JP4012371B2

JP4012371B2 - 欠陥検査装置及び方法

Info

Publication number: JP4012371B2
Application number: JP2001118379A
Authority: JP
Inventors: 幸彦山口; 功一村井
Original assignee: Fujifilm Corp
Current assignee: Fujifilm Corp
Priority date: 2001-04-17
Filing date: 2001-04-17
Publication date: 2007-11-21
Anticipated expiration: 2021-04-17
Also published as: US20020149771A1; US6897958B2; JP2002310923A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、写真フイルム等の被検査体の欠陥を検査する装置及び方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
写真フイルムの製造工程における最終検査では、全数の検査ではなく抜き取りで、例えばカートリッジ 1本分のサンプルフイルムを未露光で現像し、それを目視で観察することにより、増感欠陥（発色欠陥）の判定を行っている。なお、増感欠陥とは擦り傷、押し傷による圧力増感等によって発生し、フイルム現像後に濃度部として残る欠陥をいう。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記発色欠陥の検査は、検査員の目視により行われるため、時間と労力がかかる上に、検査員の個人差があり、さらに疲労による見逃しや判定レベルのばらつきがある。特に、黄色の発色欠陥は、他の赤色発色欠陥や青色発色欠陥に比べて同じ濃度でも目視では見つけにくく、見逃しやすいので判定精度が低下するという問題がある。
【０００４】
これを解決するために、写真フイルムを走査して発色欠陥を自動的に検査することも考えられる。しかしながら、自動的に検査する場合には目視の場合と異なり塵埃が付着しているか否かの判定が困難になる。これに対しては検査の前に除塵を施すことが行われるが、除塵によっても十分に除去することができない場合がある。そして、塵などが写真フイルムに付着した状態であると、この塵によって発色欠陥と同じように検査光の光量が低下する。したがって、エラー原因となり、判定精度が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明は上記課題を解決するものであり、塵などが付着した場合であっても判定精度が低下することのないようにした欠陥検査装置及び方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、複数の種類のサンプルフイルムが接合された長尺化写真フイルムに向けて検査光を照射し、前記長尺化写真フイルムを透過した検査光を受光する投受光手段と、前記検査光照射位置に向けて補助光を前記検査光とは異なる照射角度で照射する補助光照射手段と、前記投受光手段の出力信号を基準信号と比較し発色欠陥を判定する判定手段と、前記長尺化写真フイルムの接合部を検出する接合部センサと、この接合部センサの接合部検出信号に基づき次のサンプルフイルムに対する前記検査光の光量を一定に調整する光量調整手段とを備えている。
【０００７】
また、本発明は、複数の種類のサンプルフイルムが接合された長尺化写真フイルムに向けて検査光を前記長尺化写真フイルムの幅方向に細長い照射範囲で照射し、前記長尺化写真フイルムを透過した検査光を長尺化写真フイルムの幅方向に配置したラインセンサにより受光する投受光手段と、前記検査光照射位置に向けて補助光を前記長尺化写真フイルムの幅方向に細長い照射範囲で且つ前記検査光とは異なる照射角度で照射する補助光照射手段と、前記長尺化写真フイルムを送る送り手段と、前記投受光手段の出力信号を基準信号と比較し発色欠陥を判定する判定手段と、前記長尺化写真フイルムの接合部を検出する接合部センサと、この接合部センサの接合部検出信号に基づき次のサンプルフイルムに対する前記検査光の光量を一定に調整する光量調整手段とを備えている。
