JP3959266B2 - 配線基板 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、配線基板に関し、特に筒状のスルーホール導体とこれに接続するビア導体とを有する配線基板に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の配線基板としては、図3に示す配線基板10のようなものが知られている。配線基板10は、図3に示すように、内側絶縁層17の外側(図中上方)に外側絶縁層18及びソルダーレジスト層19が積層されている。内側絶縁層17には、これを貫通するスルーホール12が形成され、このスルーホール12の内壁面には筒状のスルーホール導体21が形成されている。さらに、スルーホール導体21内には樹脂充填体16が形成され、さらに内側絶縁層17と外側絶縁層18との層間には、樹脂充填体16を覆うように蓋メッキ層22が形成されている。外側絶縁層18には、ビアホール11が形成され、このビアホール11内には蓋メッキ層22と接続するビア導体13が形成されている。さらに、外側絶縁層18とソルダーレジスト層19との層間には、ビア導体13の周囲を囲んで接続するビアランド14と、このビアランド14と接続する配線層15とが形成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、樹脂の熱膨張係数は、金属の熱膨張係数よりも大きい。従って、配線基板では、内側絶縁層及び樹脂充填体の熱膨張係数が、スルーホール導体の熱膨張係数より大きい。このため、配線基板の温度が上下すると、内側絶縁層及び樹脂充填体がスルーホール導体に比べて大きく伸縮する。
ところで、図3に示すように、従来の配線基板10では、ビアホール11とスルーホール12とが同軸に形成されていた。上述のように、配線基板10の温度が上下すると、内側絶縁層17及び樹脂充填体16がスルーホール導体21に比べて大きく伸縮する。このために、配線基板10では、ビア導体13とビアランド14との境界部14bに応力が集中して、図3に破断線で示すように、この境界部14bにクラックが生じることがあった。
【0004】
このため、ビア導体13とビアランド14との間の抵抗が大きくなることがあった。従って、ビアランド14を介してビア導体13と接続する配線層15とビア導体13との間の抵抗が大きくなることがあった。特に、配線層15とビア導体13とを最短距離で結ぶ経路中に位置する境界部14bにクラックが生じると、両者を結ぶ経路が長くなり、また細くなるから、両者間の抵抗が大きくなりやすい。さらに極端な場合には、環状の境界部14bを一周するクラックが生じて、ビア導体13とビアランド14とが断線することがあった。従って、ビア導体13と配線層15とが断線してしまうことがあった。
【0005】
本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであって、ビア導体とビアランドとの間やビア導体と配線層との間の抵抗が大きくなりにくく、また、断線が生じ難くした、信頼性の高い配線基板を提供する。
【0006】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
その解決手段は、1または複数の内側絶縁層と、上記内側絶縁層を厚さ方向に貫通するスルーホールと、上記スルーホールの内壁面に形成された筒状のスルーホール導体と、上記スルーホール導体の内側に形成された樹脂充填体と、上記内側絶縁層の外側に積層された外側絶縁層と、上記内側絶縁層と上記外側絶縁層との層間に形成され、上記樹脂充填体を覆うと共に、上記スルーホール導体と接続する蓋メッキ層と、上記外側絶縁層を厚さ方向に貫通する上記スルーホールよりも小径のビアホールと、上記ビアホール内に形成され、上記蓋メッキ層と接続するビア導体と、上記外側絶縁層の外側面に形成され、上記ビア導体と接続し、その周囲に延在するビアランドと、上記外側絶縁層の外側面に形成され、上記ビアランドと接続する配線層と、を備える配線基板であって、上記ビアホールの中心軸が上記スルーホールの中心軸と一致しないように、且つ上記ビアホールの中心軸が上記スルーホール内に含まれるようにされ、上記配線層と上記ビアランドとの接続位置は、上記ビアホールの中心軸よりも上記スルーホールの中心軸側に位置する配線基板である。
【0007】
本発明の配線基板では、ビアホールの中心軸がスルーホールの中心軸と一致しないように、且つビアホールの中心軸がスルーホール内に含まれるようにしている。つまり、ビアホールの中心軸をスルーホールの中心軸からずらし、しかも、これがスルーホール内に含まれるようにしている。従って、ビアランドとビア導体との境界部のうち、ビアホールの中心軸よりスルーホールの中心軸側の部分は、その反対側の部分に比してスルーホールの中心軸に近づくようになる。
