JP3951998B2

JP3951998B2 - 液体移送装置

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Publication number: JP3951998B2
Application number: JP2003338382A
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Inventors: 宏人菅原
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 2003-09-29
Filing date: 2003-09-29
Publication date: 2007-08-01
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Description

本発明は、液体移送装置に関し、特に、圧電材料素子により駆動する液体移送装置に関する。

従来より、液体移送装置として、例えば液体を収容した複数の圧力室を閉じる振動板を、これに接合された圧電材料素子によって撓ませて、ノズルから液滴として噴射する噴射装置が提供されている。このような液体移送装置では、振動板の変形量が増大するほどそれに伴って圧力室の加圧を増幅できるため、振動板がより変形し易い構成が望まれている。
特開平９−１０４１０９号公報

ところで、振動板の変形の増幅を図る技術として、例えば上記特許文献１のようなものが提供されている。この文献では、平面視円形の圧力室の外周側から中心側に突出した複数の突片上に形成されたユニモルフ型圧電素子を備え、圧力室を構成するダイヤフラムの中心部を押圧する技術が記載されている。この技術によれば、ダイヤフラムの膨出量を大きくすることができることとなるが、その一方で、構成的に簡易なものとはならず、また、駆動時には圧電素子の変形によって、当該圧電素子の上下にそれぞれ設けられた突片及びダイヤフラムの両方を変形させる必要があるため、変形効率の良い構成とは言いにくい。

本発明は上記のような事情に基づいて成されたものであって、圧電材料素子により振動板を駆動して液体を移送する液体移送装置において、複雑な構成を用いずとも振動板を効率的に変形でき、もって振動板の変形量を効果的に増幅し得る構成を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明は、液体が収容される圧力室を閉じるようにして圧電アクチュエータプレートが配され、前記圧電アクチュエータプレートを撓み変形させることによって前記液体を前記圧力室に連なる開孔から移送させる液体移送装置において、前記圧電アクチュエータプレートは、電界の印加によって面方向に収縮可能に構成されると共に、少なくとも前記圧力室の周縁部に配置され、一方、当該周縁部よりも中央寄りの内部領域においては、配置されないか、又は前記周縁部に配置される部分よりも薄肉のものが配置される圧電材料層と、板状に形成され前記圧電材料層に対し重なるように接合される撓み層と、を有した積層構造をなし、前記圧電材料層は、前記圧力室の周縁部全周に渡り環状に配置されていることを特徴とする。

請求項２の発明は、請求項１に記載の液体移送装置において、前記撓み層は導電性材料にて形成され、前記圧電材料層に電界を印加させるために当該圧電材料層を挟んで両側に配置される電極のうちの一方の電極としても利用されていることを特徴とする。

請求項３の発明は、請求項１に記載の液体移送装置において、前記撓み層は非導電性材料にて形成され、前記圧電材料層と前記撓み層との間には、少なくとも前記圧力室の周縁部において、前記圧電材料層に電界を印加させるための電極が形成されていることを特徴とする。

請求項４の発明は、請求項１に記載の液体移送装置において、前記圧電材料層に電界を印加するために当該圧電材料層を挟んで両側に配置される電極のうち、少なくとも一方の電極が前記圧力室の周縁部に配置されていることを特徴とする。

請求項５の発明は、請求項４に記載の液体移送装置において、前記少なくとも一方の電極は、前記圧力室の周縁部全周に渡り環状に配置されていることを特徴とする。

請求項６の発明は、請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の液体移送装置において、前記圧力室は複数配され、前記圧電アクチュエータプレートは、前記複数の圧力室に跨って連結して配されていることを特徴とする。

請求項７の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の液体移送装置において前記圧力室は、前記圧電アクチュエータプレートが配される領域が楕円形状であって、前記内部領域は、前記楕円形状の短手方向の１／３以上の長さに形成されていることを特徴とする。

