JP3987246B2 - 露光用マスク及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置を製造するための光リソグラフィー技術に係わり、特にマスク上のパターン配置を工夫した露光用マスク、及び半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体製造分野においては、ウェハ上に微細なパターンを形成するために、レチクル(露光用マスク)に形成されたLSIパターンをウェハ上のレジストに縮小転写する露光装置が広く用いられている。
【0003】
この種の露光装置において光学系が理想的であれば、数μm以上の繰り返しパターンにおいては、同じ光学コントラスト,レジストパターン,露光マージンが得られる。しかし現実には、使用するレチクル開口率によってレジストパターン形状,露光マージンが異なる現象が起きている。具体的には、ポジ型レジストを使用する場合には、レチクル開口率増加に伴い、Dose/Focus方向共に露光マージンが低下し、レジストパターンの膜減りが激しくなる。この現象は、特に解像限界付近の微細パターンにおいて顕著である。
【0004】
また、同一レチクル上であっても、局所的に開口率が異なる場合、例えば周囲数十μmが全てCrのラインアンドスペース(L/S)パターンと周囲数十μmが全てガラスのL/Sパターンに対応するウェハ上のでレジストパターン形状が異なる場合もある。これらの現象は、理想的な露光装置では発生し得ない迷光がバックグラウンド光として、レチクル開口率に応じてウェハ上に照射されることで、光学コントラストを低下させることが原因と考えられる。
【0005】
以上の現象によって、複数のレチクルにおけるレチクル開口率が異なる場合、対象パターンが同じであっても、同一のレジストプロセスを適用することが困難になる場合がある。この問題を解決するために、各層のレチクル開口率に応じてレジストプロセス構築を行うには莫大な労力とコストがかかる。また、同一レチクル上でも、ロジック/メモリ混載チップのような場合、開口率が高いロジック部のキャッシュ用小規模セルと開口率が低いメモリ部の大規模セルとの露光マージン/レジストパターン形状が大きく異なってしまう場合がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
このように、現在使用可能な光リソグラフィー用の露光装置においては、被転写パターンの光強度コントラストが照明条件から計算される理想的値よりもバックグラウンド光の存在によって低下し、このために露光マージン減少,レジスト形状劣化を招く問題があった。また、光強度コントラスト低下の割合は、レチクル開口率が大きいほど顕著であった。
【0007】
本発明は、上記事情を考慮して成されたもので、その目的とするところは、バックグラウンド光強度を低下させ、被転写パターンの光強度コントラスト低下を抑制し得る露光用マスクを提供することにある。
【0008】
また、本発明の他の目的は、上記露光用マスクを用いて精度良いパターン露光を行うことのできる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
(構成)
上記課題を解決するために本発明は次のような構成を採用している。
【0011】
即ち本発明は、ウェハ上のレジストに所望のパターンを転写するための露光用マスクであって、露光光を透過する光透過基板と、この基板上に設けられ、所望のパターンが形成された被転写パターン部と、前記基板上に前記被転写パターン部とは所定の距離を離して設けられ、前記所望パターンを前記レジストに所望寸法で転写するために必要な露光条件では前記レジスト上に転写されないダミーパターンが形成されたダミーパターン部とを具備してなり、前記ダミーパターン部は、前記露光光の波長をλ、投影光学系の開口数をNAとしたときに、前記被転写パターン部から2.3λ/NA以上の距離を隔てて、前記マスクの不透明な部分の全体に配置されていることを特徴とする。
【0012】
また本発明は、ウェハ上のレジストに所望のパターンを転写するための露光用マスクであって、露光光を透過する光透過基板と、この基板上に設けられ、所望のパターンが形成された被転写パターン部と、前記基板上に前記被転写パターン部とは所定の距離を離して設けられ、前記所望パターンを前記レジストに所望寸法で転写するために必要な露光条件では前記レジスト上に転写されないダミーパターンが形成されたダミーパターン部とを具備してなり、前記ダミーパターン部は、前記露光光の波長をλ、投影光学系の開口数をNAとしたときに、前記被転写パターン部から2.3λ/NA以上の距離を隔てて、前記マスクの透明な部分の全体に配置されていることを特徴とする。
【0027】
(作用)
本発明によれば、露光用マスクに、ウェハ上に転写すべき被転写パターンと共に、該パターンの光強度分布に影響を与えない距離を隔てて、該パターンを所望寸法で形成するための露光条件ではウェハ上にレジストパターンとして形成されないダミーパターンを配置することにより、バックグラウンド光強度を最適に設定することができる。