ところで、内側絶縁層及び樹脂充填体とスルーホール導体との熱膨張係数の違いによる応力は、スルーホール導体を外側絶縁層側に延ばした筒状の領域で最も高くなり、それよりもスルーホールの径方向内側及び外側にずれるにしたがって減少すると考えられる。このため、本発明の配線基板では、ビアランドとビア導体との境界部のうちビアホールの中心軸よりもスルーホールの中心軸側の部分では、その反対側の部分よりも相対的に応力が低くなる。従って、少なくとも、上記境界部のうちビアホールの中心軸よりスルーホールの中心軸側の部分では、クラックが生じにくくなる。
【0008】
しかも、本発明では、配線層とビアランドとの接続位置を、ビアホールの中心軸よりもスルーホールの中心軸側に位置させている。つまり、ビアランドとビア導体との境界部のうちクラックが生じにくい部分を通って、配線層とビア導体とが最短距離で結ばれることになる。このため、たとえ上記境界部のうち反対側の部分にクラックが生じたとしても、このクラックが配線層とビア導体との間の抵抗に及ぼす影響は小さい。また、クラックが境界部の全周にわたって生じ、断線となることも防止できる。
【0009】
さらに、上記配線基板であって、前記ビアホールの前記ビアランド側の周縁のうち、前記配線層と前記ビアランドとの接続位置が上記ビアホールの径方向外側に位置する部分と、前記スルーホールの中心軸とが交わる配線基板とすると良い。
【0010】
本発明の配線基板では、ビアランドとビア導体との境界部のうち、配線層とビアランドとの接続位置がビアホールの径方向外側に位置する部分と、スルーホールの中心軸とが交わる。
ところで、内側絶縁層及び樹脂充填体とスルーホール導体との熱膨張係数の違いによる応力は、スルーホール導体を外側絶縁層側に延ばした筒状の領域よりも内側の領域では、スルーホールの中心軸上が最も低いと考えられる。このため、上述のように配置することで、ビアランドとビア導体との境界部のうち配線層とビアランドとの接続位置がビアホールの径方向外側に位置する部分にかかる応力を最も低くできるので、この部分にクラックが生じる危険性を最も低くできる。従って、ビア導体と配線層との最短経路にクラックが生じる危険性を最も低くできるので、抵抗安定性が高く、断線の危険性を最も低くすることができる。
なお、本明細書において、ビアホールの径とは、ビアホールの開口径(直径)のうち最も大きな部分を差す。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。図1に示す配線基板100は、コア基板110(内側絶縁層)、コア主面110b側に積層された樹脂絶縁層120(外側絶縁層)、及びソルダーレジスト層130を有する。さらに、図示しないが、コア裏面側にも同様に、樹脂絶縁層、及びソルダーレジスト層が積層されている。
コア基板110は、厚さ800μmのガラス−エポキシ樹脂複合材料からなり、この厚さ方向を貫通する内径100μmのスルーホール111が多数形成されている。さらに、スルーホール111内には、厚さ18mmの円筒状のスルーホール導体112が形成されている。さらに、スルーホール導体112の貫通孔112b内には樹脂充填体113が充填されている。
【0012】
コア基板110と樹脂絶縁層120との層間には、樹脂充填体113を覆いつつスルーホール導体112と接続する、厚さ15μmの蓋メッキ層115が形成されている。樹脂絶縁層120は、厚さ30μmのエポキシ樹脂からなり、多数のビアホール121が形成されている。さらに、ビアホール121内には、蓋メッキ層115と接続する肉厚15μmのビア導体122が形成されている。さらに、樹脂絶縁層120とソルダーレジスト層130との層間には、ビア導体122の周囲に位置し、これと接続するビアランド131が形成され、さらに、ビアランド131と接続する配線層132が形成されている。さらに、ソルダーレジスト層130には、貫通孔133が形成されており、配線層132の一部を露出させてパッド132bを形成している。配線基板100には、このパッド132bを利用して、図示しないICチップ等の電子部品が搭載される。
【0013】
さらに、本実施形態の配線基板100では、ビアホール121の中心軸C2がスルーホール111の中心軸C1と一致しないように、且つビアホール121の中心軸C2がスルーホール111内に含まれるようにしている。つまり、上面視した位置関係を図2に示すように、ビアホール121の中心軸C2をスルーホール111の中心軸C1からずらし、しかも、中心軸C2がスルーホール111内に含まれるようにしている。従って、ビアランド131とビア導体122との境界であるリング状の境界部131bのうち、ビアホール121の中心軸C2よりスルーホール111の中心軸C1側(図中右側)の部分である中心軸C1側境界部131fは、その反対側の部分である反対側境界部131gに比してスルーホール111の中心軸C1の近くに位置するようになる。
