JP3955341B2 - リソグラフィ用の照明装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に、照明プロフィールを調節（調整）するための照明装置（システム）及び手法（メソッド）に関する。例えば、本発明は、照明源から発する照明プロフィールを調節（調整）するため変形可能な鏡（ミラー）及び拡散性又は回折素子を使用する照明装置（システム）及び手法（メソッド）に関する。本発明の1つの適当な適用例は、ステップ＆スキャン形ホトリソグラフィにおけるレーザ照明の照明プロフィールを調節（調整）することである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の背景技術について説明する。
【０００３】
ホトリソグラフィは、半導体およびフラットパネルディスプレイの製造に通常使用される。ホトリソグラフィにおいては、照明源は、レティクル又はマスクにおける開口部を通して電磁線（電磁放射ビーム）を伝送する。これによっては、感光性材料でコーティング被覆されたサブストレート上に投影されるイメージが規定される。所定の照明源の照明プロフィールは、ターゲット、例えば、サブストレート上に当たる電磁放射ビーム強度を、当該サブストレート上での位置の関数として（当該位置に依存して）表わす関係性の特性マップである。サブストレートを適当に露光するには、照明プロフィールは、比較的に一様である必要がある。
【０００４】
従来は、集積回路の特性（寸法量）サイズは、比較的大であって、良好な特性の照明源を幾つかの選択可能性を以て得ることができた。複数の適当な照明源を青色の可視の紫外線（ＵＶ）及び遠紫外線（ＤＵＶ）領域（例えば、248ｎｍ）にて使用できた。
【０００５】
半導体産業は、特性サイズ（寸法量）を減少させているので、設計者は、回折に基づく分解能の制限を回避するために、比較的小さい波長を生じる照明源を使用することを余儀なくされた。しかしながら、比較的小さい波長では、十分なエネルギーを送出し得る適当なランプの数は限られている。当該の波長における代替的レーザ又は線（放射ビーム）源は、劣悪な出力プロフィール又は特性の不安定性を呈する傾向がある。それらの欠点は、当該の波長領域における光学材料の一般に劣悪な性能によりさらに悪化された。
【０００６】
設計者は、照明源とサブストレートとの間に複雑な光学系を付加、追加するこにより上記の問題に対処するように努めた。しかしながら、非一様な照明プロフィールを補償するために使用された当該の光学系は、不十分な伝送及び高い製造コストを来すアナモルフィックなデザイン（設計）をを有していた。アナモルフィックな光学系は、一方の主子午線方向においては、他方の子午線方向におけるとは異なった拡大率又は光学能力を有する。下記文献を参照のこと。Modern Optical Engineering 第270ー273頁（1990）。Shibuya et al による米国特許第4,619,508号明細書は、コヒーレントな光ビームからインコヒーレントな照明源を形成する他の照明装置（システム）を提示している。Kudo et al による米国特許第4,918,583号明細書は、フライアイ（fly-eye）タイプの積分器（インテグレータ）および複数のレンズ素子と組合わさった内部反射形積分器（インテグレータ）を備えた他の照明装置（システム）を提示している。
【０００７】
一般に、従来の照明装置（システム）に関連する光学系は、多数の回折光学レンズ素子を使用する。それにより（その結果）、線（放射ビーム）の、ポテンシアル的に高い吸収度及びサブストレートに達する低い出力が結果的に生じる。複雑な照明器（系）におけるレンズ又はレンズのような素子の場合、当該損失は、照明プロフィールの非一様性に加えて側方に変動し得る。更に、遠紫外線（ＤＵＶ）領域におけるような比較的小さい波長では、光学的な劣化なしで長い寿命又は受容可能な伝送特性を有する回折材料の数は限られている。亦、更に、ｘ−線光学系に対する高品質の回折素子は、実質的に存在せず、そして、多数のｘ−線露光ツールは、回折素子なしで機能し得なければならない。
【０００８】
リソグラフィによる分解能に関する改善を果たそうとする試行において照明源に対して193又は248ｎｍの波長を有するレーザ、又は、ビームのようなパターンを投影するｘ−線放射ビーム源を使用している設計者もいる。この場合にも欠点がある。例えば、エキシマレーザの照明プロフィールは、屡々一様でない。さらに、レーザの強度プロフィールは、熱的変化、気体エージング、放電ダイナミック特性、又は、その他のパラメータにより変化し得る。多数のレーザをベースとした照明装置（システム）では、所属の光学系は、劣化して、時間に関して照明プロフィールを変化させ得る。更に、レティクルに対して改善された一様性を生じさせるべく試みる光学的設計は，所望の角度的照明特性について妥協策をとり得る。
【０００９】
従って、高いエネルギー送出能力をもっての最適照明を紫外線（ＵＶ）領域又はもっと小さい波長領域にてサブストレートに施す試行は、限られた成功しか収めていない。而して、現存の照明装置（システム）に関わる問題を解決し、そして、比較的コヒーレントな光源、例えば、比較的小さい波長のレーザ及び/又は実質的に指向性の線（放射ビーム）源の設計において新たなアプローチを見いだす必要性がある。
【００１０】
図２は、多数の従来技術のコンセプトと本発明のコンセプトとの基本的な特徴点の差異を示す。従来技術のコンセプトは、一様なフィールドを形成するためコーラー（Kohler)コンデンサレンズによるアプローチを駆使している。図2中従来のフライアイ（fly-eye）レンズ100及びコンデンサレンズ101は、レティクル30を照明している。本発明のコンセプトは、そのようなレンズ、又は、レンズ系を必要としないという点で有利である。
【００１１】
次に、本発明の要点について説明する。
【００１２】
本発明は、ターゲットサブストレート上へイメージを投影するため安定した一様な照明プロフィールを生成し、伝送損失を減少させ、それにより（その結果）、サブストレートに達する線（放射ビーム）を増大させるものである。本発明は、マスクのイメージ形成における不所望のコヒーレントパターン、又は、スペックルを除去するものである。
【００１３】
本発明の1つの実施例（実施形態）では、電磁線（電磁放射ビーム）源と、該源から離隔された変形可能な鏡（ミラー）と、鏡（ミラー）の表面輪郭を変化させるための複数のアクチュエータと、レティクルより前に位置する回折光学素子と、源から発するプロフィールを検出し且つ出力信号を生ぜしめる検出器と、コントローラとを有し、該コントローラは、出力信号を受信し、所望の表面輪郭を計算し、そして、アクチュエータを制御して、それにより（その結果）、変形可能な鏡（ミラー）が所定の手法で照明プロフィールを変化させるのである。
【００１４】
