JPS63163416A - 光半導体装置の製造方法 - Google Patents
光半導体装置の製造方法Info
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- JPS63163416A JPS63163416A JP30838786A JP30838786A JPS63163416A JP S63163416 A JPS63163416 A JP S63163416A JP 30838786 A JP30838786 A JP 30838786A JP 30838786 A JP30838786 A JP 30838786A JP S63163416 A JPS63163416 A JP S63163416A
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- Japan
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- optical
- optical fiber
- laser beam
- optical semiconductor
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4236—Fixing or mounting methods of the aligned elements
- G02B6/4237—Welding
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
この発明は、光半導体素子と光ファイバとを光結合効率
が最大になるよう光結合させることが可能な光半導体装
置の製造方法に関するものである。
が最大になるよう光結合させることが可能な光半導体装
置の製造方法に関するものである。
（従来の技術）
光半導体素子と光ファイバとを光結合させた光半導体装
置は光フアイバ通信等に利用されている。
置は光フアイバ通信等に利用されている。
この光半導体素子と光ファイバとの光結合効率を最大と
するためにはレンズを介して光学系光軸を合わせて光フ
ァイバを最適位置に固定する方法が用いられている。こ
れには光半導体素子、光ファイバなどを装着してなるそ
れぞれの支持部品を半田、接着剤、またはレーザ光など
で接合する方法が用いられている。
するためにはレンズを介して光学系光軸を合わせて光フ
ァイバを最適位置に固定する方法が用いられている。こ
れには光半導体素子、光ファイバなどを装着してなるそ
れぞれの支持部品を半田、接着剤、またはレーザ光など
で接合する方法が用いられている。
（発明が解決しようとする問題点）
半導体素子の出入射光と光ファイバとのそれぞれの支持
部品を最適位置で半田や接着剤、レーザ光などで固定す
るとき、要求される位置精度が極めて高いため、これら
固定時に生じる加熱や硬化時に起る収縮などによって光
軸がわずかにずれて光結合効率にばらつきを生じるとい
う問題点があった。
部品を最適位置で半田や接着剤、レーザ光などで固定す
るとき、要求される位置精度が極めて高いため、これら
固定時に生じる加熱や硬化時に起る収縮などによって光
軸がわずかにずれて光結合効率にばらつきを生じるとい
う問題点があった。
（問題点を解決するための手段）
この発明は半導体素子の出入射光と光ファイバとが最適
位置になるようにそれぞれの支持部品をアライメントし
て固定したときに生じる光結合効率のばらつきを、支持
部品にレーザ光を局所的に照射し、それにより生じる歪
を利用して光軸を調整し安定した光結合効率が得られる
ようになされた光半導体装置の製造方法である。
位置になるようにそれぞれの支持部品をアライメントし
て固定したときに生じる光結合効率のばらつきを、支持
部品にレーザ光を局所的に照射し、それにより生じる歪
を利用して光軸を調整し安定した光結合効率が得られる
ようになされた光半導体装置の製造方法である。
（作 用）
レーザはスポットパルス光のため溶解時に発生する熱が
光半導体素子の特性劣化を招く危険性はない。またスポ
ット的な溶解のため急激に光軸が変動することなく、光
フアイバ出力をモニタしながら除々に光結合効率を調整
することができる。
光半導体素子の特性劣化を招く危険性はない。またスポ
ット的な溶解のため急激に光軸が変動することなく、光
フアイバ出力をモニタしながら除々に光結合効率を調整
することができる。
またレーザ光照射による歪が温度変化によって光学系に
影響を与え、ファイバ出力光に変動をもたらすこともな
かった。
影響を与え、ファイバ出力光に変動をもたらすこともな
かった。
（実施例）
第１図は本発明の詳細な説明図である。
即ち発光素子（１）はヒートシンク（２）上にマウント
されており、ヒートシンク（２）には発光素子（１）か
らの出力光をモニタするためのフォトダイオード（３）
がマウントされたヘッダー（４）が抵抗加熱溶接されて
いる。さらにヒートシンク（２）には中心にレンズ（５
）を有する第１の支持部品（６）が抵抗加熱溶接されて
いる。第１の支持部品（６）の上には発光素子（１）か
ら出力光と光ファイバ（７）の光結合が最適になる位置
で固定剤（９）によって光ファイバ（７）を固定される
と共に第１の支持部品（６）と固定剤（１０）で固定さ
れた第２の支持部品（８）が設けられている。
されており、ヒートシンク（２）には発光素子（１）か
らの出力光をモニタするためのフォトダイオード（３）
がマウントされたヘッダー（４）が抵抗加熱溶接されて
いる。さらにヒートシンク（２）には中心にレンズ（５
）を有する第１の支持部品（６）が抵抗加熱溶接されて
いる。第１の支持部品（６）の上には発光素子（１）か
ら出力光と光ファイバ（７）の光結合が最適になる位置
で固定剤（９）によって光ファイバ（７）を固定される
と共に第１の支持部品（６）と固定剤（１０）で固定さ
れた第２の支持部品（８）が設けられている。
かかる組立体を形成後、実施例では発光素子（１）を駆
動させ、光フアイバ出力をモニタしながら例えば矢印方
向から局部的に炭酸ガス、ＹＡＧなどのレーザ光（１１
）を当てる。第２の支持部品（８）はレーザ光照射によ
りスポット溶解する。スポット溶解に基づく第２の支持
部品（８）のわずかな変形を利用して光軸系を調整しな
がらくり返しレーザ光照射をすることにより、規定の光
フアイバ出力を有する光半導体装置を得ることが出来る
。
動させ、光フアイバ出力をモニタしながら例えば矢印方