【0014】
ところで、配線基板100では、ガラス−エポキシ樹脂複合材料からなるコア基板110の厚さ方向の熱膨張係数、及びエポキシ樹脂からなる樹脂充填体113の熱膨張係数が約40ppm、銅からなるスルーホール導体112の熱膨張係数が約18ppmとなっている。従って、コア基板110及び樹脂充填体113の熱膨張係数がスルーホール導体112の熱膨張係数よりもおよそ2倍以上大きいために、配線基板100の温度が上下すると、コア基板110及び樹脂充填体113がスルーホール導体112に比べて大きく伸縮する。このため、コア基板110及び樹脂充填体113とスルーホール導体112との熱膨張係数の違いによる応力は、スルーホール導体112を樹脂絶縁層120側に延ばした筒状の領域で最も高くなり、それよりもスルーホール111の径方向内側及び外側にずれるにしたがって減少すると考えられる。
このため、中心軸C1側境界部131fは、反対側境界部131gよりも相対的に応力が低くなる。従って、少なくとも、中心軸C1側境界部131fでは、クラックが生じにくくなる。
【0015】
さらに、本実施形態の配線基板100では、図2に示すように、配線層132とビアランド131との接続位置Rを、ビアホール121の中心軸C2よりスルーホール111の中心軸C1側に位置させている。つまり、ビアランド131とビア導体122との境界部131bのうち、クラックが生じにくい中心軸C1側境界部131fを通って、配線層132とビア導体122とが最短距離で結ばれることになる。このため、たとえ反対側境界部131gにクラックが生じたとしても、このクラックが配線層132とビア導体122との間の抵抗に及ぼす影響は小さい。また、クラックが境界部131bの全周にわたって生じ、断線となることも防止できる。
【0016】
特に、本実施形態の配線基板100では、図2に示すように、ビアホール121のビアランド131側の周縁121fのうち、配線層132とビアランド131との接続位置Rがビアホール121の径方向外側に位置する部分である接続側ビアホール周縁部121dと、スルーホール111の中心軸C1とが交わるように配置している。従って、境界部131bのうち接続位置Rがビアホール121の径方向外側に位置する部分である接続側境界部131dが、スルーホール111の中心軸C1と交わるようになる。
【0017】
ところで、コア基板110及び樹脂充填体113とスルーホール導体112との熱膨張係数の違いによる応力は、スルーホール導体112を樹脂絶縁層120側に延ばした筒状の領域よりもスルーホール111の径方向内側の領域では、スルーホール111の中心軸C1上が最も低いと考えられる。このため、上記のように配置することで、接続側境界部131dにかかる応力を最も低くできるので、接続側境界部131dにクラックが生じる危険性を最も低くできる。従って、ビア導体122と配線層132との最短経路にクラックが生じる危険性を最も低くできるので、抵抗安定性が高くなり、断線の危険性を最も低くした信頼性の高い配線基板とすることができる。なお、コア裏面側にもビア導体、ビアランド、配線層等が、コア主面110b側と同様に形成されている。
【0018】
このような配線基板100は、次のようにして製造する。なお、ここではコア裏面側についての説明を省略するが、コア裏面側についてもコア主面110b側と同様に形成するものとする。
まず、ガラス−エポキシ樹脂複合材料からなり、両面に銅箔を張り付けた、厚さ約1.0mmのコア基板110を用意する。そして、コア基板100の所定の位置に、ドリルまたはレーザによって、これを貫通する多数のスルーホール111を穿孔する。その後、公知の無電解Cuメッキ、電解Cuメッキ及びエッチングによって、スルーホール111内にスルーホール導体112を形成する。次いで、スルーホール導体112の貫通孔112b内に樹脂ペーストを印刷充填し、熱硬化させて樹脂充填体113を形成する。次に、コア主面110b上に、樹脂充填体113を覆いつつスルーホール導体112と接続するような、直径200μm、厚さ15μmの蓋メッキ層115を形成する。
【0019】
次いで、コア主面110b及び蓋メッキ層115上に、ビアホール121を有する樹脂絶縁層120を形成する。具体的には、未硬化感光性樹脂を貼り付け、フォトリソグラフィ技術により、露光・現像・硬化させて、ビアホール121を有する樹脂絶縁層120を形成する。なお、ビアホール121は、中心軸C2をスルーホール111の中心軸C1から30μmずらし、樹脂絶縁層120の主面120b側の内径を60μmとして、蓋メッキ層115に近づくにつれて内径が小さくなるテーパ状に形成する。このとき、図2に示すように、ビアホール121のうち樹脂絶縁層120の主面120b側の周縁121fと、スルーホール111の中心軸C1とが交わる。
