JP6199224B2 - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents

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Description

本発明は、レーザビームを用いてプリント基板のような被加工物に穴明け等の加工を行うためのレーザ加工装置及びレーザ加工方法に関するものである。
レーザ加工装置において、レーザ発振器からのレーザビームを加工に使用するかどうか(オン・オフ)のスイッチングを音響光学変調器(AOM)によって行うものがある。このスイッチングは、従来、特許文献1に開示されるように、レーザ発振器に対する出射指令信号の出力時点あるいはレーザビーム出射の検出時点でオンするような方法で行っていた。
しかしながら、レーザ発振器へのレーザ出射指令に対し、実際にレーザビームが出射を開始する時刻は、発振指令の周期や環境要因、レーザ発振器の個体差によって変動する。そのため、従来のAOMのスイッチング制御では、レーザビームの出射開始の時刻変動がそのまま加工エネルギーの変化につながるため、穴品質や穴径の変動原因になり、穴品質や穴径精度向上の阻害要因となっていた。
特開昭2005-199323号公報
そこで本発明は、レーザビーム出射開始時刻の変動による穴品質や穴径精度の低下を防止することを目的とするものである。
上記課題を解決するため、請求項1に記載のレーザ加工装置においては、レーザビームを出射するレーザ発振器と、当該レーザ発振器から出射されたレーザビームを受光し当該レーザビームを加工に使用する方向に分岐させるか否かを行う音響光学変調器と、当該音響光学変調器の分岐方向を制御する制御部とを有するレーザ加工装置において、前記レーザ発振器から出射されたレーザビームを検出するフォトディテクタを備え、当該フォトディテクタによるレーザビーム出射検出時点よりも後になる一定時間後に前記制御部は前記レーザ発振器からのレーザビームを加工に使用する方向への分岐を開始させるよう前記音響光学変調器を制御することを特徴とする。
また請求項2に記載のレーザ加工装置においては、請求項1に記載のレーザ加工装置において、前記音響光学変調器は前記レーザ発振器から出射されたレーザビームをビームスプリッタを介して受光し、前記フォトディテクタは前記ビームスピリッタを透過したレーザビームを検出することを特徴とする。
また請求項3に記載のレーザ加工装置においては、請求項1又は2のいずれかに記載のレーザ加工装置において、前記フォトディテクタはレーザビームのエネルギーレベルが所定のレベルに達したらレーザビーム出射を検出することを特徴とする。
また請求項4に記載のレーザ加工方法においては、レーザ発振器から出射されたレーザビームを音響光学変調器で受光し、当該音響光学変調器で前記レーザビームを加工に使用する方向に分岐させるか否かを行うレーザ加工方法において、前記レーザ発振手段から出射されたレーザビームをフォトディテクタで検出し、当該フォトディテクタによるレーザビーム出射検出時点よりも後になる一定時間後にレーザビームを加工に使用する方向への分岐を開始させることを特徴とする。
また請求項5に記載のレーザ加工方法においては、請求項3に記載のレーザ加工方法において、前記音響光学変調器は前記レーザ発振器から出射されたレーザビームをビームスプリッタを介して受光し、前記フォトディテクタは前記ビームスピリッタを透過したレーザビームを検出することを特徴とする。
また請求項6に記載のレーザ加工方法においては、請求項4又は5のいずれかに記載のレーザ加工方法において、前記フォトディテクタはレーザビームのエネルギーレベルが所定のレベルに達したらレーザビーム出射を検出することを特徴とする。
本発明によれば、レーザビーム出射開始の時刻変動による穴品質や穴径精度の低下を防止することができる。
本発明の一実施例となるレーザ加工装置のタイミング図である。 本発明の一実施例となるレーザ加工装置のブロック図である。
以下、本発明の一実施例について説明する。
図2は、本発明の一実施例となるレーザ加工装置のブロック図である。
図2において、1はレーザビームを発生する例えば炭酸ガスレーザタイプのレーザ発振器である。2はレーザ発振器1からのレーザビームの一部を反射するビームスプリッタ、3はビームスプリッタ2を透過したレーザビームの光強度を電気的信号に変換するフォトディテクタ、4はビームスプリッタで反射されたレーザビームに対し分岐方向の制御を行うことにより加工に使用するかどうか(オン・オフ)のスイッチングを行う音響光学変調器(以下AOMと略す)、5はAOM4から加工方向に分岐した(AOMがオン状態)レーザビームをプリント基板の如き被加工物6に照射する光学系である。AOM4から光学系5に向かない方向に分岐した(AOMがオフ状態)レーザビームはダンパー7に入力される。光学系5には、AOM4から出力されたレーザビームを被加工物6の加工位置に位置決めするための1組のガルバノスキャナー8やレーザビームの焦点調整を行うFθレンズ9等が含まれる。10は装置全体の動作を制御する制御部である。
図2は、以下のように動作する。図1は、図2のレーザ加工装置のタイミング図で、図2におけるレーザ発振器1から出射されたレーザビームのエネルギーレベルの推移示してある。
光学系5のガルバノスキャナー7で目標の加工位置への位置決めが完了すると、位置決め完了信号aが制御部10に送られ、それにより制御部10からレーザ発振器1にLonのタイミングで出射指令信号bがオンされ、レーザ発振器1からレーザビームが出射される。その後、制御部10はフォトディテクタ3からのレーザ検出信号cに基づき、出射指令信号bのオンから△T時間後に出射され始めた出射直後のレーザビームのエネルギーレベルが、所定のレベルSFを越えた時点Donから一定の時間Tond経過後のAonのタイミングで、AOM4への加工指令信号dをオンにする。これにより、AOM4の出力はダンパー7側から光学系5側に切り替えられ、その後、加工に必要なエネルギーを元に決定されるAOMオン期間である一定の時間Taon後のAoffのタイミングで、加工指令信号dがオフとなり、AOM4の出力はダンパー7側に戻される。制御部10は、TondとTaonの加算した値に変動を考慮したオフディレイ時間Toffdを加えたLoffのタイミングで、レーザ発振器1への出射指令信号bをオフにする。
上記実施例によれば、制御部10は、実際のレーザ出射を確認してAOM4のオン・オフを制御するので、レーザビームの出射タイミングまでが発振指令の周期や環境要因、レーザ発振器の個体差によって変動しても、常に一定の時間、すなわちTaonだけAOM4の出力が光学系5に与えられるので、加工エネルギーの変動を抑えることができ、穴品質や穴径精度向上ができる。また、レーザ発振器1への出射指令信号bは、AOM4の出力のダンパー7側への切り替えとほぼ同時にオフするので、レーザ出射時間を最小化でき、消費電力を低減できる。
なお、以上において、出射され始めた直後のレーザビームのエネルギーレベルを捉えているが、実際に加工に使用する段階でエネルギーレベルを捉える方法も考えられる。しかしながら、この方法だと、レーザビームが出射され始めてからの推移過程は多様であるため、レーザビームが出射され始めてから実際に加工に使用するエネルギーレベルになるまでの時間が変動するので、AOM4のオン期間である時間Taonと変動を考慮したオフディレイ時間Toffdを加えた後の、出射指令信号bをオフにするまでの時間が一定にならない。このため、後続のレーザビームの出射に影響を及ぼすおそれがある。
本発明に従った場合、出射され始めたレーザビームのエネルギーレベルを捉え、それが所定のレベルSFを越えた時点Donを起点として一定時間後にAOM4への加工指令信号dをオンにするものであるから、出射指令信号bをオフにするまでの時間を一定にすることができ、後続のレーザビームの出射に影響を及ぼすおそれがなくなる。
なお、上記実施例においては、制御部10はフォトディテクタ3からのレーザ検出信号cに基づきレーザビームのエネルギーが所定のレベルを越えたかどうかを捉えているが、フォトディテクタ3によっては、その分解能として所定レベル検出機能的なものを有する場合もあり、そのような場合には、制御部10はフォトディテクタ3からのレーザ検出信号cを監視するだけで良い。
1:レーザ発振器、2:ビームスプリッタ、3:フォトディテクタ、4:AOM、5:光学系、6:被加工物、7:ダンパー、8:ガルバノスキャナー、9:Fθレンズ、10:制御部、a:位置決め完了信号、b:出射指令信号、c:レーザ検出信号、d:加工指令信号




