JP3920731B2 - 相変化型光記録媒体 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電磁波、特にレーザ光を照射することにより記録層材料に光学的な変化を生じさせ、情報の記録、再生、消去及び書き換えを行うことができる高速、大容量、高密度記録が可能な相変化型光記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】
電磁波、特にレーザ光等の光ビームの照射による情報の記録、再生、消去を行うことができ、書き換え、即ちオーバーライトが可能な光記録媒体の一つとして、結晶−非結晶相間、又は、結晶−結晶相間の相転移を利用する、いわゆる相変化型光ディスクが知られている。この相変化型光ディスクは、単一ビームによるオーバーライトが可能であり、ドライブ側の光学系が単純な為に、コンピューターやAV関連の記録媒体として使用されている。
このような相変化型光ディスクの記録材料としては、これまでGe−Te系、Ge−Te−Se系、In−Sb系、Ga−Sb系、Ge−Sb−Te系、Ag−In−Sb−Te系等の相変化合金が用いられている。特に、Ag−In−Sb−Te系合金は、高感度で記録マークのアモルファス部の輪郭が明確であるという特徴を有し、マークエッジ記録用材料として使用されている。
Ag−In−Sb−Te系合金としては、特開平3−231889号、特開平4−191089号、特開平4−232779号各公報に開示されている。類型のAg−In−Sb−Te系合金としては、特開平4-267192号、特開平5−345478号各公報に開示されている。
【0003】
しかし、上記記録材料は、CD−RW(Compact Disk−Rewritable)等の比較的低い記録密度を有する記録媒体として用いられるものであり、例えばDVD(Digital Versatile Disk)−RAMやDVD−RW等に適用する場合には、記録線速が3.5m/s(1倍速)程度の低速ではオーバーライト可能であるが、2倍速以上になるとオーバーライト特性が劣下するという問題を有する。この劣化の原因は、上記相変化合金からなる記録材料の結晶化速度が遅いため、高線速下でのオーバーライトが困難になる為である。
この対策として相変化合金の成分であるSbの組成量を増加して結晶化速度を速くすることもできるが、この場合にはSb量の増加により結晶化温度が低下してしまい、記録媒体の保存時における特性劣化(保存特性)が大きくなるという問題がある。
上記保存時における特性劣化の問題を解決する方法として、Ag−In−Ge−Sb−Te系相変化合金からなる記録材料を用いることが特開平2000−322740号公報に開示されている。
この記録材料は、記録線速が3.0〜20m/sの範囲ではオーバーライト可能であるが、更に高記録線速の場合、即ち20m/sよりも高速の場合には対応することができない。
【0004】
一方、高速結晶化材料としてGaSb系相変化合金が報告されている(“Phase−change Optical data storage in GaSb”Applied optics/vol.26、No.22115 November 1987)。
このGaSb系合金は、結晶化速度が極めて速いと報告されているが、結晶化温度が350℃と極めて高い為、記録材料を未記録状態とするための初期化工程における初期結晶化が困難であるという難点がある。
更に、GaSb系相変化合金にMo、W、Ta、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、As、Bi、S、Se、Te等を添加し、特性の向上を試みたものが、米国特許第4,818,666号、同5,072,423号に開示されているが、高速記録におけるオーバーライト特性、変調度、そして保存信頼性を同時に満足するものではない。
上記の様に種々の相変化記録材料が報告されているが、何れも書き換え可能相変化型光記録媒体として要求される特性を全て満足し得るものとは云えなかった。更に現在では、DVD−ROMと同様な高密度記録容量であり、しかも記録線速が更に高速化(〜35m/s)された場合に対応でき、オーバーライト特性、変調度、そして保存信頼性を同時に満足するような書き換え可能相変化型光記録媒体を実現するための相変化記録材料の開発が課題となっている。
