JP4044317B2 - コンタクト検査方法およびコンタクト検査システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、その各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態を検査するコンタクト検査方法およびコンタクト検査システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ネットワーク素子を量産する場合、製造したネットワーク素子に対して各種電気的試験を行う必要がある。この場合、例えば、ネットワーク素子内のコンデンサ、抵抗およびインダクタなどの各電子部品に対して耐圧試験を行う際には、耐圧試験用のプローブをネットワーク素子内の各電子部品に接続された電極等の接続部に確実に接続させる必要がある。このような場合において、その耐圧試験器のプローブと、ネットワーク素子内の各接続部との接続状態を検査するために、この種のコンタクト検査方法が用いられる。
【0003】
次に、従来のコンタクト検査方法について、図7を参照して説明する。最初に、試験対象としてのネットワーク素子2の構成について説明する。同図に示すように、ネットワーク素子2は、例えば、コンデンサC1〜C8(以下、区別しないときには、「コンデンサC」ともいう)を環状に接続して構成され、各コンデンサC,C同士の接続部には、外部接続が可能な電極T1〜T8(以下、区別しないときには、「電極T」ともいう)が形成されている。
【0004】
このネットワーク素子2に対して耐圧試験を行う際には、まず、耐圧試験用のプローブP1〜P8の各一端をネットワーク素子2の電極T1〜T8にそれぞれ接続する。次いで、プローブP1,P2の各他端をLCR測定装置1の接続端子(図示せず)に接続する。この場合、LCR測定装置1にプローブが備えられているときには、その各プローブをプローブP1,P2の各他端にそれぞれ接続する。続いて、LCR測定装置1によってプローブP1,P2間の容量を測定する。この際に、各プローブP1,P2がネットワーク素子2の電極T1,T2に正常に接続されているときには、コンデンサC1の容量(例えば、値Cとする)と、他のコンデンサC2〜C8の直列容量(例えば、コンデンサC2〜C8の各容量が値Cとする)との合成容量(この例では、値8・C/7)が測定される。一方、各プローブP1,P2のいずれか一方または双方がネットワーク素子2の電極T1,T2に正常に接続されていないときには、浮遊容量を無視すれば、その測定値がほぼ0となる。次いで、本来測定されるべき容量が測定されたときには、プローブP1,P2の各他端をLCR測定装置1から取り外した後に、耐圧試験器をプローブP1,P2の各他端に接続する。続いて、耐圧試験器を起動して耐圧試験を行う。逆に、本来測定されるべき容量が測定されなかったときには、プローブP1,P2の各一端と電極T1,T2とを接続し直した後に、LCR測定装置1を使用してコンタクト検査を再度行い、本来測定されるべき容量が測定されたときには、上記したようにして、耐圧試験器によって耐圧試験を行う。続いて、電極T3,T4、電極T5,T6、および電極T7,T8についても、同様にして、コンタクト検査を行い、正常に接続されているときに初めて耐圧試験を開始する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来のコンタクト検査方法には以下の問題点がある。すなわち、従来のこの方法では、ネットワーク素子2の各一対の電極T,TにLCR測定装置1を接続してコンタクト検査を行うという一連の処理を各一対の電極T,T毎に順次繰り返して行う必要がある。したがって、コンタクト検査の際の容量測定を各一対の電極T,Tの組数だけ行わなければならない関係上、コンタクト検査全体としての処理時間がかかり、各種電気的試験のコスト、ひいてはネットワーク素子2の製造コストが高騰しているという問題点がある。
【0006】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、ネットワーク素子に対するコンタクト検査を短時間で行い得るコンタクト検査方法およびコンタクト検査システムを提供することを主目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項1記載のコンタクト検査方法は、複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査方法であって、前記複数のプローブを前記環状に配置される第1番目から第N(Nは自然数)番目の接続部のうちの奇数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第1グループと、偶数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第2グループとにグループ分けし、当該第1グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該第2グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該2つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を検査する。なお、本発明において、「インピーダンス」には、容量、抵抗およびインダクタンスが含まれる。また、「接続部」には、電極、接続端子およびリード線などが含まれる。