本発明の他の実施例（実施形態）では、ビームスプリッターと、カメラをベースとするプロフィール形成器を備える。ビームスプリッターは、線（放射ビーム）源から放射される電磁線（放射ビーム）の一部をプロフィール形成器へ反射する。プロフィール形成器は、当該線源により発せられた線（放射ビーム）のグローバル（広範）な一様性を求めるし、そして、コントローラへの出力信号を生ぜしめる。それに応じてコントローラは、鏡（ミラー）を所望の位置へ変形するためアクチュエータを作動する。而して、アクチュエータは、変形可能な鏡（ミラー）を調節（調整）して、サブストレートにおける照明プロフィールの所望の変化を行わせ得る。
【００１５】
更に、本発明の他の実施例（実施形態）では、回折光学素子、例えば、マイクロレンズアレイを有し、該マイクロレンズアレイは、合わ（適合化）された回折光学素子として機能し、それにより、ローカル（局所的）一様性、インコヒーレント加算、角度的広がりが果たされる。受容可能なテレセントリック特性は、小さなデフォーカスに基づくイメージ歪み（歪曲）に関連（関係）する。著しく一様な、安定した照明プロフィールは、それにより、著しく僅かな伝送損失を以て得ることができる。
【００１６】
亦、本発明の他の実施例（実施形態）では、少なくとも1つの拡散性、又は、回折光学素子を有し、そして、有利には拡散性素子は、単一の平面内にて移動又は振動せしめられる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題ないし目的とするところは、半導体ウェーハ上へレティクルのイメージを投影するための一様な照明プロフィールを形成することである。
【００１８】
本発明の他の課題ないし目的とするところは、スループットを増大させ、且つ、伝送損失を低減することである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
前記課題は、特許請求の範囲に規定された構成要件により解決される。
【００２０】
本発明の利点となるのは、コヒーレント波面（波頭）の干渉が低減され、スペックルが除去されることである。
【００２１】
本発明の他の利点となるのは、レーザ源プロフィールの、時間に関する変動が補償されることである。
【００２２】
本発明の更に他の利点となるのは、コスト及び維持費が低減されることである。
【００２３】
本発明の更に特長点となるのは、変形可能な鏡（ミラー）が使用されることである。
【００２４】
本発明のなお更に特徴点となるのは、少なくとも1つの回折光学素子が使用されることである。
【００２５】
本発明のなお更に特長点となるのは、回折光学素子が単一平面内で可動、又は、振動せしめられることである。
【００２６】
当該の、および他の目的、利点並びに特徴点を、以下、詳細な説明に照らして明瞭にする。
【００２７】
【実施例】
図1には、本発明の装置（システム）のダイヤグラムを示す。1つの実施例（実施形態）では、当該装置（システム）は、変形可能な鏡（ミラー）12上へ電磁線（電磁放射ビーム）を投影する照明源10を有する。プロフィール形成器16は、鏡（ミラー）12から反射する線（放射ビーム）を検出し、そして、それを指示する信号をコントローラ18へ送信する。コントローラ18は、鏡（ミラー）12の表面輪郭を変化するため複数のアクチュエータ20へ相応の信号を送信し、所望の照明プロフィールを生成する。その際生じる線（電磁放射ビーム）は、マスク30の開口部と、投影光学系29を通ってターゲットサブストレート31上へ当たる。
【００２８】
照明源10は、任意の適当な実質的に指向性の線（放射ビーム）源であり得る。1つの実施例（実施形態）では、実質的に指向性の短波長の線（電磁放射ビーム）ビームを投影する。例えば、照明源のためエキシマレーザを使用した場合、有利な成果が得られた。193nm又は248nmで動作する適当なレーザは、下記のものにより入手、購入し得る。即ち、Cymer Laser Technologies of San Diego 又は、Lambda Physik Inc.of Acton,Massachusettes,(Cymer Model No.Els-4000 又はLambda Physik Model No.Litho. のようなもの）から入手、購入し得る。
【００２９】
本発明の説明の都合上照明源10は、一様な強度プロフィールを有しないものと仮定する。図1に示すように、照明源10からの線（放射ビーム）は、変形可能な鏡（ミラー）12から反射される。鏡（ミラー）12は、ゼロデュア(zerodur)又は普通の顕微鏡スライドサブストレート（遠紫外線（ＤＵＶ）の領域に対して、ほぼ1ｍｍ厚さで、約0.2ミクロンまで研磨されている）から作製され得る。適当な遠紫外線（ＤＵＶ）反射性コーティングは、Rocky Mountain Instruments, Longmont,Coloradoから入手し得る。鏡（ミラー）12は、変形可能な表面を有し、該変形可能な表面は、照明源10からの線（放射ビーム）の照明プロフィールを変化させるために使用し得る。
【００３０】
当該の装置（システム）は、照明源10から発する線（放射ビーム）の照明プロフィールを検出するための手段を有する。検出手段は、照明プロフィールが容易に得られる限り（間中）は、光路内の何処にでも配置され得る。例えば、可動のシリコンホトダイオード検出器１６Ａは、図3に示すようにサブストレート31の平面内に配置され得、そして、サブストレート31を露光すべき時には妨害をしないように動かすことができる。図4は、一次元のインテグレートプロフィール測定の様子を示す（Ｉ（ｙ））。図3に示す検出器16Ａは、スロット（スリット）アパーチャ25の後方に位置し、該スロット（スリット）アパーチャにより、矩形フィールドに対して横断的にスキャンニング（スキャン）が行われる。光は、スロット（スリット）25に沿って加算され、二次元プロフィールの積分（インテグレート）を生じさせる。
【００３１】
図1に示す実施例（実施形態）では、検出手段は、ビームスプリッタ14及びプロフィール形成器16を有する。ビームスプリッタ14は、鏡（ミラー）12から反射された線（放射ビーム）の光路内に位置する。ビームスプリッタ14は、任意の適当な構造体であり得、部分的に反射性のコーティング付きの光学級鏡（ミラー）又は光学級キューブを有するものであり得る。或1つの適当なビームスプリッタは、 Rocky Mountain Instruments, Longmont,Coloradoから入手、購入し得る。
【００３２】
有利には、照明源10からの反射光の僅かな一部分は、プロフィール形成器16へ向けられる。プロフィール形成器16は、カメラとしての作用をし、鏡（ミラー）12及びビームスプリッタ14から反射した線（放射ビーム）の放射ビーム強度の空間分布を検出する。
【００３３】