【0005】
非晶質と結晶相との間の相転移を利用する記録媒体において、35m/sの高記録線速下でもオーバーライトができるためには、レーザビーム径を1μmφとした場合に、レーザビームが35m/sの線速で回転するディスク(Disk)上の一点を横切る速度が約29nsec(ナノ秒)であることから、相変化記録媒体に要求される結晶化時間は29nsec程度であることが計算により求められる。
更に高密度記録のDVDでは、使用する光学系のレーザ波長が650nmと従来の780nmより短くなるために、そのビーム径も1μmφより小さくなり、レーザビームが35m/sの線速で回転するディスク上の一点を横切る速度は、更に29nsecよりも短くなる。例えば、ビーム径を0.7μmφとすると、一点を横切る時間は約20nsecとなり、このような短時間でオーバーライト、即ち古いマークを消去(結晶化)して新しいマークを書き換えることが要求される。
前述の従来技術であるAg−In−Sb−Te系、GaSb系、Ge−Sb−Te系各合金においてもこの時間内で高速結晶化することは可能であるが、保存信頼性や初期結晶化に問題があり、35m/sの線速で全ての要件を満足できるような記録材料は無かった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、DVD−ROM並に大容量で、記録線速が25m/s以上の高線速を含む3.5m/sから35m/sまでの広範囲であっても、十分な変調度を確保でき、オーバーライトの繰り返し特性が良好で保存信頼性の高い相変化型光記録媒体を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、次の1)〜6)の発明(以下、本発明1〜6という)によって解決される。
1) 基板上に少なくとも相変化記録材料からなる記録層を設け、該記録層に電磁波を照射して可逆的相変化を生起し、該相変化に伴なう光学定数の変化を利用して情報の記録、再生、消去及び書き換えを行なう相変化型光記録媒体において、該相変化記録材料が、少なくともGa又はInと、Sb、Zr、Mgを含む相変化合金であることを特徴とする相変化型光記録媒体。
2) 前記相変化合金の組成式を、AαSbβZrγMgδ(式中、AはGa又はIn、α、β、γ、δは原子%、α+β+γ+δ=100)とする時、α、β、γ、δがそれぞれ下記の範囲にあることを特徴とする1)記載の相変化型光記録媒体。
Figure 0003920731
3) 前記相変化合金が、更にAl、C、N、Se、Snの中から選ばれる一つの元素を含有することを特徴とする請求項1又は2記載の相変化型光記録媒体。
4) 前記相変化合金の組成式を、AαSbβZrγMgδXε(式中、AはGa又はIn、XはAl、C、N、Se、Snの中から選ばれる一つの元素、α、β、γ、δ、εは原子%、α+β+γ+δ+ε=100)とする時、α、β、γ、δ、εがそれぞれ下記の範囲にあることを特徴とする3)記載の相変化型光記録媒体。
Figure 0003920731
5) 基板上に相変化記録材料からなる記録層と反射層とを設け、更に基板と記録層の間及び/又は記録層と反射層の間に耐熱保護層を設けたことを特徴とする1)〜4)の何れかに記載の相変化型光記録媒体。
6) 前記反射層の表面に環境保護層を設けたことを特徴とする5)記載の相変化型光記録媒体。
【0008】
以下、上記本発明について詳しく説明する。
本発明者らは、上記課題を解決する為、記録媒体の記録層を構成する材料に着目して鋭意研究を重ねた結果、記録材料として、Ga又はInと、Sb、Zr、Mgを含む相変化合金を用いれば上記課題を解決できること、更に、該相変化合金にAl、C、N、Se、Snの中から選ばれた一つの元素を添加することにより、Al、C、N、Seの場合は保存信頼性が、Al、Snの場合は高速結晶化が一層向上することを見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
即ち、本発明では、記録層を構成する材料としてGaSb合金の持つ高速結晶化特性に注目し、このGa又は同属のInと、Sbとを高速結晶化のための構成元素として利用する一方、GaSb合金の欠点である高い結晶化温度により生じる初期結晶化の困難さを、Mgを加えることにより解決した。