【０００８】
また、本発明は、複数の種類のサンプルフイルムが接合された長尺化写真フイルムを送る工程と、前記長尺化写真フイルムに向けて検査光と補助光とをその照射角度を変えて照射し、前記検査光により照明された長尺化写真フイルムを透過した光を、受光素子により長尺化写真フイルムの幅方向でライン状に、長尺化写真フイルムの送りに同期させて受光する工程と、前記受光素子からの出力信号を基準信号と比較し発色欠陥を判定する工程と、前記長尺化写真フイルムの接合部を接合部センサにより検出する接合部検出工程と、前記接合部検出工程による接合部検出信号に基づき、光量調整手段により次のサンプルフイルムに対する前記検査光の光量を一定に調整する光量調整工程とを有することを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の欠陥検査装置を示す概略図である。写真フイルム１０は、リール１１にロール状に巻き取られており、このリール１１がフイルム供給部１２の取付軸１３に装着される。リール１１からの写真フイルム１０は、ガイドローラ１５、駆動ローラ１６、張力調整ローラ１７等のフイルム搬送機構により、スプライスセンサ１８、パーフォセンサ１９を経て、検査ステージ２０に送られる。なお、各ローラ１５，１６，１７には図示は省略したが必要に応じてニップローラが設けられている。
【００１０】
図２に示すように、写真フイルム１０は、スプライステープ１０ａにより各サンプルフイルム１０ｂ，１０ｃが接合され長尺化されている。本実施形態では、１３５タイプのサンプルフイルム１０ｂと、ＩＸ２４０タイプのサンプルフイルム１０ｃとを混在させて長尺化している。スプライスセンサ１８は、スプライステープ１０ａが通過する位置に配置された投受光センサから構成されている。図１に示すように、スプライスセンサ１８からの信号はシステムコントローラ２１に送られる。システムコントローラ２１では、スプライステープ１０ａが通過する際の光量変化に基づきスプライステープ１０ａを検出する。システムコントローラ２１は、このスプライステープ１０ａの検出信号及び図示しないフイルム送りモータの駆動パルス数等に基づき、スプライステープ１０ａが検査ステージ２０を通過するタイミングを検出し、これに基づき各部を制御している。また、システムコントローラ２１は、キーボード２１ａ及びディスプレイ２１ｂを備えており、これらを用いて各種指令の入力や操作が行われる。
【００１１】
図３に示すように、パーフォセンサ１９は、写真フイルム１０の幅方向で配置されたラインセンサから構成されている。図１に示すように、このパーフォセンサ１９の出力はシステムコントローラ２１に送られる。システムコントローラ２１では、図４に示す処理手順により、各パーフォレーション２２，２３の位置に基づき、写真フイルム１０の幅方向における検査区間ＥＳ１，ＥＳ２を特定する。
【００１２】
フイルム種別の判定は次のようにして行われる。まず、図３に示すように、写真フイルム１０の両側のエッジから所定距離範囲内でパーフォレーション２２を検出したときに、１３５タイプと判定し、その画像記録領域ＥＡ１を幅方向での検査区間ＥＳ１として特定する。また、フイルム幅が狭く、パーフォレーション２３が一方のエッジ近くにのみ検出されるときには、ＩＸ２４０タイプと判定し、その画像記録領域ＥＡ２を検査区間ＥＳ２として特定する。パーフォセンサ１９の信号に基づく、各パーフォレーション２２，２３の判定は、信号レベルが高いセルが連続し、パーフォレーションのサイズに相当する一定エリアを構成する場合にパーフォレーションと判定する。または、周知のパターン認識技術に基づきパーフォレーションの形状、ピッチ、エッジからの検出位置等により、各パーフォレーション２２，２３を特定し、これに基づき検査区間ＥＳ１，ＥＳ２を求めてもよい。
【００１３】
図１に示すように、検査ステージ２０には、第１及び第２の欠陥検出部３０，３１と補助照明部３２とが設けられており、これらは写真フイルム１０の同一位置でその光軸Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３が交差するように配置されている。補助光軸Ｌ３は写真フイルム１０の面に対しほぼ直交するように配置され、他の光軸Ｌ１，Ｌ２は補助光軸Ｌ３に対しほぼ同じ交差角度で補助光軸Ｌ３の両側に配置される。