プロフィール形成器16の出力は、コントローラ16へ、例えば、ＲＳ−170ビデオフォーマットにて送信されるが、他の多数のフォーマットも可能である。1つの有利な実施例（実施形態）では、コントローラ18は、プログラマブル（プログラミング可能）コントローラを有する。プロフィール形成器からの情報に基づいてコントローラ18は、鏡（ミラー）12の表面輪郭を計算し、所望の照明プロフィール、例えば、一様な照明プロフィールを達成する。コントローラ18は、相応のデジタル信号を鏡（ミラー）アクチュエータ20に送信する。複数の鏡（ミラー）アクチュエータ20は、鏡（ミラー）12に作用結合されており、コントローラ18により送信された信号に従って鏡（ミラー）12の表面輪郭を調節（調整）して、ターゲット平面、例えば、サブストレート31にて所望の照明プロフィールが得られる。
【００３４】
コントローラ18は、鏡（ミラー）12の所望の表面輪郭の計算のため複数の種々異なる計算技術又はアルゴリズムの任意のものを使用し得る。典型的には所望の表面輪郭によっては、サブストレートにて一様な強度プロフィールが得られる；しかしながら、他の照明プロフィールも可能である。他の実施例（実施形態）では、コントローラ18は、試行錯誤(trial-and-error)手法を使用し、表面輪郭を計算し、グローバル（広範）に一様な最良の放射ビーム強度が得られる。
【００３５】
どのようなアルゴリズムが使用されようとも、鏡（ミラー）12の表面輪郭における何れの変化も所望の成果を得るのに必要な程度にしかならないように最小化される、例えば、一様なプロフィールを得るのに必要な程度にしかならないように最小化されるのが極めて望ましい。それにより（その結果）、不必要な過度の鏡（ミラー）歪み及びビームデコリメーションが除去される。
【００３６】
当該の目標の達成のために一次元のの場合に適用可能な或1つのアルゴリズムは、照明プロフィールデータを複数の等しいエリアセグメントに分割するステップを含む。典型的には、いく百かのセグメントが使用される。当該の等しいエリアセグメントは、典型的には様々のエネルギー量を含む。
【００３７】
ターゲット照明プロフィール、通常一定の方形関数は、セグメントに亘って必要とされるような線（放射ビーム）により要求されるようなターゲット照明プロフィールの相応のエリアセグメントの幅を変化させることにより得られる。このことは、図5及び図6に示されている。夫夫の相応のセグメントプロフィールカーブのもとでの線（放射ビーム）エネルギー又はエリアは。それにより（その結果）、一定であるが、カーブセグメントの幅及び高さは、異なる。
【００３８】
相異なる幅のセグメントの新たなセットは、1つの新たなプロフィールデータセットを得るためプロフィールの分割の元の（当初の）シーケンス（順序）にてスタック（積み重ね）される。それにより、鏡（ミラー）12の変形により生ぜしめられるべき変位（シフト）（Ｓ1）が求めるされる。そのようにして、比較的高いプロフィールポイントから比較的低いプロフィールポイントへの線（放射ビーム）の最小の横方向シフト（ずれ）が得られ、而して、線（放射ビーム）は、決して、レイ（線）の交差を来すようなシフト（ずれ）が生ぜしめられることはない。鏡（ミラー）の計算された表面は、反射の法則に従ってローカル（局所的）スロープを有するものであり、而して、所望のセグメント変位（シフト）の得られる反射されたレイ（線）角度変化を生ぜしめる。それにより（その結果）、グローバル（広範）に一様な所望の照明プロフィールのため鏡（ミラー）12の最小の表面変形が得られる.これが最小となる訳は、そのようにして得られたセグメント変位（シフト）には最小の鏡（ミラー）スロープしか必要とされないからである。参照図7,8,9及び10。
【００３９】
変形可能な鏡（ミラー）12は、鏡（ミラー）12自体の材料撓み（曲げ）限界と共にアクチュエータ20の有限の変位（シフト）範囲に基づき変形に対して実際上の制約を有する。撓み（曲げ）限界は、鏡（ミラー）の破損、又は、アクチュエータ20の動きに対する鏡（ミラー）12の抵抗（性）により生じる。
【００４０】
有利には、鏡（ミラー）12の変形の角度量の大きさ（サイズ）は、サブストレート30の露光において使用される線（放射ビーム）のダウンストリーム（下流）ビームデコリメーションに対して無視可能な影響（作用）を及ぼす。回折光学素子に投影（プロジェクション）されたビームは、実質的に、それに加えられる小さい角度偏差に基づいて指向性を保ったままである。このことは、レティクルの照明のテレセントリック特性がコリメーションに依存する場合には要求される。従って、サブストレート31にて新たな照明プロフィールを生成するには照明源から発する所定のプロフィールを変更する鏡（ミラー）12の表面の最小の変形を見出すことが重要である。
【００４１】
1つのプロフィールデータセットは、多数の等しいセグメントに分割されるが、必ずしもアクチュエータ20の数に関連（関係）しない。使用されるセグメントの数は、究極的には（結局）計算精度の問題である。しかしながら、少なくとも数百のセグメントが、典型的には±1％の一様性目標のため使用されるべきである。データは、各セグメントにて受け取られたエネルギーの量を確定するため数値的に（数量的に）積分（インテグレート）され、そして、すべてのセグメントに亘ってのトータル（総合的）エネルギーは、和として得ることができる。該トータル（総合的）エネルギーは究極的には（結局）次のような意味合いで何れの有意の変形のためにも保存される、即ち、変形可能な鏡（ミラー）12からターゲットプロフィール表面へ供給されるという意味合いで何れの有意の変形のためにも保存される。
【００４２】
次に、”実行（ランニング）積分（インテグレート）”アルゴリズムは、コントローラ18において開始される。当該のアルゴリズムは、インクリメント（増分））的にターゲットプロフィールを積分（インテグレート）する。ターゲットプロフィールが一様である場合には、積分（インテグレート）値は、常に同じであり、単に、セグメント数により分割されるトータル（総合的）エネルギーである。最初（第1の）積分（インテグレート）は、何れのインクリメント（増分））でもテストされる。当該の積分（インテグレート）が元のプロフィールの最初（第1）のセグメントにおけるエネルギー値を越すと、どのセグメントが最も近いかに関して求める（判別）がなされる。このことは、セグメント休止（ブレーク）となり、そして、順次、次の積分（インテグレート）に対するスタート値となる。参照、図5及び6。
【００４３】
当該のシーケンス（順序）は、次のような時点まで継続する、即ち、等しい夫夫の源セグメントが、データセットにより表されるカーブのもとでエネルギー又はエリアにマッチ（適合）するために要求される長さのターゲットセグメントに一致（適合）せしめられるまで継続する。而して、ターゲットセグメントは、相等しくないセグメントに分割されることとなり、該相等しくないセグメントは、究極的には（結局）順次（相次いで）適当な大きさ（サイズ）にスタック（積み重ね）又は連結される。順次プロセスに内在するスタック（積み重ね）手続き（手順）は、最も少ない距離（間隔）しか変位（シフト）しない。このことは、図7,8,9に示されており、”バケットブリゲード”アナロジーにより説明される。
【００４４】
