚、上述した問題は、振動板が電極に当接する当接駆動であることが前提である。当接しない非当接駆動では、上述した周波数依存性の問題は生じないか、もしくは、問題とならない程度である。
【0009】
前述のように、静電力インクジェットヘッドにおいては、Gap室内のエアの存在により、振動板が圧縮抵抗を受け、それによって、当接電圧が上がるという問題があるが、この問題に対して、従来より幾つかの対策が示されている。その一例として、特開平7−299908号公報が挙げられる。これは、振動板が電極側に変位するとき、エアの圧縮抵抗を受けないように、エアの逃げる空間を振動室以外のGap室に設けたものであり、そこでは、振動室以外のGap室の体積を増加させることを指向しており、振動板により排除される体積ΔVと、Gap室の体積Vを関係付けて規定している。
【0010】
しかし、高周波駆動において顕在化する上述のごとき課題に対する対策は何ら提示されていない。これは、従来の静電力インクジェットヘッドにおいては、最高駆動周波数をせいぜい10kHz程度に設定していたと考えられ、上述のごとき課題が顕在化し難い状況であったためではないかと考えられる。
【0011】
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、前述の振動室体積とGap室体積を関係付け、さらには、振動室以外のGap室体積を減少させることを指向するものであり、前記特開平7−299908号公報の発明とは異なるものである。
【0012】
更に、本発明は、駆動電圧波形の設定のみで、静電アクチュエータの上記周波数依存性を改善すること、
或るGap形状のアクチュエータに関して周波数依存性を十分に改善すること、アクチュエータの構成・仕様を変更して、静電アクチュエータの周波数依存性を改善すること、
アクチュエータの構成・仕様の変更と駆動電圧波形の設定により、静電アクチュエータの周波数依存性を改善すること、
或るGap形状のアクチュエータに関して周波数依存性を十分に改善すること、等を目的としてなされたものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、振動板と、該振動板に対向してGapをもって配設された電極を有し、該電極と前記振動板との間にパルス電圧を印加して前記振動板を静電力により変位させ、該振動板の機械的な復元力によりインク滴を噴射する静電インクジェットヘッドであって、前記電極は、振動板短辺方向において中央部が前記振動板方向に凸となる弓形状に形成されることを特徴としたものである。
【0022】
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記Gapの形成されたGap室が封止材により封止されていることを特徴としたものである。
【0026】
請求項3の発明は、請求項1または2に記載の静電インクジェットヘッドを搭載し、該静電インクジェットヘッドを記録紙に対向させ、インク液滴を噴射させて記録を行うことを特徴とするインクジェット記録装置である。
【0027】
【発明の実施の形態】
本発明は、図1及び図2に示したような静電インクジェットヘッド、すなわち、ノズル31と、該ノズル31に連通するインク液室21と、該インク液室21の一部としてかつ共通電極の一部として設けられた振動板22と、該振動板22に対向して前記インク液室21外に所定の間隙をもって設けられた個別電極11とを有し、前記振動板22と個別電極11との間にパルス電圧を印加してこれら振動板22と個別電極11との間に静電力を発生させ、この静電力により前記振動板22を変形させ、前記パルス電圧の印加を解除した時に該振動板22に発生する機械的な復元力により前記ノズル31からインク液滴を吐出することのできる静電アクチュエータを複数ビット有する静電インクジェットヘッドにおいて、1画素をパルス電圧で形成する場合に、1画素を形成するのに要する時間に対して、前記振動板22と電極11が当接する時間を40%以下とし、これにより、周波数依存性を大きく抑えることができるようにしたものである。
【0028】
当初は、上述した周波数依存性の原因が掴めなかった。しかし、実施例1において後述する実験データを含む多くの検証例により、上述した問題は、1画素時間において振動板22が電極11に当接する時間の割合に依ることが分かった。つまり、上記周波数依存性は、この1画素時間における当接時間の割合に対する依存性(以下、当接時間/1画素時間依存性と記す)の一側面である。なお、ここで、1画素時間というのは、1画素もしくは1画素相当、つまり複数滴により形成されたドットが円形状さらには1ドットでなくても1画素と認められる場合を含んで、これら1画素を形成するための時間のことである。
