JP3996892B2 - 整列サブシステムを備えるリソグラフィ装置、整列を使うデバイス製造方法、および整列構造体 - Google Patents
整列サブシステムを備えるリソグラフィ装置、整列を使うデバイス製造方法、および整列構造体 Download PDFInfo
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Description
− 所望のパターンに従って放射線の投影ビームをパターン化するのに役立つパターニング手段(MA)を支持するための支持構造体(MT);
− 空間的に周期的な光学特性を有する整列構造体(10)を上に備える基板(W)を保持するための基板テーブル(WT);および
− この基板テーブル(WT)上の基板(W)をこのパターニング手段(MA)に対して整列するための整列サブシステム(21)を含み、この整列サブシステム(21)が
−空間的に周期的な整列構造体(10)とパターニング手段(MA)に対して定める参照位置との相対位置によって強度が変動する測定光を作るために、整列構造体(10)が反射または透過した光を光学的に処理するための光学装置(20、24、26);
−測定光の強度および/または位相情報を測定するために光学的干渉装置に結合したセンサ、
−測定光の強度および/または位相情報に基づいて基板テーブル(WT)とパターニング手段(MA)の相対位置を制御するためのアクチュエータ(PW)を含むリソフラフィ装置に関する。
− 少なくとも部分的に放射線感応材料の層で覆われた基板(W)を用意し、この基板(W)が空間的に変動する光学特性を有する整列構造体(10)を含む工程;
− 放射線の投影ビームの断面にパターンを付けるためにパターニング手段(MA)を使う工程;
− 基板(W)をパターニング手段(MA)に対して整列する工程を含み、この整列工程が:
−基板(W)を、空間的に周期的な整列構造体(10)とパターニング手段(MA)に対して定める参照位置との相対位置によって強度が変動する測定光を作るために、整列構造体(10)が反射または透過した光を光学的に処理するための光学装置(20、24、26)に組入れる工程;
−測定光の強度および/または位相情報を測定する工程;
−強度および/または位相情報に基づいて基板(W)とパターニング手段(MA)の相対位置を制御する工程を含み;および
− 放射線のパターン化したビームを放射線感応性材料の層の目標部分上に投影する工程、を含むデバイス製造方法に関する。
− マスク。マスクの概念は、リソグラフィでよく知られ、それには、二値、交互位相シフト、および減衰位相シフトのようなマスク型、並びに種々のハイブリッドマスク型がある。そのようなマスクを放射線ビーム中に置くと、このマスク上のパターンに従って、このマスクに入射する放射線の選択透過(透過性マスクの場合)または選択反射(反射性マスクの場合)を生ずる。マスクの場合、この支持構造体は、一般的にマスクテーブルであり、それがこのマスクを入射放射線ビームの中の所望の位置に保持できること、およびもし望むなら、それをこのビームに対して動かせることを保証する。
− プログラム可能LCDアレイ。そのような構成の例は、米国特許第5,229,872号明細書で与えられ、それを参考までにここに援用する。上記同様、この場合の支持構造体は、例えば、必要に応じて固定または可動でもよい、フレームまたはテーブルとして具体化してもよい。
この実施例は、整列サブシステム用にウエハ上に二つの整列構造体(例えば、8.0μmおよび8.8μm位相格子)が存在するときにも使ってよい。第1整列構造体用に第1方向に角度αで対角線走査を行ってから、第2整列構造体用にこの走査を繰返すが、今度は第1方向に角度−αで行う。これは、より高い信頼性の捕捉位置(より頑健な解決策)をもたらすだろう。
α=0°に対して、走査は、第1方向に沿ってだけ行う。この整列構造体が、やはりこの第1方向に、有限寸法であるために、これは、第1方向の捕捉位置をもたらす。
この発明によれば、位相情報制御の下の整列は、整列構造体と参照構造体が重複結像関係にあるように基板の位置を選択する、選択ステップを伴う。この選択ステップは、干渉装置からの測定光出力の強度変動の振幅を決めること、および整列構造体と参照構造体が重複結像関係にあるような基板の位置の探索を伴う。このため、強度測定は、それぞれ、整列ステップ用と予備位置決めステップ用に異なる処理を受ける。整列中、この強度の周期的変動の位相を決め、選択中、変動の振幅情報を、好ましくは整列構造体の相対運動による変動と整合しない変動を濾過して取除いてから、決める。これは検出器で行い、それは位相測定にも使われる、同じ種類の強度情報を処理する適当にプログラム可能なコンピュータとして実現してもよいが、専門化した検出ハードウェアを使っても同様によい。続いて、整列をこの振幅の大きさが最大値の位置またはその近くで行う。
位相格子整列技術を整列用に使うのが好ましく、そこでは整列構造体からの選択した次数の回折だけを振幅を決めるために使う。
