JP3956441B2 - 難燃性感光性樹脂組成物及び感光性エレメント - Google Patents
難燃性感光性樹脂組成物及び感光性エレメント Download PDFInfo
- Publication number
- JP3956441B2 JP3956441B2 JP26444397A JP26444397A JP3956441B2 JP 3956441 B2 JP3956441 B2 JP 3956441B2 JP 26444397 A JP26444397 A JP 26444397A JP 26444397 A JP26444397 A JP 26444397A JP 3956441 B2 JP3956441 B2 JP 3956441B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin composition
- photosensitive resin
- component
- weight
- photosensitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フレキシブルプリント配線板等の製造に使用し得る保護膜（カバーレイ）形成用の難燃性感光性樹脂組成物及び感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線板の製造には、従来より液状又はフィルム状の感光性組成物が用いられている。例えば、銅箔を絶縁基板上に積層した銅張積層板の銅箔をエッチングするときのレジストとして、又は配線の形成されたプリント配線板のはんだ付け位置の限定及び保護の目的で使用するソルダレジスト等として使用されている。
【０００３】
プリント配線板には、カメラなどの小型機器に折り曲げて組み込むことのできるフィルム状のプリント配線板、一般にフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）と称されるものがある。このＦＰＣも部品搭載のためにはんだ付けが行われ、ソルダレジストが必要である。この目的のためにポリイミドフィルムを所定の型に打ち抜いたものを積層したり、耐熱性の材料で構成された印刷インクを印刷して用い、前者をカバーレイ、後者をカバーコートと呼んでいる。
【０００４】
このカバーレイ、カバーコートははんだ付け後の配線の保護も兼ねており、はんだ付け時の耐熱性、絶縁性、基板の組み込み時の折り曲げでクラックが入らない可とう性が必要である。また、電池駆動の機器以外に用いられるＦＰＣに用いるには難燃性も必要である。
【０００５】
現在、接着剤層を有するポリイミドフィルムやポリエステルフィルムを所定の型に打ち抜いて形成されるカバーレイは、これらの特性を満足しており最も多く使用されているが、型抜きに高価な金型が必要で、打ち抜いたフィルムを人手で位置合わせ、張り合わせをするために製造コスト高になり、また、近年の高密度化に要求に対して微細パターンの形成が困難であるという問題がある。
【０００６】
そこで、写真現像法（イメージ露光に続く現象により画像を形成する方法）で難燃性、寸法精度、解像度に優れた高精度、高信頼性のカバーレイを形成する感光性樹脂組成物、特に感光性フィルム（感光性エレメント）の出現が望まれていた。
【０００７】
この目的のために、ソルダーマスク形成用感光性樹脂組成物を用いることが試みられた。例えばアクリル系ポリマー及び光重合性モノマーを主成分とする感光性樹脂組成物（特開昭５３−５６０１８号公報、同５４−１０１８号公報等）、耐熱性の良好な感光性樹脂組成物として主鎖にカルコン基を有する感光性エポキシ樹脂及びエポキシ硬化剤を主成分とする組成物（特開昭５４−８２０７３号公報、同５８−６２６３６号公報）、エポキシ基を含有するノボラック型エポキシアクリレート及び光重合開始剤を主成分とする組成物（特開昭６１−２７２号公報）が挙げられ、安全性及び経済性に優れたアルカリ水溶液で現像可能なソルダーマスク形成用感光性樹脂組成物としては、カルボキシル基含有ポリマー、単量体、光重合開始剤及び熱硬化性樹脂を主成分とする組成物（特開昭４８−７３１４８号公報、同５７−１７８２３７号公報、同５８−４２０４０号公報、同５９−１５１１５２号公報等）等が挙げられるが、いずれも難燃性と可撓性が不十分であった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、感度及び光硬化性に優れ、フォトリソグラフィーにより効率良く形成でき、耐折性、はんだ耐熱性及び難燃性等に優れた感光性樹脂組成物を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、感度及び光硬化性に優れ、フォトリソグラフィーにより効率良く形成でき、耐折性、はんだ耐熱性及び難燃性等に優れ、また、取扱い性、作業性に優れた感光性エレメントを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ａ）トリブロモフェニルアクリレートとアクリル酸若しくはメタクリル酸とその他のビニルモノマーとを共重合して得られるカルボキシル基を有するバインダーポリマー、
（ｂ）ペンタメチレンカーボネート単位からなる繰り返し単位（Ａ）とヘキサメチレンカーボネート単位からなる繰り返し単位（Ｂ）を有し、これら繰り返し単位のモル比Ａ：Ｂが９：１〜１：９であるコポリカーボネート、イソホロンジイソシアネート及びヒドロキシエチルアクリレート若しくはヒドロキシエチルメタクリレートの反応物、
（ｃ）下記一般式（１）
【００１１】
【化２】
（式中Ｒ1及びＲ2はそれぞれ独立して水素原子又はメチル基を表し、ｐ及びｑはｐ＋ｑが５〜３０となるように選ばれる正の整数である）で示される光重合性化合物、
（ｄ）活性光線により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤、
（ｅ）アミノ樹脂及び
（ｆ）三酸化アンチモン
を含有してなる難燃性感光性樹脂組成物を提供するものである。
【００１２】
また、本発明は支持体フィルム上に上記難燃性感光性樹脂組成物の層を積層してなる感光性エレメントを提供するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の難燃性感光性樹脂組成物において詳細に説明する。
【００１４】
本発明の難燃性感光性樹脂組成物において、（ａ）成分はトリブロモフェニルアクリレートとアクリル酸若しくはメタクリル酸とその他のビニルモノマーとを共重合して得られるカルボキシル基を有するバインダーポリマーである。
【００１５】
ここで（ａ）成分のトリブロモフェニルアクリレートは、好ましくは３重量％〜６５重量％、より好ましくは３０重量％〜５０重量％の割合で共重合させる。トリブロモフェニルアクリレートの共重合量が５重量％未満の場合は、難燃性が低下する傾向にあり、トリブロモフェニルアクリレートの共重合量をが６５重量％を超える場合には、難燃性が得られるが、硬化させたカバーレイの耐折性が低下する傾向にある。
【００１６】
アクリル酸若しくはメタクリル酸は、好ましくは１０重量％〜４５重量％の割合で共重合させる。
【００１７】
その他のビニルモノマとしては、特に制限はなく、例えば、アクリル酸メチルエステル、メタクリル酸メチルエステル、アクリル酸エチルエステル、メタクリル酸エチルエステル、アクリル酸ブチルエステル、メタクリル酸ブチルエステル等のアクリル酸若しくはメタクリル酸のアルキルエステル、アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、メタクリル酸２−エチルヘキシルエステル、アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、メタクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、メタクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、スチレン、α−スチレン、ビニルトルエン、Ｎ−ビニルピロリドン、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、アクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等が挙げられる。これらの共重合量は２５〜８７重量％が好ましい。
【００１８】
（ａ）成分のカルボキシル基を有するバインダーポリマーは、アルカリ水溶液（例えば１〜３重量％の炭酸ナトリウム又は炭酸カリウム水溶液等）に可溶又は膨潤可能であることが現像性、環境保全性の点で好ましい。
【００１９】
また、酸価は６５〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく酸価が６５ｍｇＫＯＨ／ｇ未満では現像時間が遅くなる傾向にあり、３００ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると光硬化したレジストの耐現像性が低下する傾向がある。また、重量平均分子量（ＧＰＣ測定で、ポリスチレン換算したもの）は、２，０００〜３００，０００であることが好ましい。重量平均分子量が２，０００未満では耐現像液性が低下する傾向があり、３００，０００を超えると現像時間が長くなる傾向にある。
【００２０】
（ａ）成分の配合量は、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）成分の合計量１００重量部に対しての３０〜７０重量部が好ましい。３０重量部未満ではアルカリ現像性の低下や、感光性エレメントとした場合感光性樹脂組成物層が柔らかくなりフィルム端部からしみ出しなどの問題が生ずる傾向がある。また、７０重量部を超えると感度の低下やはんだ耐熱性の低下が起こる傾向がある。
【００２１】
本発明の感光性樹脂組成物は、（ｂ）を必須成分として含有する。（ｂ）成分はペンタメチレンカーボネート単位からなる繰り返し単位（Ａ）とヘキサメチレンカーボネート単位からなる繰り返し単位（Ｂ）を有し、これら繰り返し単位のモル比Ａ：Ｂが９：１〜１：９であるコポリカーボネート、イソホロンジイソシアネート及びヒドロキシエチルアクリレート若しくはヒドロキシエチルメタクリレートの反応物である。
【００２２】
この（ｂ）成分の合成に用いられる上記コポリカーボネートは、例えば所定のポリオールを分子量を調整しながらホスゲン等と反応させることにより合成することができる。このコポリカーボネートは通常、数平均分子量が６００〜１０００であることが好ましく、より好ましくは７００〜９００である。このコポリカーボネートの上記モル比（Ａ）：（Ｂ）が上記範囲をはずれると、ゲル化することがあり、好ましくない。（Ａ）：（Ｂ）の好ましい範囲は８：２〜２：８であり、特に好ましくは５：５である。
【００２３】
このコポリカーボネートをイソホロンジイソシアネート及びヒドロキシエチル（メタ）アクリレートと反応させることにより、（ｂ）成分を得る。ここでヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとはヒドロキシエチルアクリレート及びヒドロキシエチルメタクリレートを意味し、各々単独で用いてもよいし、両方を併用してもよい。この反応におけるイソホロンジイソシアネートの使用量は、通常、コポリカーボネートの使用モル量より若干過剰量とする。この反応は、通常、以下のようにして行われる。コポリカーボネートと若干過剰量のイソホロンジイソシアネートとを混合し、ジブチルスズジラウレート等の触媒を加え、６０〜１２０℃で反応させる。次いで、合成されたウレタンオリゴマーの末端イソシアネート基にヒドロキシ（メタ）アクリレートを反応させる。この反応は、パラメトキシフェノール及びジ−ｔ−ブチル−ヒドロキシ−トルエンなどの存在下で、ウレタンオリゴマー１モルに対して、２〜２．４モルのヒドロキシエチル（メタ）アクリレートを６０〜９０℃で反応させて行われる。例えば赤外線吸収スペクトルでイソシアネート基の消失を確認させることにより、反応の終点を確認する。
【００２４】
（ｂ）成分として、共栄社化学製のウレタンアクリレートオリゴマーＵＦ−８００１、ＵＦ−８００２、ＵＦ−８００３が市販されており、特にＵＦ−８００３が好ましい。これからはいずれもメチルエチルケトン溶液である。
【００２５】
（ｂ）成分の配合量は、（ａ）成分１００重量部に対して２０〜１００重量部とすることが好ましい。（ｂ）成分が２０重量部未満では可撓性が不十分となる傾向があり、１００重量部を超えると現像性が低下する傾向がある。
【００２６】
本発明の感光性樹脂組成物は、（ｃ）を必須成分として含有する。一般式（１）で表わされる光重合性化合物としては、例えば、２，２′−ビス（４−メタクリロキシペンタエトキシフェニル）プロパン、２，２′−ビス（４−アクロキシペンタエトキシフェニル）プロパン、２，２′−ビス（４−メタクリロキシテトラエトキシフェニル）プロパン等が挙げられ、これらは単独又は２種類以上組み合わせて使用される。これらの市販品としては、例えばＮＫ−エステルＢＰＥ−５００（新中村化学工業（株）製商品名、２，２′−ビス（４−メタクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン）等が挙げられる。
【００２７】
一般式（１）中のｐ及びｑは、ｐ＋ｑが５〜３０となるように選ばれる正の整数である。ｐ＋ｑが５未満の場合には、可撓性が低下し、３０を超えると、系の親水性が増して現像時の密着性が低下する。ｐ＋ｑの好ましい範囲は５〜１０である。
【００２８】
（ｃ）成分の配合量は、（ａ）成分１００重量部に対して１０〜１００重量部とすることが好ましい。（ｂ）成分は１０重量部未満では、はんだ付け後の可撓性が不十分となる傾向があり、１００重量部を超えると可撓性が低下する傾向がある。
【００２９】
本発明の感光性樹脂組成物は、（ｄ）活性光線により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤を必須成分として含有する。
【００３０】
（ｄ）成分に使用できる光重合開始剤としては、例えば、置換又は非置換の多核キノン類（２−エチルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン等）、α−ケタルドニルアルコール類（ベンゾイン、ピバロン等）、エーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイン類（α−フェニル−ベンゾイン、α，α−ジエトキシアセトフェノン類）、芳香族ケトン類（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンなどの４，４′−ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等）、チオキサントン類（２−メチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−エチルチオキサントン等）、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−モルホリノプロパン−１−オンが挙げられ、これらは単独又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００３１】
（ｄ）成分の配合量は、（ａ）成分１００重量部に対して０．５〜２０重量部とすることが好ましい。（ｄ）成分が０．５重量部未満では感度が不十分となる傾向があり、２０重量部を超えるとパターン形状が悪くなる傾向がある。
【００３２】
本発明の感光性樹脂組成物は、（ｅ）アミノ樹脂を必須成分として含有する。本発明においてアミノ樹脂としては、メラミン、尿素、ベンゾグアナミン等のアミノ基含有化合物にアルデヒドを反応させて得られる初期縮合物が用いられ、例えば、トリメチロールメラミン、テトラメチロールメラミン、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチロールメラミン、ヘキサブトキシメチロールメラミン等のメラミン樹脂が挙げられ、これらは単独又は２種類以上を組み合わせて使用される。これらの市販品としては、例えばサイメル３００、サイメル３０１、サイメル３０３、サイメル３２５、サイメル３５０（三井サイテック株式会社製、商品名）等が挙げられる。（ｅ）成分の配合量は、（ａ）成分１００重量部に対して３〜２０重量部とすることが好ましい。（ｅ）成分は３重量部未満では、はんだ耐熱性、難燃性が不十分となる傾向があり、２０重量部を超えると可撓性が低下する傾向がある。
【００３３】
本発明の感光性樹脂組成物は、（ｆ）三酸化アンチモンを必須成分として含有する。三酸化アンチモンの添加は難燃性に特に有効である。（ｆ）成分の配合量は、（ａ）成分１００重量部に対して１〜２０重量部とすることが好ましい。（ｆ）成分が１重量部未満では、難燃性が不十分となる傾向があり、２０重量部を超えるとパターン形状や可撓性が低下する傾向がある。
【００３４】
本発明の難燃性感光性樹脂組成物には、（ａ）成分以外の高分子結合剤、（ｂ）成分や（ｃ）成分以外の光重合性不飽和基含有化合物、熱重合禁止剤、染料、顔料、塗工改質剤、消泡剤、難燃剤、２−アミノ−５−メルカプト−１，３，５−チアジアゾール等の密着性向上剤を含有させることができる。
【００３５】
本発明の感光性エレメントは、支持体フィルム上に、前記本発明の感光性樹脂組成物の層を積層することにより製造することができる。
【００３６】
支持体フィルムとしては、重合体フィルム、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン等からなるフィルムが挙げられ、中でもポリエチレンテレフタレートが好ましい。
【００３７】
これらの重合体フィルムは、後に感光層から除去しなくてはならないため、除去不可能となるような表面処理が施されたものであったり、材質であってはならない。
【００３８】
また、これらの重合体フィルムの厚さは、５〜１００μｍとすることが好ましく１０〜３０μｍとすることが好ましい。この厚さが５μｍ未満では、回路被覆性が低下する傾向があり、１００μｍを超えるとパターン形成が困難となる傾向がある。
【００３９】
これらの重合体フィルムは、一つは感光層の支持フィルムとして、他の一つは感光層の保護フィルムとして感光層の両面に積層することができる。
【００４０】
本発明の感光性エレメントの製造法としては、（ａ）成分、（ｂ）成分、（ｃ）成分、（ｄ）成分、（ｅ）成分及び（ｆ）成分を含む感光性樹脂組成物（但し、（ｆ）成分は均一に分散させる）を、溶剤に均一に溶解する。このときに使用する溶剤としては、感光性樹脂組成物を溶解する溶剤であればよい。例えば、ケトン系溶剤（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等）、エーテル系溶剤（メチルセロソルブ、エチルセロソルブ等）、塩素化炭化水素系溶剤（ジクロロメタン、クロロホルム等）、アルコール系溶剤（メタノール、エタノール等）が用いられる。これらの溶剤は、単独又は２種類以上を組み合わせて使用できる。
【００４１】
次いで、溶液状の感光性樹脂組成物を前記支持体フィルムの重合体フィルム上に均一塗布した後、加熱及び／又は熱風吹き付けにより溶剤を除去し、乾燥皮膜とすることができる。
【００４２】
乾燥皮膜の厚さは、特に制限がなく、１０〜１００μｍとすることが好ましく、２０〜６０μｍとすることがより好ましい。
【００４３】
このようにして得られた感光層と支持体フィルムとの２層からなる本発明の感光性エレメントは、そのままで又は感光層の他の面に保護フィルムを更に積層してロール状に巻き取って貯蔵することができる。
【００４４】
本発明の感光性エレメントを用いて、フォトレジスト画像を製造する方法としては、前記保護フィルムが介在している場合には、保護フィルムを除去後、感光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層することができる。このとき、減圧下で積層することが好ましい。
【００４５】
感光層の加熱温度としては、特に制限はなく、９０〜１３０℃とすることが好ましい。
【００４６】
また、圧着圧力としては、特に制限はなく、２．９４×１０5Ｐａ（３ｋｇｆ／ｃｍ2）とすることが好ましく、４，０００ｐｓ（３０ｍｍＨｇ）以下の減圧下で行われることが好ましい。
【００４７】
本発明の感光性エレメントを使用する場合には、感光層を前記のように加熱するため、予め基板を予熱することは必要ではないが、積層性を更に向上させるために、基板の予熱処理を行うこともできる。
【００４８】
このようにして積層が完了した感光層は、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光に画像的に露光される。
【００４９】
このとき、感光層上に存在する支持体フィルムが透明の場合には、そのまま露光することができるが、不透明の場合は、除去する必要がある。感光層の保護という点からは、支持体フィルムは透明で、この支持体フィルムを残存させたまま、それを通して露光することが好ましい。
【００５０】
活性光としては、公知の活性光源が使用でき、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク、その他から発生する光等が挙げられる。
【００５１】
感光層に含まれる光開始剤の感受性は通常、紫外線領域において最大であるため、その場合の活性光源は、紫外線を有効に放射するものが好ましい。
【００５２】
次いで、露光後、感光層上に支持体フィルムが存在している場合には、これを除去した後、アルカリ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッビング等の公知の方法により未露光部を除去して現像することができる。
【００５３】
アルカリ性水溶液の塩基としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物、リチウム、ナトリウム若しくはカリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが挙げられ、中でも、炭酸ナトリウムの水溶液が好ましい。
【００５４】
現像に用いるアルカリ水溶液のｐＨとしては、９〜１１とすることが好ましい。また、現像温度は、感光層の現像性に合わせて調整することができる。
【００５５】
また、前記アルカリ水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させることができる。
【００５６】
さらに、現像後、ＦＰＣカバーレイとしてのはんだ耐熱性、耐薬品性を向上させる目的で、高圧水銀ランプによる紫外線照射や加熱を行うことができる。
【００５７】
紫外線の照射量としては、０．２〜１０Ｊ／ｃｍ2とすることが好ましく、この照射の時に６０〜１５０℃の熱を伴うことが好ましい。
【００５８】
また、加熱時の加熱温度は、１００〜１７０℃とすることが好ましく、加熱時間は、１０〜９０分とすることが好ましい。
【００５９】
これら、紫外線照射と加熱の順は序はどちらを先に行ってもよい。
【００６０】
このようにして、カバーレイの特性を付与された後、ＬＳＩ等の部品実装（はんだ付け）、カメラ等機器へ装着される。
【００６１】
【実施例】
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらによって制限されるものではない。
【００６２】
合成例
バインダーポリマーの合成
メチルセロソルブ７０ｇ、トルエン５０ｇの混合物を窒素雰囲気下で３００ｍｌのセパラブルフラスコに入れ撹拌しながら８０℃に加温した。３０分保温後、トリブロモフェニルアクリレート５０ｇ、メタクリル酸２２ｇ、メタクリル酸メチル２５ｇ、アクリル酸メチル１ｇ、アクリル酸テトラヒドロフルフリル１ｇ、トルエン２４ｇ、アゾビスイソブチロニトリル０．２ｇを混合した溶液を３時間でセパラブルフラスコ内に滴下、反応させた。次いで、メチルセロソルブ１０ｇ、トルエン１０ｇの混合物を加えて、３時間保温後、アゾビスイソブチロニトリル０．４ｇをメチルセロソルブ１０ｇ及びトルエン１０ｇに溶解した溶液を加え更に４時間保温した。その後、冷却し、バインダーポリマー溶液Α（固形分、３５重量％）を得た。得られたポリマーの重量平均分子量を表１に示す。
【００６３】
表１に示したバインダーポリマー溶液Ｂ、Ｃ、Ｄ及びＥについて共重合量及び共重合成分を変更した以外は、バインダーポリマー溶液Αと同一の合成方法で合成した。得られたポリマーの重量平均分子量を表１に示す。
【００６４】
【表１】
実施例１〜３及び比較例１〜４
表２に示す材料を配合し溶液を得た。
【００６５】
【表２】
この溶液に表３に示す成分（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｆ）を配合して感光性樹脂組成物の溶液を調整した。
【００６６】
【表３】
＊１ 共栄社化学製ウレタンアクリレートオリゴマー： ペンタメチレンカーボネートとヘキサメチレンカーボネートを５：５のモル比で繰り返し単位とするコポリカーボネートとイソホロンジイソシアネート及びヒドロキシエチルアクリレートの反応物。
＊２ 新中村化学社製、ＮＫ−エステル： ２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン： 一般式（１）で示される光重合性化合物のｐ＋ｑが１０となる正の整数で示される光重合性化合物。
＊３ 新中村化学社製 ＮＫ−エステル： ２，２−ビス［４−（メタクリロキシジエトキシ）フェニル］プロパン： 一般式（１）で示される光重合性化合物のｐ＋ｑが、４となる正の整数で示される光重合性化合物。
＊４ 三井サイテック（株）製 ヘキサメチロールメラミン
（注）表中の配合量の単位は重量部（固形分）を表わす。
【００６７】
得られた感光性樹脂組成物の溶液を図１に示す装置を用いて２０μｍの厚さのポリエチレンテレフタレートフィルム１２上に均一に塗布し、８０〜１１０℃の熱風対流式乾燥機７で約１０分間乾燥して溶剤を除去した。感光性樹脂組成物層の乾燥後の厚さは、約５０μｍであった。感光性樹脂組成物層の上には、さらに図１に示したようにして厚さ約２５μｍのポリエチレンフィルム１３を保護フィルムとして貼り合わせ、本発明の感光性エレメントを得た。
【００６８】
なお、図１において、１はポリエチレンテレフタレートフィルム繰り出しロール、２はフィードロール、３はバッキングロール、４はドクターロール、９及び１０はロール、５はナイフ、６は感光性樹脂組成物の溶液、８はポリエチレンフィルム繰り出しロール、１１は感光性エレメント巻き取りロールである。
【００６９】
得られた感光性エレメントの感光特性、レジストの形成後のはんだ耐熱性、耐折性及び難燃性について下記の方法で評価し、結果を表４に示す。
【００７０】
（１）感光特性
３５μｍ厚の銅箔をポリイミド基材に積層したフレキシブルプリント板用基板（ニッカン工業（株）製、商品名Ｆ３０ＶＣ１２５ＲＣ１１）の銅表面を砥粒ブラシで研磨し、水洗後、乾燥した。このフレキシブルプリント板用基板上に連続式真空ラミネータ（日立化成工業（株）製、商品名ＶＬＭ−１型）を用いて、ヒートシュー温度１００℃、ラミネート速度１．０ｍ／ｓ、気圧４，０００Ｐａ以下、圧着圧力２．９４×１０5Ｐａで前記感光性エレメントをポリエチレンフィルムを剥がしながら積層した。
【００７１】
次に、得られた試料のポリエチレンテレフタレートフィルムの上から、コダックステップタブレットＮｏ．２（イーストマンコダック（株）製、２１段ステップタブレット）を密着させ、（株）オーク製作所製ＨＭＷ−２０１ＧＸ型露光機を使用して所定量露光し、さらに３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレーすることにより未露光部分を除去した。ステップタブレット段数８段を得るために必要な露光量を感度とした。
【００７２】
また、フォトツール（コダックステップタブレットＮｏ．２とライン／スペース（μｍ）＝３０／３０〜２５０／２５０（解像度）、及びライン／スペース（μｍ）＝３０／４００〜２５０／４００（密着性）のネガパターンを有するフォトツール）を、得られた試料のポリエチレンテレフタレートフィルムの上から密着させ、ステップタブレット段数８段を得られる露光量で露光し、現像したときに矩形のレジスト形状が得られる最も小さい解像度パターンのライン／スペースの値を解像度とした。
【００７３】
（２）はんだ耐熱性
上記（１）と同様に、フレキシブルプリント板用基板に感光性エレメントを積層した試料のポリエチレンテレフタレートフィルムの上から試験用ネガマスクを密着させ、ステップタブレット段数８段を得られる露光量で露光した。常温で１時間放置した後、試料のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がし、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレーすることにより未露光部分を除去して現像した後、８０℃で１０分間乾燥した。次いで、東芝電材（株）製東芝紫外線照射装置を使用して、１Ｊ／ｃｍ2の紫外線照射を行い、さらに１５０℃で４５分間加熱を行い、カバーレイを形成したフレキシブルプリント板を得た。
【００７４】
次いで、ロジン系フラックスＭＨ−８２０Ｖ（タムラ化研（株）製）を塗布した後、２６０℃のはんだ浴中に３０秒間浸漬してはんだ付け処理を行った。このような操作の後、カバーレイのクラック発生状況、基板からのカバーレイの浮きや剥がれの状況を目視で次の基準で評価した。
良好：クラック、浮き及び剥がれがないもの
不良：クラック、浮き及び剥がれが発生したもの
（３）耐溶剤性
上記（２）と同様の操作でカバーレイを形成したフレキシブルプリント板を室温でメチルエチルケトン及びイソプロピルアルコール中に１０分間浸漬した後、基板からのカバーレイの浮き及び剥がれの状況を目視で下記の基準で評価した。
良好：浮き及び剥がれのないもの
不良：浮き又は剥がれがのあるもの
（４）耐折性
（２）と同様の操作で得たフレキシブルプリント板用基板上にカバーレイを形成し、はんだ付け処理を行った試料をはぜ折りで１８０°折り曲げ、折り曲げた際のカバーレイのクラックの発生状況を目視で下記の基準で評価した。
良好：クラックの発生がないもの
不良：クラックが発生したもの
（５）難燃性
フレキシブルプリント板用基板（ニッカン工業（株）製、商品名Ｆ３０ＶＣ１２５ＲＣ１１）の銅箔をエッチングで除去した接着剤付きポリイミド基材に、真空ラミネータ（日立化成工業（株）製、商品名ＶＬＭ−１型）を用いて、ヒートシュー温度１２０℃、ラミネート速度１．０ｍ／ｓ、気圧４，０００Ｐａ以下、圧着圧力２．９４×１０5Ｐａ（３ｋｇｆ／ｃｍ2）で前記感光性エレメントをポリエチレンフィルムを剥がしながら積層し、ステップタブレット段数８段が得られるように露光した。常温で１時間放置した後、試料のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がし、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレーすることにより未露光部分を除去して現像した後、８０℃で１０分間乾燥した。次いで、東芝電材（株）製東芝紫外線照射装置を利用して、１Ｊ／ｃｍ2の紫外線照射を行い、さらに１５０℃で４５分間加熱処理を行い、難燃性評価の基板を作製した。
【００７５】
この評価基板を米国のＵｎｄｅｒｗｒｉｔｅｒｓ ＬａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓＩｎｃ．（ＵＬと略す）の高分子材料の難燃性試験規格ＵＬ９４に準拠した装置、方法（ＶＴＭ法）に従って難燃性を評価した。結果を表４に示す。
【００７６】
【表４】
表４から明らかなように、本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを用いることによって、はんだ耐熱性及び耐折性が良好でかつ、難燃性が９４ＶＴＭ−１１（ＵＬ規格）又は９４ＶＴＭ−０（ＵＬ規格）であるフレキシブルプリント配線板用カバーレイが得られることが分かる。
【００７７】
【発明の効果】
本発明の難燃性感光性樹脂組成物は、感度及び光硬化性に優れ、フォトリソグラフィーにより効率良く形成でき、耐折性、はんだ耐熱性及び難燃性等に優れたものである。
【００７８】
本発明の感光性エレメントは、感度及び硬化性に優れ、フォトリソグラフィーにより効率良く形成でき、耐折性、はんだ耐熱性及び難燃性等に優れ、また、取扱い性に優れたものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１〜３及び比較例１〜４で用いた感光性エレメントの製造装置の略図。
【符号の説明】
１ ポリエチレンテレフタレートフィルム繰り出しロール
２ フィードロール
３ バッキングロール
４ ドクタロール
５ ナイフ
６ 感光性永久マスク材料の溶液
７ 乾燥機
８ ポリエチレンフィルム繰り出しロール
９、１０ ロール
１１ 感光性エレメント巻き取りロール
１２ ポリエチレンテレフタレートフィルム
１３ ポリエチレンフィルム
１４ 感光性エレメント
【発明の属する技術分野】
本発明は、フレキシブルプリント配線板等の製造に使用し得る保護膜（カバーレイ）形成用の難燃性感光性樹脂組成物及び感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線板の製造には、従来より液状又はフィルム状の感光性組成物が用いられている。例えば、銅箔を絶縁基板上に積層した銅張積層板の銅箔をエッチングするときのレジストとして、又は配線の形成されたプリント配線板のはんだ付け位置の限定及び保護の目的で使用するソルダレジスト等として使用されている。
【０００３】
プリント配線板には、カメラなどの小型機器に折り曲げて組み込むことのできるフィルム状のプリント配線板、一般にフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）と称されるものがある。このＦＰＣも部品搭載のためにはんだ付けが行われ、ソルダレジストが必要である。この目的のためにポリイミドフィルムを所定の型に打ち抜いたものを積層したり、耐熱性の材料で構成された印刷インクを印刷して用い、前者をカバーレイ、後者をカバーコートと呼んでいる。
【０００４】
このカバーレイ、カバーコートははんだ付け後の配線の保護も兼ねており、はんだ付け時の耐熱性、絶縁性、基板の組み込み時の折り曲げでクラックが入らない可とう性が必要である。また、電池駆動の機器以外に用いられるＦＰＣに用いるには難燃性も必要である。
【０００５】
現在、接着剤層を有するポリイミドフィルムやポリエステルフィルムを所定の型に打ち抜いて形成されるカバーレイは、これらの特性を満足しており最も多く使用されているが、型抜きに高価な金型が必要で、打ち抜いたフィルムを人手で位置合わせ、張り合わせをするために製造コスト高になり、また、近年の高密度化に要求に対して微細パターンの形成が困難であるという問題がある。
【０００６】
そこで、写真現像法（イメージ露光に続く現象により画像を形成する方法）で難燃性、寸法精度、解像度に優れた高精度、高信頼性のカバーレイを形成する感光性樹脂組成物、特に感光性フィルム（感光性エレメント）の出現が望まれていた。
【０００７】
この目的のために、ソルダーマスク形成用感光性樹脂組成物を用いることが試みられた。例えばアクリル系ポリマー及び光重合性モノマーを主成分とする感光性樹脂組成物（特開昭５３−５６０１８号公報、同５４−１０１８号公報等）、耐熱性の良好な感光性樹脂組成物として主鎖にカルコン基を有する感光性エポキシ樹脂及びエポキシ硬化剤を主成分とする組成物（特開昭５４−８２０７３号公報、同５８−６２６３６号公報）、エポキシ基を含有するノボラック型エポキシアクリレート及び光重合開始剤を主成分とする組成物（特開昭６１−２７２号公報）が挙げられ、安全性及び経済性に優れたアルカリ水溶液で現像可能なソルダーマスク形成用感光性樹脂組成物としては、カルボキシル基含有ポリマー、単量体、光重合開始剤及び熱硬化性樹脂を主成分とする組成物（特開昭４８−７３１４８号公報、同５７−１７８２３７号公報、同５８−４２０４０号公報、同５９−１５１１５２号公報等）等が挙げられるが、いずれも難燃性と可撓性が不十分であった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、感度及び光硬化性に優れ、フォトリソグラフィーにより効率良く形成でき、耐折性、はんだ耐熱性及び難燃性等に優れた感光性樹脂組成物を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、感度及び光硬化性に優れ、フォトリソグラフィーにより効率良く形成でき、耐折性、はんだ耐熱性及び難燃性等に優れ、また、取扱い性、作業性に優れた感光性エレメントを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ａ）トリブロモフェニルアクリレートとアクリル酸若しくはメタクリル酸とその他のビニルモノマーとを共重合して得られるカルボキシル基を有するバインダーポリマー、
（ｂ）ペンタメチレンカーボネート単位からなる繰り返し単位（Ａ）とヘキサメチレンカーボネート単位からなる繰り返し単位（Ｂ）を有し、これら繰り返し単位のモル比Ａ：Ｂが９：１〜１：９であるコポリカーボネート、イソホロンジイソシアネート及びヒドロキシエチルアクリレート若しくはヒドロキシエチルメタクリレートの反応物、
（ｃ）下記一般式（１）
【００１１】
【化２】
（ｄ）活性光線により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤、
（ｅ）アミノ樹脂及び
（ｆ）三酸化アンチモン
を含有してなる難燃性感光性樹脂組成物を提供するものである。
【００１２】
また、本発明は支持体フィルム上に上記難燃性感光性樹脂組成物の層を積層してなる感光性エレメントを提供するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の難燃性感光性樹脂組成物において詳細に説明する。
【００１４】
本発明の難燃性感光性樹脂組成物において、（ａ）成分はトリブロモフェニルアクリレートとアクリル酸若しくはメタクリル酸とその他のビニルモノマーとを共重合して得られるカルボキシル基を有するバインダーポリマーである。
【００１５】
ここで（ａ）成分のトリブロモフェニルアクリレートは、好ましくは３重量％〜６５重量％、より好ましくは３０重量％〜５０重量％の割合で共重合させる。トリブロモフェニルアクリレートの共重合量が５重量％未満の場合は、難燃性が低下する傾向にあり、トリブロモフェニルアクリレートの共重合量をが６５重量％を超える場合には、難燃性が得られるが、硬化させたカバーレイの耐折性が低下する傾向にある。
【００１６】
アクリル酸若しくはメタクリル酸は、好ましくは１０重量％〜４５重量％の割合で共重合させる。
【００１７】
その他のビニルモノマとしては、特に制限はなく、例えば、アクリル酸メチルエステル、メタクリル酸メチルエステル、アクリル酸エチルエステル、メタクリル酸エチルエステル、アクリル酸ブチルエステル、メタクリル酸ブチルエステル等のアクリル酸若しくはメタクリル酸のアルキルエステル、アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、メタクリル酸２−エチルヘキシルエステル、アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、メタクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、メタクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、スチレン、α−スチレン、ビニルトルエン、Ｎ−ビニルピロリドン、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、アクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等が挙げられる。これらの共重合量は２５〜８７重量％が好ましい。
【００１８】
（ａ）成分のカルボキシル基を有するバインダーポリマーは、アルカリ水溶液（例えば１〜３重量％の炭酸ナトリウム又は炭酸カリウム水溶液等）に可溶又は膨潤可能であることが現像性、環境保全性の点で好ましい。
【００１９】
また、酸価は６５〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく酸価が６５ｍｇＫＯＨ／ｇ未満では現像時間が遅くなる傾向にあり、３００ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると光硬化したレジストの耐現像性が低下する傾向がある。また、重量平均分子量（ＧＰＣ測定で、ポリスチレン換算したもの）は、２，０００〜３００，０００であることが好ましい。重量平均分子量が２，０００未満では耐現像液性が低下する傾向があり、３００，０００を超えると現像時間が長くなる傾向にある。
【００２０】
（ａ）成分の配合量は、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）成分の合計量１００重量部に対しての３０〜７０重量部が好ましい。３０重量部未満ではアルカリ現像性の低下や、感光性エレメントとした場合感光性樹脂組成物層が柔らかくなりフィルム端部からしみ出しなどの問題が生ずる傾向がある。また、７０重量部を超えると感度の低下やはんだ耐熱性の低下が起こる傾向がある。
【００２１】
本発明の感光性樹脂組成物は、（ｂ）を必須成分として含有する。（ｂ）成分はペンタメチレンカーボネート単位からなる繰り返し単位（Ａ）とヘキサメチレンカーボネート単位からなる繰り返し単位（Ｂ）を有し、これら繰り返し単位のモル比Ａ：Ｂが９：１〜１：９であるコポリカーボネート、イソホロンジイソシアネート及びヒドロキシエチルアクリレート若しくはヒドロキシエチルメタクリレートの反応物である。
【００２２】
この（ｂ）成分の合成に用いられる上記コポリカーボネートは、例えば所定のポリオールを分子量を調整しながらホスゲン等と反応させることにより合成することができる。このコポリカーボネートは通常、数平均分子量が６００〜１０００であることが好ましく、より好ましくは７００〜９００である。このコポリカーボネートの上記モル比（Ａ）：（Ｂ）が上記範囲をはずれると、ゲル化することがあり、好ましくない。（Ａ）：（Ｂ）の好ましい範囲は８：２〜２：８であり、特に好ましくは５：５である。
【００２３】
このコポリカーボネートをイソホロンジイソシアネート及びヒドロキシエチル（メタ）アクリレートと反応させることにより、（ｂ）成分を得る。ここでヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとはヒドロキシエチルアクリレート及びヒドロキシエチルメタクリレートを意味し、各々単独で用いてもよいし、両方を併用してもよい。この反応におけるイソホロンジイソシアネートの使用量は、通常、コポリカーボネートの使用モル量より若干過剰量とする。この反応は、通常、以下のようにして行われる。コポリカーボネートと若干過剰量のイソホロンジイソシアネートとを混合し、ジブチルスズジラウレート等の触媒を加え、６０〜１２０℃で反応させる。次いで、合成されたウレタンオリゴマーの末端イソシアネート基にヒドロキシ（メタ）アクリレートを反応させる。この反応は、パラメトキシフェノール及びジ−ｔ−ブチル−ヒドロキシ−トルエンなどの存在下で、ウレタンオリゴマー１モルに対して、２〜２．４モルのヒドロキシエチル（メタ）アクリレートを６０〜９０℃で反応させて行われる。例えば赤外線吸収スペクトルでイソシアネート基の消失を確認させることにより、反応の終点を確認する。
【００２４】
（ｂ）成分として、共栄社化学製のウレタンアクリレートオリゴマーＵＦ−８００１、ＵＦ−８００２、ＵＦ−８００３が市販されており、特にＵＦ−８００３が好ましい。これからはいずれもメチルエチルケトン溶液である。
【００２５】
（ｂ）成分の配合量は、（ａ）成分１００重量部に対して２０〜１００重量部とすることが好ましい。（ｂ）成分が２０重量部未満では可撓性が不十分となる傾向があり、１００重量部を超えると現像性が低下する傾向がある。
【００２６】
本発明の感光性樹脂組成物は、（ｃ）を必須成分として含有する。一般式（１）で表わされる光重合性化合物としては、例えば、２，２′−ビス（４−メタクリロキシペンタエトキシフェニル）プロパン、２，２′−ビス（４−アクロキシペンタエトキシフェニル）プロパン、２，２′−ビス（４−メタクリロキシテトラエトキシフェニル）プロパン等が挙げられ、これらは単独又は２種類以上組み合わせて使用される。これらの市販品としては、例えばＮＫ−エステルＢＰＥ−５００（新中村化学工業（株）製商品名、２，２′−ビス（４−メタクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン）等が挙げられる。