【0029】
図4(A),(B),(C)は、振動板22と個別電極11との間に印加する駆動電圧パルスの例を示す図で、1画素に対して駆動電圧は1パルスでも複数パルスでも良く、図4(A)は、正の駆動パルスのみを用いて、1画素を1駆動パルスにて形成する場合の例、図4(B)は、正負(負のパルスを用いても振動板は変位する)の駆動パルスにて形成する場合の例(なお、このように、正負の電圧パルスを印加すると、静電インクジェットヘッドにおいて特有の残留電荷を除去するためである)、図4(C)は、1画素子を複数の電圧パルス(つまり複数のインク滴)にて形成する場合の例を示す。なお、ここで、複数パルスで1画素を形成する場合、記録媒体上においてインクドットは円形である必要はなく、さらには完全にマージして1ドットを形成している必要もなく、微少複数ドットによりほぼ1画素を形成する構成であればよい。また、図示してはいないが、場合によっては、インク非吐出時に0でない電圧が加わる構成も有り得る。しかしながら、本発明において駆動電圧というのは、振動板が電極に当接する電圧であり、1パルス/1画素では1回当接、nパルス/1画素ではn回当接して1画素を形成することになる。例えば、図4(A),(B)に示す例では、1パルス/1画素の駆動条件であり、このとき最高駆動周波数は 1/T(但し、Tは1画素を形成するのに要する時間)である。一方、図4(C)に示す例では、複数パルス/1画素の駆動条件であり、最高駆動周波数は1/Tではなく、1/T1である。
【0030】
本発明では、上述のごとき1画素時間Tにおいて、振動板22が電極11に当接する時間が1画素を形成するのに要する時間Tの40%以下とするもので、図4(C)の場合を例にとると、最高駆動周波数に対する駆動時間T1内で、振動板22が電極11に当接する時間がT1の40%以上であっても、1画素時間T内において40%以下であれば、本発明の効果、すなわち、周波数依存性を押さえることができる。
【0031】
駆動周波数が高くなる程、駆動電圧パルス幅の設定できるマージンが狭くなり、結果として、ヘッドの構成に起因する固有振動数・メニスカス振動等との兼ね合いにより、ヘッドの最高のパフォーマンスによるインク吐出を実現できるパルス幅を選択出来ないかもしれない。しかし、このように、インクの吐出効率を多少犠牲にしても、本発明の構成を採る方が、トータルでのインク吐出効率,周波数特性が明らかに良い。
【0032】
〔実施例1〕
静電アクチュエータの仕様:
ヘッドの基本的構成は図1,図2に示したとおりである。電極基板10にエッチングにより彫り込み(Gap室)を形成し、そこにTiNを用いて個別電極11を製膜した。電極11上には、保護膜12としてSiO2を形成した。また、Si基板20にエッチングにより彫り込み(液室21)を形成し、これにより形成される薄板を振動板22とした。上記両基板10,20を接合することにより、静電インクジェットヘッドを形成した。
【0033】
図5は、本発明が適用される静電インクジェットヘッドのギャップ形状の例を示す図で、図5(A)は、振動板22に対して個別電極11が平行に配設される平行Gapを示す図、図5(B)は、振動板22に対して個別電極11の中央部が近接している非平行中央凸Gapを示す図、図5(C)は、振動板22に対して個別電極11の中央部が離れている非平行中央凹Gapである。
【0034】
振動板−電極間Gap:図5(A)に示した平行Gap,
Gap長 :0.25μm
振動板厚み :3μm
振動板面積 :130μm×2000μm
【0035】
図6〜図13は全て、振動板短辺方向中央の振動変位量をレーザードップラー振動計にて計測したものである。横軸は駆動電圧の大きさであり、駆動電圧波形は矩形波である。また、駆動周波数は本発明における最高駆動周波数のことである。各図,各駆動条件において、或る電圧以上で変位量増加がほぼ飽和する領域が存在する。この飽和した際の変位量が当接変位量である。
【0036】
評価結果:
図6に見るように、駆動パルス条件(立ち上がりPr=1μs,パルス幅Pw=10μs,立ち下がりPf=0μs;以下10(1,0)というように記す)が同じであれば、周波数が高くなるにつれ、振動板が電極に当接した際の変位量(以下、当接変位量と記す)が減少しかつ当接電圧が下がる。しかし、これは前述したように、周波数依存性というよりは、当接時間/1画素時間依存性である。従って、図7に見るように、駆動電圧パルス幅を1画素時間(60kHzでは16.6μs)の40%以下(図7では6μsとした)とすれば、例えば、駆動周波数が60kHzでも、2kHzの場合に対して当接変位量を10%程度の減少に抑えることができる(図7のグラフ参照)。この程度であれば、インク吐出に際して、Vj,Mjを仕様誤差範囲内に抑えることができる。ここで、駆動電圧パルス幅と当接時間は、条件にも依るが ほぼ一致していることを挙げておく。