【0008】
請求項2記載のコンタクト検査方法は、複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査方法であって、前記複数のプローブを前記環状に配置される第1番目から第N(Nは自然数)番目の接続部に接続すると共に、一方のグループの前記プローブと他方のグループの前記プローブとが2つずつ交互に分かれるように当該複数のプローブを第1グループおよび第2グループにグループ分けし、当該第1グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該第2グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該2つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を検査する。
【0009】
請求項3記載のコンタクト検査システムは、複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査システムであって、試験用信号を出力する出力部および当該試験用信号を入力する入力部を有する前記インピーダンス測定装置と、接続装置とを備えて構成され、前記接続装置は、制御信号に従い、前記複数のプローブを前記環状に配置される第1番目から第N(Nは自然数)番目の接続部のうちの奇数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第1グループと、偶数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第2グループとにグループ分けし、かつ当該第1グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続して前記インピーダンス測定装置の前記出力部に接続すると共に当該第2グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続して前記インピーダンス測定装置の前記入力部に接続する接続処理を実行可能に構成され、前記インピーダンス測定装置は、前記接続装置によって前記接続処理が実行された状態において前記出力部および前記入力部間のインピーダンスを測定して表示する。
【0010】
請求項4記載のコンタクト検査システムは、請求項3記載のコンタクト検査システムにおいて、前記制御信号を前記接続装置に出力する制御装置を備えて構成されている。
【0011】
請求項5記載のコンタクト検査システムは、請求項4記載のコンタクト検査システムにおいて、前記制御装置は、前記制御信号を出力すると共に測定開始信号を出力可能に構成され、前記インピーダンス測定装置は、前記測定開始信号を入力したときに前記インピーダンスの測定をそれぞれ開始する。
【0012】
請求項6記載のコンタクト検査システムは、請求項4または5記載のコンタクト検査システムにおいて、前記制御装置は、前記インピーダンス測定装置によって測定された測定値と予め規定された基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を判別する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクト検査方法およびコンタクト検査システムの好適な実施の形態について説明する。
【0014】
最初に、図1を参照して、第1の実施の形態に係るコンタクト検査方法を適用する検査系について説明する。なお、ネットワーク素子2の構成については、上記した構成と同一のため、各構成要素に同一の符号を付して、重複する説明を省略する。
【0015】
この検査系では、LCR測定装置1がインピーダンス測定装置として使用される。このLCR測定装置1は、本発明におけるインピーダンス測定装置に相当し、所定周波数の測定用信号を出力する出力部に接続されたプローブPHと、測定用信号を入力する入力部に接続されたプローブPLとに測定対象体を接続し、測定対象体を介して入力される測定用信号に基づいて、測定対象体の容量値、抵抗値およびインダクタンス値を測定可能に構成されている。
【0016】
次に、一例として、8つのコンデンサ(電子部品)C1〜C8を環状接続したネットワーク素子2内の隣り合うコンデンサC,Cを相互に接続して形成された各電極(接続部)T1〜T8と、その各電極T1〜T8に一端を接続した耐圧試験用のプローブP1〜P8(以下、区別しないときには、「プローブP」ともいう)との接続状態を検査する際のコンタクト検査方法について説明する。
