JP3939020B2 - 乾燥装置および洗浄を含む乾燥システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント基板、半導体及び液晶などの製造過程で、これらを不揮発性液体、典型的には水で洗浄した後に乾燥するための乾燥装置及び不揮発性液体での洗浄を含む乾燥システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
環境問題からフロン及び代替えフロンなどの揮発性物質を使用した洗浄に代わる無公害の洗浄方法の開発が急務となっている。このような状況のなかで不揮発性液体、典型的には水による洗浄が注目され初めているが、この水を使用した洗浄の場合には、洗浄後の被洗浄物を如何に素早く且つ的確に乾燥させるか、という難しい課題を解決することが必要となる。
【0003】
この課題を解消するには、結局のところ、的確なる水切りと、水切り後の迅速なる乾燥とを達成することが必要である。従来の水を利用した洗浄システムでは、被洗浄物をウエットの状態にする、いわゆる水切りのために絞りロールが採用され、その後の乾燥では、例えば80℃以上の熱風エアを用いてこの熱風エアを被洗浄物に当てることで被洗浄物の乾燥を行うようになっていた。また、ごく一部のシステムではあるが、超乾燥空気つまりドライエアを用いた乾燥が採用されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、絞りロールは、被洗浄物を上下のロールで挟み込んで行うものであるため、被洗浄物に加わる圧縮力によって被洗浄物を破損させてしまう恐れがあった。また、乾燥のために熱風エアを用いた場合には、被洗浄物が熱的影響を受けて、変形又は破損の恐れがあるだけでなく、基板のように微小径の孔を備えた被洗浄物の場合には、この微小径の孔の中の水分を除去することができず、加えて、乾燥機の中で乾燥状態になったとしても、乾燥機から出た高温の被洗浄物は、その冷却過程で、回りの外気に含まれる水分が凝結して、再び水分が被洗浄物に付着するという現象が発生していた。他方、ドライエアの場合には、大量のドライエアを供給するために設備が大きくなるだけでなく、ドライエアを被洗浄物に向けて吹き付けても、このドライエアの流れに外気が混入してしまい、実質的にドライエアの効果を発揮させることができなかった。
【0005】
そこで、本発明の第1の目的は、不揮発性液体を使用した洗浄を前提として、洗浄後の被洗浄物の乾燥を的確に行うことのできる乾燥装置を提供することにある。
本発明の第2の目的は、不揮発性液体を使用した洗浄を前提として、比較的小型の施設、特に、小容量のドライエアで洗浄後の被洗浄物の乾燥をすることのできる乾燥装置を提供することにある。
また、本発明の第3の目的は、不揮発性液体を使用した洗浄を前提として、洗浄後の被洗浄物をウエットの状態まで、いわゆる水切りすることを含めてその乾燥を迅速且つ的確に行うことのできる乾燥装置を提供することにある。
また、本発明の第4の目的は、被洗浄物を不揮発性液体で洗浄すると共に洗浄後の被洗浄物の乾燥を的確に行うことのできる洗浄を含む乾燥システムを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の目的は、不揮発性液体で洗浄した比較的薄く且つ平らな被洗浄物を洗浄工程から搬出するための搬送路に設置され、該搬送路を通る前記被洗浄物が通過することのできる入口と出口とを備えた密閉乾燥箱と、
該乾燥箱の中に設置され、前記搬送路を通る前記被洗浄物に向けてドライエアを吐出するドライエア吐出手段とを含み、
前記入口及び出口が前記被洗浄物の通過を許すことのできる比較的小さな開口面積に設定され、
前記ドライエア吐出手段が、少なくとも該被洗浄物の移動方向に関して鉛直に該被洗浄物に対してドライエアを吐出するように配置されている、ことを特徴とする乾燥装置によって達成される。
【0007】
本発明の第2の目的は、上記第1の目的を達成することのできる構成に加えて、前記ドライエア吐出手段が、前記搬送路を横断する方向に並んで配置された複数の比較的小さな開口面積の吐出口で構成されている、ことを特徴とする乾燥装置によって達成される。
本発明の第3の目的は、上記第1の目的を達成することのできる構成に加えて、前記乾燥箱の上流側に隣接して配置され、前記搬送路を横断する方向に延在する水切り用のエアスリットを更に含む、ことを特徴とする乾燥装置によって達成される。
