JP3928954B2 - 複数の酸不安定部分を含むペンダント基を有するポリマーを含んだレジスト組成物 - Google Patents
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Description
(a)本発明のレジスト組成物からなる表面層を有する基板を用意すること、
(b)レジスト層をイメージング放射でパターンどおりに露光し、それによってレジスト層の一部分を放射で露光すること、および
(c)このレジスト層を水性アルカリ現像液と接触させて、レジスト層の露光部分を除去して、パターン形成されたレジスト構造を生み出すこと
を含む。
(i)Xは、隣接するカルボキシル部分の酸素とそれぞれ少なくとも1つの酸不安定結合を形成し、または自体が複数の酸安定性部分を含み、あるいはその両方を行う成分であり、
(ii)Mは、エチレン部分および環状オレフィン部分からなる群から独立に選択された好ましくは重合性の主鎖部分、または適当には他の重合可能な部分であり、
(iii)Zは、シクロアルキル、線状アルキル(C1〜C3)からなる群から独立に選択された部分、または適合する他のスペーサ部分であり、
(iv)pは独立に0または1であり、
(v)Qはバルク末端基である。
塩化メチレン600ml中に2,5−ジメチル−2,5−ヘキサンジオールを43.4g(0.297モル)含む溶液に、トリエチルアミン30.0g(0.297モル)を室温で加えた。この溶液を〜10℃まで冷却した。この溶液に、塩化メチレン250mlに1−アダマンタン塩化カルボニル65.0g(0.327モル)を溶解した溶液を、漏斗によって5時間かけて加えた。添加完了後、この反応混合物を還流条件下で17時間攪拌した。この反応混合物をろ過して、反応中に形成された塩酸トリエチルアミンを除去した。ろ液を水(×400ml)で3回洗浄し、無水硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。この濃縮液を、クロマトグラフィ・カラム(シリカ・ゲル;ヘキサン/塩化メチレン:1/1)に通し、生成物63.9gを得た。この生成物は、NMRスペクトロスコピーによって、2−(1−アダマンタンカルボキシルオキシ)−2,5−ジメチル−5−ヘキサノールと同定された。
PALMメタクリラート(PALM)5.7g(0.0156モル)、イソボルニルメタクリラート(IBMA)3.48g(0.0156モル)、およびa−メタクリロリルブチロラクトン(GBLMA)4.0g(0.0235モル)をTHF75.5gに溶解した溶液に、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)0.135g(0.000821モル)を加えた。この反応混合物を窒素雰囲気中で長時間かけて還流状態とし、還流条件下で42時間攪拌した。重合完了後、反応混合物を室温まで冷却し、メタノール(1.2L)中で沈殿させ、1時間撹拌し、ろ過した。ろ過された(PALM−IBMA−GBLMA)ポリマーを50℃の減圧下で一晩乾燥した。
リソグラフィ実験のため、下記の材料を一緒にすることによって、PALM−IBMA−GBLMA共重合体を含むレジスト配合物を調製した。下記材料は重量部で表されている。
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタート 87.6
PALM−IBMA−GBLMA共重合体 12
ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムペルフルオロオクタンスルホナート 0.36
ペルフルオロブチルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]−ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド 0.06
水酸化テトラブチルアンモニウム 0.024
Claims (10)
- (a)イメージング・ポリマーと、
(b)放射感受性酸発生剤とを含み、
前記イメージング・ポリマーが単量体単位を含み、
前記単量体単位が、自体の重合性部分からぶら下がったペンダント基を有し、
前記ペンダント基(PALM基)が複数の酸不安定部分を含み、
前記PALM含有単量体単位が、下記式(I)で表される構造であることを特徴とする
レジスト組成物。
- 前記Qが、ノルボルニル、アダマンチル、及び、飽和融合多環式炭化水素よりなる群から選ばれた構造を1つ以上含むバルク末端基である請求項1に記載の組成物。
- 前記PALM含有単量体単位が、環状オレフィン部分およびエチレン部分からなる群から選択された主鎖部分を含む、請求項1に記載の組成物。
- 前記イメージング・ポリマーがさらに、(a)水性アルカリ溶液中での前記レジストの溶解を抑制するPALM基以外の酸不安定部分を含む環状オレフィン単量体単位、(b)水性アルカリ溶液中での前記レジストの溶解を促進する極性部分を含む環状オレフィン単量体単位、(c)ペンダント・ラクトン部分を含む環状オレフィン単量体単位、(d)非極性かつ非酸不安定であるペンダント部分を含みまたはペンダント部分を含まない環状オレフィン単量体単位、(e)前記PALM含有単量体単位とフリーラジカル共重合できる非環状オレフィン単量体単位、および(f)前記PALM含有単量体単位と付加重合できる非環状オレフィン単量体単位からなる群から選択された少なくとも1つの単量体単位を含む、請求項1に記載の組成物。
- (i)前記レジスト組成物が、前記イメージング・ポリマーの重量の少なくとも0.5重量%の前記放射感受性酸発生剤を含み、(ii)前記イメージング・ポリマーが、少なくとも20モル%のPALM含有単量体単位を含む、請求項1に記載の組成物。
- 請求項1ないし6のいずれかに記載のレジスト組成物を使用して、パターン形成された材料構造を基板上に形成する方法において、前記材料が、半導体、セラミックおよび金属からなる群から選択される方法であって、
(A)前記材料の層を有する基板を用意すること、
(B)請求項1ないし6のいずれかに記載のレジスト組成物を前記基板に塗布して、前記基板上にレジスト層を形成すること、
(C)前記基板を放射でパターンどおりに露光し、それによって前記放射による前記レジスト層の露光領域に前記酸発生剤によって酸を発生させること、
(D)前記基板を水性アルカリ現像液と接触させ、それによって前記レジスト層の前記露光領域を前記現像液によって選択的に溶解して、パターン形成されたレジスト構造を出現させること、および
(E)レジスト構造パターン中の空間を通して前記材料層をエッチングすることによって、前記レジスト構造パターンを前記材料層へ転写すること
を含む方法。 - 前記材料層と前記レジスト層の間に少なくとも1つの中間層が提供され、前記段階(E)が、前記中間層を通してエッチングすることを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記放射の波長が193nmである、請求項7に記載の方法。
- 前記段階(C)と(D)の間に前記基板をベークする、請求項7に記載の方法。
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