Mgを加えることによりGaSb合金の結晶化温度が下がり、更に高速結晶化が実現すると共に十分高い変調度を獲得することができた。Gaの代りにInを用いた時もMgの効果は同じである。また、上記合金に更にZrを加えることによって記録層の保存信頼性とオーバーライト特性の向上を実現した。
【0009】
上記のようなGa又はInと、Sb、Zr、Mgを含む相変化合金の高速結晶化の詳細は明らかでないが、GaSb合金の最隣接原子間距離が非結晶の場合に2.65Å、結晶相の場合に2.64Åと極めて近い為に、結晶化の際、僅かな原子の移動で結晶化が行われる為と思われる。InSb合金の最隣接原子間距離は不明であるが、GaSb合金の場合と同様な考えが適用されると考えられる。
またMgの添加による結晶化温度の低下は、Ga又はInやSbに対するMgの共有結合力が弱い為に、Ga−Sb−Mg又はIn−Sb−Mg合金の結合力を低下させる為と考えられる。この結果、原子の再配列を容易にするので結晶化速度を増すことができる。更にMgを加えることにより、GaSb又はInSbと較べて、その非晶相と結晶相の構造の変化が大きくなり、相変化に伴う二相間の光学定数の変化が大きくなる結果、十分な変調度を実現することができる。
またZrを加えることによって保存信頼性とオーバーライト特性が向上する理由の詳細は不明であるが、Zrを添加すると、その融点の高さにより物質流動を抑制してオーバーライト特性を向上させるものと考えられる。更に、Zrは不動体を形成し易いため酸化の進行を遅くし保存信頼性を向上させるものと考えられる。
【0010】
本発明1〜2によれば、上記組成の相変化合金を記録層に用いることにより、DVD−ROM並に大記録容量で、記録線速が25m/s以上の高線速を含む3.5m/sから35m/sまでの広範囲であっても、十分な変調度特性、良好なオーバーライトとその繰り返し特性、高い保存信頼性を有する相変化型光記録媒体が得られる。
本発明3〜4によれば、上記組成の相変化合金を記録層に用いることにより、XがAl、C、N、Seの場合には保存信頼性を、XがAl、Snの場合には高速結晶化が一層向上した相変化型光記録媒体が得られる。
本発明5〜6によれば、上記層構成とすることにより、大容量、高記録線速下における変調度確保、オーバーライトの繰り返し特性維持、保存信頼性保持が確実に達成された相変化型記録媒体が得られる。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の相変化型光記録媒体においては、基板上に構成層として記録層の他、耐熱保護層、反射層、環境保護層等を設けることができ、目的や要求特性に応じて構成層の形態が選ばれる。本発明の相変化型光記録媒体を図面に基づいて説明する。
本発明の相変化型光記録媒体は、例えば図1〜図4に示したような構成とすることができる。即ち、基板1上に第一耐熱保護層2、記録層3、第二耐熱保護層4、反射層5が順次設けられた構成(図1)とするか、或いは図1の構成の反射層5上に、更に環境保護層6が設けられた構成(図2)とすることができる。また、耐熱保護層は必ずしも記録層3の両側に設ける必要はないが、基板1がポリカーボネート樹脂のように耐熱性が低い材料の場合には、図3、図4に示すように基板1と記録層3との間に第一耐熱保護層2を設け、記録層3と反射層5との間の構成層(図1、図2における第二耐熱保護層4)を省いた構成とすることもできる。なお、これらの構成は実施の形態を説明するための例であって他の構成でもよいが、通常図2の構成形態が好ましい。
【0012】
次に各構成層について説明する。
基板1に用いられる材料としては、一般にガラス、セラミックス、樹脂などが挙げられるが、成形性、コストの点から樹脂製基板が望ましい。
樹脂の代表例としては、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、ABS樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられるが、加工性、光学特性等の点からポリカーボネート樹脂が好ましい。
また、基板1の形状は、ディスク状、カード状、シート状などの何れであってもよい。
【0013】
