JP4047856B2 - 光波長検出装置の製造方法とその光波長検出装置、および波長安定化光源 - Google Patents
光波長検出装置の製造方法とその光波長検出装置、および波長安定化光源 Download PDFInfo
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Description
また金属線が無事に付いたとしても、エタロンの光変調効率のバラツキが多いという不具合が見つかった。さらに、試作した光波長検出装置を試験したところ、設定した波長からのずれが時間の経過とともに大きくなるという不具合も見つかった。
本発明は上記事情によりなされたもので、その目的は、製作の作業性と再現性を向上させることの可能な光波長検出装置の製造方法とその光波長検出装置、および波長安定化光源を提供することにある。
光波長検出装置14において、半導体レーザ11からの信号光(以下、レーザ光)は、光軸上に配置されるコリメータ141により平行光に変換され、水晶エタロン142の中央部を透過して、光検出器(PD)143で電気信号に変換される。
水晶エタロン142のあおり角の調整作業と同時にコイル23に高周波電流を流すようにすれば、あおり角の調整を完了した時点では線材148,149の内部応力も除去された状態となる。従って作業性を大幅に向上させることができる。
Claims (14)
- 水晶バルクに互いに対向する一対の反射膜層を形成してなる水晶エタロンの光透過特性を用いてレーザ光の波長を検出する光波長検出装置の製造方法であって、
前記水晶エタロンに一対の電極層を形成する電極層形成工程と、
前記水晶エタロンの中央部を挟持するように軸支する一対の導電性線材を、前記一対の電極層にそれぞれ超音波溶接により接続する接続工程と、
前記レーザ光が前記一対の反射膜層を介して前記水晶エタロンの中央部を透過するように前記一対の導電性線材を支持する支持手段に、前記一対の導電性線材を固定する固定工程とを具備することを特徴とする光波長検出装置の製造方法。 - 前記一対の導電性線材は塑性を有し、
さらに、前記水晶エタロンを支軸回りに回動させて前記レーザ光の光軸に対するあおり角を調整する調整工程と、
前記一対の導電性線材をその融点の60%以上の温度に加熱する加熱工程とを具備することを特徴とする請求項1に記載の光波長検出装置の製造方法。 - 前記加熱工程は、赤外光領域から可視光領域に含まれる光を前記一対の導電性線材に照射する工程であることを特徴とする請求項2に記載の光波長検出装置の製造方法。
- 前記加熱工程は、前記一対の導電性線材を高周波磁界により誘導加熱する工程であることを特徴とする請求項2に記載の光波長検出装置の製造方法。
- 前記高周波磁界を誘導コイルにより発生させ、
前記調整工程は、前記誘導コイルを前記水晶エタロンに接触させてこの水晶エタロンを前記支軸回りに回動させる工程であることを特徴とする請求項4に記載の光波長検出装置の製造方法。 - 前記誘導コイルに突起部を設け、
前記調整工程は、前記突起部を介して前記誘導コイルを前記水晶エタロンに接触させる工程であることを特徴とする請求項5に記載の光波長検出装置の製造方法。 - 水晶バルクに互いに対向する一対の反射膜層を形成してなる水晶エタロンの光透過特性を用いて、半導体レーザから放射されるレーザ光の波長を検出する光波長検出装置において、
前記水晶エタロンを振動させるためのディザ信号を生成するディザ信号生成手段と、
前記水晶エタロンに形成される一対の電極層にそれぞれ超音波溶接により接続され、前記水晶エタロンの中央部を挟持するように軸支し、かつ前記ディザ信号を前記水晶エタロンの軸支部分に印加する一対の導電性線材と、
前記一対の導電性線材が固定され、前記レーザ光が前記一対の反射膜層を介して前記水晶エタロンの中央部を透過するように前記一対の導電性線材を支持する支持手段と、
前記水晶エタロンを透過したレーザ光を受光して電気信号に変換する光検出器と、
この光検出器からの電気信号を前記ディザ信号によって同期検波して誤差信号を生成する誤差信号生成手段と、
前記誤差信号に基づいて前記半導体レーザの駆動状態を制御する制御手段とを具備することを特徴とする光波長検出装置。 - 前記一対の導電性線材は鉛を含まない金属であることを特徴とする請求項7に記載の光波長検出装置。
- 前記一対の導電性線材は亜鉛および錫のいずれかを主体とする金属であることを特徴とする請求項7に記載の光波長検出装置。
- 前記一対の導電性線材は塑性を有し、前記水晶エタロンを支軸回りに回動させて前記レーザ光の光軸に対するあおり角を調整したのちに融点の60%以上の温度に加熱されることを特徴とする請求項7に記載の光波長検出装置。
- 半導体レーザと、この半導体レーザから放射されるレーザ光の波長を検出する光波長検出装置とを具備する波長安定化光源において、
前記光波長検出装置は、
水晶バルクに互いに対向する一対の反射膜層を形成してなる水晶エタロンと、
前記水晶エタロンを振動させるためのディザ信号を生成するディザ信号生成手段と、
前記水晶エタロンに形成される一対の電極層にそれぞれ超音波溶接により接続され、前記水晶エタロンの中央部を挟持するように軸支し、かつ前記ディザ信号を前記水晶エタロンの軸支部分に印加する一対の導電性線材と、
前記一対の導電性線材が固定され、前記レーザ光が前記一対の反射膜層を介して前記水晶エタロンの中央部を透過するように前記一対の導電性線材を支持する支持手段と、
前記水晶エタロンを透過したレーザ光を受光して電気信号に変換する光検出器と、
この光検出器からの電気信号を前記ディザ信号によって同期検波して誤差信号を生成する誤差信号生成手段と、
前記誤差信号に基づいて前記半導体レーザの駆動状態を制御して前記レーザ光の波長を安定化させる制御手段とを備えることを特徴とする波長安定化光源。 - 前記一対の導電性線材は鉛を含まない金属であることを特徴とする請求項11に記載の波長安定化光源。
- 前記一対の導電性線材は亜鉛および錫のいずれかを主体とする金属であることを特徴とする請求項11に記載の波長安定化光源。
- 前記一対の導電性線材は塑性を有し、前記水晶エタロンを支軸回りに回動させて前記レーザ光の光軸に対するあおり角を調整したのちに融点の60%以上の温度に加熱されることを特徴とする請求項11に記載の波長安定化光源。
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