【００２７】
一般式（１）中のｐ及びｑは、ｐ＋ｑが５〜３０となるように選ばれる正の整数である。ｐ＋ｑが５未満の場合には、可撓性が低下し、３０を超えると、系の親水性が増して現像時の密着性が低下する。ｐ＋ｑの好ましい範囲は５〜１０である。
【００２８】
（ｃ）成分の配合量は、（ａ）成分１００重量部に対して１０〜１００重量部とすることが好ましい。（ｂ）成分は１０重量部未満では、はんだ付け後の可撓性が不十分となる傾向があり、１００重量部を超えると可撓性が低下する傾向がある。
【００２９】
本発明の感光性樹脂組成物は、（ｄ）活性光線により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤を必須成分として含有する。
【００３０】
（ｄ）成分に使用できる光重合開始剤としては、例えば、置換又は非置換の多核キノン類（２−エチルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン等）、α−ケタルドニルアルコール類（ベンゾイン、ピバロン等）、エーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイン類（α−フェニル−ベンゾイン、α，α−ジエトキシアセトフェノン類）、芳香族ケトン類（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンなどの４，４′−ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等）、チオキサントン類（２−メチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−エチルチオキサントン等）、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−モルホリノプロパン−１−オンが挙げられ、これらは単独又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００３１】
（ｄ）成分の配合量は、（ａ）成分１００重量部に対して０．５〜２０重量部とすることが好ましい。（ｄ）成分が０．５重量部未満では感度が不十分となる傾向があり、２０重量部を超えるとパターン形状が悪くなる傾向がある。
【００３２】
本発明の感光性樹脂組成物は、（ｅ）アミノ樹脂を必須成分として含有する。本発明においてアミノ樹脂としては、メラミン、尿素、ベンゾグアナミン等のアミノ基含有化合物にアルデヒドを反応させて得られる初期縮合物が用いられ、例えば、トリメチロールメラミン、テトラメチロールメラミン、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチロールメラミン、ヘキサブトキシメチロールメラミン等のメラミン樹脂が挙げられ、これらは単独又は２種類以上を組み合わせて使用される。これらの市販品としては、例えばサイメル３００、サイメル３０１、サイメル３０３、サイメル３２５、サイメル３５０（三井サイテック株式会社製、商品名）等が挙げられる。（ｅ）成分の配合量は、（ａ）成分１００重量部に対して３〜２０重量部とすることが好ましい。（ｅ）成分は３重量部未満では、はんだ耐熱性、難燃性が不十分となる傾向があり、２０重量部を超えると可撓性が低下する傾向がある。
【００３３】
本発明の感光性樹脂組成物は、（ｆ）三酸化アンチモンを必須成分として含有する。三酸化アンチモンの添加は難燃性に特に有効である。（ｆ）成分の配合量は、（ａ）成分１００重量部に対して１〜２０重量部とすることが好ましい。（ｆ）成分が１重量部未満では、難燃性が不十分となる傾向があり、２０重量部を超えるとパターン形状や可撓性が低下する傾向がある。
【００３４】
本発明の難燃性感光性樹脂組成物には、（ａ）成分以外の高分子結合剤、（ｂ）成分や（ｃ）成分以外の光重合性不飽和基含有化合物、熱重合禁止剤、染料、顔料、塗工改質剤、消泡剤、難燃剤、２−アミノ−５−メルカプト−１，３，５−チアジアゾール等の密着性向上剤を含有させることができる。
【００３５】
本発明の感光性エレメントは、支持体フィルム上に、前記本発明の感光性樹脂組成物の層を積層することにより製造することができる。
【００３６】
支持体フィルムとしては、重合体フィルム、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン等からなるフィルムが挙げられ、中でもポリエチレンテレフタレートが好ましい。
【００３７】
これらの重合体フィルムは、後に感光層から除去しなくてはならないため、除去不可能となるような表面処理が施されたものであったり、材質であってはならない。
【００３８】
また、これらの重合体フィルムの厚さは、５〜１００μｍとすることが好ましく１０〜３０μｍとすることが好ましい。この厚さが５μｍ未満では、回路被覆性が低下する傾向があり、１００μｍを超えるとパターン形成が困難となる傾向がある。
【００３９】
これらの重合体フィルムは、一つは感光層の支持フィルムとして、他の一つは感光層の保護フィルムとして感光層の両面に積層することができる。
【００４０】
本発明の感光性エレメントの製造法としては、（ａ）成分、（ｂ）成分、（ｃ）成分、（ｄ）成分、（ｅ）成分及び（ｆ）成分を含む感光性樹脂組成物（但し、（ｆ）成分は均一に分散させる）を、溶剤に均一に溶解する。このときに使用する溶剤としては、感光性樹脂組成物を溶解する溶剤であればよい。例えば、ケトン系溶剤（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等）、エーテル系溶剤（メチルセロソルブ、エチルセロソルブ等）、塩素化炭化水素系溶剤（ジクロロメタン、クロロホルム等）、アルコール系溶剤（メタノール、エタノール等）が用いられる。これらの溶剤は、単独又は２種類以上を組み合わせて使用できる。
【００４１】
次いで、溶液状の感光性樹脂組成物を前記支持体フィルムの重合体フィルム上に均一塗布した後、加熱及び／又は熱風吹き付けにより溶剤を除去し、乾燥皮膜とすることができる。
【００４２】
乾燥皮膜の厚さは、特に制限がなく、１０〜１００μｍとすることが好ましく、２０〜６０μｍとすることがより好ましい。
【００４３】
このようにして得られた感光層と支持体フィルムとの２層からなる本発明の感光性エレメントは、そのままで又は感光層の他の面に保護フィルムを更に積層してロール状に巻き取って貯蔵することができる。
【００４４】
本発明の感光性エレメントを用いて、フォトレジスト画像を製造する方法としては、前記保護フィルムが介在している場合には、保護フィルムを除去後、感光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層することができる。このとき、減圧下で積層することが好ましい。
【００４５】
感光層の加熱温度としては、特に制限はなく、９０〜１３０℃とすることが好ましい。
【００４６】
また、圧着圧力としては、特に制限はなく、２．９４×１０5Ｐａ（３ｋｇｆ／ｃｍ2）とすることが好ましく、４，０００ｐｓ（３０ｍｍＨｇ）以下の減圧下で行われることが好ましい。
【００４７】
本発明の感光性エレメントを使用する場合には、感光層を前記のように加熱するため、予め基板を予熱することは必要ではないが、積層性を更に向上させるために、基板の予熱処理を行うこともできる。
【００４８】
このようにして積層が完了した感光層は、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光に画像的に露光される。
【００４９】
このとき、感光層上に存在する支持体フィルムが透明の場合には、そのまま露光することができるが、不透明の場合は、除去する必要がある。感光層の保護という点からは、支持体フィルムは透明で、この支持体フィルムを残存させたまま、それを通して露光することが好ましい。
【００５０】
活性光としては、公知の活性光源が使用でき、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク、その他から発生する光等が挙げられる。
【００５１】
感光層に含まれる光開始剤の感受性は通常、紫外線領域において最大であるため、その場合の活性光源は、紫外線を有効に放射するものが好ましい。
【００５２】
次いで、露光後、感光層上に支持体フィルムが存在している場合には、これを除去した後、アルカリ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッビング等の公知の方法により未露光部を除去して現像することができる。
【００５３】
アルカリ性水溶液の塩基としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物、リチウム、ナトリウム若しくはカリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが挙げられ、中でも、炭酸ナトリウムの水溶液が好ましい。