【0020】
その後、公知の無電解Cuメッキ、電解Cuメッキ及びエッチングによって、ビアホール121内に肉厚15μmのビア導体122を形成し、樹脂絶縁層120の主面120bにビアランド131及び配線層132を形成する。ビアランド131は、外径100μm、厚さ15μmのリング形状で、ビア導体122の周囲に位置してこれと接続する。配線層132は、幅30μmで形成され、ビアランド131と接続する。なお、図2に示すように、配線層132とビアランド131との接続位置Rの中心点Sが、スルーホール111の中心軸C1及びビアホール121の中心軸C2と一直線上に並ぶように、配線層132を形成する。
次いで、ソルダーレジスト層130を積層し、露光・現像して所定の位置に貫通孔131を形成する。これにより、配線層132の一部が貫通孔131から露出して、パッド132bが形成される。このようにして、配線基板100が完成する。
【0021】
以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
例えば、内側絶縁層を1層のコア基板110として、これらを貫通するスルーホール111を形成したが、内側絶縁層を複数の絶縁層として、この複数の絶縁層を貫通するスルーホールを形成しても良い。
また、コア基板110の両面に樹脂絶縁層120、ビア導体122等を形成したが、コア基板110の主面110b側のみに形成しても良い。
また、ビア導体122としては、ビアホール121を充填しない非充填ビア導体としたが、ビアホール121を導体により完全に充填する充填ビア導体としても良い。
【0022】
また、コア主面110b側の外側絶縁層を樹脂絶縁層120の1層としているが、樹脂絶縁層120の外側にさらに1層外側絶縁層を形成し、これに形成したビア導体とビア導体122とを配線層132で接続するようにしても良い。
さらに、配線層132は真っ直ぐに伸びている必要はなく、途中で曲がっていても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態にかかる配線基板100の要部を示す部分断面図である。
【図2】実施形態にかかる配線基板100の要部を示す上面透視図である。
【図3】従来の配線基板10の要部を示す部分断面図である。
【符号の説明】
10,100 配線基板
17,110 コア基板(内側絶縁層)
12,111 スルーホール
21,112 スルーホール導体
16,113 樹脂充填体
22,115 蓋メッキ層
18,120 樹脂絶縁層(外側絶縁層)
11,121 ビアホール
121d 接続側ビアホール周縁部(ビアホールのビアランド側の周縁部のうち、配線層とビアランドとの接続位置がビアホールの径方向外側に位置する部分)
13,122 ビア導体
14,131 ビアランド
14b,131b 境界部
131c 接続部
131d 接続側境界部
15,132 配線層
C1 スルーホール111の中心軸
C2 ビアホール121の中心軸
R 配線層とビアランドとの接続位置
Claims (2)
- 1または複数の内側絶縁層と、
上記内側絶縁層を厚さ方向に貫通するスルーホールと、
上記スルーホールの内壁面に形成された筒状のスルーホール導体と、
上記スルーホール導体の内側に形成された樹脂充填体と、
上記内側絶縁層の外側に積層された外側絶縁層と、
上記内側絶縁層と上記外側絶縁層との層間に形成され、上記樹脂充填体を覆うと共に、上記スルーホール導体と接続する蓋メッキ層と、
上記外側絶縁層を厚さ方向に貫通する、上記スルーホールよりも小径のビアホールと、
上記ビアホール内に形成され、上記蓋メッキ層と接続するビア導体と、
上記外側絶縁層の外側面に形成され、上記ビア導体と接続し、その周囲に延在するビアランドと、
上記外側絶縁層の外側に形成され、上記ビアランドと接続する配線層と、
を備える配線基板であって、
上記ビアホールの中心軸が上記スルーホールの中心軸と一致しないように、且つ上記ビアホールの中心軸が上記スルーホール内に含まれるようにされ、
上記配線層と上記ビアランドとの接続位置は、上記ビアホールの中心軸よりも上記スルーホールの中心軸側に位置する
配線基板。 - 請求項1に記載の配線基板であって、
前記ビアホールの前記ビアランド側の周縁のうち、前記配線層と前記ビアランドとの接続位置がこのビアホールの径方向外側に位置する部分と、前記スルーホールの中心軸とが交わる
配線基板。
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