究極的には（結局）”レイー変位（シフト）”角度は、図10に示すように、引き出され（導出され）、該角度は、変形可能な鏡（ミラー）12からサブストレート31への、”スロー”（投射）throw"長さＬにて生じるセグメントセンタの横方向シフト（ずれ）Ｓ_ｉ を表わすものである。一旦角度値が計算されると、反射の法則が、表面スロープセットを規定するために利用される。そして、これからコンピュータ（計算機）アルゴリズムは、図11に示すように表面変位（シフト）関数を見出すために積分（インテグレート）する。表面変位（シフト）関数は、実際のアクチュエータの数より大きいエントリを有するデータセットにより表わされる。而して、アクチュエータ制御信号は、限られた変位（シフト）のセットとして求めるされ、この限られた変位（シフト）のセットによっては、鏡（ミラー）12の”ガラス("glass")が数学的表面に緻密に近似せしめられる。このことは、任意の標準の外挿によってもなされ、ここで、アクチュエータ20は、当該の表現、表示に最良にフィットする変位（シフト）値を割り当てられる。
【００４５】
当該の種類のアルゴリズムを用いて、鏡（ミラー）12が照明プロフィールを最適化するのに必要とされる変形は、最小化される、それというのは、光は、交差光を生ぜしめるような仕方では決して変位（シフト）されないからである。このことは、図9に示すようなバケットブリゲードに類似する。もし、幾つかのバケットが任意の高さまで満たされ、そして、水の新たな分布が所望される場合には、水を動かすために、何れのバケットの内容物も最も少ない距離（間隔）だけ移動されるようにしたアルゴリズムを見出すのがよい、夫夫のバケットは、それの最も近い隣接のものから水を与えたり、又は、受け取ったりするに過ぎず、然も究極的には（結局）多量の水を動かし得る。
【００４６】
1つの実施例（実施形態）では照明源10からの線（放射ビーム）をより一層グローバル（広範）に一様にした後、線（放射ビーム）の強度プロフィールは、拡散性又は回折光学素子の角度的な広がり特性による照明プロフィールのコンボリューションに基づいて一層ローカル（局所的）に一様にされる。それというのは、当該の線（放射ビーム）は、マスク30へ短い距離（間隔）だけ伝搬するからである。例えば、1つの適当な拡散性又は回折性光学素子は、マイクロレンズアレイ22であり、該レンズアレイは、不所望の顕微鏡的なコヒーレントなパターンの除去のため必要に応じて動かし得る。マイクロレンズアレイ22は、直交ドライブ(quadrature drive）により単一の平面内で2つの軸に沿って、有利には相互に直交する方向に、ドライブされる。
【００４７】
回折素子又はマイクロレンズアレイ22のグリッド大きさ（サイズ）及びフェーズ（位相）レリーフは、適用例に応じて変化する。しかしながら、典型的素子は、1つのアレイ中に個個の単位素子エレメントを有する。当該の単位素子エレメントは、有利には可及的に小さい。1つの実施例（実施形態）では、レンズアレイの個個のレンズ素子は、一様なフィールドの約1/1000より大でないようにすべきである。
【００４８】
回折素子又はマイクロレンズアレイ22は、一般に、何らかの繰り返しベースユニットを有するフェーズ（位相）レリーフ又は光路長変調された素子である。当該のベースユニットの物理的な横方向大きさ（サイズ）は、ユニット大きさ（サイズ）と称される。当該ユニットが擬似ランダム又は拡散性であるの場合には、上記ユニット大きさ（サイズ）は、最大の横方向ディメンションの大きさ（サイズ）であり、その大きさ（サイズ）に亘って、放射された光の明確なローカル（局所的）な特性が見出され得るものである。通常、ユニット大きさ（サイズ）は、任意の不所望のコヒーレントなパターンの何らかの繰り返し特性の特徴的（特性的）大きさ（サイズ）である。
【００４９】
他の実施例（実施形態）では、第2のマイクロレンズアレイ26は、最初（第1）のマイクロレンズアレイ22に隣接して配置され得る。このような特別のアプローチによっては、作製の容易性及び設計の融通性が与えられる。第二のマイクロレンズアレイ26は亦、小さい動きの拡大性に基づいて最初（第1）のマイクロレンズアレイ22を有する装置（システム）において有利に使用され得る。前記の2つのマイクロレンズアレイ22,26は、有利には、マイクロレンズアレイ22,26の個個のエレメントの焦点距離の100倍及び500倍間の距離（間隔）により分離される。当該の実施例（実施形態）のマイクロレンズアレイ22,26は、20ミクロン幅の収束レンズの繰り返しｘ−ｙグリッドから作られている。前記レンズの曲率は、所定のホトリソグラフィ光学系にて使用向けの所望の瞳フィル（充填）又は角度広がりに近似させるものである。この手法の主な利点は、回折素子の設計により当該の角度特性を適合化させ得る能力である。マイクロレンズアレイ及び適当な特性を有する他の回折光学素子は、Teledyne Brown Engineering.Huntsville, Alabamaから購入、入手し得る。
【００５０】
デリミタ（区切り体）28は、ターゲット平面又はマスク30のところに、又は、その近くに配置されている。デリミタ（区切り体）28は、マスク30又はサブストレート31にて、不所望の線（放射ビーム）がターゲット平面に達するのを防止するのに役立つ。グローバル（広範）に、又は、ローカル（局所的）に、一様な照明プロフィールは、レティクル又はマスク30を通って投影（プロジェクション）光学系29へ投影（プロジェクション）される。2つの適当な投影（プロジェクション）光学系は、第4米国特許,952,960号明細書”Color Corrected Optical Reduction System Using One Material"及び米国特許出願第08/009,284号明細書”High Numerical Aperture Catadioptic Reduction Lens"に記載されており、前記刊行物の開示内容は、参考のためのものである。
【００５１】
投影（プロジェクション）光学系29は、サブストレート31上にレティクル又はマスク20をイメージし得る。マスク30およびサブストレート31は、図12に示すように矢印Ｓａにより表わされている1つのスキャン軸に沿って精確に共役の関連（関係）でスキャンされ得る。これによって、照明又はイメージングフィールドより大のサブストレート上へレティクル又はマスク30のイメージングが可能になる。亦、それにより、一次元の変形を有利にする。
【００５２】
スキャンニング（スキャン）マイクロリソグラフィ露光系は、対象物が動いており、イメージ形成表面が精確に共役的関連（関係）にある場合精確なイメージングを行い得るという利点がある。投影（プロジェクション）光学系（ＰＯ）29（即ち、レンズ）は、及び照明源10は、固定されている。任意の瞬時のイメージにおける投影（プロジェクション）光学系29は、”スロット”と見なされる方形フィールド内にて、フル（完全）レティクル又はマスク30の1セクションをイメージするに過ぎない。前記の”スロット”は、適当に照明され、非スキャンニング（スキャン）方向で一様でなければならない。スキャンニング（スキャン）方向における照明プロフィールは、次のような間はクリティカルでない、即ち、スロット幅を横切ってスキャンニング（スキャン）の期間中適当な数のパルスが使用されている間はクリティカルでない。それというのは、照明プロフィールはスキャンニング（スキャン）により実質的にスミア（塗り付け）されて、1つの一様なプロフィールが形成される。図13は、照明系（システム）11により生ぜしめられる非一様なスロットプロフィールＳ_ｐ’及び一様なスキャンニング（スキャン）プロフィールＳｐを示す。
【００５３】
図１４は、一次元の変形可能な鏡（ミラー）12を示す。鏡（ミラー）12の表面は単に1つの横断面に沿って或ベース表面から出発する。一次元変形可能な鏡（ミラー）12は、スキャンニング（スキャン）光学系において使用するのに適当ななもであり得る。変形可能な鏡（ミラー）12は、フレキシブル（可撓性）又は変形可能な鏡（ミラー）面付きの表面32であり得る。表面32の下方には複数のアクチュエータ34が設けられている。アクチュエータ34は、本例では、ねじ山付きのシャフト又はねじ36により動かされる。鏡（ミラー）12の各端部における取り付用けねじ山38は、ビーム送出又は照明系（システム）シャシーにて変形可能な鏡（ミラー）12を取り付けるのに使用される。
【００５４】
図１５は変形可能なミラー１２とアクチュエータ３４との関係を描いている。アクチュエータ３４の各々は粘着材４０によって表面３２に接着されている。１つの適当な粘着材は、ミネソタ州セントパウロのミネソタマイニングアンドマニュファクチャリング社から入手できる３Ｍパーツ番号第２２１６である。アクチュエータ３４は、加えられた負荷および解放された横負荷の実際ポイントを規定するフレクチュアカットを含んでいる。各アクチュエータ３４の内部には、スレッデドホール４４がある。スレッデドシャフト３６は各スレッデドホール４４内にねじ込まれる。サポートまたはガイド４６はその中に複数のボア４８を持っている。各ボア４８は相応するスレッデドシャフト３６の外径５０よりもわずかに大きな直径を有している。センターアクチュエータ３４はボルト５２によって固定された位置にある。シャフト３６はドライブ５４によって移動する。ドライブ５４はスレッデドシャフト３６を回転させるか、または回転なしで上方および下方に移動させることができ、これによってアクチュエータ３４を移動させることができる。
【００５５】
前に説明したように、制御器１８は、必要なグローバル（広範）に均等な強度プロフィールを得るのに最低必要とされるデフォーメーションの量を達成するために、選択的にドライブ５４を制御する。変形可能なミラーからターゲット平面またはレチクル３０への、約１メートルの、図１に描かれているスルー距離（すなわちイメージングなしの光学伝搬）を用いることによって、単に約フレキシブル表面３２の１ラジアン局部角度変形が標準的に必要となる。このことは、約１ミリメータ厚さの薄い反射型表面の移動の許容範囲内に収まっている。加えて、小さな角度変形とともに、小さなデコリメーションが存在する。デコリメーションは、図１に描かれたマイクロレンズアレー２２および２６から発散する放射ビーム（線）の望ましい遠中心特性を生じさせるにはわずかすぎ、そして逆にわずかに焦点外れした、イメージの許容できる小さな歪みを生じさせる。
【００５６】
図１６および１７は図１に概略的に描かれた変形可能なミラーの第２の実施例を描いたものである。第２実施例の変形可能なミラー１２は、図１５に描かれている第１実施例に類似である。しかし、この第２の実施例は、２つのピエゾ電気トランスジューサアクチュエータ１５４およびワイヤ曲げ部（材）１５６の２つのローを持っている。
【００５７】
図１６においては、ミラー１３２は、サポート１６０間に設けられたワイヤフレクチュア１５６によって、ピエゾ電気変換器アクチュエータ１５４に取り付けられている。適切なピエゾ電気変換器はサウスカロライナ州コンウエイのＡＶＸ社から得ることができる。１つの適切な変換器はＡＶＸモデル番号第Ｃ３．５００１０−Ｃである。ピエゾ電気変換器アクチュエータ１５４はベース１５８に取り付けられる。ミラー１３２、サポート１６０、アクチュエータ１５４およびベース１５８の背面は、３Ｍ社のパーツ番号第２２１６のような粘着材１４０によって互いに接着されている。ピエゾ電気変換器アクチュエータ１５４は、望ましいグローバル（広範）な照明均等さを得るために、変形していない状態から１０ミクロンよりも少ない変形可能なミラー１３２の反射型表面を制御可能な状態で移動させるために単に必要とされているだけである。
【００５８】
図１７は、ミラー表面１３２を変形させるために用いられるピエゾ電気変換器アクチュエータ一５４の２つのローを描いている。ミラー表面１３２の各長さ方向エッジにおけるピエゾ電気変換器アクチュエータ１５４組立のローの設置は、ミラー１３２の望ましくない捻れ変形を除去するのに助けとなる。ワイヤフレクチュアは、望ましくない横方向引っ張りを解放すると同時に、望ましい一次元方法によってミラーを指示しそして引っ張る。
【００５９】
図１８は、補正されていないエキシマレーザの照明プロフィールを描いている。放射ビーム（線）の相対強度が図１８のグラフにおける濃淡によって表されている。より暗い範囲はより大きな放射ビーム（線）強度を表している。
【００６０】
図１９は図１８におけるｙ軸の断面に沿った放射ビーム（線）強度を描いている。相対強度がｙ軸に沿った変化に応じてかなり変化していることが明らかに理解できる。この影響は、曲線の中央部分を超えてからも存在する。
【００６１】
図２０は、図１８におけるｘ軸に沿った放射ビーム（線）の強度を描いている。ｘ軸に沿った照明はＡｒＦエキシマレーザに関しては比較的安定的でありそして予言できるということが知られている。さらに、走査装置において使用されるとき、走査軸または走査の方向に平行なこの軸は、均等な露光を得るためにはそれほどクリチカルではない。走査軸または走査の方向に垂直なｙ軸はよりクリチカルであり、そしてより変動に敏感であることが知られている。経時的な変動またはレーザ劣化は、他の変化要因よりも、整列における変化、工学的品質、ガス品質、放電力学及び温度によるものである。
【００６２】
図２１−２３は図１８−２０において見られたそれと類似である。しかし、図２１−２３におけるグラフは、図１８−２０において描かれたような同じレーザ源に本発明を適用した結果の照明強度を描いたものである。クリチカルなｙ軸に沿った照明強度の均等さは大幅に改善されている。このことは図２２における曲線の実質的にフラット（平坦）な中央部分によって描かれている。このため、照明源の元来的に貧弱なプロフィールの大部分が利用できる。
【００６３】
図２２は、走査動作の間に均等な露光を得ることができる極めて望ましい、照明強度曲線のフラット（平坦）な中央部分を描いている。実際の走査露光装置においては、プロフィールセンサーおよび／または信号処理はｘに亘る平均から結果として得られるｙに沿ったプロフィールを表示すべきである。そのように行う上でデータは図４において示されるように、走査の平均作用を表すように作られる。本発明で達成される照明強度曲線のフラット（平坦）な中央部分は１％未満の変化が認められる。
【００６４】
３つの異なる空間的サイズのカテゴリ−がグローバル（広範）、局部的または顕微鏡的として均等さの規定に適用される。「グローバル（広範）」は照明されるフィールド（視野）のサイズを大ざっぱにすることを意味し、そして横の広さは回折性素子の伝搬作用によってコンボリューション（重畳）されるプロフィールの広がりよりも大きい。ミラー変形は基本的には単に一様性（均等性）のこの規定上に作用するにすぎない。変形によっては十分には補正されない「リップル」または微構造はコンボリューション（重畳）効果によって除去できる「局所的」非一様性（不均等性）である。これは単に、多くのパルスが発生している間に、回折素子の移動を通して除去される「スペックル」または望ましくない「顕微鏡的」干渉パターンを取り除くことである。これらはすべて図２４に描かれている。図２４においては、線Ｇ_Ｎは「グローバル（広範）」非一様性（不均等性）を、線Ｌ_Ｎは「局所的」非一様性（不均等性）を、そして線Ｍ_Ｎは「顕微鏡的」非一様性（不均等性）を表している。線Ｉ_Ｐは照明プロフィールを表している。
【００６５】
再び図１を参照すると、マイクローレンズアレーまたはアレー対は２２が角度づけられて作られた拡散器として働いている。回折性素子（単数または複数）またはマイクロレンズアレー対２２は空間パターンの周波数のローバンドパスフィルタに似た局部ミキシングによって作用する。これはレチクルまたはマスク３０において見られるように、プロフィールにおける微細な構造欠点を取り除く。カットオフは観察される平面への距離の関数であるため、これは調子合わせできるフィルタとして考えることができる。微細な構造の巻き付きによる平均化は距離の関数である。
【００６６】
マイクロレンズアレー２６が物理的に制限平面２８に近いことが望ましい。例えば、１つの実施例においては、最終または第２マイクロレンズアレー２６は制限平面２８から約１０ミリメートルである。しかし、他の実施例においては、マイクロレンズアレー２６の位置は、用途によってこの値からかなり変化することができる。この距離は、数１００のアレーユニットが何らかの均等なフィールド（視野）ポイント上に角度的に光線を照射することを標準的に確立する。
【００６７】
フォトリソグラフ装置の照射光学装置２９が無限遠における瞳（ピューピル）を持っているとき、瞳（ピューピル）フィルは、そしてそのためレチクルにおける放射ビーム（線）の角度作用は、マイクロレンズアレー２２、２６の遠視（例えば無限距離）回折パターンからもたらされる。遠視パターンはパターン伝搬としての輪郭における無視できる変化を持って発散することによって特徴付けられる。マイクロレンズアレー２２、２６において極めて多数のレンズがあるため、すべてのレチクルポイントは基本的に二次源の同じ角度分配に見える。こうして、一般的な「ケーラー」照明器具設計の標準と同様、瞳（ピューピル）上に二次照明源またはマイクロレンズアレー２６を再イメージするのにコンデンサは必要ではない。
【００６８】
レーザ源１０のようなコヒーレント放射ビーム（線）源が用いられるとき、時々「スペックル」と呼ばれる安定的な干渉パターンがレチクルまたはマスク３０の平面に発生する。この望ましくないパターンは拡散性または回折性素子またはマイクロレンズアレー２２，２６の近フィールド（視野）回折パターンである。レチクル平面３０におけるどのような点においても位相相関された寄与はマイクロレンズアレー２２，２６と関連した静止座標系において明視できる縞模様パターンを発生させる。これは望ましい回路特色イメージに重なる望ましくない特色である。
【００６９】
パルス化されたビーム源に関しては、エネルギー不安定性のために、標準的には少なくとも３０パルスを用いて、加算されることが必要である。経時的に加算された中から望ましくない干渉パターンを除去するため、パルス加算は２つの方法を提案する。第一は拡散性および回折性素子を、干渉パターンが約１ユニット（単位量）の距離だけ、それ自身２次元的に移動するようにして、結果として干渉パターンの存在しない加算が行われるように移動させることである。第二は拡散素子２２におけるコヒーレント波面の入射角度を、線形位相シフト関数を、そしてそのため同じパターン移動を、生じさせるようにシフトさせることである。このことは望ましくないパターンを除去する。図２６および２７は、この移動の特性を示しており、図２７は移動からの結果がない時のスペックルパターンを描いている。
【００７０】
レーザのようなコヒーレント放射ビーム（線）源は、スペックル、すなわち干渉によって照明源に局限された非一様性（均等性）によって作られる望ましくないイメージ、の問題を発現させる。エキシマレーザに関しては、コンデンサレンズで実行されるようなビームのインコヒーレント領域の有効な交差ミキシングを作り出す配列が使用されるまで素子を移動させなくてはスペックルは除去できない。スペックルを除去するのにコンデンサレンズを必要としない本発明は、こうして簡単で、しかもより少ない伝送損失を持っている。回折素子２２は単一平面内の２つの直交軸に沿って直交（関係）的に移動する。マイクロレンズアレー２２のこの回転的な移動は、移動のベクトルが偶然的な対称軸内に存在するという可能性を回避する。
【００７１】
直交（関係）ドライブ２４によるマイクロレンズアレー２２の移動は、小さな移動によって生じさせられることが望ましく、低慣性アクチュエータが直交（関係）的に作用し、そして図２５に示されるような遠隔的にモータ駆動されるアクチュエータ装置によって空気圧的に駆動される。図２５においては、モータ２１０がベルト２１２によって第一ホイール２１４および第二ホイール２１６を駆動する。一方、ホイール２１４および２１６は、空気ホース２２０に供給する空気コンプレッサ２１８を駆動する。空気の圧力およびフローは２つの空気圧アクチュエータ２２４を直交（関係）的に駆動するのに使用される。ドライブ２２４の各々は、回折性素子またはマイクロレンズアレー２２を保持しているフレーム２２８に取り付けられている。このフレームは曲げ部（材）２２６によって保持され、そしてサポート２３０によってサポートされている。これは不必要な振動を除去する。単一平面における結果（合成、生成）的に生じる移動は、ランダムである。マイクロレンズアレー２２に結合されている空気圧的なアクチュエータ２２４は、いくらか離れたドライブモータ２１０によって駆動される。可動性のマイクロレンズアレー２２はコンパクトであり、そして極めて小さな慣性質量を持っている。付加的に、空気圧的なアクチュエータ２２４のストロークは周波数の変更なしでプレッシャドロップ法により容易に可変できる。こうして、スペックルは可能な最も小さいストロークにより除去できる。一般的には、回折性または拡散性素子またはマイクロレンズアレー２２において必要とされる移動は、極めて小さく、普通２０ミクロンか、それ以下である。この小さな移動はフォトリソグラフィック装置に望ましからぬ振動を引き起こす可能性を減少させる。