本デバイス製造方法の更に有利な実施例は、方法の従属請求項に挙げてある。これらの実施例は、関連する装置請求項に関して上に述べた利点に対応する利点をもたらす。
− 放射線(例えば、EUV放射線)の投影ビームPBを供給するための、放射線システムEx、ILで、この特別の場合、放射線源LAも含むシステム;
− マスクMA(例えば、レチクル)を保持するためのマスクホルダを備え、且つこのマスクを部材PLに関して正確に位置決めするために第1位置決め手段PMに結合された第1物体テーブル(マスクテーブル)MT;
− 基板W(例えば、レジストを塗被したシリコンウエハ)を保持するための基板ホルダを備え、且つこの基板を部材PLに関して正確に位置決めするために第2位置決め手段PWに結合された第2物体テーブル(基板テーブル)WT;および
− マスクMAの被照射部分を基板Wの目標部分C(例えば、一つ以上のダイを含む)上に結像するための投影システム(“レンズ”)PLを含む。
ここに描くように、この装置は、透過型である(即ち、透過性のマスクを有する)。しかし、一般的に、それは、例えば、(反射型マスクを備える)反射型でもよい。その代りに、この装置は、上に言及した種類のプログラム可能ミラーアレイのような、他の種類のパターニング手段を使ってもよい。
1.ステップモードでは、マスクテーブルMTを本質的に固定して保持し、全マスク像を目標部分C上に一度に(即ち、単一“フラッシュ”で)投影する。次に基板テーブルWTをxおよび/またはy方向に移動して異なる目標部分CをビームPBで照射できるようにする;および
2.走査モードでは、与えられた目標部分Cを単一“フラッシュ”では露出しないことを除いて、本質的に同じシナリオを適用する。その代りに、マスクテーブルMTが与えられた方向(所謂“走査方向”、例えば、y方向)に速度vで動き得て、それで投影ビームPBがマスク像の上を走査させられ;同時に、基板テーブルWTがそれと共に同じまたは反対方向に速度V=Mvで動かされ、このMはレンズPLの倍率(典型的には、M=1/4または1/5)である。この様にして、比較的大きい目標部分Cを、解像度について妥協する必要なく、露出することができる。
更に、放射線が最初に基板Wから反射され、次に検出の前に参照格子26を通過する構成を示すが、他の構成を使ってもよいことを理解すべきである。例えば、参照構造体26から反射した放射線を検出してもよく、および/または基板Wが許すなら、基板Wを透過した放射線を使ってもよい。同様に、放射線を基板Wに送る前に最初に検出に先立って(反射または透過のために)参照構造体26へ送ってもよい。また、勿論、この発明は、図2に示す垂直入射に限定されない。
この第2種類のマーク10の第1実施例では、汎用スクライブ線1次マーク(VSPM)、通常の8.0μm位相格子マークまたは8.0μmと8.8μm位相マークの組合せのような、通常使用するマークの有限特性を使用する。或る実施例では、マークの存在をこのマーク10の縦方向に対して角度αで走査する。この角度αは、0°と90°の間で変動してもよく、このα=0°およびα=90°は特別な場合である。図7に、照明スポットによる走査の例示装置と二つの別々の位相格子31、32を含む既存の位相格子マーク10を示す。この場合、両位相格子31、32(例えば、8.0μmおよび8.8μm位相格子)の存在を同じ(しかし、反対符号の)走査角αで照明スポット30によって走査する。図7に、座標軸も示し、位相格子31および32がx方向に長く、y方向に短いことを示す。
図7に示す実施例を参照して、先に議論したような対角線走査法も単一格子31だけを使って実行してもよい。
A2(x,y)=(Sum cos(k(x−x’))s(x’,y’))2+(Sum sin(k(x−x’))s(x’,y’))2
tg(f)=a/b
但し、
a=Sum sin(k(x”−x0))s(x”,y”)
b=Sum cos(k(x”−x0))s(x”,y”)
f=2p(x0−xr)/p
この位相の決定を多数の回折次数の対に対して行い、計算した位相の組合せを使って整列構造体の位置を決めるのが好ましい。
小さな整列構造体に対してだけ幾つかの平行走査経路を使うことが必要かも知れず、最も高い最大値が起る走査経路を特定して位置を決めるために使う。
11 第1部分
12 第2部分
15 非周期的形態
20 放射線源
21 整列サブシステム
24 結像構造体
26 参照構造体
28 センサ
MA パターニング手段
MT 支持構造体
PW アクチュエータ
W 基板
WT 基板テーブル
Claims (43)
- リソグラフィ装置であって:
− 所望のパターンに従って放射線の投影ビームをパターン化するのに役立つパターニング手段(MA)を支持するための支持構造体(MT);
− 空間的に周期的な光学特性を有する整列構造体(10)を上に備える基板(W)を保持するための基板テーブル(WT);および