耐熱保護層(第一耐熱保護層2又は第二耐熱保護層4)に用いられる材料としては、SiO、ZnO、ZrO等の金属酸化物;AlN、Si、TiN等の窒化物;ZnS、In、TaS等の硫化物;SiC、TiC、ZrC等の炭化物等が挙げられる。
また、耐熱保護層の形成には、各種気相製膜法(真空蒸着、スパッタリング、プラズマ、光CVD、イオンプレーティング等)が用いられる。
例えば、(ZnS)・(SiO)を用いてスパッタリング法により膜形成を行うことにより耐熱保護層、即ち誘電体層が形成される。
この誘電体層は、耐熱保護層としての機能と光干渉層としての機能を有することから、これらの機能が最大限に発揮されるように層形成する必要がある。
そのためには、膜厚を200〜3000Å、好ましくは350〜2000Åとすることが好ましい。200Å未満の場合は、耐熱保護層としての機能が失われ、一方、3000Åを越えると界面剥離が生じ易くなるので好ましくない。
【0014】
記録層3に用いられる本発明の相変化合金としては、前述の通り、組成式を、AαSbβZrγMgδ(式中、AはGa又はIn、α、β、γ、δは原子%、α+β+γ+δ=100)とする時、α、β、γ、δがそれぞれ次の範囲にあるものが好ましい。
Figure 0003920731
ここで、実験によれば、αとβがそれぞれ6原子%及び45原子%より少ないと結晶化速度が低下し、35m/sの記録線速下でのオーバーライトが困難となる。一方、αとβがそれぞれ50原子%及び90原子%よりも多いとオーバーライトの繰り返し可能回数が低下する。また、γが0.5原子%より少ないと保存信頼性とオーバーライト特性が低下し、γが5原子%より多いと結晶化速度と記録感度が低下する。また、δが1原子%より少ないとAがGaの場合には結晶化温度が低くならず初期結晶化が困難になるし、AがGa、Inの何れの場合も結晶化速度が遅くなり35m/sの高線速下でのオーバーライトが困難となり、変調度を確保できなくなる。また、δが6原子%より多いと保存信頼性が低下する。
【0015】
記録層3に用いられる更に好ましい相変化合金としては、Ga又はInと、Sb、Zr、Mgからなる記録材料に、Al、C、N、Se、Snの中から選ばれる一つの元素を加えたものが挙げられる。Al、C、N、Seを加えた場合には保存信頼性が一層向上し、Al、Snを加えた場合には結晶化速度が一層向上し35m/sのような高線速下でも余裕のあるオーバーライトが可能となる。
相変化合金中の上記添加元素の組成割合をε原子%とすると1≦ε≦3の範囲が好ましい。εが1原子%より少ないと、Al、C、N、Seの場合には保存特性の一層の向上が望めず、Al、Snの場合には一層の高速結晶化は難しい。また、εが3原子%より多いと、Al、C、N、Seの場合には記録感度が低下するし、Snの場合には結晶化温度が低下し保存信頼性が低下する。
ε以外のα、β、γ、δの数値限定及びその理由については、前述した本発明2の場合と同様である。
記録層3の膜形成は、前記と同様の各種気相成膜法、例えばスパッタリング法により行うことができ、その膜厚は100〜1000Å、好ましくは、200〜350Åである。
100Åより薄いと光吸収能が低下して記録層としての機能を失うし、1000Åより厚いと透過光が少なくなるため、干渉効果が期待できなくなる。
【0016】
反射層5は放熱機能も求められるので、その材料としては、高速記録に対応できる高熱伝導性のAg、Au、Cu等の金属や合金、中でもAg合金が好ましく用いられる。その膜形成は、前記と同様の各種気相成膜法、例えばスパッタリング法により行うことができる。
膜厚は、500〜2000Å、好ましくは、700〜1500Åである。
環境保護層6に用いられる材料としては、作業性が良く、均一な薄膜形成が可能であり、記録媒体用としての機能を満足する耐環境性の優れた材料であれば制約はないが、スピンコート等の手法によって薄膜が形成できるエポキシ樹脂やアクリル樹脂等の樹脂材料が好ましい。
本発明の相変化型光記録媒体の記録、再生、消去、書き換えには、電磁波(可視光、紫外線、赤外線、電子線等)が用いられるが、光学系の搭載性、小型化などから特に半導体レーザ光等の光ビームが好適である。
【0017】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明は、これらの実施例によって何ら限定されるものではない。
