JP3988573B2 - 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、パワーMOSFETに代わる有力な素子として、ドレイン領域にソース層とは逆の導電型層を設けることにより、高抵抗層に導電変調を起こさせてオン抵抗を下げるようにした、いわゆる絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ(以下IGBTと略す)が広く使われている。
【0003】
IGBTは一般に図5のように形成されている。図5(a)はIGBTの上面図、図5(b)はIGBTの断面図である。まず、コレクタ層となるp+ 基板11にn- 層12が形成される。n- 層12にはゲート絶縁膜の薄膜部31aを介してストライプ状の開口を有するゲート電極41が形成されており、このゲート電極41を拡散窓または拡散窓の一部として不純物の二重拡散を行うことにより、p層21とその端部にn+ 層22が形成されている。ゲート電極41下のn+ 層22とn- 層12で挟まれたp層21表面にはチャネル領域23が存在する。n+ 層22とp層21には、両方に接続するエミッタ電極42が形成され、p+ 基板11にはコレクタ電極43が形成される。エミッタ電極42は層間絶縁膜32でゲート電極41から絶縁分離されている。
【0004】
上記IGBTは以下のように動作する。まず、ゲート電極41に正電圧を印加すると、p層21内のチャネル領域23がn型に反転し、n+ 層22からチャネル領域23を通ってn- 層12に電子電流が流れる。すると、これに対してp+ 基板11から正孔注入が起こり、n- 層12にはキャリア蓄積による導電変調が起こる。
【0005】
n- 層12に注入された正孔電流はn+ 層22下のp層21を通り、エミッタ電極42に抜ける。エミッタ電極42はn+ 層22とp層21を短絡しているため、寄生のサイリスタ動作は阻止される。
【0006】
上記IGBTは、高耐圧化した場合にも、従来のパワーMOSFETに比べて導電変調の効果として十分に低いオン電圧が得られるが、解決すべき課題も残されている。
【0007】
その一つは、IGBTの導通時に負荷が短絡した場合、MOSの飽和電流によって決まる大電流(飽和電流)が流れ、素子が破壊に至ることである。飽和電流に達したIGBTが破壊するまでの時間は短絡耐量と呼ばれるもので、次のように説明される。IGBTにおいて負荷が短絡した場合、コレクタ−エミッタ間には電源電圧Vccがかかり、飽和電流Jc(sat) が流れる。この状態が続くとIGBTはVcc×Jc(sat)×時間t(短絡耐量)のジュール熱により破壊する。
【0008】
従来この防止策として、n+ 層22の幅を小さくし、飽和電流Jc(sat) を小さくすることを目的としたIGBTが特開昭61−164263号により提案されていた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上記公知技術は、n+ エミッタ層を長手方向に断続的に形成することにより、チャネル幅Wを小さくし、次式で決定される短絡時の飽和電流Jc(sat) を小さくすることで短絡耐量を向上させるものである。
【0010】
【数1】
Jc(sat)∝(W/Lch)*(1/D)*(Vg−Vth)2 …(1)
ここで、Wはチャネル幅、Lchはチャネル長、Dはゲート絶縁膜厚、Vg はゲート電圧、Vthはしきい値電圧である。
【0011】
しかし、この方法でチャネル幅Wを小さくすると、IGBTのスイッチング時に、導通に寄与せずn+ エミッタ層が形成されていない領域の入力容量にも充放電する必要がある。このために、短絡耐量の向上と同時にスイッチングスピードを速くすることはできない。
【0012】
そこで本発明は、短絡耐量を改善すると同時にスイッチングスピードを高速化できるIGBTを提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成する本発明の特徴は、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタにおいて、チャネル領域上のゲート絶縁膜を部分的に厚くすることで、チャネル幅Wを小さくすると同時に入力容量を低減した構造にある。