− 該基板テーブル(WT)上の基板(W)を前記パターニング手段(MA)に対して整列するための整列サブシステム(21)を含み、該整列サブシステム(21)が
−空間的に周期的な整列構造体(10)と前記パターニング手段(MA)に対して定める参照位置との相対位置によって強度が変動する測定光を作るために、整列構造体(10)が反射または透過した光を光学的に処理するための光学装置(20、24、26);
−測定光の強度および/または位相情報を測定するために光学的干渉装置に結合したセンサ、
−測定光の強度および/または位相情報に基づいて基板テーブル(WT)とパターニング手段(MA)の相対位置を制御するためのアクチュエータ(PW)、を含むリソグラフィ装置に於いて、
前記整列サブシステム(21)が、更に、整列構造体上に設けてある、捕捉位置またはチェック位置として検出可能な非周期的形態(15)を使うように構成してあることを特徴とするリソグラフィ投影装置。 - 請求項1に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記整列サブシステムが、前記測定光の検出した位相情報の位相シフトから前記捕捉位置またはチェック位置を検出するように構成してあり、位相シフトは前記非周期的形態(15)が誘起する装置。
- 請求項2に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)のラインまたはスペースの一方の幅の変化を含み、それが前記整列構造体の二つの部分(11、12)の間の位相シフトをもたらし、および前記整列システムが前記測定光の検出した位相情報の位相シフトから前記捕捉位置またはチェック位置を検出するように構成してある装置。
- 請求項2に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記光学的干渉装置が参照格子(26)を含み、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)の、それぞれ、第1および第2周期性を備える第1部分(11)から第2部分(12)への移行部を含み、第1周期性が参照格子の周期性よりも長く、第2周期性が参照格子の周期性よりも短く、並びに上記整列サブシステム(21)が前記測定光の結果の傾斜した位相情報から前記捕捉位置またはチェック位置を検出するように構成してある装置。
- 請求項1に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記整列サブシステム(21)が前記測定光の強度情報の空間依存性から前記捕捉位置またはチェック位置を検出するように構成してあり、空間依存性は前記非周期的形態(15)が誘起する装置。
- 請求項6に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)の有限寸法を含み、そして、前記整列サブシステム(21)が前記測定光の強度の包絡線から前記捕捉位置またはチェック位置を検出するように構成してある装置。
- 請求項7に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記整列構造体(10)が第1方向に第1寸法および第2方向に第2寸法を有し、該第2方向が前記第1方向と実質的に直角を成し、前記非周期的形態(15)が整列構造体(10)の第1および/または第2寸法であり、および前記整列サブシステム(21)が前記測定光の強度の包絡線から前記捕捉位置またはチェック位置を検出するように構成してある装置。
- 請求項6に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)の第1部分(11)から前記整列構造体(10)の第2部分(12)への移行部によって形成してあり、第1部分(11)がXμmの周期性を有しおよび第2部分(12)がX/nの周期性を有し、nが整数であり、そして、前記整列サブシステム(21)が前記測定光のn次回折の強度の変化から前記捕捉位置またはチェック位置を検出するように構成してある装置。
- 請求項6に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)の第1部分(11)から前記整列構造体(10)の第2部分(12)への移行部によって形成してあり、第1部分(11)がラインとスペースの第1使用率値を有しおよび第2部分(12)がラインとスペースの第2使用率値を有し、そして、前記整列サブシステム(21)が前記測定光の強度の変化から前記捕捉位置またはチェック位置を検出するように構成してある装置。
- 請求項1に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記整列サブシステム(21)が更に:
−前記強度情報から前記位相を決めるために前記センサ(28)に結合された位相決定手段;
−前記測定光の強度の周期的変動の振幅についての情報を前記基板テーブル(WT)と前記パターニング手段(MA)の相対位置の関数として決め、異なる振幅についての情報を上記整列構造体(10)のサイズ以上に及ぶ相対位置の範囲に亘って得るための振幅検出器;