【0028】
より具体的には、被転写パターンから所定距離以上隔てて露光用マスクの開口部にダミーパターンを配置することにより、バックグラウンド光強度を低下させ、被転写パターンにおける光強度コントラスト低下を抑制することが可能となる。これとは逆に、被転写パターンから所定距離以上隔てて露光用マスクの遮蔽部にダミーパターンを配置することにより、バックグラウンド光強度を上昇させることもできる。これは、バックグラウンド光強度が小さすぎる露光用マスクに対して、露光装置に許容できる程度までバックグラウンド光強度を上昇させるのに有効である。
【0029】
また、同一の露光用マスクにおいて、露光用マスクの開口部及び遮蔽部にダミーパターンをそれぞれ配置することにより、露光用マスク全体にわたってバックグラウンド光強度を平均化することができ、これによりマスク全体にわたって露光マージン/レジストパターン形状を均一化することが可能となる。さらに、複数の露光用マスクにおいて、露光用マスクの開口部及び遮蔽部にダミーパターンを配置することにより、異なる露光用マスクに対してバックグラウンド光強度を平均化することができ、これにより複数の露光用マスクに対して同一のレジストプロセスを適用することが容易となる。
【0030】
また、露光用マスクの開口部にダミーパターンを形成する場合に、ダミーパターン部の光強度の最小値Imin と被転写パターンの強度Itargetとの関係をImin >Itargetに設定することにより、ダミーパターンがウェハ上に解像されるのを防止することが可能となる。さらに、露光用マスクの遮蔽部にダミーパターンを形成する場合に、ダミーパターン部の光強度の最大値Imax と被転写パターンの強度Itargetとの関係をImax <Itargetに設定することにより、ダミーパターンがウェハ上解像されるのを防止することが可能となる。
【0031】
また、ダミーパターンを被転写パターンから2.3λ/NA以上の距離を隔てて配置することにより、ダミーパターンの形成によって被転写パターンの光強度分布に影響が生じるのを防止することが可能となる。さらに、ダミーパターンのピッチPdummy をPdummy ≦λ/NA(1+σ)に設定することにより、ダミーパターンを解像しない条件を設定することが可能となる。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
【0033】
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係わる露光装置を示す概略構成図であり、図中の1はKrFエキシマレーザ等の光源、2は集光レンズ、3はガラス等の透明基板3aの一主面にCr等の遮光膜パターン3bを形成した露光用マスク、4は縮小投影光学系、5はレジスト、6はウェハを示している。本装置における各種条件は、例えば開口数NA0.6、照明コヒーレンスファクタσ0.75、遮蔽率ε0.67となっている。なお、本装置の基本的な構成は従来装置と同様であるが、後述するように用いる露光用マスクが従来とは異なっている。
【0034】
露光用マスクとしては、図2(a)(b)に示すように、ウェハ上に転写すべきL/Sパターン(被転写パターン)11のみが形成されたレチクルAと、L/Sパターン11と共にダミーパターン13が形成されたレチクルBを用意した。レチクルAの被転写パターン11は、150nm/150nmのL/Sパターンであり、その大半が開口部12(開口率80%)となっている。レチクルBのダミーパターン13は、レチクルAのL/Sパターン11から1μmの距離を隔ててレチクルAの開口部12に設けた100nm/140nmのL/Sパターンであり、これを加えることで開口率60%にした。
【0035】
先の露光装置を用い、更にウェハ上のレジストとしてポジ型化学増幅型レジストを用い、その面積の大半が開口部12であるレチクルAを該レチクルA中の150nmのL/Sパターン11がL:S=1:1の寸法で露光される露光量で露光した。さらに、レチクルBをレチクルAと同じ照明系及びレジストプロセスを用いて、レチクルB中の150nmのL/Sパターン11がL:S=1:1の寸法で露光される露光量で露光した。
【0036】
レチクルA,B使用時の150nmのL/Sパターン11のレジスト形状を図3(a)(b)に示す。レチクルAによるレジストパターンは、図3(a)に示すように頭部が丸くなっているのに対して、レチクルBでは図3(b)に示すように良好な矩形パターンが得られた。また、0.4μmDOFを与える露光量裕度がレチクルAにおいては7%であるのに対して、レチクルBでは10%と露光マージンの向上が向上した。
【0037】
露光量,フォーカス量を変えて露光を行ったが、レチクルB中の150nmのL/Sパターン11が150±15mの寸法で形成される範囲内においては、レチクルB中のダミーパターン部分のレジストは全て溶解しており、ウェハ上に転写されなかった。
【0038】