【0017】
最初に、図1に示すように、複数のプローブP1〜P8を2つにグループ分けする。この際に、このコンタクト検査方法では、環状に配置される第1番目の電極T1から第N(Nは自然数で、この例では8)番目の電極TN(この例ではT8を意味する)のうちの奇数番目の各電極Tに接続された各プローブPを第1グループとし、偶数番目の各電極Tに接続された各プローブPを第2グループとしてグループ分けする。したがって、プローブP1,P3,P5,P7が第1グループとしてグループ化され、プローブP2,P4,P6,P8が第2グループとしてグループ化される。この場合、ネットワーク素子2に対する各プローブの接続構造は、同図に示すように、一方のグループ(第1グループ)における隣り合う一対のプローブ間に、他方のグループ(第2グループ)のプローブが1つだけ配設される構成となる。次いで、第1グループに属するすべてのプローブP1,P3,P5,P7の他端を共通接続し、第2グループに属するすべてのプローブP2,P4,P6,P8の他端を共通接続する。続いて、共通接続したプローブP1,P3,P5,P7の他端(共通接続部位)にLCR測定装置1のプローブPHを接続し、共通接続したプローブP2,P4,P6,P8の他端(共通接続部位)にLCR測定装置1のプローブPLを接続する。次に、この状態で、LCR測定装置1を使用して両プローブPH,PL間の容量を測定する。
【0018】
一例として、各コンデンサC1〜C8の容量がそれぞれ値Cの場合、各プローブP1〜P8が正常に各電極T1〜T8に接続されているときには、各コンデンサC1〜C8の合成容量が測定されるため、測定値として値8・Cが測定される。一方、図2に示すように、例えば、電極T5とプローブP5とが未接続または接触不良のときには、コンデンサC4,C5の容量が加算されないため、測定値として値6・Cが測定される。したがって、値8・Cを基準値として予め規定しておくことで、測定値と基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態の良否を検査することができる。この場合、例えば、測定値が基準値に対して90%〜110%の範囲内であるときには、接続状態が良であると判定し、測定値が90%未満または110%を超えるときには、いずれかの電極TとプローブPとが未接続か、または異常が生じていると判定する。次いで、すべての電極T1〜T8と、対応するプローブP1〜P8とが正常に接続されていると判定したときには、各プローブP1〜P8とプローブPH,PLとの接続を解除した後、一対のプローブP,Pを耐圧試験器に接続して耐圧試験を実施する。この耐圧試験を各一対のプローブP,P毎に実施し、この電気的試験を終了する。
【0019】
このように、このコンタクト検査方法によれば、各電極T1〜T8と各プローブP1〜P8との接続状態を1回で検査することができるため、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、耐圧試験のコスト、ひいてはネットワーク素子2の製造コストを十分に低減することができる。
【0020】
次に、第2の実施の形態に係るコンタクト検査方法の好適な実施の形態について、図3を参照して説明する。なお、同図では、LCR測定装置1の図示を省略する。
【0021】
同図に示すように、このコンタクト検査方法でも、最初に、複数のプローブP1〜P8を2つにグループ分けする。この場合、このコンタクト検査方法では、プローブP1,P4,P5,P8を第1グループとし、プローブP2,P3,P6,P7を第2グループとする。これにより、ネットワーク素子2に対する各プローブの接続構造は、図3に示すように、第1グループ(一方のグループ)のプローブと、第2グループ(他方のグループ)のプローブとが2つずつ交互に分かれる構成となる。次いで、第1グループに属するすべてのプローブP1,P4,P5,P8の他端を共通接続し、第2グループに属するすべてのプローブP2,P3,P6,P7の他端を共通接続する。続いて、共通接続したプローブP1,P4,P5,P8の他端にLCR測定装置1のプローブPH(図示せず)を接続し、共通接続したプローブP2,P3,P6,P7の他端にLCR測定装置1のプローブPL(図示せず)を接続する。次に、この状態で、第1の実施の形態で説明した手順と同様にして、LCR測定装置1を使用して両プローブPH,PL間の容量を測定する。
【0022】
