JP3942585B2 - レーザ加工方法及び装置 - Google Patents
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Description
12…偏光切換器(EOM(電気光学変調器))
14…第1偏光ビームスプリッタ
15…タイマ
16…第1リレーレンズ
18…第2偏光ビームスプリッタ
20…加工レンズ
22…第1ミラー
24…第2リレーレンズ
26…第2ミラー
28…被加工物
30…第3ミラー
32…モニタカメラ
34…AOM(音響光学変調器)
36…ハーフミラー
Claims (8)
- レーザ光を被加工物の加工位置に集光あるいは結像して該被加工物を加工するレーザ加工方法において、
光路を変更して予め用意した焦点距離の異なる複数の光学系を切換え変更し、前記レーザ光を、変更後の光学系を介して、前記被加工物の同一の加工位置に集光あるいは結像させることを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記光学系を、焦点距離の短い方から長い方に順次変更することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工方法。
- 前記光学系の変更を、電気光学素子を利用する偏光制御により行なうことを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ加工方法。
- 前記光学系の変更を、音響光学素子を利用する光路変更により行なうことを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ加工方法。
- レーザ発振器から発振されるレーザ光を被加工物の加工位置に集光あるいは結像して該被加工物を加工するレーザ加工装置において、
前記被加工物の同一の加工位置に対する焦点距離が異なる複数の光学系と、
前記レーザ光を、光路を変更して、前記光学系の少なくとも1つに導びく光路変更手段とを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記光路変更手段に、光路を変更するタイミングを設定するタイミング設定手段が設置されていることを特徴とする請求項5に記載のレーザ加工装置。
- 前記光路変更手段が、電気光学素子と偏光ビームスプリッタとを含んで構成されていることを特徴とする請求項5又は6に記載のレーザ加工装置。
- 前記光路変更手段が、音響光学素子を含んで構成されていることを特徴とする請求項5又は6に記載のレーザ加工装置。
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