ここで、本実施形態による作用効果について更に詳しく説明する。本実施形態のようにポジ型レジスト使用した場合を例にすると、図10(a)に示すようなレチクルAに対して理想的な露光装置を用いた場合の光強度分布は、図10(b)に示すようになる。この場合の光強度コントラストは、被転写パターン11の光強度分布のパターン範囲内における極大値Ihigh、極小値Ilow を用いて、
2(Ihigh−Ilow )/(Ihigh+Ilow )
と定義できる。
【0039】
しかし、現実にはレチクル開口率に応じたバックグラウンド光Ibcが存在するために、現実に得られる被転写パターン11の光強度分布(図中の破線に示す)の光強度コントラストは、
2(Ihigh−Ilow)/(Ihigh+Ilow+2Ibc)
であり、理想的な露光装置の場合と比べて低下する。
【0040】
このバックグラウンド光Ibcによる光強度コントラストの低下によって、露光マージンが低下し、パターン頭部が丸くなるなどレジストパターン形状が悪化する。
【0041】
これに対し、図11(a)に示すように、ダミーパターン13を有するレチクルBを用いると、レチクル開口率が低下していることから、図11(b)に示すように、バックグラウンド光が低下する(Ibc→Ibc' )。このため、ポジ型レジスト使用時にレジスト頭部形状が丸い場合(図3(a))において、レチクル開口部12にダミーパターン13を配置することで被転写パターン11の光強度コントラスト低下、即ち露光マージン低下を抑制し、良好な矩形レジスト形状(図3(b))が得られる。
【0042】
また、通常の光近接効果の影響を与えない距離Lmin 以上の距離を被転写パターン11との間に設けることによって、ダミーパターン13の存在による被転写パターン11の光強度分布の変化が避けられる。また、被転写パターン11の設計終了後に、ダミーパターン13を配置することが可能である。
【0043】
レチクル上の開口部12にダミーパターン13を配置する場合においても、ウェハ上にダミーパターン13によるレジストパターンが転写されないことから、ウェハ上のダミーパターン部分を除去するための付加プロセスは不要である。
【0044】
なお、ポジ型の代わりにネガ型レジストを使用する場合には、ポジ型レジスト使用時にレジスト頭部形状が丸まっているとの記載が、後述するようにT−top気味若しくは逆テーパ気味となると置きかえればよい。
【0045】
(第2の実施形態)
まず、図4(a)(b)に示すように、ウェハ上に転写すべきL/Sパターンのみが形成されたレチクルCと、L/Sパターンと共にダミーパターンが形成されたレチクルDを用意した。レチクルCの被転写パターン11は、150nm/150nmのL/Sパターンであり、その大半が遮光部14(開口率20%)となっている。レチクルDのダミーパターン15は、レチクルCのL/Sパターン11から1μmの距離を設けてレチクルCの遮光部14に設けた100nm/90nmのL/Sパターンであり、これを加えることで開口率35%にした。
【0046】
第1の実施形態と同様の露光装置を用いて、ポジ型化学増幅型レジスト使用時に、その面積の大半が遮光部14であるレチクルCを該レチクルC中の150nmのL/Sパターン11がL:S=1:1の寸法で露光される露光量で露光した。さらに、レチクルDをレチクルCと同じ照明系及びレジストプロセスを用いて、レチクルD中の150nmのL/Sパターン11がL:S=1:1の寸法で露光される露光量で露光した。
【0047】
レチクルC,D使用時の150nmのL/Sパターン11のレジスト形状を図5(a)(b)に示す。レチクルCによるレジストパターンは、図5(a)に示すように上部に庇が残る、いわゆるT−top気味若しくは逆テーパ気味であるのに対して、レチクルDでは図5(b)に示すように良好な矩形パターンが得られた。また、0.4μmDOFを与える露光量裕度はレチクルCで11%であり、レチクルDにおいても10.5%と露光マージンは殆ど変化しなかった。
【0048】
従って本実施形態によっても、先の第1の実施形態と同様の効果が得られる。つまり、ポジ型レジスト使用時にレジスト頭部がT−top気味若しくは逆テーパ気味となる場合においては、レチクル遮光部14にダミーパターン15を配置することで、バックグラウンド光を増加させ、良好な矩形形状のレジストパターンを得ることが可能となる。
【0049】
ここで、本来は露光装置においてバックグラウンド光はない方が望ましいのであるが、露光装置は複数種のレチクルを用い、レチクルによってはバックグラウンド光の大きいものもあることから、露光装置の光学条件は平均的なレチクルに合わせ、ある程度のバックグラウンド光を許容して設定されている。このため、本来は最も望ましいはずである、図3(a)のようなバックグラウンド光の極めて少ないレチクルを用いると、露光装置の設定によっては逆にT−top気味若しくは逆テーパ気味になる場合が生じる。これを防止するために、本実施形態では図4(b)のようにダミーパターン15を設けているのである。
【0050】