【００７２】
変形可能なミラー１２は、源１０からの照明プロフィールの変化に従って調節される。源１０からの照明プロフィールの変化は迅速なものではなく、そして短い時間周期、すなわちいくつかのウェファを露光するのに必要な時間、においては比較的安定的である。このためエキシマレーザを用いるときには、変形可能なミラー１２は源１０の初期スタートアップ時、および源１０の出力が変化したことを検出（感知）用装置が検出した時、に調整を必要とするだけである。変形可能なミラーアクチュエータ２０は、それほど迅速に応答する必要はない。付加的に、望ましいフィールド（視野）を覆う±１％以内の望ましい均等な照明プロフィールを得るためには、図１４−１５に描かれているような、近似的であるにすぎない７つの１次元アクチュエータ３４が必要とされていることが知られている。
【００７３】
図２８は本発明の別の実施例を描いている。図２８においては、反射型回折素子２２’が使用されている。反射型回折素子２２’は変形可能なミラー１２から受けた電磁放射ビーム（線）をレチクル３０上に反射する。反射型回折素子２２’は、照明されたレチクルフィールド（視野）が、反射型回折素子２２’の入射側の特定の角度場所において望ましい放射ビーム（線）の特性を生じさせるための回折特色の可能性によってもたらされる鏡面反射、拡散反射、またはいかなる任意の反射角度、を含む反射で生ずるように方向付けされている。
【００７４】
その結果、本発明は照明プロフィール一様性（均等性）において劇的改善を提供できることは容易に明らかである。加えて、コヒーレント放射ビーム（線）源の使用によるスペックルの影響が除去できる。このことは高価でない、しかも極めて低い伝送損失を持つ、簡単な設計によって達成される。短い波長源に適切な材料およびコーティングが、極めて少数のビームが横断する素子に関して用いられる。結果として従来可能であったよりも、より均等な照明プロフィールが、同じ電力の照明源から得られる。
【００７５】
本願開示において使用される、回折性素子または回折性光学素子という用語、概念は、入射する電磁放射ビーム（線）の電磁界への、その効果が、放射ビーム（線）の回折セオリーによって支配されており、しかも光線−屈折性または幾何学モデルまたは分析によっては十分に規定され得ない、いかなる素子をも意味している。このカテゴリーは、振幅および／または位相変調を持つ透過性または反射性の材料の基板または素子、または特定のフィールド（視野）または空間位置において明瞭な振幅、位相、および強度パターンを発生するパターンを含む。現在の説明は伝送に用いられる素子を強調しているが、しかし同じ特性の反射型実施例が、例えば図２８に描かれている実施例が、含まれている。同様に、実質的に指向性の、またはビーム状の放射ビーム（線）フィールド（電磁界）への、その効果が、明瞭な２次放射ビーム（線）源の多数の効果を発生させることによって、その指向性特性を、ある程度にまで減少させる何らかの素子として、拡散型素子が規定される。
【００７６】
ここでの規定によれば、そのような拡散性素子は、回折性素子のカテゴリーのメンバーであるとも考えられる。
【００７７】
望ましい実施例が記載され、そして説明されたが、当業技術者にとっては本発明の精神と範囲から離れることのない種々の変更が行えるということは明らかであろう。１つの望ましい実施例がエキシマレーザ源を用いて説明されたが、この照明装置は他の照明源にも、そして変形可能なミラーコーティングおよび拡散性素子のために適切な材料を使用することによって、実質的に指向性のある放射ビーム（線）源にも、都合良く適用できる。
【００７８】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体ウェーハ上へレティクルのイメージを投影するための一様な照明プロフィールを形成すること、スループットを増大させ、且つ、伝送損失を低減すること、そして、コヒーレント波面（波頭）の干渉が低減され、スペックルが除去されること、並びに、レーザ源プロフィールの、時間に関する変動が補償されること、更に、コスト及び維持費が低減されることという効果が達成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の装置（システム）の実施例（実施形態）の概念図である。
【図２】多数の従来照明器におけるケーラー（Kohler)コンデンサレンズとの対比を示す概念図である。
【図３】プロフィール検出のためのスキャンニング（スキャン）検出器の使用される様子を示す概念図である。
【図４】スロットによりスキャンニング（スキャン）される方形フィールドを示す概念図である。
【図５】夫夫のセグメントへのプロフィールの分割の様子を示す概念図である。
【図６】 1つの新たなプロフィールを得るためのセグメントのリアセンブリの様子を示す概念図である。
【図７】交差のないようなプロフィールセグメントの横方向シフト（ずれ）の様子を示す概念図である。
【図８】交差を伴ってのプロフィールセグメントの横方向シフト（ずれ）の様子を示す概念図である。
【図９】水のバケットのアナロジーを示す概念図である。
【図１０】スロー("throw")長さの様子を示す概念図である。
【図１１】ローカル（局所的）的スロープ付き鏡（ミラー）表面上への反射の影響（作用）を示す概念図である。
【図１２】レティクル及びウェーハのスキャンニング（スキャン）の様子を示す概念図である。
【図１３】一様なプロフィールの生成される手法を示す概念図である。
【図１４】図1にて示す変形可能な鏡（ミラー）の最初（第1）の実施例（実施形態）の平面図である。
【図１５】図14における変形可能な鏡（ミラー）の正面図である。
【図１６】図1に示す第2の変形可能な鏡（ミラー）の実施例（実施形態）の正面図である。
【図１７】図16にて示す第2の変形可能な鏡（ミラー）の実施例（実施形態）の側面図である。
【図１８】レーザ源からの照明プロフィールを示すグラフの図である。
【図１９】図18におけるｙ−軸に沿っての照明強度を示すグラフの図である。
【図２０】図18におけるｘ−軸に沿っての照明強度を示すグラフの図である。
【図２１】本発明により補正されるレーザ源の照明プロフィールを示すグラフの図である
【図２２】図２１におけるｙ−軸に沿っての照明強度を示すグラフの図である。
【図２３】図２１におけるｘ−軸に沿っての照明強度を示すグラフの図である
【図２４】グローバル（広範）、ローカル（局所的）及び顕微鏡的一様性スケール並びにプロフィールコンボリューションジオメトリック特性関係を示す概念図である。
【図２５】回折光学素子をジャイレーションさせるための1つの可能な手法を示す概念図である。
【図２６】回折光学素子のジャイレーションにより惹起される、横断面平面における円状の運動を示す概念図である。
【図２７】回折光学素子のジャイレーションによる影響（作用）を説明するための概念図である。
