JP3967280B2 - GaN半導体及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、Si(シリコン)に比べて半導体機能に優れ、Si単結晶基板上に形成された単結晶膜からなり、短波長LED(発光ダイオード)や短波長LD(レーザダイオード)等に用いられるGaN(窒化カリウム)半導体及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種のGaN半導体としては、Si単結晶基板上にc−BP(立方晶リン化ホウ素)単結晶層をSiとGaNの格子不整合を緩和するバッファ層として介在してc−GaN(立方晶窒化ガリウム)単結晶膜を形成したものが開示されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2000−349335号公報
【0004】
【特許文献2】
特開2000−351692号公報
【0005】
ここで、c−BPは、その格子定数(4.538オングストローム)がSiのそれ(5.431オングストローム)と比較して16.4%もの不整合があるにも拘わらず、Si単結晶基板上に成長することが知られており、c−GaNの格子定数(4.52オングストローム)とは僅か0.6%の不整合である。
従って、c−BPをバッファ層として用いることにより、格子定数の近いc−GaN単結晶膜を成長させることが可能と考えられる。
【0006】
上記GaN半導体は、Si単結晶基板上に900〜1150℃の温度でc−BP単結晶層を5μm程度の厚さにエピタキシャル成長させた後、c−BP単結晶層上に700〜1100℃の温度でc−GaN単結晶膜を4μm程度の厚さにエピタキシャル成長させて製造されるものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のGaN半導体においては、電子デバイスに使用できる程度に欠陥を抑制したc−GaN単結晶膜が得られていない。
この理由は、c−BPはイオン性が0.006と低いのに対し、c−GaNのそれが0.5と比較的高く、両者のイオン性の違い(極性不整合)によるものと考えられる。
【0008】
そこで、本発明は、電子デバイスに使用できる程度に結晶欠陥に抑制し得るGaN半導体及びその製造方法の提供を課題とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明の第1のGaN半導体は、Si単結晶基板上に厚さ50nm〜1μm程度のc−BP単結晶層及び厚さ1〜10nm程度のGaP単結晶層を順に介在して厚さ1〜10μm程度のc−GaN単結晶膜が形成されていることを特徴とする。
【0010】
又、第2のGaN半導体は、第1のものにおいて、前記Si単結晶基板とc−BP単結晶層との間に厚さ2〜50nm程度のc−BPの低温成長層が介在されていることを特徴とする。
【0011】
一方、第1のGaN半導体の製造方法は、Si単結晶基板上に850〜1000℃の温度でc−BP単結晶層を50nm〜1μm程度の厚さにエピタキシャル成長させた後、c−BP単結晶層上に750〜950℃の温度でGaP単結晶層を1〜10nm程度の厚さにエピタキシャル成長させ、しかる後に、GaP単結晶層上に700〜900℃の温度でc−GaN単結晶膜を1〜10μm程度の厚さにエピタキシャル成長させることを特徴とする。
【0012】
又、第2のGaN半導体の製造方法は、第1の方法において、前記c−BP単結晶層のエピタキシャル成長の前に、Si単結晶基板上に350〜450℃の温度でc−BPの低温成長層を2〜50nm程度の厚さに堆積させることを特徴とする。
【0013】
【作用】
本発明の第1のGaN半導体及びその製造方法においては、c−BP単結晶層とc−GaN単結晶膜との間に、イオン性が0.32と比較的高いGaP(リン化ガリウム)単結晶層が介装される。
【0014】
又、第2のGaN半導体及びその製造方法においては、第1のもの及び方法による作用の他、c−BP単結晶層、ひいてはGaP単結晶層及びc−GaN単結晶膜の結晶欠陥が低減される。
【0015】
c−BP単結晶層の厚さが、50nm未満であると、Siの格子の影響を打消すことができない。一方、1μmを超えると、C−BP単結晶層の表面が荒れてしまう。
c−BP単結晶層の厚さは、80〜800nmが好ましい。
GaP単結晶層の厚さが、1nm未満であると、GaPのイオン性の効果が明瞭とならない。一方、10nmを超えると、c−GaN単結晶との格子不整合を生ずる。
GaP単結晶層の厚さは、1〜4nmが好ましい。
GaN単結晶層の厚さが、1μm未満であると、デバイスとして機能しないおそれがある。厚みは十分あってもかまわないが、10μmを超えると、製造に時間がかかる割に効果が変わらない。
又、c−BPの低温成長層(結晶成長しない温度で成膜したもの)の厚さが、2nm未満であると、結晶成長層が多結晶となる。一方、50nmを超えると、結晶成長層の結晶性が下がる。
c−BPの低温成長層の厚さは、5〜20nmが好ましい。
【0016】
一方、c−BP単結晶層のエピタキシャル成長時の温度が、850℃未満であると、C−BPは多結晶となる。一方、1000℃を超えると、立方晶ではなくなる。
c−BP単結晶層のエピタキシャル成長時の温度は、900〜950℃が好ましい。
c−BP単結晶層のエピタキシャル成長用の原料としては、B2 H6 (ジボラン)とPH3 (ホスフィン)が用いられる。
GaP単結晶層のエピタキシャル成長時の温度が、750℃未満であると、多結晶化する。一方、950℃を超えると、多結晶化する。
GaP単結晶層のエピタキシャル成長時の温度は、780〜920℃が好ましい。
GaP単結晶層のエピタキシャル成長用の原料としては、Ga(CH3 )3 (トリメチルガリウム)とPH3 が用いられる。
