JP4046109B2 - 部品搭載装置および基板載置ステージ - Google Patents
部品搭載装置および基板載置ステージ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4046109B2 JP4046109B2 JP2004204391A JP2004204391A JP4046109B2 JP 4046109 B2 JP4046109 B2 JP 4046109B2 JP 2004204391 A JP2004204391 A JP 2004204391A JP 2004204391 A JP2004204391 A JP 2004204391A JP 4046109 B2 JP4046109 B2 JP 4046109B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mounting
- component
- lower receiving
- component mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
図1は本発明の実施の形態1の部品搭載装置の正面図、図2、図3(a)、図5は本発明の実施の形態1の部品搭載装置の基板載置ステージの斜視図、図3(b)は本発明の実施の形態1の部品搭載装置の基板載置ステージの断面図、図4は本発明の実施の形態1の基板載置ステージにおける熱伝導状態の説明図である。
図6(a)は本発明の実施の形態2の基板載置ステージの斜視図、図7(b)は本発明の実施の形態2の基板載置ステージの断面図である。本実施の形態2は、下受け部をベース部の凹部に装着する形態において、凹部の内側面を全く接触させないように構成したものである。
当接する。したがって、下受けブロック123は、載置面121aに設けられた凹部内に配置され載置面121aに載置された基板4の下面に当接して下受けする下受け部となっている。
図7(a)は本発明の実施の形態3の基板載置ステージの斜視図、図7(b)は本発明の実施の形態3の基板載置ステージの断面図である。本実施の形態3も実施の形態2と同様に、下受け部をベース部の凹部に装着する形態において、凹部の内側面を全く接触させないように構成したものである。
21b内に配置した状態では、下受けブロック223の下受け面223aは載置面121aと同一レベルにあり、載置面121aに載置された基板4の下面は下受け面223aに当接する。したがって、下受けブロック223は、載置面121aに設けられた凹部内に配置され載置面121aに載置された基板4の下面に当接して下受けする下受け部となっている。
3,3A,3B 基板載置ステージ
4 基板
5 ボンディング機構
6 チップ
10 ボンディングヘッド
20、120、220 下部プレート
20b、120b、220b 真空吸引開口
21、121 上部プレート
21a、121a 載置面
21b、121b 開口部
21c、121c 真空導入孔
23、123,223 下受けブロック
Claims (2)
- 加熱手段を有する部品搭載ヘッドによって部品を保持して基板に搭載する部品搭載装置であって、上面に前記基板を載置する載置面が設けられたベース部と、前記載置面に設けられた凹部内に配置され前記載置面に載置された基板の下面に当接して下受けする下受け部と、前記凹部の内面と前記下受け部との間に形成され前記載置面に開口した隙間空間と、前記隙間空間に開孔した吸引孔から真空吸引することにより前記載置面に載置された基板を前記隙間空間を介して吸着する吸引手段とを備えたことを特徴とする部品搭載装置。
- 加熱手段を有する部品搭載ヘッドによって部品を保持して基板に搭載する部品搭載装置において基板を載置して保持する基板載置ステージであって、上面に前記基板を載置する載置面が設けられたベース部と、前記載置面に設けられた凹部内に配置され前記載置面に載置された基板の下面に当接して下受けする下受け部と、前記凹部の内面と前記下受け部との間に形成され前記載置面に開口した隙間空間と、前記隙間空間に開孔した吸引孔から真空吸引することにより前記載置面に載置された基板を前記隙間空間を介して吸着する吸引手段とを備えたことを特徴とする基板載置ステージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004204391A JP4046109B2 (ja) | 2004-07-12 | 2004-07-12 | 部品搭載装置および基板載置ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004204391A JP4046109B2 (ja) | 2004-07-12 | 2004-07-12 | 部品搭載装置および基板載置ステージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006032383A JP2006032383A (ja) | 2006-02-02 |
JP4046109B2 true JP4046109B2 (ja) | 2008-02-13 |
Family
ID=35898408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004204391A Expired - Fee Related JP4046109B2 (ja) | 2004-07-12 | 2004-07-12 | 部品搭載装置および基板載置ステージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4046109B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5536980B2 (ja) * | 2007-11-27 | 2014-07-02 | パナソニック株式会社 | 実装方法 |
JP5314269B2 (ja) * | 2007-11-27 | 2013-10-16 | パナソニック株式会社 | 実装方法およびダイボンド装置 |
-
2004
- 2004-07-12 JP JP2004204391A patent/JP4046109B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006032383A (ja) | 2006-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2003347445A (ja) | リード放熱セラミックパッケージ | |
TWI554354B (zh) | 接合頭 | |
JP2010062248A (ja) | 位置決め治具ユニット、及び、半田付け方法 | |
KR100730626B1 (ko) | 반도체 발광 장치를 위한 기판 제조 방법 | |
JP4007143B2 (ja) | 電子部品、電子部品の製造方法及び製造装置 | |
JP4741947B2 (ja) | 電子部品組立体 | |
KR101535739B1 (ko) | 기판 고정 장치 | |
US20180374773A1 (en) | Heat sink and electronic component device | |
JP4046109B2 (ja) | 部品搭載装置および基板載置ステージ | |
JP2001251099A (ja) | 電子部品実装装置用の基板の保持治具 | |
KR20170093313A (ko) | 반도체 웨이퍼 처리 장비 및 이를 이용한 반도체 웨이퍼 처리 방법 | |
US10014273B2 (en) | Fixture to constrain laminate and method of assembly | |
JP2015222795A (ja) | 放熱板を備えた電子部品の実装構造 | |
JP3767548B2 (ja) | 電子部品実装装置用の基板の保持治具 | |
JP5217013B2 (ja) | 電力変換装置およびその製造方法 | |
JP3564350B2 (ja) | ヒートシンク固定構造および方法 | |
JP2007173542A (ja) | 基板構造、基板製造方法および電子機器 | |
JP4534675B2 (ja) | 集積回路装置 | |
TWI790747B (zh) | 基板保持具以及接合系統和接合方法 | |
CN220367894U (zh) | 集成电路封装产品作业装置 | |
JP7296174B2 (ja) | 基板保持具、並びに、ボンディングシステム及びボンディング方法 | |
JP3473543B2 (ja) | 電子部品実装装置用の板状ワーク加熱装置 | |
JP7373735B2 (ja) | 部品接合装置及びその方法と実装構造体 | |
JP2014036211A (ja) | ダイボンダーおよび半導体モジュールの製造方法 | |
JP2006024639A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060417 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060512 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071030 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071112 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101130 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111130 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121130 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121130 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131130 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |