JP3982474B2 - 真空処理装置用の防着板及び真空処理装置 - Google Patents
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Description
防着板15はアルミニウムを主材質とする薄板15aを層間材15cを介して複数枚積層した積層構造となっている。層間材15cは薄膜状の接着剤であり、薄板15a相互を接着するとともに、ある限度以上の引張力を作用させることによって薄板15a相互を容易に剥離させることが出来るような接着特性を有している。
薄板15aを剥離して次層を露呈させるようにしたものである。これにより、従来の交換式の防着部材において必要とされていた再使用のための洗浄処理を不要にして、使用済みの防着部材を再処理のために専用業者へ発送し引き取る煩雑な手間を排除し、真空処理装置のメンテナンスの手間とコストを低減することができる。
2 基部
4 蓋部
8 処理室
9 防着部材
15 防着板
15a 薄板
Claims (2)
- 真空処理装置において処理室を形成する密閉空間内面への汚染物の付着を防止する真空処理装置用の防着板であって、アルミニウムを主材質とする薄板を層間材を介して複数枚積層した積層構造を有し、露呈状態となっている表層の前記薄板が汚染物によって汚染されたならばこの表層の薄板を剥離して次層を露呈させるものであり、前記積層構造の端部に、前記複数層の各層の端部表面が部分的に階段状に露呈した端部露呈部が形成されていることを特徴とする真空処理装置用の防着板。
- 処理室を形成する密閉空間内で処理対象物の真空処理を行う真空処理装置であって、前記密閉空間を構成する凹状容器の内面に、アルミニウムを主材質とする薄板を層間材を介して複数枚積層した積層構造を有し前記密閉空間内面への汚染物の付着を防止するする防着板が装着されており、露呈状態となっている表層の前記薄板が汚染物によって汚染されたならばこの表層の薄板を剥離して次層を露呈させるものであり、前記積層構造の端部に、前記複数層の各層の端部表面が部分的に階段状に露呈した端部露呈部が形成されていることを特徴とする真空処理装置。
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