JP3947144B2 - 半導体素子又は配線基板へのバンプ形成方法 - Google Patents
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Description
空気流量 500L/分
溶射ガン移動速度 800mm/秒
溶射ガン送りステップ 1mm
Claims (7)
- 半導体素子又は配線基板の電極上へ、溶射によりバンプを形成する方法であって、
バンプを構成する金属又は合金からなり、直径0.1〜1.5mmの線材を加熱して、バンプを構成する金属又は合金を、形成するパンプより小径の溶融状態、半溶融状態、又は、固体状態の飛行粒子とし、前記飛行粒子を半導体素子又は配線基板に吹き付けて積層させるバンプ形成方法。 - ガスフレーム式溶射により飛行粒子を形成する請求項1記載のバンプ形成方法。
- バンプを形成する半導体素子又は配線基板を50〜300℃に加熱しつつ飛行粒子を積層させる請求項1又は請求項2に記載のバンプ形成方法。
- バンプを構成する金属は、不純物量が0.1重量%以下の金である請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のバンプ形成方法。
- バンプを構成する金属は、Pdを0.1〜1.5重量%含有し、不純物量が0.1重量%以下の金である請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のバンプ形成方法。
- 半導体素子又は配線基板の電極の最表面が金からなる請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のバンプ形成方法。
- 半導体素子又は配線基板の電極の最表面がアルミニウム、アルミニウム−シリコン合金、アルミニウム−シリコン−銅合金、銅のいずれからなる請求項1〜請求項5いずれか1項に記載のバンプ形成方法。
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