本発明の第4の目的は、比較的薄く且つ平らな被洗浄物を不揮発性液体で洗浄する洗浄装置と、
該洗浄装置から被洗浄物を搬出するための搬送路に設置され、該搬送路を通る前記被洗浄物が通過することのできる入口と出口とを備えた密閉乾燥箱と、
該乾燥箱の中に設置され、前記搬送路を通る前記被洗浄物に向けてドライエアを吐出するドライエア吐出手段とを含み、
前記入口及び出口が前記被洗浄物の通過を許すことのできる比較的小さな開口面積に設定され、
前記ドライエア吐出手段が、少なくとも該被洗浄物の移動方向に関して鉛直に該被洗浄物に対してドライエアを吐出するように配置されている、ことを特徴とする洗浄を含む乾燥システムによって達成される。
本発明の他の目的およびその利点は、以下の本発明の好ましい実施例から明らかになろう。
【0008】
【実施例】
以下に、添付の図面に基づいて、本発明の好ましい実施例として、洗浄用液体として水を使用して洗浄した後の基板を、水切り及び乾燥するための装置を説明する。
図1は、この実施例の装置の一部切欠斜視図である。同図において、参照符号1は、プリント基板(図4に参照符号Wで示してある)の搬送路を示す。この搬送路1は、これを横断する方向に延びる上下一対のローラ2、4を搬送路1に沿って複数配置することにより構成されている。参照符号6は、搬送路1を挟んで対峙する一対の支持プレートであり、支持プレート6には、上方に向けて開放する垂直切欠部分6aが形成されており、この垂直切欠部分6aに一対のローラ2、4の端部が回転可能に収容されている。
【0009】
この対をなす上下のローラ2、4は、互いに反対方向に同一速度で回転することにより、これらの間を通る基板を矢印Aの方向に搬送する。図中、参照符号8、10は互いに噛み合う一対の歯車を示し、歯車8、10は上下のローラ2、4の端に夫々取り付けられている。このような上下のローラ2、4により構成される搬送路1は従来から既知であることから、ローラ2、4に対して回転駆動力を付与するための機構などを含めてこれ以上の詳しい説明は省略する。
【0010】
図1において、参照符号20は実施例の装置を示し、この装置20は乾燥箱22を含む。この乾燥箱22は、搬送路1を横断する方向に延びる略直方体の形状を有し、乾燥箱22の両端壁24と前側及び後側の側壁26、28は、共に、搬送路1に関して鉛直に延びており、また、乾燥箱22の水平天壁30及び水平底壁32は搬送路1と平行に延びている。なお、この実施例では、水平底壁32はベースプレートと兼用されている。乾燥箱22の後側の側壁26及び前側の側壁28には、夫々、上下方向中間部分に横方向に延びる入口34及び出口36が形成され、入口34及び出口36は、共に、搬送路1を横断する方向に延びる細長い矩形の形状を有する。すなわち、乾燥箱22は、入口34及び出口36だけを開口した略直方体の密閉体で構成されている。
【0011】
乾燥箱22の中には、搬送路1の上方と下方に夫々複数のノズル40が配置されている。より詳しくは、複数のノズル40は、搬送路1を横断する方向に列をなして配置され、また、このノズル40の列は、搬送路1を挟んで、その上方に2列設けられ、下方に2列設けられている。換言すれば、乾燥箱22の中のノズル40は、搬送路1を横断する方向に等間隔に配置され、この搬送路1を横断する方向に並置されたノズル40の列は、搬送路1の上方に2列、下方に2列設けられている。また、上方に配置されたノズル40(この上方に配置されたノズルを符号40aで図示してある)と下方に配置されたノズル40(この下方に配置されたノズルを符号40bで図示してある)の各々は、互いに、搬送路1の鉛直方向に一致するように位置決めされている。ノズル40の列は、上下に夫々一列づつ配置してもよく、3以上の列を上下に夫々配置してもよい。
【0012】
このような複数のノズル40は、搬送路1の上方及び下方に夫々配置された一対の支持部材42、44に取り付けられている。上方の支持部材42は搬送路1を横断する方向に延びる断面矩形の形状を備えた、両端を閉塞した中空体で構成され、この支持部材42の一対の垂直側壁42a、42bに夫々のノズル40aが取り付けられ、同様に、下方の支持部材44は搬送路1を横断する方向に延びる断面矩形の形状を備えた、両端を閉塞した中空体で構成され、この支持部材44の一対の垂直側壁44a、44bに夫々のノズル40bが取り付けられ、これにより、上述したように、搬送路1の上方及び下方に各々2列のノズル40群が配置されている。
