JP3989417B2 - 電源用デバイス - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、TV、VTR、DVDプレーヤ、DVDレコーダ、パソコン及びパソコン周辺機器、各種家電製品などを安定して作動させるために使用する電源用デバイスに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の電源用デバイス1では、図9に示すように、PNPトランジスタなどを含むIC15は通常1チップに集積化され、1デバイスとして樹脂パッケージ11にモールドされていた。
【0003】
近年、電源用デバイス1の損失の低下と安定した電力供給を両立させるために、図10に示すように、バイポーラプロセスにより製造された制御用IC16と、バイポーラプロセスにより製造された電力供給用素子17の2チップ構成のデバイスが製品化されている。
【0004】
電源用デバイスの中でも一般的なシリーズレギュレータでは、入力電圧と出力電圧の差に出力電流を乗じた値が損失となる。このため、入力電圧と出力電圧の差を小さく設計することで低損失化を実現できる。この場合、電力供給用素子17として、縦型のPNPトランジスタを用いることが有効である。縦型のPNPトランジスタは、チップ表面にコレクタ電極とベース電極があり、チップ裏面にエミッタ電極が形成された構造であり、コレクタ電流がチップ表面よりチップ裏面に流れる構造をとっているからである。
【0005】
しかしながら、縦型のPNPトランジスタでも物性的に、エミッタ−コレクタ間の飽和電圧が存在し、これ以上に入力電圧と出力電圧との差を小さくすることは不可能である。出力電流の大きさや使用するPNPトランジスタにもよるが、一般的に0.3V程度が限界となっている。
【0006】
そこで、さらに損失を小さくするために、MOSプロセスにより製造された電力供給用素子を用いることが考えられている。MOSプロセスにより製造された電力供給用素子とバイポーラプロセスにより製造された制御用ICとを組み合わせることにより、MOS型半導体の持つ低ON抵抗性を生かし、従来のバイポーラプロセスにより製造されたPNPトランジスタに比べて低損失性が実現可能である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子の2チップを1パッケージにするためには、MOS型半導体の問題である発熱による破壊対策やバイポーラ型半導体の問題である静電破壊対策を行うことが課題である。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の電源用デバイスは、バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子のチップ端の形状を階段状又はくさび形の凹凸形状にし、該チップ端同士を密着させ、両者を単一のパッケージにモールドしてなることを特徴とする。
【0009】
この構成によると、バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子のチップ端が密着し、電力供給用素子で発生した熱が制御用ICに効率よく伝達されるようになる。また、バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子のチップ端の形状を階段状にしたり、くさび形の凹凸形状にしたりすることにより、チップ端の接触面積の拡大と密着性の向上が図られる。
【0010】
MOSプロセスにより製造された電力供給用素子は、チップ表面から表面へ電流を流す横型の構造をとることができるため、制御用ICと電力供給素子のチップ裏面同士は共通のGND電位に設定することが可能である。このため、バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子をダイボンディング用ペーストで一緒にリードフレーム上にダイボンディングすることができる。
【0012】
なお、バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子の電気的接続は、導電性樹脂やAu線を使用して行うことができる。Au線を使用する場合は、ワイヤ断線を防止するために、Au線の2ndワイヤボンド上にAuボールを再度1stボンドする必要がある。
【0013】
そして、MOSプロセスにより製造された電力供給用素子を2チップ以上単一のパッケージにモールドすることで、多出力の電源用デバイスを容易に設計することができる。なお、MOSプロセスにより製造された電力供給用素子は、チップ表面のAlパターンの硬度が弱いため、パッケージ材料としては、低応力タイプの樹脂を用いる必要がある。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図1は、本発明に係る電源用デバイス(4端子シリーズレギュレータ)の要部を示す断面図である。図1に示すように、電源用デバイス1は、バイポーラプロセスにより製造された制御用IC3とMOSプロセスにより製造された電力供給用素子4のチップ端3a,4a(図2参照)同士を密着させ、両者を単一の樹脂パッケージ11にモールドしてなるものである。以下、この電源用デバイス1の構成について詳しく説明する。
【0015】
電源用デバイス1は、レギュレータとして動作させると発熱するが、その多くは電力供給用素子4で発生する。電力供給用素子4が過熱すると、チップ内部のパワーMOS FETが破壊してしまう可能性がある。制御用IC3は、電力供給用素子4の異常温度を検出すると、過熱保護動回路を作動させてパワーMOSFETのゲート電圧を遮断し、電力供給用素子4の過熱を防止する役目を果たしている。過熱保護動作は、電力供給用素子4から制御用IC3へ伝わる熱を検出して行うので、両者間の熱伝達性を高め、過熱保護動作の開始が遅れないように設計することが重要である。