【0037】
静電インクジェットヘッドにおいて駆動電圧の最適パルス幅は、吐出したいインク液量,インクの流体特性を勘案したヘッドによる吐出効率等により変わってくるが、概ね5〜20μs程度のパルス幅を用いるものと思われる。図6においては、10μsのパルス幅電圧を用いた。ここでは、1画素時間に対する当接時間が33%程度である30kHzにおいて、2kHzに対する当接変位量が15%程減少している。パルス幅が20μs程度まで考慮すると、少なくとも20kHz以上では2kHzの場合に対して当接変位量が10%以上減少することが危惧される。変位量減少が10%程度であれば、インク吐出効率に影響はほとんど無いが、15%以上では影響が生じ始める。変位量が30%減少すると、インク吐出特性は明らかに変化する。
【0038】
振動板が電極に当接する時間を1画素時間において20%以下とすると、振動板と電極間のGap形状に依ることなく、当接時間/1画素時間依存性を大きく抑えることができる。
図5(A),図5(B)に示すように、Gap形状が平行,非平行中央凸もしくは片側平行かつ片側中央凸等の振動板のほぼ中央部に対するGap長が最小である場合には、前述の当接40%以下の駆動条件において十分な当接時間/1画素時間依存性の改善が得られる。しかしながら、図5(C)に示したように、Gap形状が非平行中央凹もしくは片側平行かつ片側非平行中央凹等の振動板のほぼ中央部に対するGap長が最大である場合、さらには、平行GapでさえもそのGap長が0.3μm以下と非常に狭い場合には、前述の当接40%以下の駆動条件では十分な当接時間/1画素時間依存性の改善が得られない場合がある。この一因としては、振動板の当接時の振動室容積Vlaと電圧OFF時の振動室容積Vlの比Vla/Vlが小さいため、振動室から出て行くエアの効果が相対的に大きくなるためと考えられる。このように、1画素時間における当接時間を20%以下とすれば、Gap形状に依ることなく当接時間/1画素時間依存性を抑えることができる。
【0039】
もちろん、最高周波数を高くする程、当接時間が20%以下となるようにパルス幅を狭くすることは、低周波におけるヘッドのインクの吐出効率を下げる方向になりかねない。しかし、本発明による構成を採る方が、トータルでのインク吐出効率,周波数特性は明らかに良くなる。
【0040】
ここで、次の点を指摘しておく。図5(B)に示した構成は、振動板が電極に当接する際に、振動板が受ける空気の圧縮抵抗を減少させるのに都合が良い。空気の圧縮抵抗を下げるためには、エアの逃げ場を設ける必要があるが、この逃げ場は前述の特開平7−299908号公報に記載の発明のように、振動室以外のGap室に設けるのではなく、振動室の中に設ける方が効果的である。これは、エアの流れが振動板の速い運動に追従できず、結果として振動室以外のGap室の存在は、エアの圧縮抵抗を下げる目的を達成できないからである。さらには、振動室から出ていったエアは振動室に戻り難く、アクチュエータの当接時間/1画素時間依存性を生じさせてしまうためである。そこで、エアの圧縮抵抗を減少させるためには、振動板に最も効果的に静電力を働かせる振動板短辺方向中央部に対向する電極部分を最も振動板に近づけて、その両端のGap長を大きく採った図5(B)の構成が効果的である。
【0041】
〔実施例2〕
静電アクチュエータの仕様:
ヘッドの基本的構成は図1,図2に示したとおりである。電極基板10にエッチングにより彫り込み(Gap室)を形成し、そこにTiNを用いて個別電極11を製膜した。電極11上には、保護膜12としてSiO2を形成した。また、Si基板20にエッチングにより彫り込み(インク液室)を形成し、これにより形成される薄板を振動板22とした。上記両基板10,20を接合することにより、静電ヘッドを形成した。
【0042】
振動板−電極間Gap:図5(C)に示した非平行中心凹Gap,
最大Gap長 :0.3μm
振動板厚み :3μm
振動板面積 :130μm×3000μm
【0043】
評価結果:
図8に見るように、駆動パルス条件(Pr=1μs,Pw=10μs,Pf=0μs;以下10(1,0)というように記す)が同じであれば、周波数が高くなるにつれ、当接変位量が減少しかつ当接電圧が下がる。これが、当接時間/1画素時間依存性である。平行Gapアクチュエータの結果である図6との違いは、図8の方が、当接時間/1画素時間依存性が大きいということである。さらに、図6では或る電圧において不連続的に変位量が増大するのに対して、図8ではやや連続的である。図9において、駆動電圧パルス幅を1画素時間(60kHzでは16.6μs)の40%以下(図9では6μsとした。)とした場合には、2kHzの場合(図9ではパルス幅が10μsであるが)に対して、当接変位量が10%以上減少し、当接電圧も明らかに下がっている。これでは、インクの吐出特性に明らかな違いが生じる。一方、パルス幅を1画素時間の20%以下(図9では3μs)とした場合には、例えば、駆動周波数が60kHzでも、2kHzの場合に対して当接変位量を10%以内の減少に抑えることができ、当接電圧もほとんだ変わらない。この程度であれば、インク吐出に際して、Vj,Mjを仕様誤差範囲内に抑えることができる。但し、駆動電圧パルス幅と当接時間は、条件にも依るが ほぼ一致することを挙げておく。
【0044】
電極と振動板を有する基板と封止材により形成される空間を称すGap室の体積をV、電極と振動板間の空間を称す振動室の体積をVlとしたとき、次の関係式Vl/V>0.7を満たす構成を採る。これにより、上記当接時間/1画素時間依存性を大きく改善することができる。
これは、振動室以外のGap室の空間が小さいため、振動板が振動した際に振動室から出るはずのエアの行き場が無いため、結果として振動室からエアがほとんど出て行かないためと考えられる。
従って、もちろん、Vl/V=1.0とすることが最も望ましいが、現実には難しく、前記関係式を見たせば十分な効果が得られる。
但し、本発明で問題にするGap室とは、振動室を含んで、封止材13により外気と遮断された空間である。個別電極11と振動板22を有する基板により形成されていても、封止材13により外気と遮断されていない部分はGap室ではない。
【0045】
〔実施例3〕
静電アクチュエータの仕様:
ヘッドの基本的構成は図1,図2に示したとおりである。電極基板10にエッチングにより彫り込み(Gap室)を形成し、そこにTiNを用いて個別電極11を製膜した。電極11上には、保護膜12としてSiO2を形成した。また、Si基板20にエッチングにより彫り込み(液室)を形成し、これにより形成される薄板を振動板22とした。上記両基板10,20を接合することにより、静電ヘッドを形成した。接合後、Gap室の開口部をエポキシ系接着剤13を用いて封止したアクチュエータと、封止していないアクチュエータを形成した。
【0046】
振動板−電極間Gap:図5(A)に示した非平行中心凹Gap,
最大Gap長 :0.3μm
振動板厚み :3μm
振動板面積 :130μm×3000μm
振動室とGap室 :Gap室の開口部の封止により、Gap室体積 1.0に対して、振動室体積が0.8,0.6となるアクチュエータができるように設計してある。なお、ここでは未封止の場合も、便宜上封止ビットの場合のGap室部分を、Gap室とする。
【0047】
評価結果:
図10,図11は、封止によりVl/V=0.8となるアクチュエータにおいて、封止していないアクチュエータ(図10)と封止したアクチュエータ(図11)の評価結果である。また、図12,図13は、封止によりVl/V=0.6となるアクチュエータにおいて、封止していないアクチュエータ(図12)と封止したアクチュエータ(図13)の評価結果である。
図10,図11より、Vl/V=0.8の条件を満たせば、周波数依存性つまりは当接時間/1画素時間依存性を十分に改善できることが分かる。この程度であれば、インク吐出特性を仕様誤差内に治めることができる。
一方、図12,図13より、Vl/V=0.6である場合に、周波数依存性つまりは当接時間/1画素時間依存性を改善できないことが分かる。
【0048】
振動板22が電極11に当接する時間を1画素時間において40%以下とした。さらに、個別電極11と振動板22を有する基板20と封止材13により形成される空間を称すGap室の体積をV、個別電極11と振動板22との間の空間を称す振動室の体積をVlとしたとき、次の関係式Vl/V>0.7を満たす構成を採る。これにより、上記当接時間/1画素時間依存性を飛躍的に改善することができる。
【0049】
最高駆動周波数が高い領域、本発明においては20kHz以上において、振動板が電極に当接する時間を1画素時間において20%以下とした。さらに、電極と振動板を有する基板と封止材により形成される空間を称すGap室の体積をV、電極と振動板間の空間を称す振動室の体積をVlとしたとき、次の関係式Vl/V>0.7を満たす構成を採る。これにより、振動板と電極間のGap形状に依ることなく、上記当接時間/1画素時間依存性を飛躍的に改善することができる。