【0013】
各ノズル40は、その一部が支持部材42、44の中を通る配管50を介して、サージタンク52に連結されている。サージタンク52は、供給側配管54を介して、超乾燥空気つまりドライエアを発生する装置(図示せず)に連結されており、このドライエア発生装置は、図外のエア源から常温のエアの供給を受けて露点ー70℃乃至ー80℃のドライエアを生成して、配管54、サージタンク52、配管50を通じて各ノズル40に常温のドライエアを供給する。また、各ノズル40は、図2に示すように、基板Wの面に向けて鉛直方向にドライエアを吐出する位置から搬送路1を横断する方向に左右に45°揺動するようになっている。
【0014】
すなわち、各ノズル40は、図2に示すように、搬送路1を横断する方向に90°の角度範囲で連続的に揺動運動を行う。各ノズル40を揺動運動させるための機構は上述した支持部材の中に収容されている。各ノズル40の揺動運動は、すべてのノズル40が同期して同一方向に揺動するように設定してもよく、各列に所属するノズル40が同期して同一方向に揺動しつつ、隣接するノズル40の列とは反対方向に揺動運動するように設定してもよい。すなわち、上方の一方の列に所属するノズル40が例えば右方向に移動するときに、他方の列に所属するノズル40が左方向に移動するように設定してもよい。また、鉛直方向に対峙する上方のノズル40aと下方のノズル40bとが同一方向に移動するように設定してもよく、或いは、逆方向に移動するように設定するようにしてもよい。
【0015】
装置20は、また、水切り手段としてのエアスリット60、62を含む(図3参照)。スリット60、62は、夫々、乾燥箱22の上流側に隣接して、搬送路1を挟んで上下に配設されている。このエアスリット60、62は、共に、搬送路1を横断する方向に延在している。上方のエアスリット60には第1の配管64を通じてエアが供給され、下方のエアスリット62には第2の配管66を通じてエアが供給され、これらエアスリット60、62から搬送路1に向けてエアが吐出される。このエアは、一般的には通常の圧縮空気であるが、ドライエアであってもよい。ドライエアを水切りに用いた場合には、後の乾燥を容易にするという利点がある。エアスリット60、62のエアの吐出方向は特に限定されるものではないが、エアスリット60、62を基板Wの搬送方向Aに対向する方向に若干傾けて配置して、流れてくる基板Wの表面の水を後方に押し戻すようにして水切りするのが好ましい。水切り手段としてのエアスリット60、62を用いることにより、非接触状態で基板Wを処理してウエット状態にすることができるので、従来のローラ式の水切り手段のように、基板Wの表面に傷を付けたり、また、ゴミなどを付着させたりする恐れはない。
【0016】
装置20のエアスリット60、62は、その吐出口で計測したときに、200〜300m/sの風速でエアを吐出するのが好ましいが、エア供給源の能力及びコストを考慮すると、約50m/s以上の風速であるのが現実的である。このエアスリット60、62は、その吐出口が基板Wから約10〜15mm離れた位置に位置するように設置するのが好ましい。これよりもエアスリット60、62が基板Wから離れた位置に設置すると、風速が弱くなるので好ましくなく、また、不必要に基板Wに接近させると、基板Wに悪影響を及ぼしてしまうので好ましくない。
【0017】
ノズル40は、200〜300m/sの風速でドライエアを吐出するのが好ましい。また、ノズル40は、その吐出口が基板Wから約15mm離れた位置に位置するように設置するのが好ましい。ノズル40をこれよりも基板Wから離して設置すると、ノズル40から吐出したエアが基板Wと衝突するときの風速が大幅に小さくなってしまい、基板Wの微小径の孔の中の水分が残る傾向になり易い。逆に、ノズル40を約15mmよりも基板Wに接近させて設置すると、ノズル40から吐出したエアの広がりが狭いために、基板Wの全面にエアが当たらないので好ましくない。
【0018】