【0016】
そこで、図2に示すように、制御用IC3のチップ端3aと電力供給用素子4のチップ端4aは階段状の形状に加工し、チップ端3a,4a同士を互いに嵌り合うように接触させてリードフレーム2上にダイボンディングする。これにより、両者の接触面積が拡大され、密着も良くなるので、チップ端3a,4aを通じて熱の伝達効率が良くなり、電力供給用素子4で発生した熱を制御用IC3に速やかに伝達することができ、これによりMOS型半導体の問題である発熱による破壊対策を行うことができる。なお、図3又は図4に示すように、チップ端3a,4aをくさび形の凹凸形状に加工しても、同様の効果が得られる。
【0017】
なお、制御用IC3が電力供給用素子4の異常温度を検出したとき、パワーMOS FETのゲート電圧を瞬時に遮断すると、遮断直後のドレインに大電流が流れて破壊の危険性があるため、ドレイン電流の上昇を抑えるために徐々にゲート電圧を遮断する機能を制御用IC3に付加している。ゲート電圧の立ち下がり時間としては数μs〜数10μsが適当である。
【0018】
また、図10に示した従来例では、低損失を得るために、電力供給用素子17としてバイポーラプロセスにより製造された縦型のPNPトランジスタを使用し、チップ表面からチップ裏面に対して電流を流す構造になっている。したがって、電力供給用素子17のチップ裏面とリードフレーム2とのダイボンドは導電性の高融点半田18を使用して行っている。この場合、図11のように、第2端子7bから出力を取る構成となる。しかし、同一のリードフレーム2上にダイボンディングする制御用IC16については、静電破壊を防止するため、チップ裏面とリードフレーム2との絶縁を図る必要があり、ダイボンドは非導電性のエポキシペースト19を使用して行っていた。
【0019】
これに対し、MOSプロセスにより製造された電力供給用素子4の場合は、パワーMOS FETのドレインからソースに対して電流が流れ、その損失は、電流が流れたときのドレイン−ソース間の抵抗(ON抵抗)によって決められる。したがって、従来例で示したバイポーラ型半導体のPNPトランジスタのように縦型構造をとる必要がなく、チップの表面から表面に電流を流す構造、すなわち、横型の構造で低損失を容易に実現することができる。このため、電力供給用素子4と制御用IC3のチップ裏面は、共通のGND電位をとることができ、図1に示すように、Agペースト5に代表される一種類のダイボンディング用ペーストを使用して両者を一緒にダイボンディングすることができ、これによりバイポーラ型半導体の問題である静電破壊対策を行うことができる。
【0020】
このようにしてリードフレーム2上にダイボンディングされた制御用IC3と電力供給用素子4とは、互いに電気的接続される。これには図1のようにAu線6を使用する場合と、図5のように導電性樹脂12を使用する場合とがあるが、一般には、導電性樹脂12を使用して行う。これは、Au線を使用すると、Au線とチップの表面の配線パターンとして使用されるAlパターンとの接合部分にできる金属間化合物のワイヤ断線の問題があるからである。
【0021】
なお、Au線6を使用する場合は、図6に示すように、1stボンドのAuボール61上にAu線6を2ndボンドし(図6(a),(b)参照)、この2ndボンド上にAuボール62を再度1stボンドする(図6(c),(d)参照)ことにより、接合部分の強度をカバーする。
【0022】
図1において、7a,7c,7dは、それぞれリードフレーム2から分離して設けた第1,第3,第4端子であり、7bはリードフレーム2から連続して形成された第2端子である。電力供給用素子4のチップ表面と第1端子7a、第3端子7cとがAu線8,9を使用して電気的接続され、制御用IC3のチップ表面と第4端子7dとがAu線10を使用して電気的接続されている。
【0023】
リードフレーム2上に設けられた以上の構成は、第1〜第4端子7a〜7dの先端部を除いて全体が樹脂で封止され、単一の樹脂パッケージ11にモールドされることにより、電源用デバイス1ができあがる。ここで、パッケージ材料には、チップ表面への影響を低減する目的で低応力タイプの樹脂を用いる必要がある。これは、MOSプロセスにより製造された電力供給用素子4の場合、一般的な樹脂で封止すると、チップ表面のAlパターンの硬度が、従来のバイポーラプロセスにより製造されたPNPトランジスタに比べて弱く、Alパターンの変形が発生しやすいからである。
【0024】
また、図8に示すように、MOSプロセスにより製造された電力供給用素子の2チップ(電力供給用素子4,13)と制御用IC3の合計3チップをAgペースト5を使用して一緒にリードフレーム2上にダイボンディングし、電力供給用素子4と制御用IC3との電気的接続及び電力供給用素子13と制御用IC3との電気的接続をAu線6などを使用して行い、各チップ表面と第1〜第5端子7a〜7eとをAu線8〜9,14を使用して接続し、単一の樹脂パッケージ11にモールドすることにより、1チップの制御用IC3で2つの出力端子(第3,第5端子7c,7e)を有する電源用デバイス1(5端子シリーズレギュレータ)を簡単に構成することができる。同様に、MOSプロセスにより製造された電力供給用素子の数を増やすことで、多出力の電源デバイスを設計できる。
【0025】
図7は、上記電源用デバイス1(4端子シリーズレギュレータ)をレギュレータとして使用する場合の外部接続例を示す回路図である。第1端子7aはDC入力端子として直流電源と、安定化のための入力コンデンサCINとが並列に接続される。第2端子7bは接地され、第3電極7cはDC出力端子として、電子機器などの負荷が接続される。さらに、これら第2端子7bと第3端子7cには安定化のための出力コンデンサCOが接続される。第4端子7dは出力ON/OFF制御入力端子としてTTL又はC−MOS標準ロジック等が接続される。
