JP2012022036A - 露光用マスクおよび半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本実施形態の露光用マスクは、露光装置により、感光性樹脂膜がパターン化されることのない第1の領域と所望の形状のパターン群が形成される第2の領域とを有する感光性樹脂膜パターンを転写形成する際に使用するものである。前記露光用マスクは、透明基板と、この透明基板上に設けられ光を遮断する機能または光を一部透過させる機能を有する遮光膜とから構成される。前記露光用マスクにおける前記第1の領域に対応する領域に亘って、前記露光装置の露光条件に対して非解像のピッチの前記遮光膜による繰り返しパターンが形成されている。
【選択図】図2
Description
第1実施形態を図1ないし図3を参照して説明する。図1は、本実施形態の被加工基板(以下ウエハと称す)上に塗布したポジ型のレジスト膜(感光性樹脂膜)1のパターニングされた状態のものを模式的に示した平面図である。レジスト膜1には、例えば矩形状の開口からなるレジスト抜き領域(第1の領域)2と、このレジスト抜き領域2に隣接するように設けられた例えば矩形状のレジストパターン形成領域(第2の領域)3とが設けられている。
以上説明した複数の実施形態に加えて以下のような構成を採用しても良い。
上記実施形態では、レジスト膜1をポジ型レジストで構成したが、これに限定されるものではなく、例えばネガ型レジストで構成しても良く、この場合、レジスト膜における第1の領域はレジスト膜が全面的に残存する領域となる。
更に、ピッチPとしては、上記式を満たすと共に、できるだけ大きい値となるように設定すると、露光用マスク4の製造が容易になる。尚、上記実施形態において使用した露光装置のウエハ側開口数NAは0.85であり、照明のコヒーレンスファクタσは0.9である。
Claims (5)
- 露光装置により、感光性樹脂膜がパターン化されることのない第1の領域と所望の形状のパターン群が形成される第2の領域とを有する感光性樹脂膜パターンを転写形成する際に使用する露光用マスクであって、
前記露光用マスクは、透明基板と、この透明基板上に設けられ光を遮断する機能または光を一部透過させる機能を有する遮光膜とから構成され、
前記露光用マスクにおける前記第1の領域に対応する領域に亘って、前記露光装置の露光条件に対して非解像のピッチの前記遮光膜による繰り返しパターンが形成されていることを特徴とする露光用マスク。 - 前記露光条件として、露光波長をλ、ウエハ側開口数をNA、照明のコヒーレンスファクタをσ、転写倍率をMとすると共に、前記繰り返しパターンのピッチをPとしたときに、次の式
P/M≦(λ/(1+σ))NA
を満たすように前記ピッチPが設定されていることを特徴とする請求項1記載の露光用マスク。 - 前記繰り返しパターンは、ラインアンドスペースパターンであることを特徴とする請求項2記載の露光用マスク。
- 感光性樹脂膜を被加工基板上に塗布する工程と、
露光装置により露光用マスクに形成されたパターンを前記感光性樹脂膜上に転写する工程と、
現像処理によって選択的に前記感光性樹脂膜を除去して、感光性樹脂膜パターンを形成する工程とを備えた半導体装置の製造方法であって、
前記感光性樹脂膜パターンが、感光性樹脂膜がパターン化されることのない第1の領域と、所望の形状のパターン群が形成された第2の領域とを有し、
前記露光用マスクは、透明基板と、この透明基板上に設けられ光を遮断する機能または光を一部透過させる機能を有する遮光膜とから構成され、
前記露光用マスクにおける前記第1の領域に対応する領域に亘って、前記露光装置の露光条件に対して非解像のピッチの前記遮光膜による繰り返しパターンが形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記繰り返しパターンは、ラインアンドスペースパターンであり、
ラインの幅寸法とスペースの幅寸法の比率を制御することにより、前記第1の領域に対応する領域を透過する光量を調節することを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。
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---|---|---|---|---|
US9417517B2 (en) | 2013-06-27 | 2016-08-16 | Micron Technology, Inc. | Photomask having a blind region including periodical clear portions |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000310850A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-11-07 | Toshiba Corp | 露光量モニタマスク、露光量調整方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2001092105A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-04-06 | Toshiba Corp | 露光用マスク、露光装置、及び半導体装置の製造方法 |
JP2009237339A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Toshiba Corp | フォトマスク及びそのフォトマスクを用いた半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7005217B2 (en) * | 2003-04-04 | 2006-02-28 | Lsi Logic Corporation | Chromeless phase shift mask |
US7759023B2 (en) * | 2006-12-29 | 2010-07-20 | Sandisk 3D Llc | Hybrid mask and method of making same |
-
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2013
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000310850A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-11-07 | Toshiba Corp | 露光量モニタマスク、露光量調整方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2001092105A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-04-06 | Toshiba Corp | 露光用マスク、露光装置、及び半導体装置の製造方法 |
JP2009237339A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Toshiba Corp | フォトマスク及びそのフォトマスクを用いた半導体装置の製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9417517B2 (en) | 2013-06-27 | 2016-08-16 | Micron Technology, Inc. | Photomask having a blind region including periodical clear portions |
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