【００５４】
現像に用いるアルカリ水溶液のｐＨとしては、９〜１１とすることが好ましい。また、現像温度は、感光層の現像性に合わせて調整することができる。
【００５５】
また、前記アルカリ水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させることができる。
【００５６】
さらに、現像後、ＦＰＣカバーレイとしてのはんだ耐熱性、耐薬品性を向上させる目的で、高圧水銀ランプによる紫外線照射や加熱を行うことができる。
【００５７】
紫外線の照射量としては、０．２〜１０Ｊ／ｃｍ2とすることが好ましく、この照射の時に６０〜１５０℃の熱を伴うことが好ましい。
【００５８】
また、加熱時の加熱温度は、１００〜１７０℃とすることが好ましく、加熱時間は、１０〜９０分とすることが好ましい。
【００５９】
これら、紫外線照射と加熱の順は序はどちらを先に行ってもよい。
【００６０】
このようにして、カバーレイの特性を付与された後、ＬＳＩ等の部品実装（はんだ付け）、カメラ等機器へ装着される。
【００６１】
【実施例】
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらによって制限されるものではない。
【００６２】
合成例
バインダーポリマーの合成
メチルセロソルブ７０ｇ、トルエン５０ｇの混合物を窒素雰囲気下で３００ｍｌのセパラブルフラスコに入れ撹拌しながら８０℃に加温した。３０分保温後、トリブロモフェニルアクリレート５０ｇ、メタクリル酸２２ｇ、メタクリル酸メチル２５ｇ、アクリル酸メチル１ｇ、アクリル酸テトラヒドロフルフリル１ｇ、トルエン２４ｇ、アゾビスイソブチロニトリル０．２ｇを混合した溶液を３時間でセパラブルフラスコ内に滴下、反応させた。次いで、メチルセロソルブ１０ｇ、トルエン１０ｇの混合物を加えて、３時間保温後、アゾビスイソブチロニトリル０．４ｇをメチルセロソルブ１０ｇ及びトルエン１０ｇに溶解した溶液を加え更に４時間保温した。その後、冷却し、バインダーポリマー溶液Α（固形分、３５重量％）を得た。得られたポリマーの重量平均分子量を表１に示す。
【００６３】
表１に示したバインダーポリマー溶液Ｂ、Ｃ、Ｄ及びＥについて共重合量及び共重合成分を変更した以外は、バインダーポリマー溶液Αと同一の合成方法で合成した。得られたポリマーの重量平均分子量を表１に示す。
【００６４】
【表１】
表２に示す材料を配合し溶液を得た。
【００６５】
【表２】
【００６６】
【表３】
＊２ 新中村化学社製、ＮＫ−エステル： ２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン： 一般式（１）で示される光重合性化合物のｐ＋ｑが１０となる正の整数で示される光重合性化合物。
＊３ 新中村化学社製 ＮＫ−エステル： ２，２−ビス［４−（メタクリロキシジエトキシ）フェニル］プロパン： 一般式（１）で示される光重合性化合物のｐ＋ｑが、４となる正の整数で示される光重合性化合物。
＊４ 三井サイテック（株）製 ヘキサメチロールメラミン
（注）表中の配合量の単位は重量部（固形分）を表わす。
【００６７】
得られた感光性樹脂組成物の溶液を図１に示す装置を用いて２０μｍの厚さのポリエチレンテレフタレートフィルム１２上に均一に塗布し、８０〜１１０℃の熱風対流式乾燥機７で約１０分間乾燥して溶剤を除去した。感光性樹脂組成物層の乾燥後の厚さは、約５０μｍであった。感光性樹脂組成物層の上には、さらに図１に示したようにして厚さ約２５μｍのポリエチレンフィルム１３を保護フィルムとして貼り合わせ、本発明の感光性エレメントを得た。
【００６８】
なお、図１において、１はポリエチレンテレフタレートフィルム繰り出しロール、２はフィードロール、３はバッキングロール、４はドクターロール、９及び１０はロール、５はナイフ、６は感光性樹脂組成物の溶液、８はポリエチレンフィルム繰り出しロール、１１は感光性エレメント巻き取りロールである。
【００６９】
得られた感光性エレメントの感光特性、レジストの形成後のはんだ耐熱性、耐折性及び難燃性について下記の方法で評価し、結果を表４に示す。
【００７０】
（１）感光特性
３５μｍ厚の銅箔をポリイミド基材に積層したフレキシブルプリント板用基板（ニッカン工業（株）製、商品名Ｆ３０ＶＣ１２５ＲＣ１１）の銅表面を砥粒ブラシで研磨し、水洗後、乾燥した。このフレキシブルプリント板用基板上に連続式真空ラミネータ（日立化成工業（株）製、商品名ＶＬＭ−１型）を用いて、ヒートシュー温度１００℃、ラミネート速度１．０ｍ／ｓ、気圧４，０００Ｐａ以下、圧着圧力２．９４×１０5Ｐａで前記感光性エレメントをポリエチレンフィルムを剥がしながら積層した。
【００７１】
次に、得られた試料のポリエチレンテレフタレートフィルムの上から、コダックステップタブレットＮｏ．２（イーストマンコダック（株）製、２１段ステップタブレット）を密着させ、（株）オーク製作所製ＨＭＷ−２０１ＧＸ型露光機を使用して所定量露光し、さらに３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレーすることにより未露光部分を除去した。ステップタブレット段数８段を得るために必要な露光量を感度とした。
【００７２】
また、フォトツール（コダックステップタブレットＮｏ．２とライン／スペース（μｍ）＝３０／３０〜２５０／２５０（解像度）、及びライン／スペース（μｍ）＝３０／４００〜２５０／４００（密着性）のネガパターンを有するフォトツール）を、得られた試料のポリエチレンテレフタレートフィルムの上から密着させ、ステップタブレット段数８段を得られる露光量で露光し、現像したときに矩形のレジスト形状が得られる最も小さい解像度パターンのライン／スペースの値を解像度とした。
【００７３】
（２）はんだ耐熱性
上記（１）と同様に、フレキシブルプリント板用基板に感光性エレメントを積層した試料のポリエチレンテレフタレートフィルムの上から試験用ネガマスクを密着させ、ステップタブレット段数８段を得られる露光量で露光した。常温で１時間放置した後、試料のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がし、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレーすることにより未露光部分を除去して現像した後、８０℃で１０分間乾燥した。次いで、東芝電材（株）製東芝紫外線照射装置を使用して、１Ｊ／ｃｍ2の紫外線照射を行い、さらに１５０℃で４５分間加熱を行い、カバーレイを形成したフレキシブルプリント板を得た。
【００７４】
次いで、ロジン系フラックスＭＨ−８２０Ｖ（タムラ化研（株）製）を塗布した後、２６０℃のはんだ浴中に３０秒間浸漬してはんだ付け処理を行った。このような操作の後、カバーレイのクラック発生状況、基板からのカバーレイの浮きや剥がれの状況を目視で次の基準で評価した。
良好：クラック、浮き及び剥がれがないもの
不良：クラック、浮き及び剥がれが発生したもの
（３）耐溶剤性
上記（２）と同様の操作でカバーレイを形成したフレキシブルプリント板を室温でメチルエチルケトン及びイソプロピルアルコール中に１０分間浸漬した後、基板からのカバーレイの浮き及び剥がれの状況を目視で下記の基準で評価した。
良好：浮き及び剥がれのないもの
不良：浮き又は剥がれがのあるもの
（４）耐折性
（２）と同様の操作で得たフレキシブルプリント板用基板上にカバーレイを形成し、はんだ付け処理を行った試料をはぜ折りで１８０°折り曲げ、折り曲げた際のカバーレイのクラックの発生状況を目視で下記の基準で評価した。
良好：クラックの発生がないもの
不良：クラックが発生したもの
（５）難燃性
フレキシブルプリント板用基板（ニッカン工業（株）製、商品名Ｆ３０ＶＣ１２５ＲＣ１１）の銅箔をエッチングで除去した接着剤付きポリイミド基材に、真空ラミネータ（日立化成工業（株）製、商品名ＶＬＭ−１型）を用いて、ヒートシュー温度１２０℃、ラミネート速度１．０ｍ／ｓ、気圧４，０００Ｐａ以下、圧着圧力２．９４×１０5Ｐａ（３ｋｇｆ／ｃｍ2）で前記感光性エレメントをポリエチレンフィルムを剥がしながら積層し、ステップタブレット段数８段が得られるように露光した。常温で１時間放置した後、試料のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がし、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレーすることにより未露光部分を除去して現像した後、８０℃で１０分間乾燥した。次いで、東芝電材（株）製東芝紫外線照射装置を利用して、１Ｊ／ｃｍ2の紫外線照射を行い、さらに１５０℃で４５分間加熱処理を行い、難燃性評価の基板を作製した。
【００７５】
この評価基板を米国のＵｎｄｅｒｗｒｉｔｅｒｓ ＬａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓＩｎｃ．（ＵＬと略す）の高分子材料の難燃性試験規格ＵＬ９４に準拠した装置、方法（ＶＴＭ法）に従って難燃性を評価した。結果を表４に示す。