−その範囲の中で前記振幅を最大にする整列位置を探索するための探索手段を含み、
前記位相決定手段が整列位置に依存して選択した相対位置で測定した強度情報の測定値から位相を決めるように構成してある装置。 - 請求項11に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記振幅検出器が、位置の関数として決定した強度情報から濾過した信号を作るように構成してあって前記整列構造体に対応する空間周波数で強度情報の位置依存性変動を選択的に通す周波数選択フィルタを含み、前記検出器が濾過した信号から振幅についての情報を決める装置。
- 請求項11または請求項12の何れか一項に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記アクチュエータ(PW)が前記相対位置の一方向を制御するために位相を使うように構成してあり、前記方向は前記空間的に周期的な整列構造体の光学特性が周期的に変動する方向と一致し、前記振幅が最大になる前記相対位置の範囲は前記基板(W)上の二方向に分布する装置。
- 請求項11ないし請求項13の何れか一項に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記アクチュエータ(PW)が前記相対位置の一方向を制御するために位相を使うように構成してあり、前記一方向は前記空間的に周期的な整列構造体の光学特性が周期的に変動する方向と一致し、前記振幅が最大になる前記相対位置の範囲は前記方向と直角な単一の更なる方向に分布する装置。
- 請求項11に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記アクチュエータ(PW)は前記相対位置の第1方向を制御するために位相を使うように構成してあり、前記アクチュエータ(PW)は、更なる空間的に周期的な整列構造体を使って位相格子整列測定から決めた更なる位相を使って前記相対位置の第2方向を制御するように構成してあり、更なる空間的に周期的な整列構造体は第2方向に沿って空間的に周期的に変動する光学特性を有し、前記振幅検出器は、前記空間的に周期的な整列構造体および更なる空間的に周期的な整列構造体から前記基板テーブル(WT)と前記パターニング手段(MA)の関数として前記測定光の強度の、それぞれ、第1および第2方向と直角な方向の周期的変動の振幅についての情報を決めるように構成してあり、前記探索が、前記空間的に周期的な整列構造体および更なる空間的に周期的な整列構造体用に、それぞれ、第1および第2方向と直角な方向に決めた振幅を最大にする位置の探索を含む装置。
- 請求項11ないし請求項15の何れか一項に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記光学的干渉装置は、前記整列構造体が1対の相対する非ゼロ次回折に対応する方向に回折した測定光の強度情報を選択的に測定するように構成されている装置。
- 請求項11ないし請求項16の何れか一項に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記光学的干渉装置が
−空間的に周期的に変動する反射および/または透過特性を有する参照構造体;
−前記基板(W)と参照構造体との間に結像関係を創るための結像要素を含み、該参照構造体は、参照構造体上に結像したときに前記整列構造体の周期に対応する周期を有し、前記センサは、参照構造体と前記整列構造体の両方が反射および/または透過した測定光の強度情報を測定する装置。 - − 少なくとも部分的に放射線感応材料の層で覆われた基板(W)を用意し、該基板(W)が空間的に変動する光学特性を有する整列構造体(10)を含む工程;
− 放射線の投影ビームの断面にパターンを付けるためにパターニング手段(MA)を使う工程;
− 基板(W)をパターニング手段(MA)に対して整列する工程を含み、該整列工程が:
−基板(W)を、空間的に周期的な整列構造体(10)とパターニング手段(MA)に対して定める参照位置との相対位置によって強度が変動する測定光を作るために、整列構造体(10)が反射または透過した光を光学的に処理するための光学的干渉装置(20、24、26)に組入れる工程;
−測定光の強度および/または位相情報を測定する工程;
−強度および/または位相情報に基づいて基板(W)とパターニング手段(MA)の相対位置を制御する工程を含み;および
− 放射線のパターン化したビームをこの放射線感応性材料の層の目標部分上に投影する工程、を含むデバイス製造方法に於いて、
前記基板(W)が、捕捉位置またはチェック位置として検出可能な非周期的形態(15)を含む整列構造体(10)を使って、パターニング手段(MA)に対して整列されることを特徴とするデバイス製造方法。 - 請求項18に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記非周期的形態(15)が前記測定光の検出した位相情報に位相シフトを誘起する方法。