【００１４】
第１欠陥検出部３０は、シアン系、マゼンタ系の発色欠陥を検出するためのものであり、光源部３３、フイルタ部３４、ライン受光部３５から構成されている。光源部３３は写真フイルム１０の下方に配置されており、ライン状の照明エリアを有し、絞り装置３３ａを内蔵している。絞り装置３３ａは照明光量を変化させる。
【００１５】
写真フイルム１０の上方には、フイルタ部３４、ライン受光部３５が順に配置されている。フイルタ部３４は各種フイルタがセット可能に構成されており、本実施形態ではシアン系及びマゼンタ系の欠陥検出に最適なフィルタ３４ａがセットされている。ライン受光部３５は、図示しない結像レンズ及びラインＣＣＤを備えており、光源部３３により照明されて写真フイルム１０を透過した光を結像レンズによりラインＣＣＤの受光面に結像させる。ラインＣＣＤは、写真フイルム１０の送りに同期して、各セルの信号をシステムコントローラ２１内の欠陥判定部４０に出力する。
【００１６】
第２欠陥検出部３１は、イエロー系の発色欠陥を検出するためのものであり、第１欠陥検出部３０と同様に、光源部４２、フイルタ部４３、ライン受光部４４から構成されている。フイルタ部４３は各種フイルタがセット可能であるが、本実施形態ではイエロー系発色欠陥用のフイルタ４３ａがセットされている。
【００１７】
前記読取位置にはフイルムマスク５０が設けられている。図５に示すように、フイルムマスク５０は、１対の固定マスク５０ａ，５０ｂと、１対の可動マスク５０ｃ，５０ｄと、シフト部５０ｅ，５０ｆとから構成されている。シフト部５０ｅ，５０ｆはシステムコントローラ２１により制御され、可動マスク５０ｃ，５０ｄを接近離反自在に保持する。そして、システムコントローラ２１で特定された検査区間ＥＳ１，ＥＳ２に対応して、マスク開口５１の幅が設定される。
【００１８】
図６に示すように、補助照明部３２は第１及び第２欠陥検出部３０，３１の各光軸Ｌ１，Ｌ２が交差する読取位置を照明するように、写真フイルム面に対してほぼ直交するようにその光軸Ｌ３がセットされている。これにより、図６（Ａ）に示すように、写真フイルム１０に塵埃９が付着していた場合に、この塵埃部分で補助照明部３２からの補助光が分散され、各欠陥検出部３０，３１に入射するため、信号レベルが高くなり、他の発色欠陥８との識別が可能になる。
【００１９】
欠陥判定部４０では、各欠陥検出部３０，３１からの欠陥検出信号に基づき各色の発色欠陥を判定する。この判定では、欠陥検出信号と基準信号とを比較し、欠陥信号が基準値以下のときに欠陥信号を出力する。図７は、基準信号に基づき欠陥信号を判定する説明図であり、基準信号をしきい値として発色欠陥か塵埃によるノイズかを判定している。発色欠陥の場合には、図６（Ｂ）に示すように、発色欠陥８により透過光量が減少するため、図７のＳ１に示す信号となる。また、図６（Ａ）に示すように、塵埃９が写真フイルム１０に付着していた場合には、塵埃９で各検査光が減光されるが、この塵埃９で補助照明部３２からの補助光が分散し、これが第１及び第２欠陥検出部３０，３１に入射するため、図７のＳ２に示す信号となる。この場合には、信号Ｓ２のレベルが高くなり、塵埃９が発色欠陥と誤判定されることがない。
【００２０】
なお、欠陥判定部４０では、各欠陥検出部３０，３１からの出力をビット単位で取り込むことなく、ランレングス法により信号圧縮して取り込んでいる。このランレングス法では周知のように、変化点位置と変化量のみをメモリに取り込むことで、メモリの使用領域を減らすことができ、また高速処理が可能になる。
【００２１】
図１に示すように、欠陥判定部４０からの欠陥信号は位置特定部６０に送られる。位置特定部６０では、写真フイルム１０の送り量とラインＣＣＤの各画素位置情報とに基づき、欠陥８の位置を特定し、欠陥種別とともに、これを欠陥位置メモリ６１に記憶する。本実施形態では、欠陥種別は、発色欠陥のサイズで判定しており、大サイズ欠陥、中サイズ欠陥、小サイズ欠陥の３種類に分けている。この欠陥種別は欠陥種別判定部５９で判定される。欠陥種別判定部５９では、発色欠陥と判定された信号の位置情報に基づき、この位置情報における同一濃度部分を抽出し、この抽出したエリアのサイズによって、大サイズ欠陥、中サイズ欠陥、小サイズ欠陥を判別する。
