JP2020151736A - レーザ制御装置及びパルスレーザ出力装置 - Google Patents
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Abstract
Description
レーザ発振器から出力されたレーザパルスの立ち上がりのタイミングに同期させて、前記レーザ発振器から出力されたレーザパルスから一部を切り出す切出光学系に、切り出しの開始を指令するレーザ制御装置が提供される。
パルスレーザビームを出力するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力されたパルスレーザビームの光強度を検出するセンサと、
前記レーザ発振器から出力されたパルスレーザビームのレーザパルスから一部を切り出す切出光学系と、
前記センサから検出結果を取得してレーザパルスの立ち上がり時点を検出し、レーザパルスの立ち上がりのタイミングに同期させて、前記切出光学系にレーザパルスの切り出しの開始を指令する制御装置と
を有するパルスレーザ出力装置が提供される。
図1は、実施例によるパルスレーザ出力装置の概略図である。実施例によるパルスレーザ出力装置は、例えばプリント基板の穴明け加工に用いられる。
図3は、比較例によるパルスレーザ出力装置におけるトリガ信号trg、レーザパルスLP1、切出信号chp、及びレーザパルスLP2の波形を示すグラフである。トリガ信号trg及びレーザパルスLP1のタイミング及び波形は、図2に示した実施例の場合と同一である。
上記実施例では、パルスレーザ出力装置をプリント基板の穴明け加工に用いている。その他に、実施例によるパルスレーザ出力装置は、レーザ発振器から出力されたレーザパルスから一部を切り出して得られるレーザパルスを用いてレーザ加工を行う用途に用いることができる。
本実施例においても、レーザパルスLP1の立ち上がり時点t12に同期してレーザパルスLP2、LP3の切り出し開始の指令を出しているため、トリガ信号trgの立ち上がり時点t11からレーザパルスLP1の立ち上がり時点t12までの遅延時間td11にばらつきがあっても、レーザパルスLP1の光強度がほぼ一定に維持される期間からレーザパルスLP2、LP3を切り出すことができる。
11 ビームスプリッタ
12 照射光学系
13 アパーチャ
14 切出光学系
15 ビームダンパ
16 折り返しミラー
17 走査光学系
18X、18Y 可動ミラー
19 レンズ
20 センサ
30 ステージ
31 移動機構
40 制御装置
41 入力装置
50 加工対象物
Claims (6)
- レーザ発振器から出力されたレーザパルスの立ち上がりのタイミングに同期させて、前記レーザ発振器から出力されたレーザパルスから一部を切り出す切出光学系に、切り出しの開始を指令するレーザ制御装置。
- さらに、前記切出光学系に、切り出しの終了を指令する請求項1に記載のレーザ制御装置。
- さらに、レーザパルスの立ち上がり時点からレーザパルスの切出開始を指令する時点までの待機時間の値を取得し、レーザパルスの立ち上がりを検出した時点から、取得した前記待機時間の値に相当する時間が経過した時点で、前記切出光学系にレーザパルスの切り出しの開始を指令する請求項1または2に記載のレーザ制御装置。
- パルスレーザビームを出力するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力されたパルスレーザビームの光強度を検出するセンサと、
前記レーザ発振器から出力されたパルスレーザビームのレーザパルスから一部を切り出す切出光学系と、
前記センサから検出結果を取得してレーザパルスの立ち上がり時点を検出し、レーザパルスの立ち上がりのタイミングに同期させて、前記切出光学系にレーザパルスの切り出しの開始を指令する制御装置と
を有するパルスレーザ出力装置。 - 前記制御装置は、切り出すべきレーザパルスのパルス幅の値を記憶しており、前記切出光学系にレーザパルスの切り出しの開始を指令してから、切り出すべきレーザパルスのパルス幅に相当する時間が経過した時点で、前記切出光学系に切り出しの終了を指令する請求項4に記載のパルスレーザ出力装置。
- さらに、レーザパルスの立ち上がり時点からレーザパルスの切出開始を指令する時点までの待機時間の値が入力される入力装置を有し、
前記制御装置は、レーザパルスの立ち上がりを検出した時点から、取得した前記待機時間の値に相当する時間が経過した時点で、前記切出光学系にレーザパルスの切り出しの開始を指令する請求項4または5に記載のパルスレーザ出力装置。
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