＜請求項１の発明＞
請求項１の構成によれば、電界の印加によって面方向に収縮可能に構成される圧電材料層を、少なくとも圧力室の周縁部に配置されるように構成し、一方、当該周縁部よりも中央寄りの内部領域においては、この圧電材料層が配置されないか、又は前記周縁部に配置される部分よりも薄肉のものが配置されるようにしたため、内部領域において圧電アクチュエータプレートの剛性を低くすることができ、もって撓み層の変形を効果的に増幅し得る構成となる。
また、圧電材料層が圧力室の周縁部全周に渡り環状に配置されているため、駆動に伴う圧電材料層の収縮が圧力室周縁部全周に渡って撓み層に作用し、当該撓み層の変形量を一層増幅できることとなる。

＜請求項２の発明＞
請求項２の構成によれば、撓み層が圧電材料層に電界を印加させるための一方の電極としても利用されるため、一方の電極を特別に設ける必要がなく、製造コストの面で有利となる。

＜請求項３の発明＞
請求項３の構成によれば、撓み層を非導電性材料にて形成した場合において、圧力室の周縁部に配置される圧電材料層に対して電界を印加させることのできる好適構成となる。

＜請求項４の発明＞
請求項４の構成のように、圧電材料層を挟んで両側に配置される電極のうち、少なくとも一方の電極を圧力室の周縁部に配置し内部領域には配置しないようにすれば、周縁部の圧電材料層を駆動でき、その一方で内部領域の剛性を抑えることができる。

＜請求項５の発明＞
請求項５の構成のように、少なくとも一方の電極を、圧力室の周縁部全周に渡り環状に配置すれば、一方の電極を内部領域に配置しないようにするための好適構成となる。

＜請求項６の発明＞
請求項６の構成によれば、圧力室が複数配されるものにおいて、圧電材料層がこの複数の圧力室に跨って連結して配されているため、複数の圧力室に対して圧電材料層を配置し易くなり、製造効率を高める上で有利な構成となる。
＜請求項７の発明＞
請求項７の構成のように、圧力室において圧電アクチュエータプレートが配される領域を楕円形状に構成し、この楕円形状の短手方向の１／３以上の長さに内部領域を形成すれば、撓み層がより効率良く変形することとなる。

＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態を図１乃至図４に基づいて説明する。図１は、本実施形態に係る液体移送装置について、圧力室の長手方向に沿って切断した場合の縦断面図であり、図２は、図１に示した液体移送装置に関し、複数の圧力室の配列方向に沿って切断した場合の縦断面図である。また、図３は図２の平面図を示している。さらに、図４は液体移送装置の作動状態を説明する説明図である。

図１及び図２に示すように、本実施形態に係る液体移送装置１は、液体を噴射する液体噴射装置（ここでは液体噴射装置として機能するインクジェットヘッドを例示する）として構成されるものであり、噴射される液体（具体的にはインク）が収容される複数の圧力室２１ａを有するキャビティプレート２０と、キャビティプレート２０上に圧力室２１ａを閉じるように接合された圧電アクチュエータプレート１０とによって構成されている。

キャビティプレート２０は、インク流路として構成されると共に多層構造をなしており、複数のインク噴射用のノズル２４ａ（ノズル２４ａは本発明の開孔に相当する）が並設されたノズルプレート２４、ノズルプレート２４上に形成されたマニホールドプレート２３、マニホールドプレート２３上に形成された流路プレート２２および流路プレート２２上に形成された圧力室プレート２１がそれぞれ概ね平板状に形成されて配置されている。圧力室プレート２１、流路プレート２２、マニホールドプレート２３およびノズルプレート２４は、互いにエポキシ系の熱硬化性の接着剤にて接合されている。

圧力室プレート２１はステンレス等の金属材料にて形成され、後述する圧電アクチュエータプレート１０の動作に基づいて選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室２１ａが内部に並置されている。流路プレート２２は、同じくステンレス等の金属材料にて形成されており、内部にそれぞれ圧力室２１ａの両端に連通したプレッシャ流路２２ａとマニホールド流路２２ｂとが形成されている。マニホールドプレート２３は、やはりステンレス等の金属材料にて形成され、その内部には液体タンク（図示せず）に連通するマニホールド２３ａおよびプレッシャ流路２２ａに接続したノズル流路２３ｂとが形成されている。このうち、マニホールド２３ａは、図３に示すように、複数の圧力室２１ａに跨るように圧力室２１ａの配列方向に延設されている。