Claims (6)

  1. レーザビームを出射するレーザ発振器と、当該レーザ発振器から出射されたレーザビームを受光し当該レーザビームを加工に使用する方向に分岐させるか否かを行う音響光学変調器と、当該音響光学変調器の分岐方向を制御する制御部とを有するレーザ加工装置において、前記レーザ発振器から出射されたレーザビームを検出するフォトディテクタを備え、当該フォトディテクタによるレーザビーム出射検出時点よりも後になる一定時間後に前記制御部は前記レーザ発振器からのレーザビームを加工に使用する方向への分岐を開始させるよう前記音響光学変調器を制御することを特徴とするレーザ加工装置。
  2. 請求項1に記載のレーザ加工装置において、前記音響光学変調器は前記レーザ発振器から出射されたレーザビームをビームスプリッタを介して受光し、前記フォトディテクタは前記ビームスピリッタを透過したレーザビームを検出することを特徴とするレーザ加工装置。
  3. 請求項1又は2のいずれかに記載のレーザ加工装置において、前記フォトディテクタはレーザビームのエネルギーレベルが所定のレベルに達したらレーザビーム出射を検出することを特徴とするレーザ加工装置。
  4. レーザ発振器から出射されたレーザビームを音響光学変調器で受光し、当該音響光学変調器で前記レーザビームを加工に使用する方向に分岐させるか否かを行うレーザ加工方法において、前記レーザ発振手段から出射されたレーザビームをフォトディテクタで検出し、当該フォトディテクタによるレーザビーム出射検出時点よりも後になる一定時間後にレーザビームを加工に使用する方向への分岐を開始させることを特徴とするレーザ加工方法。
  5. 請求項4に記載のレーザ加工方法において、前記音響光学変調器は前記レーザ発振器から出射されたレーザビームをビームスプリッタを介して受光し、前記フォトディテクタは前記ビームスピリッタを透過したレーザビームを検出することを特徴とするレーザ加工方法。
  6. 請求項4又は5のいずれかに記載のレーザ加工方法において、前記フォトディテクタはレーザビームのエネルギーレベルが所定のレベルに達したらレーザビーム出射を検出することを特徴とするレーザ加工方法。
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JPWO2014010046A1 (ja) * 2012-07-11 2016-06-20 三菱電機株式会社 レーザ共振器制御電源、レーザ発振器およびレーザ発振システム

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