【図２８】反射性回折光学素子を用いた本発明の他の実施例（実施形態）を示す概念図である。
【符号の説明】
１０ 照明源
１２ 鏡（ミラー）
１４ ビームスプリッタ
１８ コントローラ
２０ アクチュエータ

Claims (21)

1. 電磁放射ビームの源と、
   変形可能なミラーと、
   変形可能なミラーの表面輪郭を変化させるために変形可能なミラーに結合されたアクチュエータ装置と、
   源から発せられた放射ビームの強度プロフィールを求めるためのプロフィール検出用装置と、
   変形可能なミラーに関する表面輪郭を計算し、そしてアクチュエータ装置を制御するために、プロフィール検出用装置およびアクチュエータ装置に配属された制御装置と、そして
   拡散性または回折性の光学素子とを有し
   前記源からの放射ビームが変形可能なミラーから反射され、そして少なくとも１つの拡散性素子を通り、結果として改善されたグローバルおよびローカル放射ビーム強度の均等性が得られることを特徴とするリソグラフィ用の照明装置。
2. 拡散性または回折性の素子が、望ましい均等なフィールドのサイズのおおよそ１／１０００のサイズの、個別のレンズ素子を持つマイクロレンズアレーであるような、請求項第１項記載の照明装置。
3. 第一拡散性または回折性素子が移動可能であるような、請求項第１項記載の照明装置。
4. 第一拡散性または回折性素子が単一の平面内で移動可能であるような、請求項第１項記載の照明装置。
5. 第一拡散性または回折性素子が、露光の間に横平面における１ユニットサイズよりも少ない移動をするような、請求項第１項記載の照明装置。
6. さらに第一マイクロレンズアレーに隣接して設けられた第二マイクロレンズアレーを含むような、請求項第２項記載の照明装置。
7. 第一および第二マイクロレンズアレーの一方が移動できるような、請求項第６項記載の照明装置。
8. 第一マイクロレンズアレーが複数のレンズから作られるような、請求項第１項記載の照明装置。
9. 複数のレンズの各々が、２０ミクロンまたはそれ以下の幅であるような、請求項第８項記載の照明装置。
10. 変形可能なミラーが主に１次元において変形可能である、請求項第１項記載の照明装置。
11. さらに変形可能なミラーに取り付けられた複数の独立したアクチュエータを含むような、請求項第１項記載の照明装置。
12. フォトリソグラフィにおいて使用するための照明装置において、
    複数の独立したアクチュエータの数が、平坦でも球形でもない輪郭を表面に得させるのに十分大きいような、請求項第１１項記載の照明装置。
13. アクチュエータ装置がさらに、
    変形可能なミラーの第一長さ方向エッジに沿って取り付けられたワイヤ曲げ部の第一ローと、
    変形可能なミラーの第二長さ方向エッジに沿って取り付けられたワイヤ曲げ部の第二ローと、
    ワイヤ曲げ部の第一ローに取り付けられたアクチュエータの第一ローと、
    ワイヤ曲げ部の第二ローに取り付けられたアクチュエータの第二ローと、
    アクチュエータの第一および第二ローは、ベースに取り付けられており、そして、変形可能なミラーを変形させるために、アクチュエータの第一および第二ローが制御装置によって制御されるような、請求項第１項記載の照明装置。
14. アクチュエータの第一および第二ローにおける各アクチュエータが１０ミクロンよりも小さい移動の範囲を持つような、請求項第１３項記載の照明装置。
15. アクチュエータの第一および第二ローにおける各アクチュエータがピエゾ電気変換器であるような、請求項第１４項記載の照明装置。
16. 近フィールド回折パターン内の照明を得るために、第一拡散性または回折性素子またはマイクロレンズアレーがターゲット平面に十分に接近して設けられるような、請求項第１項記載の照明装置。
17. フォトリソグラフィに使用するための照明装置において、
    レーザまたは放射ビーム源と、
    変形可能なミラーと、
    変形可能なミラーの表面輪郭を変化させるために、変形可能なミラーに配属されたアクチュエータ装置と、
    レーザまたは放射ビーム源から発散される放射ビームの強度プロフィールを求めるためのプロフィール検出用装置と、
    変形可能なミラーに関する表面輪郭を計算し、そしてアクチュエータ装置を制御するために、プロフィール検出装置およびアクチュエータ装置に配属された制御装置と、そして
    第一マイクロレンズアレーとを有し、
    レーザまたは放射ビーム源からの放射ビームが変形可能なミラーから反射され、そして第一マイクロレンズアレーを通って、結果として改善されたグローバルおよびローカル放射ビーム強度の均等性が得られることを特徴とする照明装置。
18. 対象物およびイメージ平面を持つ、フォトリソグラフィにおいて使用するためのレーザ照明装置において、
    レーザ源と、
    変形可能なミラーと、
    変形可能なミラーの表面輪郭を変化させるために変形可能なミラーに配属されたアクチュエータ装置であって、どの１つの場所においてでも変形可能なミラーの表面を変形させることが可能なアクチュエータ装置と、
    レーザ源から発散される放射ビームの強度プロフィールを求めるためのプロフィール検出装置と、
    変形可能なミラーに関する表面輪郭を計算し、そしてアクチュエータ装置を制御するために、プロフィール検出装置およびアクチュエータ装置に配属された制御装置と、
    ２０ミクロン以下の単一平面において２軸に沿って移動の範囲を持つ第一可動マイクロレンズアレーと、そして
    第一マイクロレンズアレーの近くに位置決めされる第二マイクロレンズアレーと、
    近フィールド回折パターン内の照明を得るために、ターゲット平面に十分に近く設けられた第二マイクロレンズアレーとを有し、
    レーザ源からの放射ビームが変形可能なミラーから反射され、第一および第二マイクロレンズアレーを通して、結果として改善されたグローバルおよびローカル放射ビーム強度の均等性が得られることを特徴とするレーザ照明装置。
19. 前記回折性または拡散性素子またはマイクロレンズアレーが、放射ビームの回折によって優勢な作用を持ち、そして光線または屈折モデルまたは分析によっては十分に決められないような、請求項第１項、第２項、第６項、第１６項、第１７項または第１８項記載の照明装置。
20. 前記回折性または拡散性素子またはマイクロレンズアレーが、ステップ的または連続的いずれかの特性の位相レリーフまたは光路変調を持つ、何らかの実質的に平坦な光学表面を含むような、請求項第１９項記載の照明装置。
21. 前記回折性または拡散性素子が反射型であり、そしてこれによって電磁放射ビームの源からの放射ビームが回折性または拡散性素子を通過伝送されることにより反射され、結果として改善されたグローバルおよび局所的放射ビーム強度の均等性が得られるような、請求項第１項記載の照明装置。

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