JP6199224B2 - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Description
図2において、1はレーザビームを発生する例えば炭酸ガスレーザタイプのレーザ発振器である。2はレーザ発振器1からのレーザビームの一部を反射するビームスプリッタ、3はビームスプリッタ2を透過したレーザビームの光強度を電気的信号に変換するフォトディテクタ、4はビームスプリッタで反射されたレーザビームに対し分岐方向の制御を行うことにより加工に使用するかどうか(オン・オフ)のスイッチングを行う音響光学変調器(以下AOMと略す)、5はAOM4から加工方向に分岐した(AOMがオン状態)レーザビームをプリント基板の如き被加工物6に照射する光学系である。AOM4から光学系5に向かない方向に分岐した(AOMがオフ状態)レーザビームはダンパー7に入力される。光学系5には、AOM4から出力されたレーザビームを被加工物6の加工位置に位置決めするための1組のガルバノスキャナー8やレーザビームの焦点調整を行うFθレンズ9等が含まれる。10は装置全体の動作を制御する制御部である。
光学系5のガルバノスキャナー7で目標の加工位置への位置決めが完了すると、位置決め完了信号aが制御部10に送られ、それにより制御部10からレーザ発振器1にLonのタイミングで出射指令信号bがオンされ、レーザ発振器1からレーザビームが出射される。その後、制御部10はフォトディテクタ3からのレーザ検出信号cに基づき、出射指令信号bのオンから△T時間後に出射され始めた出射直後のレーザビームのエネルギーレベルが、所定のレベルSFを越えた時点Donから一定の時間Tond経過後のAonのタイミングで、AOM4への加工指令信号dをオンにする。これにより、AOM4の出力はダンパー7側から光学系5側に切り替えられ、その後、加工に必要なエネルギーを元に決定されるAOMオン期間である一定の時間Taon後のAoffのタイミングで、加工指令信号dがオフとなり、AOM4の出力はダンパー7側に戻される。制御部10は、TondとTaonの加算した値に変動を考慮したオフディレイ時間Toffdを加えたLoffのタイミングで、レーザ発振器1への出射指令信号bをオフにする。
本発明に従った場合、出射され始めたレーザビームのエネルギーレベルを捉え、それが所定のレベルSFを越えた時点Donを起点として一定時間後にAOM4への加工指令信号dをオンにするものであるから、出射指令信号bをオフにするまでの時間を一定にすることができ、後続のレーザビームの出射に影響を及ぼすおそれがなくなる。
Claims (6)
- レーザビームを出射するレーザ発振器と、当該レーザ発振器から出射されたレーザビームを受光し当該レーザビームを加工に使用する方向に分岐させるか否かを行う音響光学変調器と、当該音響光学変調器の分岐方向を制御する制御部とを有するレーザ加工装置において、前記レーザ発振器から出射されたレーザビームを検出するフォトディテクタを備え、当該フォトディテクタによるレーザビーム出射検出時点よりも後になる一定時間後に前記制御部は前記レーザ発振器からのレーザビームを加工に使用する方向への分岐を開始させるよう前記音響光学変調器を制御することを特徴とするレーザ加工装置。
- 請求項1に記載のレーザ加工装置において、前記音響光学変調器は前記レーザ発振器から出射されたレーザビームをビームスプリッタを介して受光し、前記フォトディテクタは前記ビームスピリッタを透過したレーザビームを検出することを特徴とするレーザ加工装置。
- 請求項1又は2のいずれかに記載のレーザ加工装置において、前記フォトディテクタはレーザビームのエネルギーレベルが所定のレベルに達したらレーザビーム出射を検出することを特徴とするレーザ加工装置。
- レーザ発振器から出射されたレーザビームを音響光学変調器で受光し、当該音響光学変調器で前記レーザビームを加工に使用する方向に分岐させるか否かを行うレーザ加工方法において、前記レーザ発振手段から出射されたレーザビームをフォトディテクタで検出し、当該フォトディテクタによるレーザビーム出射検出時点よりも後になる一定時間後にレーザビームを加工に使用する方向への分岐を開始させることを特徴とするレーザ加工方法。
- 請求項4に記載のレーザ加工方法において、前記音響光学変調器は前記レーザ発振器から出射されたレーザビームをビームスプリッタを介して受光し、前記フォトディテクタは前記ビームスピリッタを透過したレーザビームを検出することを特徴とするレーザ加工方法。
- 請求項4又は5のいずれかに記載のレーザ加工方法において、前記フォトディテクタはレーザビームのエネルギーレベルが所定のレベルに達したらレーザビーム出射を検出することを特徴とするレーザ加工方法。
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