更に、ノズルプレート２４は、ポリイミド系の合成樹脂材料にて形成され、図１に示すようにノズル流路２３ｂへと接続された複数のノズル２４ａが形成されている。上述した構成から、液体タンクに貯蔵された液体（インク）は、マニホールド２３ａ、マニホールド流路２２ｂ、圧力室２１ａ、プレッシャ流路２２ａおよびノズル流路２３ｂを介してノズル２４ａへと供給される。

次に圧電アクチュエータプレート１０について説明する。
図１、図２に示すように圧電アクチュエータプレート１０は積層構造をなし、ステンレス等の導電性の金属材料にて概ね平板状に形成され、本発明の撓み層に該当する振動板１４を有している。さらに、振動板１４の上方において、圧電材料層１３が配置され、この圧電材料層１３の上部に上部電極１１が振動板１４と対向して設けられている。この振動板１４は圧電材料層１３に電界を印加させるために圧電材料層１３を挟んで上下両側に配置される電極のうちの下部電極として利用される。

上部電極１１は、薄いフィルム状の導体で圧電材料層１３の上に貼付あるいはプリントされており、図示はしていないがスイッチ素子を介して、駆動回路のプラス（＋）電源と電気的に接続された構成をなしている。一方、下部電極に相当する振動板１４は駆動回路のグランドに接続されている。

圧電材料層１３は、図１、図２及び図３に示すように、圧力室２１ａの周縁部の全周に渡り環状に配置されている。上部電極１１は、圧電材料層１３とほぼ同一の平面形状をなしてこの圧電材料層１３の上層に配置されており、圧電材料層１３と同様に圧力室２１の周縁部全周に渡り環状に配置されている。圧力室２１ａは上方から見て楕円形状（具体的には略小判状）をなしており、圧電材料層１３の配置される領域はこれよりも小さい楕円状領域となっている。ここでの圧電材料層１３は、ほぼ一定の幅にて環状に構成されており、圧力室２１ａの中央部に対応する領域において、圧電材料層１３を厚さ方向に貫通する孔１３ａが形成される。

図１、図２に示すように圧電アクチュエータプレート１０において、圧力室２１ａの中央部に対応する領域である圧電材料層１３の内部領域Ｃには振動板１４のみが配置され、圧電材料層１３及び上部電極１１が配置されない構成をなしており、内部領域Ｃの剛性が低くなるように構成されている。内部領域Ｃにおいては圧電材料層１３が配置されていないため、直接圧電材料層１３が振動板１４に作用せず、内部領域Ｃ以外の部分（即ち周縁部）において圧電材料層１３が振動板１４に作用し、その作用する部位（振動板１４において圧電材料層１３が接合される部位）の変形に基づいて撓む構成をなしている。なお、駆動時の作用については後述する。

さらに、図３に示すように、平面視した場合において、圧電材料層１３内側の内部領域Ｃの周縁形状（即ち孔１３ａの開口形状）は、圧力室２１ａの形状を一回り小さくした楕円状の領域として構成される。具体的には、圧電材料層１３の中央付近において楕円状に開口する孔１３ａが形成されており、面方向におけるこの孔１３ａの形成領域が内部領域Ｃとされる。ここでは、孔１３ａがプレッシャ流路２２ａの領域内にまで及ばないように、面方向においてプレッシャ流路２２ａの外部領域に孔１３ａが配置されている。また、圧電材料層１３は、全体がマニホールド流路２２ｂの外部領域に構成をなしている。なお、このような孔１３ａは、圧電材料層１３となるべき板状材料に対し例えばエッチング、機械加工等を施すことにより形成することができる。また、本実施の形態では、図３に示したように、内部領域Ｃは圧力室２１ａのほぼ中央部に位置し、圧力室２１ａの短手方向の幅は、圧力室２１ａの余幅の約１／３の長さを有している。即ち、圧力室２１ａの短手方向に切断した場合に、圧電材料層１３は圧力室２１ａの両側縁部に配設され、それぞれ圧力室２１ａの幅の約１／３の長さを有する。この２つの圧電材料層１３に挟まれるようにして、圧力室２１ａの幅の約１／３の長さを有する内部領域Ｃが配設されている。これにより効率の良い変形が可能になっている。