c−GaN単結晶膜のエピタキシャル成長時の温度が、700℃未満であると、多結晶となる。一方、900℃を超えると、ウルツ鉱型となる。
c−GaN単結晶膜のエピタキシャル成長時の温度は、720〜900℃が好ましい。
c−GaN単結晶膜のエピタキシャル成長用の原料としては、Ga(CH3 )3 と(CH3 )NHNH2 (モノメチルヒドラジン)が用いられる。
又、c−BPの低温成長層のエピタキシャル成長時の温度が、350℃未満であると、c−BP単結晶層の表面が荒れる。一方、450℃を超えると、同様にc−BP単結晶層の表面が荒れる。
c−BPの低温成長層のエピタキシャル成長時の温度は、380〜420℃が好ましい。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図1は本発明に係るGaN半導体の実施の形態の一例を示す概念的な断面図である。
【0018】
このGaN半導体は、(100)面のSi単結晶基板1上に厚さ2〜50nm程度のc−BPの低温成長層2、厚さ50nm〜1μm程度のc−BP単結晶層3及び厚さ1〜10nm程度のGaP単結晶層4を順に介在して厚さ1〜10μm程度のc−GaN単結晶膜5が形成されているものである。
【0019】
上記GaN半導体においては、c−BP単結晶層とc−GaN単結晶膜との間に、イオン性が0.32と比較的高いGaP単結晶膜が介在されていると共に、c−BP単結晶層、ひいてはGaP単結晶層及びc−GaN単結晶膜の結晶欠陥が低減される。
【0020】
上述したGaN半導体を製造するには、先ず、(100)面のSi単結晶基板1をH2 (水素ガス)雰囲気中において1000℃以上の温度で加熱することにより自然酸化膜を除去した(図2(a)参照)。
次に、c−BPの低温成長層2を設けるために、350〜450℃まで降温した後、PH3 の分圧が1Torr以上となるようにPH3 を供給し、かつ、PH3 /B2 H6 の供給比が100以上となるようにB2 H6 を供給して、c−BPの低温成長層2を2〜50nm程度の厚さに堆積させた(図2(b)参照)。
次いで、一旦、B2 H6 の供給を止め、c−BP単結晶の成長温度である850〜1000℃程度まで昇温した後、再びB2 H6 を供給してc−BP単結晶層3を50nm〜1μm程度の厚さにエピタキシャル成長させ、しかる後に、B2 H6 の供給を止めた(図2(c)参照)。
【0021】
次に、750〜950℃程度の温度に保持すると共に、Ga(CH3 )3 をPH3 (分圧1Torr以上)と一緒に供給してGaP単結晶層4を1〜10nm程度の厚さにエピタキシャル成長させた(図2(d)参照)。
次いで、Ga(CH3 )3 及びPH3 の供給を停止し、c−GaN単結晶の成長温度である700〜900℃程度の温度にした後、キャリアガスの50%をN(窒素ガス)とする共に、Ga(CH3 )3 と(CH3 )NHNH2 等の有機窒素原料を供給してc−GaN単結晶膜5を1〜10μmの厚さにエピタキシャル成長させた(図2(e)参照)。
【0022】
なお、上述した実施の形態においては、Si単結晶基板とc−BP単結晶層との間にc−BPの低温成長層を介在させる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、c−BPの低温成長層を設けることなく、c−BP単結晶層をSi単結晶基板上に直に設けるようにしてもよい。
【0023】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の第1のGaN半導体及びその製造方法によれば、c−BP単結晶層とc−GaN単結晶膜との間に、イオン性が0.32と比較的高いGaP単結晶層が介装されるので、Si単結晶基板とGaN単結晶膜との格子整合性のみならず、極性整合性を高めることができ、GaN半導体を電子デバイスに使用できる程度に結晶欠陥を抑制したものとすることができる。
【0024】
又、第2のGaN半導体及びその製造方法によれば、第1のもの及び方法による作用効果の他、c−BP単結晶層、ひいてはGaP単結晶層及びGaN単結晶膜の結晶欠陥が低減されるので、GaN半導体の結晶欠陥を一層抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るGaN半導体の実施の形態の一例を示す概念的な断面図である。
【図2】(a)〜(e)は図1のGaN半導体の製造方法の各工程を示す説明図である。
【符号の説明】
1 Si単結晶基板
2 c−BPの低温成長層
3 c−BP単結晶層
4 GaP単結晶層
5 GaN単結晶膜
Claims (4)
- Si単結晶基板1上に厚さ50nm〜1μm程度のc−BP単結晶層及び厚さ1〜10nm程度のGaP単結晶層を順に介在して厚さ1〜10μm程度のc−GaN単結晶膜が形成されていることを特徴とするGaN半導体。
- 前記Si単結晶基板とc−BP単結晶層との間に厚さ2〜50nm程度のc−BPの低温成長層が介在されていることを特徴とする請求項1記載のGaN半導体。
- Si単結晶基板上に850〜1000℃の温度でc−BP単結晶層を50nm〜1μm程度の厚さにエピタキシャル成長させた後、c−BP単結晶層上に750〜950℃の温度でGaP単結晶層を1〜10nm程度の厚さにエピタキシャル成長させ、しかる後に、GaP単結晶層上に700〜900℃の温度でc−GaN単結晶膜を1〜10μm程度の厚さにエピタキシャル成長させることを特徴とするGaN半導体の製造方法。
- 前記c−BP単結晶層のエピタキシャル成長の前に、Si単結晶基板上に350〜450℃の温度でc−BPの低温成長層を2〜50nm程度の厚さに堆積させることを特徴とする請求項3記載のGaN半導体の製造方法。
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