向から局部的に炭酸ガス、ＹＡＧなどのレーザ光（１１
）を当てる。第２の支持部品（８）はレーザ光照射によ
りスポット溶解する。スポット溶解に基づく第２の支持
部品（８）のわずかな変形を利用して光軸系を調整しな
がらくり返しレーザ光照射をすることにより、規定の光
フアイバ出力を有する光半導体装置を得ることが出来る
。
このような方法で作られた光半導体装置の各温度におけ
る正電流とファイバ出力光の関係は第２図に示す如くで
あり、温度変化にともなう光軸ずれによる結合効率（傾
き）の変動が見られず、レーザ照射による歪みの影響は
見られなかった。
る正電流とファイバ出力光の関係は第２図に示す如くで
あり、温度変化にともなう光軸ずれによる結合効率（傾
き）の変動が見られず、レーザ照射による歪みの影響は
見られなかった。
上述のように本発明による光半導体装置の製造方法によ
れば光半導体素子と光ファイバの光結合における結合効
率のばらつきをレーザスポット光照射による支持部品の
わずかな変形を利用して、光フアイバ出力を調整し、安
定した光フアイバ出力を有する光半導体装置を提供でき
る。
れば光半導体素子と光ファイバの光結合における結合効
率のばらつきをレーザスポット光照射による支持部品の
わずかな変形を利用して、光フアイバ出力を調整し、安
定した光フアイバ出力を有する光半導体装置を提供でき
る。
第１図は光半導体装置の断面図、第２図は実施例の方法
により製造した光半導体装置の各温度における正電流と
ファイバ出力光の関係を示す曲線図である。
により製造した光半導体装置の各温度における正電流と
ファイバ出力光の関係を示す曲線図である。
Claims (1)
- 光半導体素子と光ファイバとをそれぞれの支持部品の接
合によって光結合効率が最大になる位置で固定するよう
になされた光半導体装置の製造方法において、前記それ
ぞれの支持部品を接合した後、前記支持部品にレーザ光
の局部的な照射を行ない、これにより前記支持部品に発
生する歪みを利用して光軸系を調整したことを特徴とす
る光半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30838786A JPS63163416A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 光半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30838786A JPS63163416A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 光半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63163416A true JPS63163416A (ja) | 1988-07-06 |
Family
ID=17980449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30838786A Pending JPS63163416A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 光半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63163416A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7316510B2 (en) | 2003-07-23 | 2008-01-08 | Eudyna Devices, Inc. | Optical axis adjusting method, optical module producing method, optical axis adjusting apparatus, and optical module |
| JP2010276840A (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-09 | Nichia Corp | 発光装置の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6263906A (ja) * | 1985-09-17 | 1987-03-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レ−ザ・光フアイバ結合装置の製造方法 |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP30838786A patent/JPS63163416A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6263906A (ja) * | 1985-09-17 | 1987-03-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レ−ザ・光フアイバ結合装置の製造方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7316510B2 (en) | 2003-07-23 | 2008-01-08 | Eudyna Devices, Inc. | Optical axis adjusting method, optical module producing method, optical axis adjusting apparatus, and optical module |
| US7614801B2 (en) | 2003-07-23 | 2009-11-10 | Eudyna Devices Inc. | Optical axis adjusting method, optical module producing method, optical axis adjusting apparatus, and optical module |
| JP2010276840A (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-09 | Nichia Corp | 発光装置の製造方法 |
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