【0014】
本発明によれば、チャネル領域上のゲート絶縁膜を部分的に厚くすることにより、この部分のチャネルがn型に反転することを防ぐため、実質的チャネル幅Wを小さくできる。従って、上述したように飽和電流Jc(sat) が小さくなり、短絡耐量が大幅に向上することになる。しかも、チャネル領域上のゲート絶縁膜を厚くするということは、それに反比例して入力容量が低減されることになるため、IGBT動作に必要なゲート電荷量が低減でき、スイッチングスピードも速くすることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1を参照しながら本発明の実施例を説明する。図1(a)は上面図であり、図1(b)は断面図である。
【0016】
図1に示すIGBTは次のように形成されている。p+基板11にn-層12が形成されている。このn- 層12にゲート絶縁膜の薄膜部31aと厚膜部31bを介してストライプ状の開口を有するゲート電極41が形成されており、このゲート電極41を拡散窓または拡散窓の一部として不純物の拡散を行うことにより、p層21が形成されている。また、その端部にはn+ 層22が形成されている。n+ 層22とp層21はエミッタ電極42と接続しており、p+ 基板11はコレクタ電極43と接続している。エミッタ電極42は層間絶縁膜32によりゲート電極41とは絶縁分離されている。
【0017】
本実施例では図1(a)に示すように、薄膜部31aと厚膜部31bが長手方向に交互に配置されている。厚膜部31bの厚さは薄膜部31aの約8倍であるが、その厚さは、IGBT動作時に薄膜部31a下のp層内チャネル領域23がn型に反転する際にも、n型に反転しない厚みであれば問題ない。本構成とすることにより、チャネル幅が約1/2に低減できるので、飽和電流が低減し、短絡耐量が従来の2倍に向上できる。さらに、入力容量が約1/2に低減できるので、スイッチングスピードを速くすることが可能となった。本実施例の構成とすれば単位面積当たりのチャネル幅を小さくし、飽和電流を低減することにより、短絡耐量を大幅に改善でき、かつスイッチングスピードを速くすることができる。さらに、本構造は入力容量を低減しているので、スイッチング時にノイズを発生しにくくできるという利点も持ち合わせている。
【0018】
次に本実施例の効果を具体的数値を用いて説明する。31aの厚さは通常用いられる0.1μm とし、31bは0.8μm とした。31a,31bの長手方向の寸法をそれぞれLay,Lbyとし、その比率を振って短絡耐量とターンオンスピードの関係を評価した。結果を示した図2からLb=0の時と比較すると、Lby/(Lay+Lby)=0.5では約2.0倍、Lby/(Lay+Lby)=0.75では約2.5倍に短絡耐量が向上し、かつスイッチングスピードはそれぞれ、約0.8倍と約0.75倍に速くなっていることがわかる。
【0019】
次に本発明の他の実施例である図3について説明する。図3(a)は上面図であり、図3(b)は断面図である。この構造はn- 層12と接するゲート絶縁膜の大部分を厚膜部31bとしたことを特徴としている。即ち、厚膜部31bとn- 層12が接している面積は、薄膜部31aとn- 層12が接している面積よりも広い。本構造では図1に比較して、チャネル幅は同等であるため、短絡耐量の向上は同程度であるが、入力容量をさらに低減しているため、図1の実施例に比較し更なるスイッチングスピードの高速化が達成できる。
【0020】
本発明の他の実施例について図4を用いて説明する。図4(a)は上面図であり、図4(b)は断面図である。この構造はn+ 層22と接するゲート絶縁膜をすべて薄膜部31aとしたことを特徴としている。この構造では、図3の実施例に比較して、入力容量がわずかに増加し、スイッチングスピードの高速化は抑えられるが、n+ 層22と接するゲート絶縁膜がすべて同等の厚さとなるために、その上に形成される層間絶縁膜32とエミッタ電極42のカバレジ性が良くなり、製造プロセスの上で容易に製作可能となる。但し、この構造には31aの横方向寸法Laxに以下の制限が必要となる。すなわち、p層21の横方向拡散深さXjとの間でLax<Xjの関係を満足する必要がある。すなわち、Lax≧Xjとなると、p層21上のゲート絶縁膜がすべて薄膜部31aとなり、p層21がIGBT動作時に全てn型に反転し、チャネル幅の低減効果が失われてしまうからである。