上述した装置20を試作して実際に運転したところ、乾燥箱22の側壁26、28に形成した入口34及び出口36の寸法が基板の乾燥結果に大きな影響を及ぼすことが分かった。すなわち、乾燥箱22の中を陽圧に保持して良好な乾燥結果を得るのに、入口34及び出口36は極力小さな開口面積とするのが必要であることが分かった。基板Wの厚み寸法が約1mmであるとすると、この基板Wが入口34及び出口36の開口縁と干渉しない範囲で、入口34及び出口36の高さ寸法を例えば3mmというように最小の値に設定するのが好ましい。基板Wの厚みは、一般的には、1〜3mmの範囲にあることから、この範囲の基板Wを対象にするのであれば、入口34及び出口36の高さ寸法を5mm程度にすればよい。乾燥箱22の大きさが奥行き100mm、高さ200mm、幅(搬送路1の横断方向の長さ)700〜800mmであるときに、入口34及び出口36の高さを約20mm程度に設定すれば、乾燥箱22を陽圧に保持することは比較的容易である。このような条件で、基板Wに含まれる微小径の孔の中の水分の完全なる除去を含めて、基板Wを乾燥するのに、装置20では350〜500リットル/分の量のドライエアの使用で足りた。ちなみに、従来の方式で基板Wをドライエアで乾燥するには、1500リットル/分の量のドライエアを必要としていたものである。
【0019】
図4は、乾燥箱22の中での気流を概念的に示す。前述したとおり、乾燥箱22の中の全てのノズル40は、基板Wの移動方向に関して、この基板Wに対して鉛直方向にドライエアを吐出するように設置されている。また、乾燥箱22は、その入口34及び出口36を除いて外気と通じる開口を有しておらず、また、この入口34及び出口36も比較的小さな開口面積を有するだけである。このことから、乾燥箱22の中は、ノズル40から吐出されるドライエアによって陽圧の状態にあり、また、ノズル40から吐出されて基板Wに衝突した後のドライエアは四方に飛散して入口34及び出口36を通じて外部に逃げる。このことから、外気が乾燥箱22に中に侵入することを防止しつつ、ドライエアによって乾燥箱22の中を所定の乾燥状態に保持することができる。換言すれば、ノズル40を仮に入口34に向けて若干傾斜して配置したときには、ノズル40から吐出されたドライエアによって入口34に向けて一方向に流れる気流が発生し、この気流によって出口36から乾燥箱22の中に入り込む外気の流れが発生してしまい、乾燥箱22の中を所定の乾燥状態に保持することが困難になる。
【0020】
以上、プリント基板を例に説明したが、これまでフロンのような揮発性物質によって洗浄を行ってきた液晶、半導体などの比較的薄く且つ平らな被洗浄物に対しても同じように適用可能であることは当業者であれば容易に理解できるであろう。また、水切り手段としてのエアスリット60、62から吐出するエアを例えば40℃の温風エアにするために、エアスリット60、62にエアを送るエア導気経路に加熱器を設置してもよい。エアスリット60、62から基板Wに向けて温風を当てることにより、基板Wの水切りだけでなく、基板Wの予備乾燥を行うことできる。同様に、ノズル40から吐出されるドライエアを例えば40℃の温風にするために、ノズル40にドライエアを送るエア導気経路に加熱器を設置してもよい。ノズル40から基板Wに向けて温風のドライエアを当てることにより、基板Wの乾燥を一層迅速且つ的確に行うことできる。
【0021】
また、ノズル40の代わりに、水切り手段として採用したエアスリット60、62のようなエアスリットを乾燥箱22の中の設置して、このエアスリットからドライエアを基板Wに向けて吐出するようにしてもよい。この場合も、エアスリットを基板Wに関して鉛直に配置すべきである。また、ノズル40の代わりに、図5及び図6に示すように、数多くの超極細パイプ70を乾燥箱22の中に配置してもよい。また、ノズル40の代わりに、図7に示すように、直径約0.1 〜0.15mm程度の孔72を搬送路1の横断方向に複数設けたドライエア吐出手段74であってもよく、図8に示すように、幅約0.1 〜0.15mm程度の比較的短いスリット76を搬送路1の横断方向に複数設けたドライエア吐出手段78であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の乾燥装置の一部切欠斜視図である。
【図2】本発明の実施例で採用した揺動ノズルの部分を抽出した部分正面図である。
【図3】本発明の実施例で採用した水切り用エアスリットの部分を抽出して示す部分斜視図である。
【図4】本発明の実施例の乾燥箱の中の気流の流れを説明するための概念図である。
【図5】本発明の変形例として、複数の極細パイプからなるドライエア吐出手段の一部を表す部分図である。