- 請求項19に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)のラインまたはスペースの一つの幅の変化による前記整列構造体(10)の二つの部分(11、12)の間の位相シフトによって作られている方法。
- 請求項19に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記光学的干渉装置が参照格子(26)を含み、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)の、それぞれ、第1および第2周期性を備える第1部分(11)から第2部分(12)への移行部を含み、第1周期性が参照格子の周期性よりも長く、第2周期性が参照格子の周期性よりも短く、そして前記捕捉位置またはチェック位置を前記測定光の結果の傾斜した位相情報から検出する方法。
- 請求項18に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記非周期的形態(15)が前記測定光の検出した強度情報に強度の空間依存性を誘起する方法。
- 請求項23に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)の有限寸法を含み、および前記捕捉位置またはチェック位置を前記測定光の強度の包絡線から検出する方法。
- 請求項24に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記整列構造体(10)が第1方向に第1寸法および第2方向に第2寸法を有し、第2方向が第1方向と実質的に直角を成し、そして、前記非周期的形態(15)が整列構造体(10)の第1および/または第2寸法である方法。
- 請求項23に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)の第1部分(11)から前記整列構造体(10)の第2部分(12)への移行部によって形成されていて、第1部分(11)がXμmの周期性を有しおよび第2部分(12)がX/nの周期性を有し、nが整数であり、かつ前記捕捉位置またはチェック位置を前記測定光のn次回折の強度の変化から検出する方法。
- 請求項23に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)の第1部分(11)から前記整列構造体(10)の第2部分(12)への移行部によって形成されていて、第1部分(11)がラインとスペースの第1使用率値を有しおよび第2部分(12)がラインとスペースの第2使用率値を有し、前記捕捉位置またはチェック位置を前記測定光の強度の変化から検出する方法。
- 請求項18に記載されたデバイス製造方法であって:
−前記基板(W)上の相互に非重複の利用可能域が前記測定光に寄与する相対位置を含む連続する相対位置について前記測定光の強度を検知する工程;
−前記測定光の強度の周期的変動の振幅についての情報を決める工程;
−利用可能域の中で前記振幅を最大にする最適相対位置を探索する工程;
−最適相対位置を使って測定領域を選択し、そこから前記測定光を使って位相を決める工程、をさらに含む方法。 - 請求項28に記載されたデバイス製造方法であって:
−位置の関数として決定した強度情報を、前記整列構造体(10)に対応する周波数で強度情報の位置依存性変動を選択的に通す周波数選択フィルタで濾過する工程、および
−濾過した信号から振幅についての情報を決める工程、を含む方法。 - 請求項28に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記位相を使って前記相対位置の一方向を制御し、該一方向は前記空間的に周期的な整列構造体(10)の光学特性が周期的に変動する方向と一致し、前記振幅が最大になる前記相対位置の範囲は前記方向と直角の単一の更なる方向に分布する方法。
- 請求項28に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記位相を使って前記相対位置の第1方向を制御し、前記相対位置の第2方向は更なる空間的に周期的な整列構造体を使って位相格子整列測定から決めた更なる位相を使って制御し、更なる空間的に周期的な整列構造体は第2方向に沿って空間的に周期的に変動する光学特性を有し、前記測定光の強度の周期的変動の振幅についての情報を、前記空間的に周期的な整列構造体および更なる空間的に周期的な整列構造体から前記基板テーブル(WT)と前記パターニング手段(MA)の関数として、それぞれ、第1および第2方向と直角な方向に決め、前記探索工程が、前記空間的に周期的な整列構造体および更なる空間的に周期的な整列構造体用に、それぞれ、第1および第2方向と直角な方向に決めた振幅を最大にする位置の探索工程を含む方法。