【００２２】
また、システムコントローラ２１は、スプライステープの検出信号に基づき各サンプルフイルムの先頭位置で且つスプライステープを外れた位置で各サンプルフイルムの濃度を各欠陥検出部３０，３１により検出する。そして、フイルム種別に関係なく、常に一定した信号レベルになるように、光源部３３，４２の絞り装置３３ａ，４２ａを駆動制御して光量を調節する。したがって、サンプルフイルム１０ｂが変わっても、欠陥判定部４０には常に一定した信号が出力される。
【００２３】
検査ステージ２０の下流にはマーキング装置６５が設けられている。マーキング装置６５は、欠陥位置メモリ６１からの欠陥位置と欠陥信号とに基づき各欠陥位置にマークを付す。マークは例えば大きな欠陥に対しては丸マークが、中程度のサイズの欠陥に対しては三角マークが、小さな欠陥に対して四角マークがレーザー照射によって付される。このように、欠陥に対しマークを付し、しかも欠陥サイズに応じてマーク形状を変えているため、欠陥の原因を解析する際に、各欠陥の特定が容易になる。なお、マークの付与は、レーザー記録の他に周知の他の方式の記録を用いもよい。発色欠陥にマークが付された写真フイルム１０は巻取りリール６６に巻き取られる。
【００２４】
検査ステージ２０には、基準フイルムセット部７０が設けられている。写真フイルム１０が検査ステージ２０に無い状態のときに、この基準フイルムセット部７０を用いて、基準フイルム７１が読取位置にセットされる。この基準フイルム７１のセットは、始業時や検査装置の電源投入時に行われ、この基準フイルム７１を各欠陥検出部３０，３１のラインＣＣＤで読み取って、ラインＣＣＤの各セルの補正や、シェーディング補正が行われる。これらの補正値は所定の基準セルと同一出力が得られるように、各セルの出力に乗じる補正係数として求められ、図示しないメモリに記憶される。そして、欠陥を読み取るときには、各セルの出力に補正係数を乗じて、各種補正がなされる。
【００２５】
次に本実施形態の作用を説明する。まず、サンプルフイルム１０ｂ，１０ｃは周知のスプライサを用いてスプライステープ１０ａにより接合され、数十ｍの長さを有する長尺化フイルム１０にされ、リール１１に巻き取られる。この長尺化フイルム１０は図示しないフイルムプロセサで現像処理される。現像処理済みの長尺化フイルム１０はリール取付部１２にセットされる。写真フイルム１０の先端にはリーダーが接合されており、このリーダーが写真フイルム検査装置のフイルム搬送路にセットされる。次に、キーボード２１ａのスタートキーを操作して検査を開始すると、まず、スプライスセンサ１８で接合部が検出される。また、パーフォセンサ１９により写真フイルム１０のパーフォレーション２２，２３が検出され、このパーフォレーション２２，２３の位置及びサイズによって、写真フイルム１０が１３５タイプかＩＸ２４０タイプかが判定される。
【００２６】
スプライスセンサ１８からの出力に基づきシステムコントローラ２１は、検査ステージ２０の読取位置をスプライステープが通過した直後に、フイルム送りを停止する。そして、この状態で、写真フイルム１０の基準濃度が各欠陥検出部３０，３１により検出される。このとき各光源部３３，４２及び補助照明部３２が点灯される。基準濃度の算出では、欠陥８や塵埃９の部分の信号は除外されて、サンプルフイルム１０ｂの基準濃度が算出される。そして、算出基準濃度が一定値になるように、光源部３３，４２の絞り装置３３ａ，４２ａが制御されて、光量が最適になるように調整される。
【００２７】
次に、フイルム種別信号に応じて検査区間が特定され、これに応じて、フイルムマスク５０のマスク開口５１の幅がＥＳ１，またはＥＳ２に調整される。そして、写真フイルム１０が一定速度で送られ、この送りに同期して各欠陥検出部３０，３１により欠陥信号が欠陥判定部４０に取り込まれる。図６（Ａ）に示すように、写真フイルム１０に塵埃９が付着している場合には、補助光の照射によって塵埃９で補助光が分散する。このため、図７に示すように、塵埃における各欠陥検出部の出力信号はＳ２のように補助光の分散によって上げられる。したがって、発色欠陥８のように一定濃度を有する部分によって信号レベルが低下しているものＳ１と、塵埃によるものＳ２との各信号が明確に識別される。これにより、発色欠陥のみを自動的に精度よく抽出することができる。