【0021】
以上は本発明の代表的な実施例を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限らず種々の変形が可能である。
【0022】
【発明の効果】
本発明によれば、チャネル上のゲート絶縁膜を部分的に厚くし、チャネル幅を小さくすることにより、短絡耐量を大幅に向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明IGBTの一実施例を示す模式図である。
【図2】図1に示した実施例の効果を説明するための短絡耐量とターンオンスピードのLby/(Lay+Lby)依存性を示すグラフである。
【図3】本発明IGBTの他の実施例を示す模式図である。
【図4】本発明IGBTの他の実施例を示す模式図である。
【図5】従来型IGBTの模式図である。
【符号の説明】
11…p+ 基板、12…n- 層、21…p層、22…n+ 層、23…p層内チャネル領域、31a…ゲート絶縁膜の薄膜部、31b…ゲート絶縁膜の厚膜部、32…層間絶縁膜、41…ゲート電極、42…エミッタ電極、43…コレクタ電極、Lax…31aの横方向寸法、Lay…31aの長手方向寸法、Lby…31bの長手方向寸法、Xj…p層21の横方向拡散深さ。
Claims (2)
- 一対の主表面を有する第1導電型の第1の半導体層と、該第1の半導体層の一方の主表面に接する第2導電型の第2の半導体層と、前記第1の半導体層の他方の主表面に露出する複数の第2導電型の第3の半導体層と、該第3の半導体層内に位置し前記第1の半導体層の他方の主表面に露出する複数の第1導電型の第4の半導体層と、前記第1の半導体層と第4の半導体層とに挟まれた前記第3の半導体層の領域全体に形成されるチャンネル領域と、該チャンネル領域上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、前記第3の半導体層と第4の半導体層との双方に電気的に接続されたエミッタ電極と、前記第2の半導体層に電気的に接続されたコレクタ電極とを備えた絶縁ゲート型バイポーラトランジスタにおいて、
前記ゲート絶縁膜は、前記ゲート電極の長手方向に厚膜部と薄膜部の少なくとも2種類の膜厚部に分かれて配置され、前記ゲート絶縁膜の厚膜部は、前記チャンネル領域上の少なくとも一部に形成され、かつ、ゲート電圧が印加されてもチャンネルが形成されない厚みであることを特徴とする絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ。 - 一対の主表面を有する第1導電型の第1の半導体層と、該第1の半導体層の一方の主表面に接する第2導電型の第2の半導体層と、前記第1の半導体層の他方の主表面に露出する複数の第2導電型の第3の半導体層と、該第3の半導体層内に位置し前記第1の半導体層の他方の主表面に露出する複数の第1導電型の第4の半導体層と、前記第1の半導体層と第4の半導体層とに挟まれた前記第3の半導体層の領域全体に形成されるチャンネル領域と、該チャンネル領域上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、前記第3の半導体層と第4の半導体層との双方に電気的に接続されたエミッタ電極と、前記第2の半導体層に電気的に接続されたコレクタ電極とを備えた絶縁ゲート型バイポーラトランジスタにおいて、
前記ゲート絶縁膜は、厚膜部と薄膜部の少なくとも2種類の膜厚を有し、前記ゲート絶縁膜の厚膜部は、前記チャンネル領域上の少なくとも一部に形成され、かつ、ゲート電圧が印加されてもチャンネルが形成されない厚みであって、前記厚膜部が前記第1の半導体層表面と接している面積は、前記薄膜部が前記第1の半導体層表面と接している面積よりも広いことを特徴とする絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ。
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