【0018】
実施例1
トラックピッチ0.7μm、溝深さ400Å、厚さ0.6mm、直径120mmφのポリカーボネート基板1上に、(ZnS)80(SiO20からなる厚さ750Åの第一耐熱保護層2、Ga10Sb88ZrMgからなる厚さ150Åの記録層3、(ZnS)80(SiO20からなる厚さ300Åの第二耐熱保護層4、Ag合金からなる厚さ950Åの反射層5をスパッタリング法により順次設け、更に反射層5の上に、スピンコート法によりアクリル樹脂からなる厚さ約5nmの環境保護層6を設けて、図2に示す層構成の評価用相変化型光記録媒体を作製した。
表1に各構成層の材料組成と膜厚を示す。
【0019】
実施例2〜15
実施例1において、記録層3として用いたGa10Sb88ZrMgに代えて、次の各材料を用いた点以外は、実施例と全く同様にして実施例2〜15の評価用相変化型光記録媒体を作製した。
・In30Sb67ZrMg (実施例2)
・GaSb88ZrMgAl (実施例3)
・In29Sb67ZrMgSn (実施例4)
・GaSb87ZrMgSn (実施例5)
・In29Sb67ZrMgAl (実施例6)
・Ga10Sb87ZrMgSe (実施例7)
・In29Sb67ZrMgSe (実施例8)
・GaSb87ZrMg (実施例9)
・In29Sb67ZrMg (実施例10)
・Ga10Sb87ZrMg (実施例11)
・In30Sb67ZrMg (実施例12)
・Ga48Sb49ZrMg (実施例13)
・In48Sb49ZrMg (実施例14)
・Ga48Sb48ZrMgSn(実施例15)
表1に実施例2〜15の各構成層の材料組成と膜厚を纏めて示す。
【0020】
【表1】
Figure 0003920731
【0021】
比較例1〜10
各構成層の材料組成と膜厚を表2に示す通りとした点以外は実施例1と全く同様にして比較例1〜10の評価用相変化型光記録媒体を作製した。なお、表2に示す様に、記録層、第二耐熱保護層及び反射層の膜厚は、比較例により異なっている。
【0022】
【表2】
Figure 0003920731
【0023】
上記実施例1〜15及び比較例1〜10で得られた評価用相変化型光記録媒体の記録層は非晶質であり、評価に際して記録媒体を初期結晶化(初期化)し未記録状態とした。なお、実施例1〜15及び比較例1、3、5の各評価用相変化型光記録媒体については、高出力半導体レーザを用い、出力700mWで初期化を行った。しかし、比較例1、3、5の場合には、同レーザによる出力700mWではうまく初期化できず、そのため1100mWの条件で初期化した。
初期化の後、各評価用相変化型光記録媒体(記録媒体)の再生信号特性、保存特性を評価した。
評価に際しては、記録線速、記録パワーをそれぞれ3.5m/s(10mW)、15m/s(16mW)、25m/s(26mW)、35m/s(36mW)に設定して行った。また、記録用レーザの波長を650nmとし、EFM(Eight Fourteen Modulation、8−14変調)ランダムパターンでオーバーライトの繰り返しを行い、再生信号特性の評価は3T信号のジッタ値と、14T信号の変調度で行った。また、保存特性は1000回オーバーライトした記録媒体を80℃、85%の温湿下で300時間保持した後の、オーバーライト1000回目における3T信号のジッタ値と14T信号の変調度で評価した。
実施例1〜15及び比較例1〜10の評価結果を表3〜表5に纏めて示す。
【0024】
【表3】
Figure 0003920731
【0025】
【表4】
Figure 0003920731
【0026】
【表5】
Figure 0003920731
【0027】
表3〜表5から明らかな様に、本発明の相変化合金からなる記録材料を用いて構成された記録媒体は、高記録線速、特に従来技術では困難であった25m/s以上の高線速を含む3.5m/s〜35m/sの広い範囲でオーバーライトが可能であり、その再生信号のジッタ値と変調度も良好であり、保存信頼性とオーバーライト繰り返し特性に優れていることが分る。
これに対し、記録材料として、従来技術であるGa50Sb50、In50Sb50の組成の合金、或いはGa12Sb88、In32Sb68の共晶組成の合金を用いた比較例1〜4の記録媒体は、高記録線速下でのオーバーライトは可能であるが、本発明の記録材料を用いた記録媒体と比較してジッタ値、変調度、保存信頼性及びオーバーライト特性が劣っている。更に、GaSb系合金は初期化が難しい。