【0050】
図14乃至図21は、追加の実験データで、これらの実験は、それぞれ、当接時間を一定にして駆動周波数を更に高くした時の振動板の駆動電圧と変位量との関係を示す図で、図14乃至図16は、平行Gap形状のインクジェットヘッド(図5(A)参照)に対して、当接時間を4.0μs(図14)、6.0μs(図15)、10.0μsとした時の特性図、図17乃至図21はガウスGap形状のインクジェットヘッド(図5(C)参照)に対して、当接時間を4.0μs(図17)、6.0μs(図18)、10.0μs(図19)、20μs(図20)、30μs(図21)とした時の特性図で、各図中に記載の%は当接時間の比率、μmは当接時の変位量を示す。なお、図14乃至図21に示した追加の実験に使用したインクジェットヘッドは、図6乃至図13に示した実験に使用したインクジェットヘッドとは異なるものであり、ヘッドのスケール値は、表1に示す通りであり、当接時間は、駆動電圧パルス幅ではなく、実際の当接時間を計測したものである。
【0051】
【表1】
【0052】
図14乃至図16に示した平行Gap形状のインクジェットヘッドの場合には、当接時間の比率が40%以下の場合には振動板の当接変位量が10%以下となり、インク吐出にほとんど影響なく、図17乃至図21に示したガウスGap形状のインクジェットヘッドの場合は、当接時間の比率が20%以下の場合に、振動板の当接変位量が10%以下(ただし、図19の場合は10.82%となるが、この程度であればインク吐出にほとんど影響がない。
【0053】
図22は、上述のごとき本発明による静電インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一使用例を説明するための要部概略構成図で、図中、40はインクジェット記録ヘッド、41は該インクジェット記録ヘッド40を搭載し、該インクジェット記録ヘッド40を矢印X方向に往復動させるキャリッジ、42は該キャリッジ41を矢印X方向に往復動させるための駆動軸、43は該キャリッジ41の往復動を案内するための案内ロッド、44は記録紙である。周知のように、キャリッジ41の往復動によりインクジェット記録ヘッド40を矢印X方向に往復動させるとともに、記録紙44を矢印Y方向に移動させることにより、記録紙44上に所望の文字,図形等を印写する。
【0054】
図23は、本発明による静電インクジェットヘッドを駆動するのに用いて好適なヘッド駆動回路の一例を説明するための要部構成図で、図中、50は、ヘッド駆動制御回路部、51はカウンタ、52はメモリ、53はD/Aコンバータ、54はアンプ、55はヘッド部(アクチュエータ)で、ヘッド駆動制御回路部50は、予め記憶させておいた複数の駆動電圧波形から1つを選択して出力する。カウンタ51及びメモリ52にて、駆動するビット(アクチュエータ)を選択し、そのディジタルに出力信号をD/Aコンバータ53にてアナログ信号に変換し、アンプ54にて増幅し、ヘッド(アクチュエータ)55を駆動する。
【0055】
【発明の効果】
静電インクジェットヘッドにおける振動板と個別電極との間に印可するパルス電圧の1画素を形成するのに要する時間に対する割合(実質的には、振動板が電極に当接している時間割合)を適切に選択することにより、更には、Gap室と振動室との割合を適切に選択することにより、静電インクジェットヘッドの周波特性を大幅に改善し、インク吐出特性の安定性を向上させ、延いては、ヘッドの信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明が適用される静電力を利用したインクジェットヘッドを説明するための要部斜視図である。
【図2】 図1に示したインクジェットヘッドの1つのアクチュエータの構成を示す断面図(図1のII−II線断面図)である。
【図3】 本発明が解決しようとする、静電インクジェットヘッドの課題を説明するための要部概略断面図である。
【図4】 振動板と電極との間に印加するパルス電圧の例を示す図である。
【図5】 本発明が適用される静電インクジェットヘッドの短辺方向のギャップ形状の例を示す図である。
【図6】 平行Gapの静電インクジェットヘッドにおける周波数依存性(周波数をパラメータとした、印加パルス電圧と振動板の変位量の関係)を示す図である。
【図7】 平行Gapの静電インクジェットヘッドにおけるパルス幅・周波数依存性(パルス幅を変えた周波数をパラメータとした印加パルス電圧と振動板の変位量との関係)を示す図である。
【図8】 非平行Gapの静電インクジェットヘッドにおける周波数依存性(周波数をパラメータとした、印加パルス電圧と振動板の変位量の関係)を示す図である。
【図9】 非平行Gapの静電インクジェットヘッドにおけるパルス幅・周波数依存性(パルス幅を変えた周波数をパラメータとした印加パルス電圧と振動板の変位量との関係)を示す図である。
【図10】 Gap室未封止(Vl/V=0.8)の静電インクジェットヘッドにおける周波数依存性を示す図である。
【図11】 Gap室封止(Vl/V=0.8)の静電インクジェットヘッドにおける周波数依存性を示す図である。
【図12】 Gap室未封止(Vl/V=0.6)の静電インクジェットヘッドにおける周波数依存性を示す図である。
【図13】 Gap室封止(Vl/V=0.6)の静電インクジェットヘッドにおける周波数依存性を示す図である。
【図14】 平行Gap、当接時間4.0μsにおける静電インクジェットヘッドの周波数依存性を示す図である。
【図15】 平行Gap、当接時間6.0μsにおける静電インクジェットヘッドの周波数依存性を示す図である。
【図16】 平行Gap、当接時間10.0μsにおける静電インクジェットヘッドの周波数依存性を示す図である。
【図17】 ガウスGap形状、当接時間4.0μsにおける静電インクジェットヘッドの周波数依存性を示す図である。
【図18】 ガウスGap形状、当接時間6.0μsにおける静電インクジェットヘッドの周波数依存性を示す図である。
【図19】 ガウスGap形状、当接時間10.0μsにおける静電インクジェットヘッドの周波数依存性を示す図である。
【図20】 ガウスGap形状、当接時間20.0μsにおける静電インクジェットヘッドの周波数依存性を示す図である。
【図21】 ガウスGap形状、当接時間30.0μsにおける静電インクジェットヘッドの周波数依存性を示す図である。
【図22】 本発明による静電インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例を示す要部斜視図である。
【図23】 本発明の実施に使用される駆動電圧パルス発生回路の一例を説明するための図である。
【符号の説明】
10…電極基板、11…個別電極、12…保護膜、13…封止材、20…液室・振動板基板、21…インク液室、22…振動板、30…ノズル基板、31…ノズル。
Claims (3)
- 振動板と、該振動板に対向してGapをもって配設された電極を有し、該電極と前記振動板との間にパルス電圧を印加して前記振動板を静電力により変位させ、該振動板の機械的な復元力によりインク滴を噴射する静電インクジェットヘッドであって、前記電極は、振動板短辺方向において中央部が前記振動板方向に凸となる弓形状に形成されることを特徴とする静電インクジェットヘッド。
- 前記Gapの形成されたGap室が封止材により封止されていることを特徴とする請求項1に記載の静電インクジェットヘッド。
- 請求項1または2に記載の静電インクジェットヘッドを搭載し、該静電インクジェットヘッドを記録紙に対向させ、インク液滴を噴射させて記録を行うことを特徴とするインクジェット記録装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000095378A JP4052781B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 静電インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
US09/793,478 US6511158B2 (en) | 2000-03-30 | 2001-02-26 | Electrostatic ink jet head |
US10/186,119 US6592208B2 (en) | 2000-03-30 | 2002-06-26 | Electrostatic ink jet head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000095378A JP4052781B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 静電インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001277500A JP2001277500A (ja) | 2001-10-09 |
JP4052781B2 true JP4052781B2 (ja) | 2008-02-27 |
Family
ID=18610288
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000095378A Expired - Fee Related JP4052781B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 静電インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6511158B2 (ja) |
JP (1) | JP4052781B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7188919B2 (en) * | 2002-07-08 | 2007-03-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge method and apparatus using individually controllable nozzles |
US7111755B2 (en) * | 2002-07-08 | 2006-09-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge method and apparatus and display device panel manufacturing method and apparatus |
US7334871B2 (en) * | 2004-03-26 | 2008-02-26 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid-ejection device and methods of forming same |
ATE462569T1 (de) * | 2006-04-21 | 2010-04-15 | Koninkl Philips Electronics Nv | Flüssigkeitsausstossvorrichtung für tintenstrahlköpfe |
EP2123458B1 (en) * | 2008-05-20 | 2013-09-18 | Ricoh Company, Ltd. | Piezoelectric actuator, liquid-drop ejecting head, and liquid-drop ejecting apparatus |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0729908A (ja) | 1993-07-15 | 1995-01-31 | Nec Corp | 銅微細配線の形成方法 |
DE69517720T2 (de) | 1994-03-09 | 2001-02-01 | Seiko Epson Corp | Tintenstrahlaufzeichnungsgerät |
-
2000
- 2000-03-30 JP JP2000095378A patent/JP4052781B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-02-26 US US09/793,478 patent/US6511158B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-06-26 US US10/186,119 patent/US6592208B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6511158B2 (en) | 2003-01-28 |
US20020191040A1 (en) | 2002-12-19 |
US6592208B2 (en) | 2003-07-15 |
JP2001277500A (ja) | 2001-10-09 |
US20010033311A1 (en) | 2001-10-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040712 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101214 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101214 Year of fee payment: 3 |
|
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|
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|
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