さらに圧電材料層１３は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電セラミックス材料によって形成されているが、これに限られるものではなく、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ロッシェル塩等のあらゆる圧電材料が使用できる。また、圧電材料層１３は、図１、図２のように振動板１４上に均等な厚みにて層状に形成されている。この圧電材料層１３と振動板１４を接合するには、例えば、あらかじめ層状に形成された圧電材料層１３に対し上部電極１１を配置し、これを、振動板１４に対して導電性の接着剤などによって接合するようにして形成することができる。なお、形成方法はこれに限られるものではない。

次に液体移送装置１の駆動動作について図２、図４を参照して説明する。
本実施形態による液体移送装置１は、常時は電極間に電圧が印加されておらず、図２に示すように圧電アクチュエータプレート１０に撓みは発生していない。そして、液体を移送する必要がある場合（ここでは液体移送装置１の１つのノズル２４ａから液滴を噴射する必要がある場合）、スイッチ素子を切換えて上部電極１１に電源電圧が印加される。これにより、上部電極１１と振動板１４との間に電位差が発生し、圧電材料層１３に電界が印加される。この電界印加方向に圧電材料層１３が分極されていると、圧電材料層１３は、その厚み方向（図２において上下方向）に膨らむとともに、面方向（図２において左右方向）に収縮する。

図４左側にて示すように、圧力室２１ａの周縁部に配置された圧電材料層１３は、その下面に剛性を備えた振動板１４が形成されているため、圧電材料層１３の面方向への収縮により、圧電アクチュエータプレート１０における圧電材料層１３が配置された領域は圧力室２１ａ側（図４において下方）に撓もうとする。ここで、圧電材料層１３の外周部は、振動板１４を介してキャビティプレート２０に固定されており、その変位が規制された状態にある。そのため、片持ち梁に似た変位を起こす。そして、圧電アクチュエータプレート１０の内部領域Ｃに配置される部位（即ち振動板１４の内部領域Ｃに配置される部位）は、上述したような圧電材料層１３の撓みの影響を受けて圧力室２１ａと反対側へさらに大きく撓む。これにより、圧力室２１ａの容積が増大して圧力室２１ａ内が負圧となり、連通するマニホールド２３ａおよびマニホールド流路２２ｂを介して液体タンクから液体が圧力室２１ａ内に補填される。

圧力室２１ａ内に液体が供給された後に、再びスイッチ素子が切換えられて、駆動回路から上部電極１１への電源電圧の印加が停止されると、圧電材料層１３の面方向への収縮がなくなり、図２に示すように、再び、圧電アクチュエータプレート１０が撓みの無い位置に復帰する。これにより、圧力室２１ａの容積が減少して圧力室２１ａ内の圧力が上昇し、液滴がプレッシャ流路２２ａおよびノズル流路２３ｂを介してノズル２４ａから噴射されることとなる。

＜第２実施形態＞
次に図５を参照して第２実施形態について説明する。
第２実施形態では、大部分の構成が第１実施形態と同様であり、一部構成のみが異なるため、その相違点について説明し、同一部分については同一符号を付し詳細な説明は省略する。第２実施形態に係る液体移送装置１は、図５に示すように撓み層に相当する振動板１４が非導電性材料にて形成され、圧電材料層１３と振動板１４との間に、少なくとも圧力室の周縁部において、圧電材料層１３に電界を印加させるための下部電極１２が形成されている。図５の構成では、複数の圧力室２１ａに跨るように下部電極１２が形成されているが、各圧力室毎に下部電極を配置してもよい。