【0026】
電源用デバイス1の内部損失は、入力電圧VINと出力電圧VOの差に出力電流IOを乗じた値となる。したがって、低損失の電源用デバイス1を設計するためには入力電圧と出力電圧の差を小さくする必要がある。入力電圧と出力電圧の差は、電力供給用素子4のチップ内部のパワーMOS FETのドレイン−ソース間のON抵抗により決まる。
【0027】
一般的にPNPトランジスタのエミッタ−コレクタ間の飽和電圧が0.3〜0.5V程度であるのに対して、パワーMOS FETのドレイン−ソース間のON抵抗は、ドレイン電流にもよるが、0.1Ω程度になる。したがって、出力電流IOが1Aの時、従来のバイポーラプロセスにより製造されたPNPトランジスタを電力供給用素子とした電源用デバイスでは、0.3〜0.5Wの内部損失となるのに対して、本発明の電源用デバイス1では、0.1W程度の損失となる。
【0028】
このように、本発明に係る電源用デバイス1は、従来のバイポーラプロセスにより製造されたPNPトランジスタに比べて入力電圧と出力電圧の差を小さく設計できる特徴があり、従来以上の低損失化が可能である。
【0029】
また、本発明の電源用デバイス1では、MOS型半導体の特徴である高速応答性により、出力電流IOが高速で変化した場合の過渡応答性が高いという利点がある。また、電源用デバイス1をレギュレータとして使用する場合に安定化の目的で接続する出力コンデンサCO、入力コンデンサCINの容量を小さく設計することが可能となる。コンデンサ容量が大きくなればコンデンサの価格がレギュレータの価格に影響するため、コンデンサ容量はできるだけ小さく設計できるほど、安価な電源設計が可能となる。
【0030】
また、バイポーラ型半導体の温度特性としては、温度が高くなるほど電流増幅率(hFE)が上昇する特性をもっているのに対し、MOS型半導体の場合は、ON抵抗が大きくなる特性をもっており、このため温度が高くなるとドレイン電流は流れにくくなる特性を示す。すなわち、図10のように制御用IC16、電力供給用素子17ともにバイポーラプロセスにより製造されたチップを用いる従来の2チップ型電源用デバイス1では、温度上昇によりhFEが両チップとも高くなる特性になるが、本発明の電源用デバイス1では、温度上昇に対して電力供給素子4と制御用IC3とで相反する特性を有することになる。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の電源用デバイスは、バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子のチップ端同士を密着させてリードフレーム上にダイボンディングしている。したがって、チップ端を通じて熱の伝達効率が上がり、電力供給用素子で発生した熱を制御用ICに速やかに伝達することができ、これによりMOS型半導体の問題である発熱による破壊対策を行うことができる。
【0032】
また、MOSプロセスにより製造された電力供給用素子は、バイポーラ型半導体のPNPトランジスタのように縦型構造をとる必要がなく、チップの表面から表面に電流を流す構造、すなわち、横型の構造で低損失を容易に実現することができる。このため、電力供給用素子と制御用ICのチップ裏面は、共通のGND電位をとることができ、Agペーストに代表される一種類のダイボンディング用ペーストを使用して一緒にダイボンディングすることができ、これによりバイポーラ型半導体の問題である静電破壊対策を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る電源用デバイス(4端子シリーズレギュレータ)の一例を示す断面図である。
【図2】 リードフレーム上にダイボンディングされるMOSプロセスにより製造された電力供給用素子とバイポーラプロセスにより製造された制御用ICのチップ端形状の一例を示す断面図である。
【図3】 リードフレーム上にダイボンディングされるMOSプロセスにより製造された電力供給用素子とバイポーラプロセスにより製造された制御用ICのチップ端形状のその他の例を示す断面図である。
【図4】 リードフレーム上にダイボンディングされるMOSプロセスにより製造された電力供給用素子とバイポーラプロセスにより製造された制御用ICのチップ端形状のさらに他の例を示す断面図である。
【図5】 上記電源用デバイス(4端子シリーズレギュレータ)の他の例を示す断面図である。
【図6】 Au線を使用してMOSプロセスにより製造された電力供給用素子とバイポーラプロセスにより製造された制御用ICとの電気的接続を行う例を示す断面図である。
【図7】 上記電源用デバイスをレギュレータとして使用するときの外部接続例である。
【図8】 本発明に係る電源用デバイス(5端子シリーズレギュレータ)の一例を示す断面図である。
【図9】 従来の電源用デバイス(4端子シリーズレギュレータ)の一例を示す断面図である。
【図10】 従来の電源用デバイス(4端子シリーズレギュレータ)の他の例を示す断面図である。
【図11】 上記電源用デバイスをレギュレータとして使用するときの外部接続例である。
【符号の説明】
1 電源用デバイス
2 リードフレーム
3 バイポーラプロセスにより製造された制御用IC
4 MOSプロセスにより製造された電力供給用素子
5 Agペースト
6,8,9,10 Au線
7a 第1端子
7b 第2端子
7c 第3端子
7d 第4端子
11 樹脂パッケージ
12 導電性樹脂

Claims (8)

  1. バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子のチップ端の形状を階段状にし、該チップ端同士を密着させ、両者を単一のパッケージにモールドしてなることを特徴とする電源用デバイス。