【００２８】
発色欠陥の検出信号は位置特定部６０に送られる。位置特定部６０では、発色欠陥の種類とともにその位置情報を欠陥位置メモリ６１に記憶する。
【００２９】
マーキング装置６５ではメモリ６１に記憶された位置情報と発色欠陥の種別信号に応じて、各発色欠陥にマーキングを施す。本実施形態では、発色欠陥のサイズに応じてマーク形状を変えている。マーキングが施された長尺化フイルム１０は巻取り側のリール６６に巻き取られる。全てのサンプルフイルムについて、欠陥検査が終了すると、リール６６に巻き取られた長尺化フイルム１０は取付軸６７から取り外された後に、各サンプルフイルムに分離される。そして、このサンプルフイルムのマーキングに基づき発色欠陥の原因追求などが行われる。
【００３０】
なお、上記実施形態では、第１欠陥検出部３０と第２欠陥検出部３１とを備えたが、欠陥検出部の配置個数は２個に限定されることなく、１個または３個以上設けてもよい。例えば３層の感光発色層を有する写真フイルムの場合に、各色の発色欠陥に対応させて、第１〜第３の欠陥検出部を設ける。この場合には、フイルタ部に各色の発色欠陥の認識が容易になるようなフイルタをセットする。
【００３１】
また、ラインＣＣＤにより写真フイルムの幅方向を走査したが、走査読取方式はこれに限定されない。例えば、特開平６−２０７９１０号公報に記載されているようなレーザー光を用いて、上記実施形態のような補助光照射位置でフイルム幅方向に走査し、この透過光を光電変換することで欠陥を検出する装置に、本発明を実施してもよい。この場合にも、補助光の照射によって塵埃と発色欠陥との信号レベルを明確に分けることができる。
【００３２】
上記実施形態ではラインセンサを用いて、１３５タイプとＩＸ２４０タイプとを識別したが、これに代えて、各パーフォレーションが通過する位置に投受光センサを配置し、これら投受光センサの信号に基づき検査範囲を特定してもよい。また、スプライステープ１０ａにフイルム種別バーコードを記録しておき、このフイルム種別バーコードを読み取ることで、フイルム種別及びその検査範囲を特定してもよい。また、上記実施形態では可変フイルムマスク５０を用いて、各フイルム種別に応じた検査領域になるようにマスク開口５１を調節したが、これを用いることなく、単に、欠陥検出部のラインＣＣＤのデータ採取セルを検査領域に対応させて選択してもよい。
【００３３】
なお、上記実施形態では、増感欠陥として、擦り傷や押し傷などによる圧力増感によるものを検出するようにしたが、この他に、スタチック光またはその他の光によるカブリや、増感性物質（写真性有害物質）との接触によるカブリ、濃度変化を伴う塗布故障（異物、油滴、泡スジ、尾引き等）、濃度変化を伴うベース故障などによる増感欠陥を検出する場合に、本発明を実施してもよい。
【００３４】
【発明の効果】
本発明によれば、被検査体に向けて検査光と補助光とをその照射角度を変えて照射し、前記検査光により照明された被検査体を透過した光を受光センサで受光し、この投受光センサの検査信号を基準信号と比較し発色欠陥を判定するから、被検査体に塵埃が付着している場合には、この塵埃で補助光が分散する。したがって、この分散した光が受光センサに入射して信号レベルを上げるため、発色欠陥との差異が明確になり、発色欠陥を精度よく検出することができる。
【００３５】
検査光の色を変えた複数の投受光手段を設け、その検査光軸を前記検査光照射位置で交差させて配置し、前記補助光の光軸が前記検査光軸の交差角をほぼ二等分するように前記補助光照射手段を配置することにより、補助光を共用することができ構成が簡単になる他に、被検査体の発色欠陥を色別で検出することができ、検出精度が向上する。
【００３６】
複数の種類のサンプルフイルムが接合された長尺化写真フイルムに対し検査を行うことにより、検査効率が向上する。また、長尺化写真フイルムの接合部を検出する接合部センサと、この接合部センサの接合部検出信号に基づき次のサンプルフイルムに対する前記検査光の光量を一定に調整する光量調整手段とを備えることにより、フイルムの種別が変わっても常に一定したレベルの欠陥信号が得られ、後の欠陥判定処理を簡単に行うことができる。
