JP3944970B2 - 炭化けい素半導体素子の製造方法 - Google Patents
炭化けい素半導体素子の製造方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は炭化けい素からなる半導体素子の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
高周波、大電力の制御を目的として、シリコン(以下Siと記す)を用いた電力用半導体素子(以下パワーデバイスと称する)では、各種の工夫により高性能化が進められている。しかし、パワーデバイスは高温や放射線等の存在下で使用されることもあり、そのような条件下ではSiのパワーデバイスは使用できないことがある。
【0003】
また、Siのパワーデバイスより更に高性能のものを求める声に対して、新しい材料の適用が検討されている。本提案でとりあげる炭化けい素(以下SiCと記す)は広い禁制帯幅(4H型で3.26eV、6H型で3.02eV)をもつため、高温での電気伝導度の制御性に優れ、動作上限温度を高くできる。またSiより約1桁高い絶縁破壊電圧をもつため、オン抵抗を低減でき、定常状態でのパワーロスを低減できて、高耐圧素子への適用が可能である。さらに、SiCはSiの約2倍の電子飽和ドリフト速度をもつので、高周波大電力制御にも適する。このようなSiCの長所を生かすことができれば、パワーデバイスの飛躍的な特性向上が実現できると考えられ、現在、MOSFETやダイオード等が試作されている。
【0004】
しかし、このようなSiCの優れた物性をパワーデバイスに応用するためには、Siのプロセス技術並みに洗練された要素技術が必要となる。すなわち、SiC基板の表面を鏡面に仕上げた後、SiC薄膜をエピタキシャル成長させたり、その過程でドナーやアクセプターをドーピングしたり、金属膜や酸化膜を形成する等のプロセス技術の確立が必要である。
【0005】
最も重要なプロセス技術の一つとして、不純物導入による選択的な不純物領域形成技術がある。その方法には、熱拡散法とイオン注入法がある。Si半導体素子で広く用いられている熱拡散法は、SiCでは不純物の拡散係数が非常に小さいために適用が困難である。そのためSiCでは主としてイオン注入が用いられる。
【0006】
しかし、イオン注入では、結晶にダメージが生じる、このダメージの回復と、注入した不純物の活性化のため、通常1500℃前後の高温中で熱処理する(以下アニールと呼ぶ)。その結果、ダメージの回復とともに不純物の活性化率は向上し、不純物領域の形成ができる。炭化けい素のイオン注入においては、注入した不純物の活性化率を向上させるために、800〜900℃の高温でのイオン注入がおこなわれるが、なお活性化は十分でなく、より高温でのアニールが必要である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、さらに活性化率の増大をはかるため、1500℃以上のアニールを行うと、SiC結晶表面に[1,1,−2,0]方向に走る凹凸が生じる。そしてこの凹凸はアニール温度を高くするほど大きくなる。例えば、真空中1500℃のアニールで、表面粗さが平均振幅で約95nmであるのに対し、1600℃のアニールでは、約200nmになる。この凹凸は、高温領域においてはSiの蒸気圧が高くなり表面脱離を生じることによって発生すると考えられる。アルゴン中でも、真空中ほどではないが、1500℃で約55nmになる。
【0008】
その結果、表面近傍の移動度が低下したり、接触抵抗の増大を招いたりするという問題が発生する。特に、MOSFETでは、表面近傍に誘起した層でのキャリアの輸送が重要であり、表面近傍の移動度は表面状態により大きな影響を受ける。
上記の問題点に鑑み本発明の目的は、イオン注入後に1500℃以上の高温でのアニールを行っても表面が平滑であり、特性の低下を招くことの無い炭化けい素半導体素子の製造方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため本発明は、炭化けい素基板にイオン注入を行い、高温でアニールを実施する炭化けい素半導体素子の製造方法において、1500℃以上の温度でのアニール後に基板表面を平滑化することを目的とする。
そのようにすれば、平滑な表面をもつ炭化けい素半導体素子が得られる。
【0010】
【0011】
特に、アニール前に基板表面にアルミナのような1500℃以上のアニール温度で昇華しない薄膜を積層し、1500℃以上の温度でのアニール後にその薄膜を除去することとする。
アルミナのような高温で安定な物質で覆ってアニールすれば、Si原子の表面からの蒸発が抑制されて、アニール時の表面の粗面化が避けられるので、平滑な表面が保たれる。
【0012】
また、イオン注入前に基板表面に1500℃以上のアニール温度で昇華しないアルミナの薄膜を積層し、イオン注入および1500℃以上のアニールを経た後、その薄膜を除去しても良い。
【0013】
【発明の実施の形態】
[参考例]
図1(a)〜(c)は本発明による炭化けい素半導体素子の製造工程順に示した主な工程ごとの断面図である。
(0001)面から少し傾けた主面をもつn型4H−SiCウェハ1を用意し、約10μmのエピタキシャル層2を成長させた。初期の表面粗さは、平均振幅で約20nmである。このSiCウェハに、900℃で加速電圧180keV、100keV、50keV、総ドーズ量5×1013cm-2の条件でアルミニウム(Al)のイオン注入を行った[図1(a)]。イオン注入層3の深さは約0.5μmであり、ほぼ平坦な不純物プロフィルとなる。
【0014】
次に、このウェハを真空中において1600℃で30分間アニールを行った[同図(b)]。この後、表面粗さは約200nmであった。
その後、この表面を水素(H2 )希釈の1%HClガス中において1300℃、5分間、エッチングを行った[同図(c)]。その結果、表面粗さが約40nmに減少した。なお、表面粗さは、いずれも走査トンネル顕微鏡の観測結果から算出した。
【0015】
この試料について、van der Pauw 法によりキャリアの移動度を評価した。すなわち、試料のエピタキシャル層上の四隅に、金属マスクを使ったスパッタ法によりニッケル(Ni)電極を形成する。電極の直径は200μm、厚さは400nmである。この後、整流性を除きオーミックな接触とするためアルゴン(Ar)雰囲気中で1050℃、5分間のアニールをおこなう。
【0016】
そして、この結果、移動度は60cm2 /Vsと、HClエッチングをおこなわない場合のほぼ二倍に増大した。また、金属電極とのオーミック接触の接触抵抗を約20%低減できた。
なお、イオン注入の深さが約0.5μmあり、ほぼ平坦な不純物プロフィルをもっていたので、粗面化した表面層をエッチングにより除去しても、シート抵抗が大幅に増大することはなかった。
【0017】
[実施例1]
参考例と同様にイオン注入を行った後、イオン注入層3上にスパッタ法によりアルミナ(Al2 O3 )層4を100nm堆積した[図2(a)]。その後、参考例と同様の条件で高温アニールをおこなった。その後、HF溶液によりAl2 O3 層4を除去した[同図(b)]。
【0018】
その結果、表面粗さは、ほぼ初期の値に保たれた。
この試料についても、参考例と同様にキャリア移動度の評価をおこなったところ、約80cm2 /Vsであった。金属電極とのオーミック接触の接触抵抗も約30%低減できた。
[実施例2]
不純物イオンの注入以前に、表面保護用の薄膜を堆積しておいても良い。
【0019】
先ず、スパッタ法によりアルミナ(Al2 O3 )を100nm堆積した後に、実施例1と同様なイオン注入および高温アニールをおこなった。その後、HF溶液によりAl2 O3 膜を除去した。
この場合も、表面粗さは、ほぼ初期の値に保たれ、キャリア移動度も実施例1と同程度であった。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、イオン注入を行い、高温でアニールを実施する炭化けい素半導体素子の製造方法において、1500℃以上の温度でのアニール前に基板表面にアルミナの薄膜を積層することによって、基板表面の平滑性を保つことによって、表面の平滑な炭化けい素半導体素子とすることができる。その結果、特に表面層のキャリア移動度が増大し、また、金属電極のオーミックな接触抵抗が低減される。これらは、いずれもオン抵抗の低減につながり、半導体素子の損失低減に大きな寄与をなすことになる。また、作製された半導体素子における特性の均一化も図られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (a)はイオン注入後、(b)はアニール後、(c)はHClによるエッチング後のSiC基板の模式的断面図
【図2】 (a)はイオン注入、Al2 O3 堆積後、(b)はアニール、Al2 O3 除去後のSiC基板の模式的断面図
【符号の説明】
1…SiCウェハ
2…エピ層
3…イオン注入層
4…Al2O3層
Claims (2)
- 炭化けい素基板にイオン注入を行い、高温でアニールを実施する炭化けい素半導体素子の製造方法において、アニール前に基板表面にアルミナの薄膜を積層し、1500℃以上の温度でのアニール後にアルミナの薄膜を除去することを特徴とする炭化けい素半導体素子の製造方法。
- 炭化けい素基板にイオン注入を行い、高温でアニールを実施する炭化けい素半導体素子の製造方法において、イオン注入前に基板表面にアルミナの薄膜を積層し、イオン注入および1500℃以上の温度でのアニールを経た後、アルミナの薄膜を除去することを特徴とする炭化けい素半導体素子の製造方法。
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