【図6】図5に示す極細パイプからなるドライエア吐出手段の全体的な構成を示す概念図である。
【図7】ドライエア吐出手段の変形例を示す図である。
【図8】ドライエア吐出手段の他の変形例を示す図である。
【符号の説明】
W プリント基板
1 基板の搬送路
20 乾燥装置
22 乾燥箱
34 乾燥箱の入口
36 乾燥箱の出口
40 ドライエア吐出用のノズル
60、62 水切り手段としてのエアスリット
Claims (12)
- 液体で洗浄した比較的薄く且つ平らな被洗浄物を洗浄工程から搬出するための搬送路に設置され、該搬送路を通る前記被洗浄物が通過することのできる入口と出口とを備えた密閉乾燥箱と、
該乾燥箱の中に設置され、前記搬送路を通る前記被洗浄物に向けてドライエアを吐出するドライエア吐出手段とを含み、
前記入口及び出口が前記被洗浄物の通過を許すことのできる比較的小さな開口面積に設定され、
前記ドライエア吐出手段が、前記密閉乾燥箱の内部を乾燥状態に保持するように、少なくとも該被洗浄物の移動方向に関して垂直に該被洗浄物に対してドライエアを吐出するように配置され、被洗浄物に対して吐出されたドライエアは、入口及び出口を通じて外部に逃げ、
ドライエアの露点は、−70℃乃至−80℃であることを特徴とする乾燥装置。 - 前記ドライエア吐出手段が、前記搬送路を横断する方向に並んで配置された複数の比較的小さな開口面積の吐出口で構成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の乾燥装置。
- 前記ドライエア吐出手段が、複数のノズルで構成され、該ノズルの各々が、前記搬送路を横断する方向に揺動運動する、ことを特徴とする請求項1に記載の乾燥装置。
- 前記ドライエア吐出手段が、エアスリットで構成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の乾燥装置。
- 前記ドライエア吐出手段が、複数の超極細パイプで構成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の乾燥装置。
- 前記乾燥箱の上流側に隣接して配置されて前記被洗浄物をウエットの状態にするための水切り用のエア吐出手段を更に有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の乾燥装置。
- 前記ドライエア吐出手段にドライエアを供給するための導気経路に設けられ、前記ドライエアを暖めるための加熱手段を更に含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の乾燥装置。
- 前記水切り用のエア吐出手段にエアを供給するための導気経路に設けられ、前記エアを暖めるための加熱手段を更に含む、請求項6に記載の乾燥装置。
- 前記乾燥箱が、前記搬送路を横断する方向に延びる略直方体の形状を備えている、ことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の乾燥装置。
- 前記入口及び前記出口が、前記搬送路を横断する方向に延びる細長い矩形の形状を備えている、ことを特徴とする請求項9に記載の乾燥装置。
- 比較的薄く且つ平らな被洗浄物を液体で洗浄する洗浄装置と、
該洗浄装置から被洗浄物を搬出するための搬送路に設置され、該搬送路を通る前記被洗浄物が通過することのできる入口と出口とを備えた密閉乾燥箱と、
該乾燥箱の中に設置され、前記搬送路を通る前記被洗浄物に向けてドライエアを吐出するドライエア吐出手段とを含み、
前記入口及び出口が前記被洗浄物の通過を許すことのできる比較的小さな開口面積に設定され、
前記ドライエア吐出手段が、前記密閉乾燥箱の内部を乾燥状態に保持するように、少なくとも該被洗浄物の移動方向に関して垂直に該被洗浄物に対してドライエアを吐出するように配置され、被洗浄物に対して吐出されたドライエアは、入口及び出口を通じて外部に逃げ、
ドライエアの露点は、−70℃乃至−80℃であることを特徴とする洗浄を含む乾燥システム。 - 前記乾燥箱の上流側に隣接して配置されて前記被洗浄物をウエットの状態にするための水切り用のエア吐出手段を更に有することを特徴とする請求項11に記載の洗浄を含む乾燥システム。
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