【００７６】
【表４】
【００７７】
【発明の効果】
本発明の難燃性感光性樹脂組成物は、感度及び光硬化性に優れ、フォトリソグラフィーにより効率良く形成でき、耐折性、はんだ耐熱性及び難燃性等に優れたものである。
【００７８】
本発明の感光性エレメントは、感度及び硬化性に優れ、フォトリソグラフィーにより効率良く形成でき、耐折性、はんだ耐熱性及び難燃性等に優れ、また、取扱い性に優れたものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１〜３及び比較例１〜４で用いた感光性エレメントの製造装置の略図。
【符号の説明】
１ ポリエチレンテレフタレートフィルム繰り出しロール
２ フィードロール
３ バッキングロール
４ ドクタロール
５ ナイフ
６ 感光性永久マスク材料の溶液
７ 乾燥機
８ ポリエチレンフィルム繰り出しロール
９、１０ ロール
１１ 感光性エレメント巻き取りロール
１２ ポリエチレンテレフタレートフィルム
１３ ポリエチレンフィルム
１４ 感光性エレメント
Claims (5)
- （ａ）トリブロモフェニルアクリレートとアクリル酸若しくはメタクリル酸とその他のビニルモノマーとを共重合して得られるカルボキシル基を有するバインダーポリマー、
（ｂ）ペンタメチレンカーボネート単位からなる繰り返し単位（Ａ）とヘキサメチレンカーボネート単位からなる繰り返し単位（Ｂ）を有し、これら繰り返し単位のモル比Ａ：Ｂが９：１〜１：９であるコポリカーボネート、イソホロンジイソシアネート及びヒドロキシエチルアクリレート若しくはヒドロキシエチルメタクリレートの反応物、
（ｃ）下記一般式（１）
（ｄ）活性光線により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤、
（ｅ）アミノ樹脂及び
（ｆ）三酸化アンチモン
を含有してなる難燃性感光性樹脂組成物。 - （ａ）成分のカルボキシル基を有するバンインダポリマーがトリブロモフェニルアクリレートを３重量％〜６５重量％含み、アルカリ水溶液に可溶又は膨潤可能であり、酸価が６５〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、重量平均分子量が２０，０００〜３００，０００である請求項１記載の難燃性感光性樹脂組成物。
- （ｃ）一般式（１）で示される光重合性化合物のｐ＋ｑが、５〜１０となるように選ばれる正の整数で示される光重合性化合物である請求項１又は２記載の難燃性感光性樹脂組成物。
- （ｅ）成分のアミノ樹脂が、メラミン樹脂である請求項１、２又は３記載の難燃性感光性樹脂組成物。
- 支持体フィルム上に請求項１、２、３又は４記載の難燃性感光性樹脂組成物の層を積層してなる感光性エレメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26444397A JP3956441B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 難燃性感光性樹脂組成物及び感光性エレメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26444397A JP3956441B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 難燃性感光性樹脂組成物及び感光性エレメント |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11109624A JPH11109624A (ja) | 1999-04-23 |
| JP3956441B2 true JP3956441B2 (ja) | 2007-08-08 |
Family
ID=17403274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26444397A Expired - Fee Related JP3956441B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 難燃性感光性樹脂組成物及び感光性エレメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3956441B2 (ja) |
-
1997
- 1997-09-29 JP JP26444397A patent/JP3956441B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11109624A (ja) | 1999-04-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7579134B2 (en) | Polyimide composite coverlays and methods and compositions relating thereto | |
| JPS5923723B2 (ja) | 感光性樹脂組成物および感光性エレメント | |
| JPH0792602B2 (ja) | 放射線重合性コンパウンド、放射線重合性複写材料、およびソルダーマスクの製造法 | |
| JP2585224B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JP4406798B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、感光性積層体及びフレキシブルプリント配線板の製造法 | |
| JP2001159815A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フイルム | |
| JP3956441B2 (ja) | 難燃性感光性樹脂組成物及び感光性エレメント | |
| JPS61292632A (ja) | 液状感光性樹脂組成物 | |
| JP2007304543A (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性フィルム、レジストパターンの形成方法、並びにプリント配線板及びその製造方法 | |
| JPH0435061B2 (ja) | ||
| JP4817824B2 (ja) | 感光性樹脂組成物およびそれを用いた感光性樹脂積層体 | |
| WO2003077035A1 (fr) | Composition de resine photosensible et utilisation de celle-ci | |
| JP4147508B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フイルム | |
| JP4679356B2 (ja) | 感光性樹脂組成物およびそれを用いた感光性樹脂積層体 | |
| JP3956247B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム | |
| JPH0562732B2 (ja) | ||
| JPH0310295B2 (ja) | ||
| JPH09325490A (ja) | 難燃性感光性樹脂組成物及び耐熱保護皮膜の形成方法 | |
| JP3729292B2 (ja) | 難燃性感光性樹脂組成物及びこれを用いた耐熱性保護皮膜の製造法 | |
| JP3444796B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JP2001154352A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フイルム | |
| JPH02302403A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フイルム | |
| JPS6223036A (ja) | 固体状感光性樹脂組成物 | |
| JPH1010725A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント | |
| JP2001166471A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フイルム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040825 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070118 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070417 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070430 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |