JP3919328B2 - 含フッ素化合物ガスの分解剤およびその製造法 - Google Patents
含フッ素化合物ガスの分解剤およびその製造法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3919328B2 JP3919328B2 JP09823198A JP9823198A JP3919328B2 JP 3919328 B2 JP3919328 B2 JP 3919328B2 JP 09823198 A JP09823198 A JP 09823198A JP 9823198 A JP9823198 A JP 9823198A JP 3919328 B2 JP3919328 B2 JP 3919328B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorine
- containing compound
- gas
- compound gas
- decomposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Fire-Extinguishing Compositions (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は,含フッ素化合物ガスを分解するための分解剤およびその製造法に関する。本明細書において,「含フッ素化合物ガス」とは,炭素数が1〜6の炭化水素類の水素の一部または全部をフッ素で置換した弗化炭素類,これら弗化炭素類のフッ素の一部または水素の一部がフッ素以外のハロゲン元素で置換されたハロゲン化弗化炭素類,さらには,窒素または硫黄のフッ素化合物例えばNF3やSF6等の,常温常圧で気体状の化合物,或いは常温では液体であるが他の不活性ガスが同伴すると0.01容量%以上のその蒸気を含む混合ガスを生成する化合物を言う。
【0002】
【従来の技術】
前記に定義した含フッ素化合物ガスは熱的に安定であり,熱媒体として,或いは半導体製造プロセスにおけるエッチング用やクリーニング用のガスとして利用されているが,大気中に放出されると,分解されないまま成層圏に達してオゾン層を破壊したり,大気中に滞留して地球温暖化に影響を及ぼすことが懸念されており,使用後には分解することが好ましいとされている。すなわち,使用済の含フッ素化合物ガスは無害物質に分解されることが必要である。
【0003】
従来より,かような含フッ素化合物ガスを分解する技術として,燃焼分解法,反応剤分解法,触媒分解法等が提案されている。このうち分解作用をもつ反応剤を用いる反応剤分解法は,設備的にも費用的にも,また二次処理の簡易さにおいても他の方法にない利点がある。
【0004】
このような含フッ素化合物ガスの分解法として,固体状炭素とアルカリ土類金属の酸化物を含有した分解剤を使用する方法を本願と同一出願人らは開発した(例えば特開平6−293501号 特開平7−24255号,特開平8−187302号公報,特開平9−24242号公報,特開平9−24243号公報,特開平10−15349号公報)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前記の反応剤分解法に用いる分解剤は,原材料費用に加えて種々の製造工程を経るので製造費用も嵩むという問題がある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決する手段として,本発明によれば,酸化鉄原料,炭素質還元剤および石灰質系添加剤を容器内に装填して900℃以上鉄の融点以下の温度に加熱して酸化鉄原料を鉄粉にまで還元したあと,この還元処理物から還元鉄粉を分離して得た還元残渣物からなる含フッ素化合物ガスの分解剤を提供する。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明者らは,固相還元法による還元鉄粉製造の際に発生する廃材が含フッ素化合物ガスの分解剤として極めて有用な性能を有することを見い出した。
【0008】
粉状鉄鉱石を粉状炭素質材料で固相還元する鉄粉製造法はいわゆるヘガネス鉄粉法としてその原理が旧来より知られているが,工業的にこれを実施する場合には,耐火性容器(窯)内に酸化鉄原料(鉄鉱石,ミルスケール,硫酸滓等の酸化鉄の粉状物質)と炭素質還元剤(例えばコークス粉,チャー炭,木炭,活性炭等の粉状の炭素質材料)を装填すると共に,主として原材料中のS(硫黄)を固定するためのカルシウム源(通常は石灰粉)も同時に装填し,該容器に蓋をしてトンネル炉内を通炉させる。
【0009】
このようにして,容器内に装填された酸化鉄原料,炭素質還元剤および石灰質系添加剤を900℃以上鉄の融点以下の温度に加熱して酸化鉄原料を鉄粉にまで還元するのであるが,この還元処理を終えたあとは窯が冷えてから還元処理物を窯から取出し,この還元処理物から還元鉄粉を分離する工程に移す。この分離工程は通常は磁選機や分級機を用いる乾式の機械的方法で実施され,これによって還元鉄粉と還元残渣物とに分別される。分離された還元鉄粉は各種の用途例えば溶接棒用,粉末冶金用,発熱剤用,脱酸素剤用,その他に供される。他方,還元残渣物については,分級処理によって分別された100μm以上の粒度のものは炭素源を比較的多量に含有しているので,再度還元剤として使用可能であるが,100μm未満の粒度のものは再利用するには炭素源が少なく且つ再利用に適さない夾雑物も多いので,そのまま廃材となっている。
【0010】
このようにして副生する還元残渣物は,これまで他の利用方法がなかったのが実状である。ところが,この還元残渣物は含フッ素化合物ガスの分解剤として極めて有用な性質を自然に備えていることを本発明者らは見い出した。すなわち,後記の実施例に示すように,該還元残渣物に含フッ素化合物ガスを所要温度で接触させると,該化合物をほぼ完全に分解できることを知った。該還元残渣物は還元処理時に高温で処理されているので,一種の焼結処理がなされており,これを分析してみると,単体炭素分が約10〜40wt.%,CaO分として約20〜40wt.%,鉄分が約2〜15wt.%,硫黄分が約2〜15wt.%であって,これらの成分および反応物が一体的に混和された組織状態を有している。このようなことから,該還元残渣物はこのままで含フッ素化合物ガスの分解剤として極めて有用な性質を有しているものと考えられる。
【0011】
含フッ素化合物ガスとして用いる本発明の前記還元残渣物は,単体炭素分が少なくとも10wt.%以上,好ましくは20wt.%以上で,CaO分が約20wt.%以上,好ましくは30wt.%含有するものであるのがよく,したがって,この条件を満たすものであれば,還元処理物から還元鉄粉を磁選機で分離した状態のもの,これをさらに分級して得られた粗粒分および細粒分のいずれのものでも使用可能であるが,そのうちでも,磁選後のものを分級して得られた細粒分を使用するのが最も経済的である。しかし,磁選後のものを分級して得られた粗粒分はそれなりの大きな粒径を有しており且つ比較的ポーラスで強度も有する粒体であるので,特に二次処理を行わなくてもそのまま分解剤として使用できる形態を有している点で,細粒分のものにはない有利な面がある。
【0012】
また,該還元残渣物が単体炭素分やCaO分が比較的低濃度の成分組成を有するものとして得られた場合には,これを主原料として,これに適量の単体状炭素および/またはアルカリ土類金属の酸化物を配合して含フッ素化合物ガスの分解に適する形態に変えることができる。また,該還元残渣物が微粉状の形態で得られた場合にはこれを分解剤に適する大きさの粒子に造粒することもできる。
【0013】
還元残渣物を主原料として,これに単体状炭素および/またはアルカリ土類金属の酸化物を適量配合して分解剤を構成する場合には,還元残渣物に炭素質材料(例えばチャー炭,コークス,木炭又は活性炭など)とアルカリ土類金属の酸化物,水酸化物,または塩類等の化合物等を所望量混合して造粒するのがよい。造粒に際しては,水またはエタノール等を用いてペースト状とし,これを押し出し機等でペレット状とすることができ,ついで造粒品を乾燥処理するか,場合によっては熱処理を行う。熱処理を行う場合には,該造粒品を不活性ガス雰囲気下で300〜700℃の温度範囲で熱処理すればよい。このようにして,必要量の単体状炭素および/またはアルカリ土類金属の酸化物を含有した含フッ素化合物ガス分解剤が得られる。また,これらの配合物に加えて,必要に応じてアルカリ金属例えばカリウム等が含有されるように,アルカリ金属源を適量配合することもできる。
【0014】
反応剤を構成する単体状炭素とアルカリ土類金属の酸化物の相対割合は,両者の重量比で言えば,半々か後者の方が多めの方がよい。単体状炭素(C)と,アルカリ土類金属酸化物(MO)(Mはアルカリ土類金属)とのモル比で言えば,C/MOのモル比=0.9〜2.3,好ましくは0.9〜1.9,さらに好ましくは1.4〜1.9である。
【0015】
前記の単体状炭素およびアルカリ土類金属に加えてアルカリ金属が反応剤中に共存すると,共存しない場合に比べて分解温度を低下させても,高い分解率で弗化炭素類を分解することができるようになる。アルカリ金属としては,Li,Na,K,Rb,Csなどがあるが,Kが顕著に分解温度を低下させることができることが判明している。反応剤中のアルカリ金属量としては,アルカリ土類金属を1.0としたときの原子比で0.01〜0.3の範囲であればよく,この比が
0.3より多くなるように含有しても,その効果は飽和すること,また単体状炭素およびアルカリ土類金属の含有量が相対的に低下することから,好ましいことではない。またこの比が0.01未満では,分解温度を低下させる効果が見られない。好ましいアルカリ金属量はこの比が0.02〜0.2の範囲,さらに好ま
しくは0.03〜0.1の範囲である。
【0016】
アルカリ金属としてKを反応剤中に含有させるには水酸化物,炭酸塩,リン酸塩,アルミン酸塩,硝酸塩または硫酸塩等の化合物の形態で配合すればよく,これら化合物を単独で或いは複合して,粉状のものはそのまま,塊状のものは100μm以下に粉砕して配合すればよい。また,これら化合物の水溶液で添加することもできる。このように,反応剤中に適量のK成分が存在すると,低い分解温度でも十分な弗化炭素類が分解する理由については必ずしも明確ではないが,この場合には,分解に供する弗化炭素類の気体中に酸素が含まれていなくても(無酸素雰囲気下でも),低い温度で十分な分解が進行することから,反応剤の活性が高まるのであろうと推察される。
【0017】
このようにして構成した本発明に従う含フッ素化合物ガス分解剤は,分解しようとする含フッ素化合物ガスと,含フッ素化合物ガスの種類に応じて酸素の存在下もしくは不存在下で所要の温度で接触させると,効率よく分解することができる。例えば,パーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンは,酸素の存在下で300℃以上の温度で本発明の分解剤と接触させると効率よく分解させることができる。この場合の加熱温度の下限はパーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンの種類によって異なる。必要な温度を維持すれば,酸素が存在しない場合にも或る程度分解する。他方,クロロフルオロカーボン等の塩素含有のフロンガスの場合には,同じ反応剤を用いて同じように分解処理を行っても,酸素の存在はそれほど寄与することなく,非酸化性雰囲気の方がより分解が進行する場合もある。
【0018】
含フッ素化合物ガスが弗化窒素の場合には,本発明に従う分解剤と200℃以上の温度で接触させることにより効率よく分解できる。そのさい,分解剤との接触温度を200〜450℃の範囲とするか若しくは700℃以上とすると弗化炭素の副生を抑制でき,また分解剤との接触温度を350℃以上とすると窒素酸化物の副生を抑制できる。
【0019】
含フッ素化合物ガスが弗化硫黄の場合には,本発明に従う分解剤と300℃以上の温度で接触させることにより効率よく分解できる。そのさい,分解剤との接触温度を450℃以上とすると硫黄酸化物例えばSO2の副生を抑制できる。
【0020】
含フッ素化合物ガスが弗化窒素または弗化硫黄の場合には,単体状炭素およびアルカリ土類金属の一種または二種以上に加えて,さらにアルカリ金属の一種または二種以上を適量含有した分解剤を使用すると,アルカリ金属を含有しない場合に比べて,低域の温度域から窒素酸化物や硫黄酸化物の副生をより有利に抑制できる。
【0021】
いずれにしても,含フッ素化合物ガスを本発明の分解剤と接触させる場合には処理対象とする該ガスを不活性ガス例えば窒素ガスをキャリヤとして所定の温度に維持された分解剤に連続的または間欠的にに供給するようにするのが便宜である。図1にその分解法の例を示す。
【0022】
図1は,本発明法を実施する装置の一例を示したものである。図中の1は金属製の反応容器(管)であり,この中に本発明に従う分解剤2が装填される。図例のものは管状の反応容器1を縦型にしたものであり,分解剤2は容器内に固定した通気性床3の上に装填されている。反応容器1の金属管としてはステンレス鋼またはニッケル基合金からなる管を使用することができる。
【0023】
反応容器1は加熱炉4内に設置される。図示の加熱炉4は,通電により発熱する発熱体を用いた電気ヒータ5を熱源としたもので,この電気ヒータ5によって炉内雰囲気6の温度が所要の温度に昇温し,この炉内の熱が金属製反応容器壁を介して反応剤2に伝達される。炉内雰囲気6の温度を所要の温度に高めることができるものであれば,熱源としては電気ヒータに限られるものではない。例えば燃焼排ガスなどの高温ガスを熱源とすることもできる。
【0024】
このようにして加熱炉4内に設置される反応容器1には被処理ガス導入口7が設けられ,この被処理ガス導入口7は含フッ素化合物ガス(図例では弗化炭素ガス)を入れた弗化炭素容器8に配管接続される。弗化炭素容器8は必要に応じて加熱手段9により間接加熱できるようにしておき,この加熱により弗化炭素容器8内のガス圧を高める。また,容器8からのガス放出管10には流量調整弁11を介装する。図1の実施例では,弗化炭素容器8に加えて,酸素ガスボンベ12と窒素ガスボンベ13を別置きし,これらから,酸素ガスと窒素ガスをそれぞれ流量調整弁14,15を介装したガス放出管16,17を経ていったんガスヘッダー18に導くと共にこのヘッダー18に弗化炭素を導くことににより,弗化炭素ガスに酸素ガスを添加すると共にキャリヤとしての窒素ガスを混合し,このヘッダー18で混合された被処理ガスをガス供給管19を経て反応容器1の被処理ガス導入口7に送り込むようにしてある。
【0025】
なおこの例に限らず,含フッ素化合物ガス(被処理ガス),窒素および酸素を予め混合してなる混合ガスを一つの容器内に準備し,この混合ガスを直接的に被処理ガス導入口7に送り込むようにしてもよいし,被処理ガス容器8に窒素ガスを送り込み,この窒素ガスによって被処理ガスを容器から強制的に送り出し,その放出管路に酸素ガスを添加するようにしてもよい。いずれにしても,酸素ガス導入管を容器8自身または容器8から被処理ガス導入7に至るまでの配管に接続するようにする。
【0026】
他方,反応容器1のガス排出口20には排ガス管路21が接続され,この排ガス管路21はハロゲン吸収ビン22に接続され,このビン22にガス放出管23が取付けられている。また,排ガス管路21にはサンプリング管24が取付けられ,このサンプリング管24でサンブリングされた排ガスはガス分析器25に送られる。
【0027】
図1の装置において,反応容器1内の分解剤2には加熱炉4内の雰囲気温度が容器壁を通じて伝達されるが,分解反応や分解剤中の炭素の酸化反応等の反応による熱収支と,導入ガスと排出ガスによって出入する熱容量の収支によって温度が変化するが,図示のように,分解剤2のほぼ中心に挿入された温度センサー(熱電対)31によって,反応帯域の温度を温度測定器32で検出し続け,この温度が所定の温度に維持されるように,熱源5からの供給熱量を制御する。また,加熱炉4内の炉内雰囲気6の温度も温度センサー33によって検出しその検出値に基づいて加熱炉自体の温度制御も適宜行う。
【0028】
このようにして,被処理ガス中のフッ素化合物ほぼ完全に(100%近い分解率)で分解し,分解したフッ素は反応剤中のアルカリ土類金属と反応してフッ化アルカリ土類金属となり,排ガス中には弗化炭素類やフッ素は残存しなくなる。なお,排ガスは図示しない排ガス酸化装置に導くことにより,排ガス中のCOの全てをCO2に酸化させることができる。
【0029】
【実施例】
〔実施例1〕
酸化鉄原料(鉄鉱石換算で約72重量%),炭素質還元剤(カーボン換算で約25重量%)およびカルシウム源(生石灰換算で約3重量%)からなる粉状原料を耐火製容器に装填して蓋をし,最高温度1150℃まで約20時間で加熱し,その最高温度1150℃で約70時間均熱処理したあと,炉冷および放冷した。この処理を経た容器内材料を容器から取出し,磁選機で還元鉄粉と還元残渣物とを分離した。