このコンタクト検査方法では、各プローブP1〜P8が正常に各電極T1〜T8に接続されているときには、コンデンサC1,C3,C5,C7の合成容量が測定されるため、測定値として値4・Cが測定される。一方、図4に示すように、例えば、電極T3とプローブP3とが接続されていないときには、コンデンサC3の容量に代えて、コンデンサC2,C3の直列容量が加算されるため、測定値として値3.5・Cが測定される。したがって、このコンタクト検査方法でも、値4・Cを基準値として予め規定しておくことで、測定値と基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態の良否を検査することができる。この場合、例えば、測定値が基準値に対して90%〜110%の範囲内であるときには、接続状態が良であると判定し、測定値が90%未満または110%を超えるときには、いずれかの電極TとプローブPとが未接続か、または異常が生じていると判定する。
【0023】
このように、このコンタクト検査方法によれば、各電極T1〜T8と各プローブP1〜P8との接続状態を1回で検査することができるため、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、耐圧試験のコスト、ひいてはネットワーク素子2の製造コストを十分に低減することができる。ただし、第1の実施の形態では、プローブP1〜P8のいずれかに未接続や接触不良が生じている場合、第2の実施の形態に係るコンタクト検査方法と比較して、基準値と測定値との差分が顕著に現れる。したがって、第1の実施の形態に係るコンタクト検査方法を採用することにより、その検査結果の信頼性を最も高めることができる。
【0024】
次に、他のコンタクト検査方法について、図5を参照して説明する。
【0025】
同図に示すように、このコンタクト検査方法では、一例として4台のLCR測定装置1ー1〜1−4(以下、区別しないときには、「LCR測定装置1」といもいう)を使用する。この場合、使用するLCR測定装置1の数は、1回で検査するプローブPの数による。つまり、接続状態を検査するプローブPの数がM(Mは4以上の偶数とする)のときには、(M/2)台のLCR測定装置1を使用することにより、このコンタクト検査方法を1回実施するだけで、すべてのプローブPに対するコンタクト検査が完了する。
【0026】
このコンタクト検査方法では、まず、一対の電極T,Tに接続されたプローブP,PをLCR測定装置1のプローブPH,PLまたは接続端子(同図では接続端子を使用するものとし、その接続端子の図示を省略する)に接続する。具体的には、電極T1,T2に接続されたプローブP1,P2をLCR測定装置1−1の接続端子にそれぞれ接続し、電極T3,T4に接続されたプローブP3,P4をLCR測定装置1−2の接続端子にそれぞれ接続する。同様にして、電極T5,T6に接続されたプローブP5,P6をLCR測定装置1−3の接続端子にそれぞれ接続し、電極T7,T8に接続されたプローブP7,P8をLCR測定装置1−4の接続端子にそれぞれ接続する。
【0027】
次いで、各LCR測定装置1−1〜1−4を使用して同時に容量を測定する。この場合、各プローブP1〜P8が各電極T1〜T8に正常に接続されているときには、各LCR測定装置1によって測定される各測定値はそれぞれ値(8・C/7)となる。具体的には、例えば、LCR測定装置1−1では、コンデンサC1の容量と、コンデンサC2〜C8の直列容量との合成容量となる。したがって、上記の値(8・C/7)が測定される。一方、いずれかの電極Tと、対応するプローブPとが接触不良または未接触の場合、その電極Tに接続されているLCR測定装置1によって測定される容量は、浮遊容量を無視すれば、ほぼ0となる。したがって、このコンタクト検査方法であっても、値8・C/7を基準値として予め規定しておくことで、測定値と基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態の良否を検査することができる。この場合、例えば、測定値が基準値に対して90%〜110%の範囲内であるときには、接続状態が良であると判定し、測定値が90%未満または110%を超えるときには、いずれかの電極TとプローブPとが未接続であると判定する。このように、このコンタクト検査方法によれば、すべての電極Tと、対応する各プローブPとの接触状態を1回のコンタクト検査で検査することができる。したがって、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。また、このコンタクト検査方法によれば、各LCR測定装置1によって測定された容量(インピーダンス)を確認することで、電極TとプローブPとが未接触または接触不良の箇所を容易に特定することができる。
【0028】
次に、耐圧試験システムSYS1に本発明に係るコンタクト検査システムを適用した例について、図6を参照して説明する。なお、一例として、ネットワーク素子2の各電極T1〜T8とプローブP1〜P8との接続状態を検査する例について説明する。
【0029】
図6に示すように、この耐圧試験システムSYS1は、LCR測定装置1と、本発明における接続装置に相当するスキャナ装置11と、制御装置12と、耐圧試験器31と、複数の接触型のプローブP1〜P8とを備えて構成されている。
【0030】