【0028】
また、GaSb系、InSb系各合金にZrを加えた比較例5、7の記録媒体の場合は、保存信頼性とオーバーライト繰り返し特性は改善されているものの、ジッタ値、変調度は改善されていない。更に、GaSb系合金の場合は、初期化が非常に難しい。
また、GaSb系、InSb系各合金にMgを加えた比較例6、8の記録媒体の場合は、ジッタ値、変調度は大きく改善されているが、オーバーライト繰り返し特性と保存信頼性が低下する。初期化に関しては、Mgを加えることによりGaSb系合金でも初期化パワーが1100mWから700mWまで低下し、初期化が容易になった。
また、比較例9はGaSb系合金にSnを加えたもので、広い記録線速の範囲で良好なジッタ値を示すが、保存信頼性が良くない。
また、比較例10のAg−In−Sb−Te系合金は、線速が25m/s及び35m/sではオーバーライトが不可能であった。
【0029】
【発明の効果】
本発明1〜2によれば、DVD−ROM並の大記録容量で、記録線速が25m/s以上の高線速を含む3.5m/sから35m/sまでの広範囲であっても、十分な変調度特性、良好なオーバーライトとその繰り返し特性、高い保存信頼性を有する相変化型光記録媒体を提供できる。
本発明3〜4によれば、保存信頼性或いは高速結晶化が一層向上した相変化型光記録媒体を提供できる。
本発明5〜6によれば、大容量、高記録線速下における変調度確保、オーバーライトの繰り返し特性維持、保存信頼性保持が確実に達成された相変化型記録媒体を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の相変化型光記録媒体の実施の形態を説明するための層構成例を示す断面図である。
【図2】本発明の相変化型光記録媒体の実施の形態を説明するための他の層構成例を示す断面図である。
【図3】本発明の相変化型光記録媒体の実施の形態を説明するための更に他の層構成例を示す断面図である。
【図4】本発明の相変化型光記録媒体の実施の形態を説明するための更に他の層構成例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 基板
2 第一耐熱保護層
3 記録層
4 第二耐熱保護層
5 反射層
6 環境保護層

Claims (6)

  1. 基板上に少なくとも相変化記録材料からなる記録層を設け、該記録層に電磁波を照射して可逆的相変化を生起し、該相変化に伴なう光学定数の変化を利用して情報の記録、再生、消去及び書き換えを行なう相変化型光記録媒体において、該相変化記録材料が、少なくともGa又はInと、Sb、Zr、Mgを含む相変化合金であることを特徴とする相変化型光記録媒体。
  2. 前記相変化合金の組成式を、AαSbβZrγMgδ(式中、AはGa又はIn、α、β、γ、δは原子%、α+β+γ+δ=100)とする時、α、β、γ、δがそれぞれ下記の範囲にあることを特徴とする請求項1記載の相変化型光記録媒体。
    Figure 0003920731
  3. 前記相変化合金が、更にAl、C、N、Se、Snの中から選ばれる一つの元素を含有することを特徴とする請求項1又は2記載の相変化型光記録媒体。
  4. 前記相変化合金の組成式を、AαSbβZrγMgδXε(式中、AはGa又はIn、XはAl、C、N、Se、Snの中から選ばれる一つの元素、α、β、γ、δ、εは原子%、α+β+γ+δ+ε=100)とする時、α、β、γ、δ、εがそれぞれ下記の範囲にあることを特徴とする請求項3記載の相変化型光記録媒体。
    Figure 0003920731
  5. 基板上に相変化記録材料からなる記録層と反射層とを設け、更に基板と記録層の間及び/又は記録層と反射層の間に耐熱保護層を設けたことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の相変化型光記録媒体。
  6. 前記反射層の表面に環境保護層を設けたことを特徴とする請求項5記載の相変化型光記録媒体。
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