【００３７】
写真フイルムのパーフォレーションを検出し写真フイルムの種別を特定するフイルム種別特定手段と、このフイルム種別特定手段によるフイルム種別信号に基づき、写真フイルムの検査領域を特定する検査領域特定手段とを備えることにより、写真フイルムの種別が変わっても、自動的に欠陥を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の欠陥検査装置の基本的構成を示す概略図である。
【図２】サンプルフイルムの接合状態と、スプライスセンサとを示す平面図である。
【図３】パーフォセンサを示す平面図である。
【図４】パーフォレーションの検出に基づき検査区間を特定する処理手順を示すフローチャートである。
【図５】マスク開口が可変自在なフイルムマスクの一例を示す概略図である。
【図６】（Ａ）は塵埃が読取位置に来たときの状態を示す正面図であり、（Ｂ）は発色欠陥が読取位置に来たときの状態を示す正面図である。
【図７】基準信号に基づき欠陥信号を判定する説明図である。
【符号の説明】
８発色欠陥
９塵埃
１０写真フイルム
１０ａスプライステープ
１０ｂ，１０ｃサンプルテープ
１８スプライスセンサ
１９パーフォセンサ
２１システムコントローラ
３０，３１欠陥検出部
３２補助照明部
５０フイルムマスク

Claims

複数の種類のサンプルフイルムが接合された長尺化写真フイルムに向けて検査光を照射し、前記長尺化写真フイルムを透過した検査光を受光する投受光手段と、
前記検査光照射位置に向けて補助光を前記検査光とは異なる照射角度で照射する補助光照射手段と、
前記投受光手段の出力信号を基準信号と比較し発色欠陥を判定する判定手段と、
前記長尺化写真フイルムの接合部を検出する接合部センサと、
この接合部センサの接合部検出信号に基づき次のサンプルフイルムに対する前記検査光の光量を一定に調整する光量調整手段とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
複数の種類のサンプルフイルムが接合された長尺化写真フイルムに向けて検査光を前記長尺化写真フイルムの幅方向に細長い照射範囲で照射し、前記長尺化写真フイルムを透過した検査光を長尺化写真フイルムの幅方向に配置したラインセンサにより受光する投受光手段と、
前記検査光照射位置に向けて補助光を前記長尺化写真フイルムの幅方向に細長い照射範囲で且つ前記検査光とは異なる照射角度で照射する補助光照射手段と、
前記長尺化写真フイルムを送る送り手段と、
前記投受光手段の出力信号を基準信号と比較し発色欠陥を判定する判定手段と、
前記長尺化写真フイルムの接合部を検出する接合部センサと、
この接合部センサの接合部検出信号に基づき次のサンプルフイルムに対する前記検査光の光量を一定に調整する光量調整手段とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
前記検査光の色を変えた複数の投受光手段を設け、
その検査光軸を前記検査光照射位置で交差させて配置し、前記補助光の光軸が前記検査光軸の交差角をほぼ二等分するように前記補助光照射手段を配置したことを特徴とする請求項１または２記載の欠陥検査装置。
前記写真フイルムのパーフォレーションを検出し写真フイルムの検査領域を特定する検査領域特定手段を備えたことを特徴とする請求項３記載の欠陥検査装置。
複数の種類のサンプルフイルムが接合された長尺化写真フイルムを送る工程と、
前記長尺化写真フイルムに向けて検査光と補助光とをその照射角度を変えて照射し、前記検査光により照明された長尺化写真フイルムを透過した光を、受光素子により長尺化写真フイルムの幅方向でライン状に、長尺化写真フイルムの送りに同期させて受光する工程と、
前記受光素子からの出力信号を基準信号と比較し発色欠陥を判定する工程と、
前記長尺化写真フイルムの接合部を接合部センサにより検出する接合部検出工程と、
前記接合部検出工程による接合部検出信号に基づき、光量調整手段により次のサンプルフイルムに対する前記検査光の光量を一定に調整する光量調整工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法。