スキャナ装置11は、第1群のスイッチS1〜S8と、第2群のスイッチS9,S10とを備えて構成されている。この場合、スイッチS1〜S8は、制御装置12から制御信号Sc1が出力された際には、ネットワーク素子2における第1番目の電極T1から第N(この例では8)番目の電極TN(この例ではT8)のうちの奇数番目の各電極Tに接続された各プローブPを第1グループとしてLCR測定装置1のプローブPHに接続すると共に偶数番目の各電極Tに接続された各プローブPを第2グループとしてグループ分けしてLCR測定装置1のプローブPLに接続する。また、スイッチS1〜S8は、制御装置12から制御信号Sc1の出力が停止された際には、各プローブP1〜P8とスイッチS9,S10の各接点とを接続する。なお、各スイッチS1〜S8の各c接点は、それぞれプローブP1〜P8に接続され、各プローブP1〜P8は、図外のプローブ自動接続機構によってネットワーク素子2の電極T1〜T8に接続される。一方、スイッチS9,S10は、制御装置12から出力される制御信号Sc2に従い、各a接点〜d接点のいずれかをe接点にそれぞれ接続する。
【0031】
制御装置12は、スキャナ装置11、LCR測定装置1および耐圧試験器31を制御する。具体的には、制御装置12は、制御信号Sc1を出力して各スイッチS1〜S8の切替を制御すると共に制御信号Sc2を出力して各スイッチS9,S10の切替を制御する。また、制御装置12は、LCR測定装置1に対してスタート信号St1を出力して測定を開始させると共に、LCR測定装置1から測定データDtが出力された際には、その測定データDtと所定の基準値(例えば、上記した値8・C)とを比較して、その基準値に対して90%〜110%の範囲内か否かを検査(比較)し、その検査結果(比較結果)に基づいて、電極T1〜T8とプローブP1〜P8との接続の良否を判別する。また、制御装置12は、接続が良好と判別したときには、制御信号Sc2を出力して各スイッチS9,S10の切替を制御すると共に耐圧試験器31に対してスタート信号St2を出力して耐圧試験を開始させる。
【0032】
この耐圧試験システムSYS1では、耐圧試験の際に、プローブ自動接続機構が、図外の搬送機構によって測定位置まで搬送された測定対象のネットワーク素子2における各電極T1〜T8に各プローブP1〜P8をそれぞれ自動接続する。次いで、制御装置12が、制御信号Sc1を出力することにより、各スイッチS1〜S8を切り替え制御してc接点とb接点とを接続する。この際には、スキャナ装置11は、プローブP1,P3,P5,P7を共通接続してLCR測定装置1のプローブPHに接続すると共にプローブP2,P4,P6,P8を共通接続してLCR測定装置1のプローブPLに接続する。次いで、制御装置12は、スタート信号St1をLCR測定装置1に出力する。これにより、LCR測定装置1は、容量測定を開始し、容量測定を終了した時点で、制御装置12に対して測定データDtを出力する。
【0033】
続いて、制御装置12は、測定データDtに基づいて接続不良と判別したときには、その旨を図外の表示装置に表示させると共にプローブ自動接続機構に対して各電極T1〜T8と各プローブP1〜P8との接続を解除させた後に、再度自動接続を実行させて、上記の処理を再度実行する。一方、接続良好と判別したときには、制御装置12は、その旨を表示装置に表示させると共に、制御信号Sc1の出力を停止することにより、各スイッチS1〜S8を切り替え制御してc接点とa接点とを接続させる。この際には、スイッチS1,S3,S5,S7の各a接点がスイッチS9のa接点〜d接点にそれぞれ接続されると共にスイッチS2,S4,S6,S8の各a接点がスイッチS10のa接点〜d接点にそれぞれ接続される。次いで、制御装置12は、制御信号Sc2を出力することにより、スイッチS9,S10を切り替え制御して各e接点と各a接点とを接続させる。この後、制御装置12は、スタート信号St2を耐圧試験器31に出力する。これにより、耐圧試験器31は、コンデンサC1に対する耐圧試験を開始し、その試験を終了した時点で、制御装置12に対して試験終了信号Seを出力する。この後、制御装置12は、制御信号Sc2を出力してスイッチS9.S10を切り替え制御することにより、耐圧試験器31に対して各コンデンサCの耐圧試験を順次実行させる。次いで、すべてのコンデンサCに対する耐圧試験を終了したときに、このネットワーク素子2に対する耐圧試験が終了する。
【0034】