- 請求項28ないし請求項31の何れか一項に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記整列構造体(10)は単一の周期的方向に沿って空間的に周期的に可変であり、前記位相を使って前記相対位置の一方向を制御し、該方向は単一の周期的方向と一致し、前記振幅が最大になる前記相対位置の範囲は前記基板(W)上の二方向に分布する方法。
- 請求項28ないし請求項32の何れか一項に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記整列構造体(10)が1対の相対する非ゼロ次回折に対応する方向に回折した測定光の強度情報を測定する工程を含む方法。
- 請求項28ないし請求項33の何れか一項に記載されたデバイス製造方法に於いて、前記光学的干渉装置が前記基板(W)と空間的に周期的に変動する反射および/または透過特性を有する参照構造体との間に結像関係を創るための結像要素を含み、参照構造体は、該参照構造体上に結像したときに前記整列構造体の周期に対応する周期を有し、参照構造体と前記整列構造体の両方が反射および/または透過した測定光から強度情報を測定する工程を含む方法。
- 被加工品を、干渉計測定を使って参照位置に対して整列するための整列構造体(10)であって、所定の周期性で複数の隣接するラインおよびスペースを有する少なくとも一つの位相格子マークを含む構造体に於いて、この整列構造体(10)が非周期的形態(15)を含み、前記非周期的形態(15)が整列構造体(10)の第1および第2周期性を備える第1部分(11)から第2部分(12)への移行部であることを特徴とする整列構造体。
- 請求項35に記載された整列構造体に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)のラインまたはスペースの一つの幅の変化よる、前記整列構造体(10)の二つの部分(11、12)の間の位相シフトによって作ってある整列構造体。
- 請求項35に記載された整列構造体に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)の、それぞれ、第1および第2周期性を備える第1部分(11)から第2部分(12)への移行部を含み、第1周期性が参照格子の周期性よりも長く、第2周期性が参照格子の周期性よりも短い、整列構造体。
- 請求項35に記載された整列構造体に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)の第1部分(11)から前記整列構造体(10)の第2部分(12)への移行部によって形成されていて、この第1部分(11)がXμmの周期性を有しおよびこの第2部分(12)がX/nの周期性を有し、nが整数である整列構造体。
- 請求項35に記載された整列構造体に於いて、前記非周期的形態(15)が前記整列構造体(10)の第1部分(11)から前記整列構造体(10)の第2部分(12)への移行部によって形成されていて、第1部分(11)がラインとスペースの第1使用率値を有しおよび第2部分(12)がラインとスペースの第2使用率値を有する整列構造体。
- 被加工品を準備するための基板(W)であって、請求項35ないし請求項40の一項に記載された整列構造体(10)を備える基板。
- − 所望のパターンに従って放射線の投影ビームをパターン化するのに役立つパターニング手段(MA);
− 空間的に周期的な光学特性を有する整列構造体(10)を上に備える基板(W)を保持するための基板テーブル(WT);および
− この基板テーブル(WT)上の基板(W)をこのパターニング手段(MA)に対して整列するための整列サブシステム(21)を含み、この整列サブシステム(21)が
−この空間的に周期的な整列構造体(10)とこのパターニング手段(MA)に対して定める参照位置との相対位置によって強度が変動する測定光を作るために、この整列構造体(10)が反射または透過した光を光学的に処理するための光学装置(20、24、26);
−この測定光の強度および/または位相情報を測定するために光学的干渉装置に結合したセンサ、
−この測定光の強度および/または位相情報に基づいてこの基板テーブル(WT)とパターニング手段(MA)の相対位置を制御するためのアクチュエータ(PW)、を含むリソグラフィ装置に於いて、
前記整列サブシステム(21)が、前記整列構造体上に設けてある、捕捉位置またはチェック位置として検出可能な非周期的形態(15)を使うようにさらに構成してあることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項42に記載されたリソグラフィ装置に於いて、前記整列構造体が請求項35ないし請求項40の一項に記載された整列構造体であるリソグラフィ装置。
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