【0030】
分離された粉粒状の還元残渣物を分析したところ,単体状炭素が27.3重量%,非炭素系固形分が71.3重量%,揮発分が1.4重量%であった。非炭素系固形分の約半分はCaOであり,鉄を含有している。CaOと鉄の分析を行ったところ,CaO量は還元残渣物中の35.3重量%であり,Fe量は還元残渣物中の2重量%であった。このFeはその殆んどが金属鉄である。
【0031】
この還元残渣物の粉粒体をいったん水と混練し,得られたペースト状物を平均粒径約6mmの疑似粒子にに造粒し,乾燥したあと,窒素雰囲気中で600℃で熱処理した。得られた焼成品を整粒し1.4〜4.0mmの粒体品を得た。
【0032】
得られた粒体品を図1の反応容器1内に100g装填し,分解に供する含フッ素化合物ガスとしてパーフルオロエタン(C2F6)を使用し,本文で説明したように被処理ガスに酸素ガスを添加するとともに,窒素ガスをキャリアとして反応管1に導入した。その際,被処理ガスの流量は0.15リットル/分の一定とし,パーフルオルエタンと酸素ガスの濃度はいずれも10vol.%とした。
【0033】
被処理ガスの導入は,発熱体5への通電を開始し,分解剤2の中心部の温度が800℃となった事を確かめた上で行った。反応の間は,分解剤2の中心部(反応剤の嵩のうちもっとも高温となる部位)に挿入した熱電対31で計測される温度が800℃が維持されるように管状炉の通電量を制御した。
【0034】
反応管1から排出される排ガスの一部はサンプリングし続けてガス分析器25に導き,残部は苛性ソーダ溶液を入れたフッ素吸収ビン22を通じた後系外に排出した。排ガスの分析は排ガス中に含まれる弗化炭素,その他のフッ素化合物,O2 ,N2 ,CO2 ,CO について行なった。弗化炭素,O2 ,N2 ,CO2 についてはガスクロマトグラフィを使用し,COについてはCOガス検知管を使用し,その他のフッ素化合物についてはイオンクロマトグラフィを用いた。
【0035】
処理結果を表1に示した。表1の反応結果の欄に示した30分後の分解率,弗化炭素の分解量,反応剤のCaO消費率はそれぞれ次のようにして求めたものである。
【0036】
〔30分後の分解率%〕
反応開始から30分経過した時点の排ガスサンプルから,排ガス中に残存している弗化炭素量を測定し,被処理ガス中の弗化炭素に対する排ガス中の弗化炭素の100分率をもって表した。
【0037】
〔弗化炭素の分解量(g)〕
反応終点までに分解した弗化炭素の量である。反応終点は分解率が95%に低下した時点とした。実際には,30分毎の排ガス分析値から30分毎の分解率を求め,各30分間に流入した弗化炭素量にその時の分解率を掛けた値をその30分間の分解量とし,反応開始から分解率が95%に低下する時点までの分解量の積算値をもって,弗化炭素の分解量(g)とした。
【0038】
〔反応剤のCaO消費率%〕
前記の反応終点に至るまでに消費した分解剤中のCaO量の百分率である。CaOの消費はCaF2 の生成で起きると仮定し,反応終点までに分解した弗化炭素中のフッ素量の積算値と,排ガス中に検出されるフッ素量の積算値とから,Caに固定されたフッ素量の積算値を求め,反応終点までに消費したCaO量を算出した。
【0039】
表1の結果から該還元残渣物単独からなる分解剤を使用した場合でも,非常に安定な含フッ素化合物ガスであるパーフルオルエタンの30分後の分解率はほぼ100%に達し,弗化炭素の分解剤として非常に有用であることがわかる。
【0040】
〔実施例2〕
分解剤中の単体状炭素とCaOとのモル比(C/CaO)が1.67となるように,実施例1と同じ還元残渣物に消石灰を配合した以外は,実施例1と同様に処理して焼成された粒体品を得た。この粒体品を分解剤として実施例1と同じ条件でパーフルオルエタンの分解に供した。その処理結果を表1に併記した。
【0041】
〔参考例〕
チャー炭と消石灰をC/CaOのモル比が1.67となるように混合し,実施例1と同じように処理して焼成された粒体品を得た。この粒体品を分解剤として実施例1と同じ条件でパーフルオルエタンの分解に供した。その処理結果を表1に併記した。
