JP4449814B2 - 炭化けい素半導体素子の製造方法 - Google Patents
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このようなことからSiCは、電力用半導体素子(以下パワーデバイスと呼ぶ)や高周波デバイス、高温動作デバイスなどへの応用が期待されている。現在、MOSFET、pnダイオード、ショットキーダイオード等が試作され、絶縁耐圧とオン抵抗(=通電時の順方向電圧/順方向電流)に関してはSiの特性を越えるデバイスが続出している。
注入されるイオン種としては、n型に対しては窒素(以下Nと記す)リン(以下Pと記す)が用いられ、p型に対してはアルミニウム(以下Alと記す)またはほう素(以下Bと記す)が多く用いられる。
図3(a)〜(e)はイオン注入とそれに引き続くプロセスの工程を説明する工程順の断面図である。
下地層1上にエピタキシャル層2を成長したエピタキシャルウェハを有機溶剤や酸等で前処理した後、酸化膜3を形成する〔図3(a)〕。
Bイオン5を注入する〔同図(c)〕。イオン注入用のマスクとしてはフォトレジストでも良い。しかし、イオン注入による結晶ダメージを最小限に抑えるため時として数100℃〜1000℃の雰囲気中においてイオン注入が行われる。その場合は、当然その温度に耐える材料のマスクでなければならない。
注入後高温アニールする前に、フォトレジストや酸化膜などを全て除去し、SiC表面が露出した状態にする〔同図(d)〕。これは、その後の高温アニール時にSiC上に熱酸化膜などが堆積されているとSiCとの反応が起こり、エッチングが起こることを防ぐためである。特に、イオン注入された領域には結晶ダメージがあり、各原子間の結合力が弱いため他の領域よりエッチングされやすいので注意が必要である。
また、高温アニール時には、イオン注入したSiCのサンプルは多結晶SiC容器中に入れられる。これは、高温における表面近傍の原子の昇華を防止して表面荒れを防ぐためである。
この後、例えば絶縁ゲート構造のMOS素子の場合には、熱酸化膜を形成する。また、ショットキーダイオードの場合は、ショットキー電極を形成する。
また、アニール温度を高くすること、イオン注入ドーズ量を大きくすること、原子量の大きなイオン注入種を注入することのいずれにおいても、ステップバンチングによる表面荒れが激しくなるという問題がある。
ステップバンチングとは次のような現象のことである。例えば4H−SiCの(0001)面から[11-20 ]方向に8度程度傾けた(この角度をオフ角度という)下地基板上に成長したエピタキシャル層で、各原子層が横方向に成長していくため、各原子層の端にある成長ステップが、ある条件下において統合されて、表面の凹凸が激しくなる現象である。
このような問題に鑑み本発明の目的は、アニール後のSiC表面を清浄かつ平滑に保ち、良好な特性のデバイスを作製する方法を提供することにある。
そのようにすれば、拡散の高温加熱時に有機膜中のH原子、O原子が脱離し、グラファイト化したC薄膜となる。グラファイトの融点は3550℃であり、熱拡散に必要な温度の2000℃に十分耐え得る。
この場合、マスクの除去方法としては、酸素プラズマにより除去するものとする。
そうすると、炭化した膜は02 プラズマによりC0、C02 などとなって除去される。
従って本発明は、炭化けい素半導体素子の普及、発展に大きな貢献をなすものである。
[参考例]
図1(a)〜(f)は参考例の製造方法を説明する工程順の断面図である。
ウェハとしては、(0001)Si面から8°オフした面のn型4H−SiCの下地層1上にエピタキシャル層2を成長したエピタキシャルウェハを用いた。下地層1のキャリア濃度は1×1018/cm3であり、エピタキシャル層2のキャリア濃度は1×1016/cm 3 、厚さ10μm である。
このウェハー上にまず、1100℃、5時間のパイロジェニック酸化により厚さ30nmの酸化膜3を形成する〔図1(a)〕。
ついで、スピンコータにより厚さ約5μmのフォトレジスト4を塗布する。100℃のベーキングによりフォトレジスト4と熱酸化膜3との密着性を高めた後、フォトリソグラフィによりフォトレジスト4をパターニングし、その後バッファードフッ酸により熱酸化膜3の露出部分をエッチングする〔同図(b)〕。
イオン注入後、フォトレジスト4は、基板温度100℃においてO2 プラズマアッシングにより除去する。また、熱酸化膜3をバッファードフッ酸によりすべて除去する。その後、メタン(CH4 )を用いたECR−CVD法により、厚さ約100nmのDLC膜6を成膜する〔同図(d)〕。DLC膜成膜時にSiCウェハからの剥離を防ぐために、内部応力を小さくする必要があり、そのためにはECR−CVD法において成膜中に基板への負バイアスはかけない方がよい。
その後、Ar雰囲気中で1700℃、30分間のアニールをおこない、注入されたB原子を活性化する。これにより深さ約0.5μm、濃度1×1018cm-3の不純物領域7が形成される〔同図(e)〕。この時、SiCサンプルは多結晶SiC容器中に入れられる。
上記のプロセスを実施した表面のAFM(Atomic Force Microscope:原子間力顕微鏡)観察をおこなったところ、表面粗さRaは約0.3nmであった。この値は、保護膜を被着しないでアニールした場合の表面粗さ3nmに比べ、表面荒さが1/10に低減されたことになる。
また、同様の条件のイオン注入およびアニールにより、従来のプロセスではBのピーク濃度が50%減少していたのに対し、本発明によるプロセスにおいては20%のピーク濃度の減少に抑えることができた。
なお、DLC膜をスパッタ法により成膜してもよいし、また、DLC膜の代わりにフォトレジストを用いてもよい。
参考例と同様に、下地層1上にエピタキシャル層2を成長した4H−SiCウェハ使用した。
エピタキシャル層2上にスピンコータにより厚さ約5μmのフォトレジスト4を塗布した後、そのフォトレジスト4のパターニングをおこなって選択的ドーピングを行う部分を露出させる〔図2(a)〕。
次いで、選択的ドーピングをおこなうための加熱過程で、フォトレジスト4は炭化しグラファイト膜8となるが、熱拡散時のマスクとして十分適用できる〔同図(b)〕。
2000℃、1時間のドーピングおよび拡散をおこない、不純物領域7を形成する〔同図(c)〕。ドーピングガス9としては、例えばBの場合にはジボラン〔B2 H6 〕が使用できる。キャリアガスはArである。この時の拡散深さは、5μm となる。表面不純物濃度は1×1019cm-3であった。
この場合も表面粗さは0.5nm以下であった。
この方法では、マスク材料が有機膜であれば良いが、フォトレジストであればパターニングのための加工が容易であるという利点がある。
なお、ドーピングガス9としては、Alの場合にはトリメチルアルミニウム〔Al(CH3 )3 〕が使用でき、同じアニールで拡散深さは約1μmとなる。
2 …エピタキシャル層
3 …熱酸化膜
4 …フォトレジスト
5 …Bイオン
6 …DLC膜
7 …不純物領域
8 …グラファイト膜
9 …ドーピングガス
Claims (1)
- 炭化けい素結晶板の表面層に不純物の選択的なドーピング及び拡散により不純物領域を形成する炭化けい素半導体素子の製造方法において、前記選択的なドーピング及び拡散を有機膜のマスクを用いたガス拡散法により前記マスクが炭化されてグラファイト膜となる条件でおこない、前記選択的なドーピング及び拡散の後に、前記炭化されてグラファイト膜となった前記マスクを除去することを特徴とする炭化けい素半導体素子の製造方法。
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