このように、この耐圧試験システムSYS1によれば、スキャナ装置11が制御装置12によって制御されることによってプローブP1〜P8を2つにグループ分けして各グループのプローブPを共通接続すると共にその共通接続した各プローブPをLCR測定装置1のプローブPH,PLに自動接続し、かつ、その状態でLCR測定装置1が容量を測定することにより、各電極T1〜T8と各プローブP1〜P8との接続状態を1回で検査することができるため、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、耐圧試験のコスト、ひいてはネットワーク素子2の製造コストを十分に低減することができる。また、スキャナ装置11が制御信号Sc1,Sc2に従って接続処理を自動実行し、かつLCR測定装置1がスキャナ装置11によって接続処理が実行された状態において容量を自動測定することにより、人件費が不要となる結果、ネットワーク素子2に対する測定コストを格段に低減することができる。さらに、制御装置12がLCR測定装置1によって測定された測定値と基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態を判別することにより、コンタクト検査を自動化することができる。
【0035】
なお、本発明は、上記した各実施の形態に示した構成に限定されず、適宜変更することが可能である。例えば、ネットワーク素子2内の素子の種類はコンデンサCに限らず、抵抗やインダクタなどであってもよい。また、コンデンサ、抵抗およびインダクタが混在しているネットワーク素子であっても、そのネットワーク素子についての基準値を予め規定しておき、その基準値と測定値とを比較することで、すべての電極Tと、対応する各プローブPとの接触状態を1回でコンタクト検査することができる。また、本発明におけるインピーダンス測定装置はLCR測定装置1に限らず、ネットワーク素子内の電子部品を測定するのに適した各種測定装置を用いることができる。例えば、ネットワーク素子として、複数の抵抗を環状接続したタイプのものであれば、インピーダンス測定装置として、抵抗計を使用することができる。また、ネットワーク素子内の各電子部品を測定する順序を問わないのは勿論である。さらに、本発明に係るコンタクト検査システムは、耐圧試験システムSYS1への適用に限らず、各種電気的試験システムに適用が可能である。
【0036】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係るコンタクト検査方法およびコンタクト検査システムによれば、環状に配置される第1番目から第N番目の接続部のうちの奇数番目の各接続部にそれぞれ接続された各プローブを第1グループとすると共に、偶数番目の各接続部にそれぞれ接続された各プローブを第2グループとしてグループ分けし、第1グループに属するすべてのプローブの他端を共通接続し、第2グループに属するすべてのプローブの他端を共通接続し、2つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態を検査することにより、各接続部と各プローブとの接続状態を1回で検査することができるため、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、各種電気的試験のコスト、ひいてはネットワーク素子の製造コストを十分に低減することができる。また、プローブのいずれかに接触不良や未接続が生じている場合に、基準値と測定値との差分が顕著に現れるため、コンタクト検査の信頼性を十分に高めることができる。
【0037】
また、本発明に係るコンタクト検査方法によれば、環状に配置される第1番目から第N(Nは自然数)番目の接続部にプローブをそれぞれ接続すると共に、一方のグループのプローブと他方のグループのプローブとが2つずつ交互に分かれるように複数のプローブを 第1グループおよび第2グループにグループ分けし、第1グループに属するすべてのプローブの他端を共通接続し、第2グループに属するすべてのプローブの他端を共通接続し、2つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態を検査することにより、各接続部と各プローブとの接続状態を1回で検査することができるため、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、各種電気的試験のコスト、ひいてはネットワーク素子の製造コストを十分に低減することができる。
【0038】
また、本発明に係るコンタクト検査システムによれば、制御信号を接続装置に出力する制御装置を備えたことにより、接続装置による接続処理を自動的に実行させるシステムを構築することができる。
【0039】
さらに、本発明に係るコンタクト検査システムによれば、制御装置が制御信号を出力すると共に測定開始信号を出力し、測定装置が測定開始信号を入力したときにインピーダンスの測定を開始することにより、測定装置による測定を自動的に実行させるシステムを構築することができる。
【0040】
また、本発明に係るコンタクト検査システムによれば、制御装置がインピーダンス測定装置によって測定された測定値と予め規定された基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態を判別することにより、コンタクト検査を自動化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1の実施の形態に係るコンタクト検査方法を適用する検査系の回路図である。