【0042】
【表1】
【0043】
〔実施例3〕
パーフルオロエタンに代えて,バーフルオロメタン,トリフルオロメタン,1,1,1,2−テトラフルオロエタンを使用した以外は,実施例1と同様の試験を行った。ただし,各ガスの分解温度については,800℃,450℃,350℃とした。試験結果を表2に示す。表2には参考のために実施例1の上記の結果も併記した。表2の結果から,いずれの被処理ガスの場合にも,30分後の分解率はほぼ100%に達することがわかる。
【0044】
【表2】
【0045】
〔実施例4〕
パーフルオロエタンに代えて,3弗化窒素,6弗化硫黄を使用した以外は,実施例1と同様の試験を行った。試験結果を表3に示した。表3に見られるように,いずれの被処理ガスも30分後の分解率はほぼ100%に達し,また副生成物の発生も見られなかった。
【0046】
【表3】
【0047】
〔実施例5〕
実施例1で得た還元残渣物に,K/Caの原子比が0.04/1となるように水酸化カリウムを添加した後,実施例1と同様に処理して焼成された粒体品を得た。この粒体品を分解剤として分解温度700℃として実施例1と同様にパーフルオルエタンの分解に供した。その処理結果を表4に示した。表4に見られるように,分解温度が実施例1より低くても30分後の分解率はほぼ100%に達した。
【0048】
【表4】
【0049】
〔実施例6〕
パーフルオロエタンに代えて,フロン113(C2Cl3F3 )を使用し,そして分解処理時に酸素ガスを供給しなかった以外は,実施例1と同様の試験を行った。その結果を表5に示したが,30分後の分解率はほぼ100%に達した。
【0050】
【表5】
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように,本発明によると,粉状酸化鉄を固相還元するさいの副生物である還元残渣物の新たな用途が拡大され,資源の有効利用が図られると共にそれを廃棄する場合と比べて環境改善がなされ,しかもそれが新たな製品価値を有することから還元鉄粉の製造原価の低下に資することができる。そして,含フッ素化合物ガスの無害化に貢献できると共に,その無害化処理のための低廉な分解剤を供給できるので,含フッ素化合物ガスの分解コストの低減に大きく寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明法を実施する装置の一例を示した機器配置系統図である。
【符号の説明】
1 反応容器
2 分解剤
3 通気性床
4 加熱炉
5 電気ヒーター
8 弗化炭素源
12 酸素ガス源
13 窒素ガス源
20 ガス排出口
Claims (7)
- 酸化鉄原料、炭素質還元剤および石灰質系添加剤を容器内に装填して900℃以上鉄の融点以下の温度に加熱して酸化鉄原料を鉄粉にまで還元したあと、この還元処理物から還元鉄粉を分離して得た還元残渣物からなる含フッ素化合物ガスの分解剤。
- 該還元残渣物そのものだけからなる請求項1に記載の含フッ素化合物ガスの分解剤。
- 該還元残渣物を主原料とし、これに適量の単体状炭素および/またはアルカリ土類金属の酸化物を配合してなる請求項1に記載の含フッ素化合物ガスの分解剤。
- アルカリ金属の化合物をさらに配合してなる請求項3に記載の含フッ素化合物ガスの分解剤。
- 酸化鉄原料、炭素質還元剤および石灰質系フラックスを容器内に装填して900℃以上鉄の融点以下の温度に加熱して酸化鉄原料を鉄粉にまで還元したあと、この還元処理物から還元鉄粉を分離し、この還元鉄粉を分離して得た還元残渣物に、炭素質材料およびアルカリ土類金属含有材料を混合し、その混合物を造粒することからなる含フッ素化合物ガス分解剤の製造法。
- 混合物にはアルカリ金属の化合物がさらに配合される請求項5に記載の含フッ素化合物ガス分解剤の製造法。