また本実施形態では、第1の実施形態と同様に、通常の光近接効果の影響を与えない距離Lmin 以上の距離を被転写パターン11との間に設けることによって、ダミーパターン15の存在による被転写パターン11の光強度分布の変化が避けられる。また、被転写パターン11の設計終了後に、ダミーパターン15を配置することが可能である。
【0051】
レチクル遮光部14にダミーパターン15を配置する場合においても、ウェハ上にダミーパターン15によるレジストパターンが転写されないことから、ウェハ上のダミーパターン部分を除去するための付加プロセスは不要である。
【0052】
なお、ポジ型の代わりにネガ型レジストを使用する場合には、ネガ型レジスト使用時にレジスト頭部形状がT−top気味若しくは逆テーパ気味という記載が、丸まっていると置きかえればよい。
【0053】
(第3の実施形態)
第1の実施形態と同様の露光装置において、ポジ型化学増幅レジストを用いて、開口率がレチクル全面平均で80%のレチクルA、後述するダミーパターン13をレチクルA上の開口部12に追加することでレチクル開口率60%にしたレチクルBを露光した。
【0054】
レチクルAに含まれるパターンにおいて、実験的に最も露光マージンが狭いのは150nmのL/Sパターン11であり、0.4μmDOFが得られる露光量裕度は7%、このとき頭部が丸いレジスト形状(図3(a))であった。
【0055】
前記の露光条件において、150nmのL/Sパターン11について、M,σ,ε、超解像技術の有無、レンズ収差で規定される理想的な光強度分布を計算した。図6(a)はレチクルB、(b)はレチクルBを用いた場合のウェハ上距離に対する光強度の分布である。ダミーパターン13における光強度は被転写パターン11における光強度よりも高くなっており、被転写パターン11を設計通りに解像する光強度Itargetよりもダミーパターン13における光強度の最小値Imin は大きくなっている。従って、Itargetではダミーパターン13は開口部と見なすことができる。
【0056】
本実施形態では、被転写パターンとしての150nmのL/Sパターン11の0μm及び0.3μmデフォーカス時の光強度計算において、許容寸法150±15nmの上限(CDmax )である165nmを与える光強度をItarget maxとするとき、ダミーパターン13の領域における光強度の最小値Imin が、Itarget-max<Imin を満足するウェハ上換算でライン幅100nm/スペース幅160nmのL/Sパターン(パターンピッチPdummy=260nm)を選択した。
【0057】
光強度分布計算の縦軸は任意単位であり、ポジ型レジストの場合、ある光強度(以下、閾値)以上の領域のレジストパターンが溶解領域に相当する。即ち、閾値増加は露光量減少によるライン寸法増加、閾値減少は露光量増加によるライン寸法拡大となる。露光量を変えても被転写パターン11とダミーパターン13との光強度比は変わらず、被転写パターン11の許容寸法内における閾値の最大値Itarget-max より、ダミーパターン13の光強度の最低値Imin が大きければウェハ上のダミーパターン部分は全て溶解する。このため、ウェハ上には被転写パターン部分のみが形成される。また、被転写パターン11とダミーパターン13の光強度の関係はデフォーカスにより変化するため、本実施形態においてはデフォーカス量0μmと、必要なフォーカス裕度の片側最大値である0.3μmで計算を行った。
【0058】
光強度分布計算より、ダミーパターン13の存在による所望寸法変動量が1%以下になる距離を、ダミーパターン13の存在がレチクル中に存在する被転写パターン11の光強度分布に影響を与えない距離Lmin とする。本実施形態記載の光学条件ではLmin =950nmであり、それ以上の距離として、レチクルB中にダミーパターン13を配置する場合にはLmin =1000nmを採用した。これは無次元化数で表すと、2.4λ/NA(>2.3λ/NA)に相当する。
【0059】
レチクルデータの全領域において、2Lmin 十Pdummy (=2260nm)以上の開口部12を検索し、ダミーパターン13を被転写パターン11からLmin (=1000nm)以上の距離を設けて配置した。被転写パターンとして150nmのL/Sパターン11において許容されるライン寸法の上限である165nmを与える露光量においては、ウェハ上のダミーパターン部分は全て溶解していた。
【0060】
開口率80%のレチクルA中における150nmL/Sパターン11のレジスト形状は頭部が丸く(図3(a))、0.4mmDOFで7%の露光量裕度であった。一方、本実施形態の方法でダミーパターン13を配置した開口率60%のレチクルBでは良好な矩形のレジスト形状(図3(b))、0.4μmDOFで10%の露光量裕度が得られた。以上のように本実施形態によってレジスト形状及び露光マージンが改善された。
【0061】
このように本実施形態によれば、図6において、被転写パターン11を所望寸法で形成する光強度がItarget であるとき(ポジ型レジストではラインの許容寸法の最大値、ネガ型レジストではスペースの最大値に相当する)、ダミーパターン13の光強度分布の最小値Imin がImin >Itargetを満足するようにすれば、ダミーパターン13のレジスト像はポジ型レジストでは全て溶解し、ネガ型では全て溶解せずに残るため、ウェハ上には被転写パターン11のレジスト像のみを形成することができる。