【図2】 ネットワーク素子2における電極T5とプローブP5とが未接続の状態を示す回路図である。
【図3】 第2の実施の形態に係るコンタクト検査方法を適用する検査系の回路図である。
【図4】 ネットワーク素子2における電極T3とプローブP3とが未接続の状態を示す回路図である。
【図5】 コンタクト検査方法を適用する他の検査系の回路図である。
【図6】 耐圧試験システムSYS1の構成を示す構成図である。
【図7】 従来のコンタクト検査方法を適用する検査系の回路図である。
【符号の説明】
1,1−1〜1−4 LCR測定装置
2 ネットワーク素子
11 スキャナ装置
12 制御装置
C1〜C8 コンデンサ
P1〜P8,PH,PL プローブ
St スタート信号
SYS1 耐圧試験システム
T1〜T8 電極
Claims (6)
- 複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査方法であって、
前記複数のプローブを前記環状に配置される第1番目から第N(Nは自然数)番目の接続部のうちの奇数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第1グループと、偶数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第2グループとにグループ分けし、当該第1グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該第2グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該2つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を検査するコンタクト検査方法。 - 複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査方法であって、
前記複数のプローブを前記環状に配置される第1番目から第N(Nは自然数)番目の接続部に接続すると共に、一方のグループの前記プローブと他方のグループの前記プローブとが2つずつ交互に分かれるように当該複数のプローブを第1グループおよび第2グループにグループ分けし、当該第1グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該第2グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該2つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を検査するコンタクト検査方法。 - 複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査システムであって、
試験用信号を出力する出力部および当該試験用信号を入力する入力部を有する前記インピーダンス測定装置と、接続装置とを備えて構成され、
前記接続装置は、制御信号に従い、前記複数のプローブを前記環状に配置される第1番目から第N(Nは自然数)番目の接続部のうちの奇数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第1グループと、偶数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第2グループとにグループ分けし、かつ当該第1グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続して前記インピーダンス測定装置の前記出力部に接続すると共に当該第2グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続して前記インピーダンス測定装置の前記入力部に接続する接続処理を実行可能に構成され、
前記インピーダンス測定装置は、前記接続装置によって前記接続処理が実行された状態において前記出力部および前記入力部間のインピーダンスを測定して表示するコンタクト検査システム。 - 前記制御信号を前記接続装置に出力する制御装置を備えて構成されている請求項3記載のコンタクト検査システム。
- 前記制御装置は、前記制御信号を出力すると共に測定開始信号を出力可能に構成され、前記インピーダンス測定装置は、前記測定開始信号を入力したときに前記インピーダンスの測定をそれぞれ開始する請求項4記載のコンタクト検査システム。
- 前記制御装置は、前記インピーダンス測定装置によって測定された測定値と予め規定された基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を判別する請求項4または5記載のコンタクト検査システム。
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