  2. バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子のチップ端の形状をくさび形の凹凸形状にし、該チップ端同士を密着させ、両者を単一のパッケージにモールドしてなることを特徴とする電源用デバイス。
  3. バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子をダイボンディング用ペーストで一緒にリードフレーム上にダイボンディングすることを特徴とする請求項1又は2に記載の電源用デバイス。
  4. バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子の電気的接続を導電性樹脂を使用して行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の電源用デバイス。
  5. バイポーラプロセスにより製造された制御用ICとMOSプロセスにより製造された電力供給用素子の電気的接続をAu線を使用して行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の電源用デバイス。
  6. Au線の2ndワイヤボンド上にAuボールを再度1stボンドすることを特徴とする請求項に記載の電源用デバイス。
  7. MOSプロセスにより製造された電力供給用素子を2つ以上設けたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の電源用デバイス。
  8. 前記パッケージの材料として低応力樹脂を用いることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の電源用デバイス。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7635956B2 (en) * 2006-01-06 2009-12-22 Active-Semi, Inc. Primary side constant output voltage controller
JP4858290B2 (ja) * 2006-06-05 2012-01-18 株式会社デンソー 負荷駆動装置
KR100777160B1 (ko) 2006-11-01 2007-11-16 주식회사 케이이씨 휴대폰용 전원 회로 및 이의 반도체 패키지
JP5132407B2 (ja) * 2008-04-25 2013-01-30 オンセミコンダクター・トレーディング・リミテッド 半導体装置
JP5341473B2 (ja) * 2008-10-31 2013-11-13 セミコンダクター・コンポーネンツ・インダストリーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー 半導体装置およびその製造方法
JP2011165903A (ja) * 2010-02-10 2011-08-25 Rohm Co Ltd 半導体モジュールおよび半導体モジュールの製造方法
JP4985810B2 (ja) * 2010-03-23 2012-07-25 サンケン電気株式会社 半導体装置
CN103617973A (zh) * 2013-11-08 2014-03-05 张轩 一种高温使用的引线框架
US10217723B2 (en) * 2016-10-07 2019-02-26 Mediatek Inc. Semiconductor package with improved bandwidth
US11031343B2 (en) * 2019-06-21 2021-06-08 International Business Machines Corporation Fins for enhanced die communication
DE212021000149U1 (de) * 2020-04-27 2022-04-11 Rohm Co., Ltd. Halbleiterbauteil
DE112021004644T5 (de) * 2020-10-02 2023-06-29 Rohm Co., Ltd. Halbleiterbauteil

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3157362B2 (ja) * 1993-09-03 2001-04-16 株式会社東芝 半導体装置
US6150724A (en) * 1998-03-02 2000-11-21 Motorola, Inc. Multi-chip semiconductor device and method for making the device by using multiple flip chip interfaces
JP4040229B2 (ja) 1999-02-14 2008-01-30 矢崎総業株式会社 交流用スイッチングデバイス
US6137165A (en) * 1999-06-25 2000-10-24 International Rectifier Corp. Hybrid package including a power MOSFET die and a control and protection circuit die with a smaller sense MOSFET
US6252305B1 (en) * 2000-02-29 2001-06-26 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Multichip module having a stacked chip arrangement

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