＜第３実施形態＞
次に図６を参照して第３実施形態について説明する。
第３実施形態では、大部分の構成が第１実施形態と同様であり、一部構成のみが異なるため、その相違点について説明し、同一部分については同一符号を付し詳細な説明は省略する。第１、第２実施形態では、内部領域Ｃにおいて圧電材料層を貫くように孔１３ａを形成したが、第３実施形態では内部領域Ｃにおいて圧電材料層１３を貫通しない構成としている。第３実施形態に係る液体移送装置１は、図６に示すように、圧電材料層１３において周縁部に配置される部分よりも薄肉に構成される薄肉部１３ｂが内部領域Ｃに配置される構成を示している。内部領域Ｃに形成された薄肉部１３ｂは上部に電極が配置されておらず収縮作用が生じない構成となっている。なお、圧電材料層１３の周縁部上に配設される上部電極１１と電気的に絶縁されておれば、この薄肉部１３ｂ上にも電極が形成されていてもよい。あるいは、薄肉部１３ｂが低誘電体で被覆されている場合には、薄肉部１３ａであるかないかに係わらず、圧電材料層１３上に上部電極１１を形成することができる。このような構成にあっては、電圧が印加されても薄肉部１３ｂにはほとんど電界が生じず、事実上薄肉部１３ａを構成する圧電材料層１３を圧電効果によって変位させることはない。すなわち、圧力室２１ａに対応して形成されている圧電材料層１３の全体に亘って上部電極１１が形成されていても、低誘電体が形成されている領域である薄肉部１３ａでは圧電材料層１３にはほとんど電界が生じない。この低誘電体が形成されていない領域においてのみ、圧電材料層１３に電界が印加されることとなる。ここで、低誘電体としては、窒化シリコン（比誘電率７．５）、酸化シリコン（比誘電体３．９）、アルミナ（比誘電率９．６）等の絶縁性セラミックス材料や光硬化性低誘電体樹脂（比誘電率３．２）、低誘電率有機層間絶縁膜（比誘電率２．８）等の樹脂材料が好適に用いられ、スパッタ法や蒸着法あるいは塗布法によりそれぞれ形成される。これら低誘電体の膜厚としては、駆動電圧が２０Ｖから３０Ｖの場合には、１ミクロンから３ミクロンもあれば、低誘電体に被覆される圧電材料層に電界を生じさせることはない。

＜第４実施形態＞
次に図７を参照して第４実施形態について説明する。
第４実施形態に係る液体移送装置１では複数配される圧力室２１ａにおいて、この複数の圧力室２１ａに跨って圧電アクチュエータプレート１０が連結して配されている構成を示している。具体的には、複数の圧力室２１ａに跨る振動板１４の上部において、同じく複数の圧力室２１ａに跨る圧電材料層１３が配置されている。圧電材料層１３は、第３実施形態と同様に、各圧力室の内部領域Ｃにおいて薄肉部１３ｂが形成されており、この薄肉部１３ｂの周囲が厚肉に形成されてその上部に上部電極１１が配置されている。上部電極１１が設けられた部位（即ち収縮可能部位）は、第１実施形態等の圧電材料層と同様に平面視環状に構成される。一方、各圧力室毎に配置される収縮可能部位同士を連結する構成にて連結部１３ｃが薄肉に構成されている。薄肉部１３ｂ及び連結部１３ｃは上部電極１１が配置されず、収縮不能に構成されている。本実施の形態では、隣接する圧力室２１ａが薄肉状態に構成された連結部１３ｃを介して配置されることになるので、圧力室２１ａが駆動されたときに生じる圧電アクチュエータプレート１０の変位が、これに隣接する圧力室２１ａに及びにくくなりクロストーク低減に有効である。なお、上部電極１１が設けられていなければ、連結部１３ｃは圧電効果による自発的な変位は生じないし、圧力室２１ａに対応する領域に変位量に寄与することもない。これより、連結部１３ｃは必ずしも薄肉状態に形成される必要はなく、上部電極１１が設けられる部分の圧電材料層１３と同じ厚さで形成されていればよい。

＜参考例＞
次に、図８を参照して参考例について説明する。
第１実施形態等では、平面視環状に構成される圧電材料層を例示したが、圧力室２１ａの周縁部に配置されるのであれば環状でなくてもよい。本参考例では、圧電アクチュエータプレート１０が配される領域が楕円形状の圧力室２１ａにおいて、圧電材料層が圧力室２１ａの長手方向に帯状に配置されている例を示している。ここでは上部電極１１が圧電材料層とほぼ同一の形状をなし、圧電材料層の上部に配置されている。圧電材料層は圧力室２１ａの長手方向大部分の領域に渡って配置されている。

＜第５実施形態＞
図９は、本発明による液体移送装置１をマイクロポンプ１００に適用した実施形態を示している。マイクロポンプ１００は、本発明の第１実施形態による液体移送装置１の下面に、ポンプアダプタＡＰを接合して構成されており、ポンプアダプタＡＰはその下方部を液源に浸らせている。液体移送装置１の作用は第１実施形態と同様であるが、圧電アクチュエータプレート１０を圧力室２１ａと反対側に撓ませることにより、圧力室２１ａの容積を増大させて、液源からインレットＩＰを介して液体を吸引し、圧力室２１ａを介して液体をアウトレットＯＰから外部へと移送する。

＜他の実施形態＞
本発明は上述した記載および図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、以下の記載以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１）上部電極を駆動回路のグランドに接続し、下部電極を駆動回路のプラス(＋）電源に接続してもよい。
（２）本発明による液体移送装置は、圧力室に連なる開孔から、滴状、霧状等を含むあらゆる状態の液体を外部に移送するものを含み、また、液体の移送形態は吐出、噴出、噴射等のあらゆる形態を含むものとする。
（３）上記実施形態ではプリンタのインク吐出用のインクジェットヘッドを例に挙げて説明したが、検査試薬の噴射装置など、あらゆる種類の液体移送装置に利用できる。
（４）上記第３実施形態において、圧電材料層１３が薄肉状態に構成された内部領域Ｃに低誘電体層を形成することで、上部電極１１をわざわざ薄肉部１３ｂを避けて形成する必要がなくなる。このような内部領域Ｃへの低誘電体層の適用は、他の実施形態に対しても可能である。すなわち、低誘電体が印加される駆動電圧に対して破壊しない程度の絶縁耐圧を有しておれば、薄肉部１３ａはあってもなくてもよい。あるいは、振動板も導電性材料で構成されていても、非導電性材料で構成されていてもよい。

第１実施形態に係る液体移送装置について、圧力室の長手方向に沿って切断した場合の縦断面図である。図１に示した液体移送装置に関し、複数の圧力室の配列方向に沿って切断した場合の縦断面図である。図２に示した液体移送装置の平面図である。図２に示した液体移送装置の作動状態を示した断面図である。第２実施形態による液体移送装置の要部拡大図である。第３実施形態による液体移送装置の要部拡大図である。第４実施形態による液体移送装置の要部拡大図である。参考例による液体移送装置の平面図である。第５実施形態による液体移送装置の要部拡大図である。

符号の説明

１…液体移送装置
１０…圧電アクチュエータプレート
１１…上部電極
１３…圧電材料層
１４…振動板（撓み層）
２１ａ…圧力室
２４ａ…ノズル（開孔）
Ｃ…内部領域

Claims

液体が収容される圧力室を閉じるようにして圧電アクチュエータプレートが配され、前記圧電アクチュエータプレートを撓み変形させることによって前記液体を前記圧力室に連なる開孔から移送させる液体移送装置において、
前記圧電アクチュエータプレートは、
電界の印加によって面方向に収縮可能に構成されると共に、少なくとも前記圧力室の周縁部に配置され、一方、当該周縁部よりも中央寄りの内部領域においては、配置されないか、又は前記周縁部に配置される部分よりも薄肉のものが配置される圧電材料層と、
板状に形成され前記圧電材料層に対し重なるように接合される撓み層と、
を有した積層構造をなし、
前記圧電材料層は、前記圧力室の周縁部全周に渡り環状に配置されていることを特徴とする液体移送装置。
前記撓み層は導電性材料にて形成され、前記圧電材料層に電界を印加させるために当該圧電材料層を挟んで両側に配置される電極のうちの一方の電極としても利用されていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
前記撓み層は非導電性材料にて形成され、前記圧電材料層と前記撓み層との間には、少なくとも前記圧力室の周縁部において、前記圧電材料層に電界を印加させるための電極が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
前記圧電材料層に電界を印加するために当該圧電材料層を挟んで両側に配置される電極のうち、少なくとも一方の電極が前記圧力室の周縁部に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
前記少なくとも一方の電極は、前記圧力室の周縁部全周に渡り環状に配置されていることを特徴とする請求項４に記載の液体移送装置。
前記圧力室は複数配され、
前記圧電アクチュエータプレートは、前記複数の圧力室に跨って連結して配されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の液体移送装置。
前記圧力室は、前記圧電アクチュエータプレートが配される領域が楕円形状であって、
前記内部領域は、前記楕円形状の短手方向の１／３以上の長さに形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の液体移送装置。