【0062】
また、露光波長をλ、投影光学系の開口数をNAとしたときに、被転写パターン11から2.3λ/NA以上の距離を設けてダミーパターン13を配置しても被転写パターン11の光強度分布へは影響しない。このため、前記距離で配置することが、ある特定のダミーパターン配置上で最も緻密であり、レチクル開口率を最も減少させることが可能となる。
【0063】
(第4の実施形態)
第3の実施形態におけるウェハ上換算でライン幅100nm/スペース幅160nmのL/Sパターンに代えて、ウェハ上換算でライン幅95nm/スペース幅135nmのL/Sパターンをダミーパターン13としたレチクルB’を用意し、このレチクルB’を先と同じ条件で露光した。ここで、ダミーパターン13のパターンピッチは230nmであり、第3の実施形態の照明においてパターンが解像しない条件、
λ/NA(1+σ)≧Pdummy
を満足する。即ち、
248/{0.6×(1+0.75)}〜236.1≧95+135=235
である。
【0064】
このようなダミーパターンを設けた開口率58%のレチクルB’を用いることで、前記図3(b)に示す良好な矩形形状が得られ、0.4mmDOF時の露光裕度は10%であった。
【0065】
ここで、ライン幅<スペース幅であって、ライン幅とスペース幅の比を一定にしてパターンピッチを変化させた場合、パターンピッチが小さくなるほど光強度分布の振幅も小さくなる。また、光強度分布の平均値はパターンピッチが小さくなっても殆ど変化しない、若しくは解像限界付近に微細になると平均値が減少する。このため、ライン幅とスペース幅の比が一定の場合、パターンピッチが小さいほど、擬パターンの光強度分布の最大値が小さくなる。即ち、光強度分布の最大値がある閾値以下であるためには、パターンピッチが小さいほどスペース幅の割合が太くなることから、同じ数のダミーパターン配置した場合にレチクル開口率がより大きく低下する。
【0066】
しかし、現実には細すぎるパターンをレチクル上に精度良く形成することが困難であることから、使用する照明条件における解像しない限界のパターンピッチを用いることが現実的である。
【0067】
(第5の実施形態)
第1の実施形態の露光装置において、ポジ型化学増幅レジストを用いて、開口率がレチクル全面平均で20%のレチクルC、後述するダミーパターン15をレチクルC上の遮蔽部14に追加することでレチクル開口率30%にしたレチクルDを露光した。
【0068】
レチクルCに含まれる被転写パターン11において、実験的に最も露光マージンが狭いのは150nmのL/Sパターンであり、0.4μmDOFが得られる露光量裕度は10%であるが、T−top気味若しくは逆テーパ気味のパターン形状(図4(a))であった。
【0069】
前記露光条件において、150nmのL/Sパターン11について、NA,σ,ε、超解像技術の有無、レンズ収差で規定される理想的な光強度分布を計算した。図7(a)はレチクルD、(b)はレチクルDを用いた場合のウェハ上距離に対する光強度の分布である。ダミーパターン15における光強度は被転写パターン11における光強度よりも低くなっており、被転写パターン11を設計通りに解像する光強度Itargetよりもダミーパターン15における光強度の最大値Imax は小さくなっている。従って、Itargetではダミーパターン15は遮光部と見なすことができる。
【0070】
本実施形態では、被転写パターンとしての150nmのL/Sパターン11の0μm及び0.3nmデフォーカス時の光強度計算において、許容寸法150±15mmの下限(CDmin )135nmを与える光強度をItarget min とするとき、ダミーパターン15の領域における光強度の最大値Imax が、Itarget-min>Imax を満足するウェハ上換算でライン幅160nm/スペース幅100nmのL/Sパターン(パターンピッチPdummy =260nm)を選択した。
【0071】
光強度分布計算の縦軸は任意単位であり、ポジ型レジストの場合、ある光強度(以下、閾値)以上の領域のレジストパターンが溶解領域に相当する。即ち、閾値増加は露光量減少によるライン寸法増加、閾値減少は露光量増加によるライン寸法拡大となる。露光量を変えても被転写パターン11とダミーパターン15の光強度比は変わらず、被転写パターン11の許容寸法内における閾値の最小値Itarget min より、ダミーパターン15の光強度の最大値Imax が小さければウェハ上にはダミーパターン15に対応する領域ではレジストが溶解せずに残っていることを意味する。また、被転写パターン11とダミーパターン15の光強度の関係はデフォーカスにより変化するため、本実施形態においてはデフォーカス量0μmと、必要なフォーカス裕度最大値である0.3μmで計算を行った。
【0072】
光強度分布計算より、ダミーパターン15の存在による所望寸法変動量が1%以下になる距離を、ダミーパターン15の存在がレチクル中に存在する被転写パターン11の光強度分布に影響を与えない距離Lmin とする。本実施形態記載の光学条件ではLmin =950mmであり、それ以上の距離として、レチクルD中にダミーパターン15を配置する場合にはLmin =1000nmを採用した。これは無次元化数で表すと2.4λ/NA(>2.3λ/NA)に相当する。
【0073】
レチクルデータの全領域において、2Lmin 十Pdummy (=2260nm)以上の遮蔽部14を検索し、ダミーパターン15を被転写パターン11からLmin (=1000nm)以上離して配置した。被転写パターンとしての150nmのL/Sパターン11における許容寸法±10%の下限である135nmを与える露光量においては、ウェハ上のダミーパターン部分は未露光部と同等の残膜を維持していた。
【0074】
レチクルC,Dを露光して得られた150nmのL/Sパターン11のレジスト形状は、前記図5に示す通りである。レチクルCによるレジストパターンはT−top気味若しくは逆テーパ気味である(図5(a))のに対して、レチクルDでは良好な矩形パターン(図5(b))が得られた。また、0.4μmDOFを与える露光量裕度はレチクルCで11%であり、レチクルDにおいても10.5%と露光マージンは殆ど変化しなかった。
【0075】
ここで、図7において、被転写パターン11を所望寸法で形成する光強度がItarget min であるとき(ポジ型レジストではラインの許容寸法の最小値、ネガ型レジストではスペースの最小値に相当する)、ダミーパターン15の光強度分布の最大値ImaxがImax<Itarget min を満足すれば、ダミーパターン15のレジスト像はポジ型レジストでは全て溶解せずに残り、ネガ型レジストでは全て溶解するため、ウェハ上には被転写パターン11のレジスト像のみが形成される。
【0076】
露光波長をλ、投影光学系の開口数をNAとしたときに、被転写パターン11から2.3λ/NA以上の距離を隔ててダミーパターン15を配置しても被転写パターン11の光強度分布へは影響しない。このため、上記距離で配置することが、ある特定のダミーパターン配置上で量も緻密であり、レチクル開口率を最も減少させることが可能となる。
【0077】
(第6の実施形態)
第5の実施形態におけるウェハ上換算ライン幅160nm/スペース幅100nmのL/Sパターンに代えて、ウェハ上換算でライン幅135nm/スペース幅95nmのL/Sパターンをダミーパターン15としたレチクルD’を用意し、このレチクルD’を先と同じ条件で露光した。ここで、ライン幅135nm/スペース幅95nmは、第3の実施形態の照明においてパターンが解像しない条件
λ/NA(1+σ)≧Pdummy
を満足する。即ち、
248/{0.6×(1+0.75)}〜236.1nm≧135+95=230
である。
【0078】
このように、ダミーパターン15を設けた開口率32%のレチクルD’を用いることで、良好な矩形パターン(図5(b))が得られ、露光マージンも0.4μmDOF時に10.5%と露光裕度も殆ど変化しなかった。
【0079】
ここで、ライン幅>スペース幅であって、ライン幅とスペース幅の比を一定にしてパターンピッチを変化させた場合、パターンピッチが小さくなるほど光強度分布の振幅も小さくなる。また、光強度分布の平均値はパターンピッチが小さくなっても殆ど変化しない、若しくは解像限界付近に微細になると平均値は増加する。このため、ライン幅とスペース幅の比が一定の場合、パターンピッチが小さいほど、該パターンの光強度分布の最小値が大きくなる。即ち、光強度分布の最大値がある閾値以下であるためには、パターンピッチが小さいほどスペース幅の割合が太くなることから、同じ数のダミーパターン配置することでレチクル開口率をより大きく上昇させることが可能である。
【0080】
(第7の実施形態)
第1の実施形態の露光装置を用いて、図8(a)に示すように、上部2/3の平均開口率が80%、下部1/3の平均開口率が30%であるレチクルEを用意し、レジストにはポジ型化学増幅型レジストを使用して露光した。図中の21,31は被転写パターン、22は開口部、34は遮光部である。レチクル上部及び下部の双方に含まれる160nmのL/Sパターン21,31において、レチクル上部では図8(b)に示すような頭部が丸いレジストパターンであるのに対して、レチクル下部では図8(c)に示すような良好な矩形パターンが得られた。0.4μmDOF時の露光量裕度はレチクル上部で9%であるが、レチクル下部では13%であった。
【0081】
これに対し、第3の実施形態と同様の方法を用いて、図9(a)に示すように、レチクル上部2/3の領域にウェハ上換算でライン幅95nm/スペース幅135nmのダミーパターン23を加えることで上部2/3の平均開口率を60%としたレチクルFを用意し、先と同じ条件で露光した。この場合、レチクル上部2/3のレジスト形状、露光マージンはレチクルEと同様であるが、レチクル下部1/3領域においても図9(b)に示すようにレチクル上部2/3と同様の良好な矩形形状が得られ、0.4μmDOF時で12.5%の露光量裕度が得られた。
【0082】
なお、図9の例では開口部22にダミーパターン23を形成したが、これに加えて遮光部34にダミーパターンを形成してもよい。
【0083】
このように、あるレチクル内のレチクル開口率の局所的差が大きい場合、ラインパターンや島状パターンなどCr線幅が異なるだけで同一パターンとみなせるパターンにおいて、該パターン周辺の局所的な被覆率によっても露光マージン、レジスト形状差が生じる。このため、レチクル開口率差が極度に大きい場合には、ショット内の共通露光マージンが取れない場合がある。このような場合、本実施形態のようにダミーパターンの形成により全体の開口率差を小さくすることで、パターン設計の全面変更を伴うことなく、ショット内の露光マージン,レジスト形状差を抑制することが可能となる。
【0084】
(第8の実施形態)
第1の実施形態に記載の露光装置を用いて、平均開口率80%のレチクルAと、平均開口率30%のレチクルCを用意し、レジストにはポジ型化学増幅型レジストを使用して露光した。双方のレチクルに含まれる被転写パターン11としての160nmのL/Sパターンにおいて、開口率80%のレチクルAでは頭部が丸いレジスト形状(図3(a))であるのに対して、開口率30%のレチクルCでは良好な矩形形状(図3(b))が得られた。0.4μmDOF時の露光量裕度は開口率80%のレチクルAで9%、開口率30%のレチクルCでは13%であった。
【0085】
そこで本実施形態では、第3の実施形態と同様の方法を用いて、開口率30%のレチクルAの開口部12中にウェハ上換算でライン幅95nm/スペース幅135nmのダミーパターン13を配置することで平均開口率を45%とした、レチクルBを作成した。そして、このレチクルBを前記条件で露光したところ、レジストプロセスの変更を行うことなく、開口率80%のレチクルCと同様の良好な矩形パターン(図3(a))が得られ、0.4μmDOF時で12.35%の露光量裕度が得られた。
【0086】
このように、複数レチクル間のレチクル開口率の差が非常に大きい場合、ラインパターンや島状パターンなどCr線幅が異なるだけで同一パターンとみなせるパターンであっても、レチクル被覆率によって露光マージン、レジスト形状に大きな差が生じる。主にレチクル開口率が高い場合であるが、露光マージン、レジスト形状の劣化が顕著な場合には、現像やレジストそのものの変更等レジストプロセスの変更が必要となる。このようなばあ、本実施形態のようにすることで、個々のレチクル毎にレジストプロセスの調整を行う労力を低減することが可能となる。
【0087】
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。実施形態では、被転写パターン及びダミーパターン共にL/Sパターンにしたが、何れのパターンもL/Sパターンに限るものではない。周期性を有するパターンの方が本発明の効果は顕著に現れるが、周期性のないパターンであっても本発明の効果は十分に得られることから、被転写パターン及びダミーパターンは必ずしも周期性を有するものでなくてもよい。
【0088】
また、実施形態では、被転写パターンはウェハ上に実際に転写形成されるパターンを、ダミーパターンはマスク上には形成されているがウェハ上には転写形成されないパターンを意味するものとして記載した。しかしながら、実際の被転写パターンとしては、ウェハ上に転写された場合にLSI素子(半導体素子)としての機能に寄与するパターン(回路パターン)の他に、LSI素子の機能に寄与しないパターン(CMP用パターン,合わせマーク等)がある。これらのLSI素子の機能に寄与しないパターンに付いては、厳密な寸法制御が必要とされない場合が多い。即ち、実施形態に記載した「被転写パターン」に要求される「ダミーパターン」との位置関係上の制約は、少なくとも「LSI素子としての機能に寄与するパターン(回路パターン)」のみについて成立していれば良く、「LSI素子の機能に寄与しないパターン(CMP用パターン,合わせマーク等)」に付いては「被転写パターン」に要求される「ダミーパターン」との位置関係上の制約は成立している必要は無い。
【0089】
また、本発明は、露光用マスクのパターン配置に特徴を有するものであり、露光装置の光学系の構成は図1に何ら限定されるものではない。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【0090】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、露光用マスクにおいて、被転写パターンに対し、該パターンの光強度分布に影響を与えない距離を隔てて、該パターンを所望寸法で形成するための露光条件ではウェハ上にレジストパターンとして形成されないダミーパターンを配置することによって、バックグラウンド光強度を制御して被転写パターンにおける光強度コントラストを最適に制御することができる。
【0091】
従って、バックグラウンド光強度を低下させ、被転写パターンの光強度コントラスト低下を抑制することにより、露光マージンの向上及びパターン精度の向上に寄与することができる。また、同一の露光用マスクの全体の領域、又は複数の露光用マスクに対して被転写パターンにおける光強度コントラストを均一化することができ、同一レジストプロセスへの適用を容易化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に用いた露光装置の概略構成を示す図。
【図2】第1の実施形態を説明するためのもので、開口率の高いレチクルと開口部にダミーパターンを配置した開口率の低いレチクルを示す図。
【図3】図2(a)(b)のレチクルで得られるレジストパターンを示す図。
【図4】第2の実施形態を説明するためのもので、開口率の低いレチクルと遮光部にダミーパターンを配置した開口率の高いレチクルを示す図。
【図5】図4(a)(b)のレチクルで得られるレジストパターンを示す図。
【図6】第3の実施形態を説明するためのもので、レチクル開口部におけるダミーパターンがウェハ上に転写されないための条件を示す図。
【図7】第5の実施形態を説明するためのもので、レチクル遮光部におけるダミーパターンがウェハ上に転写されないための条件を示す図。
【図8】第7の実施形態を説明するためのもので、局所的な開口率の差に応じてレジスト形状が異なることを示す図。
【図9】第7の実施形態を説明するためのもので、ダミーパターンを配置することで局所的な被覆率差によって生じるレジスト形状の差が改善されたことを示す図。
【図10】バックグラウンド光の存在によって、被転写パターンの光強度コントラストが低下することを示す図。
【図11】バックグラウンド光の低減によって、被転写パターンの光強度コントラストの低下が少なくなる様子を示す図。
【符号の説明】
1…露光光源
2…集光レンズ
3…露光用マスク
4…投影光学系
5…レジスト
6…ウェハ
11,21,31…被転写パターン
12,22…開口部
13,23,15ダミーパターン
14,34…遮光部
Claims (5)
- ウェハ上のレジストに所望のパターンを転写するための露光用マスクであって、
露光光を透過する光透過基板と、この基板上に設けられ、所望のパターンが形成された被転写パターン部と、前記基板上に前記被転写パターン部とは所定の距離を離して設けられ、前記所望パターンを前記レジストに所望寸法で転写するために必要な露光条件では前記レジスト上に転写されないダミーパターンが形成されたダミーパターン部とを具備してなり、
前記ダミーパターン部は、前記露光光の波長をλ、投影光学系の開口数をNAとしたときに、前記被転写パターン部から2.3λ/NA以上の距離を隔てて、前記マスクの不透明な部分の全体に配置されていることを特徴とする露光用マスク。 - ウェハ上のレジストに所望のパターンを転写するための露光用マスクであって、
露光光を透過する光透過基板と、この基板上に設けられ、所望のパターンが形成された被転写パターン部と、前記基板上に前記被転写パターン部とは所定の距離を離して設けられ、前記所望パターンを前記レジストに所望寸法で転写するために必要な露光条件では前記レジスト上に転写されないダミーパターンが形成されたダミーパターン部とを具備してなり、
前記ダミーパターン部は、前記露光光の波長をλ、投影光学系の開口数をNAとしたときに、前記被転写パターン部から2.3λ/NA以上の距離を隔てて、前記マスクの透明な部分の全体に配置されていることを特徴とする露光用マスク。 - 前記ダミーパターンは、複数のラインとスペースからなり、これらのライン幅及びスペース幅は、前記露光用マスクを通して得られるダミーパターン部の光強度の最大値Imax 又は最小値I min が、前記被転写パターンを所望寸法で形成するのに必要な前記露光用マスクを通して得られる光強度Itargetに対して、要求される露光マージン全域において不透明な部分に配置される場合はI max <I target 、透明な部分に配置される場合はI min >I target を満足するように形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の露光用マスク。
- 前記ダミーパターンのピッチPdummy は、露光波長をλ、レンズ開口率をNA、照明コヒーレンスファクタをσとしたとき、ダミーパターンを解像しない条件である
Pdummy ≦λ/NA(1+σ)
を満足するように設定されていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の露光用マスク。 - 請求項1〜4の何れかの露光用マスクを用いて、レジストが塗布されたウェハ上に被転写パターンを転写したのち、レジストを現像処理することにより所望のレジストパターンを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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