- 造粒品を不活性ガス雰囲気下で300〜700℃の温度範囲で熱処理する請求項5または6に記載の含フッ素化合物ガス分解剤の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09823198A JP3919328B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 含フッ素化合物ガスの分解剤およびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09823198A JP3919328B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 含フッ素化合物ガスの分解剤およびその製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11276858A JPH11276858A (ja) | 1999-10-12 |
JP3919328B2 true JP3919328B2 (ja) | 2007-05-23 |
Family
ID=14214197
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09823198A Expired - Fee Related JP3919328B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 含フッ素化合物ガスの分解剤およびその製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3919328B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003020468A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-24 | Dowa Mining Co Ltd | 弗化系ガスの分解剤 |
JP4518460B2 (ja) * | 2002-11-27 | 2010-08-04 | 財団法人電力中央研究所 | 排ガスからフッ素成分を選択的に回収する方法 |
KR100968089B1 (ko) * | 2008-07-28 | 2010-07-05 | 한국세라믹기술원 | 불소화합물 가스의 흡착처리제, 그를 이용한 불소화합물 가스 처리방법 및 불소화합물 가스 처리장치 |
CN113429139B (zh) * | 2021-06-27 | 2022-04-19 | 浙江红狮环保股份有限公司 | 一种水泥窑协同处置含氟无机化合物的方法 |
-
1998
- 1998-03-27 JP JP09823198A patent/JP3919328B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11276858A (ja) | 1999-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0819449B1 (en) | Process for decomposing fluorocarbons, reagent and apparatus used therefor | |
JP3789277B2 (ja) | フッ素化合物の分解用反応剤、分解方法及びその用途 | |
JP3919328B2 (ja) | 含フッ素化合物ガスの分解剤およびその製造法 | |
JP3249986B2 (ja) | フロンの分解処理法および装置 | |
JP3592886B2 (ja) | 弗化炭素類の分解方法および分解用反応剤 | |
JP3190225B2 (ja) | フロン分解法 | |
JP4264076B2 (ja) | 弗化炭素類の分解装置 | |
JP2004249285A (ja) | フッ素化合物の分解方法 | |
JP5031783B2 (ja) | 分解処理剤 | |
US6416726B2 (en) | Method for decomposing nitrogen fluoride or sulfur fluoride and decomposing reagent used therefor | |
JP3718739B2 (ja) | 弗化硫黄の分解法および分解用反応剤 | |
JP2002212118A (ja) | オクタフルオロシクロブタンの精製方法および製造方法並びにその用途 | |
JP5342805B2 (ja) | HFC−134aの無害化処理方法および炭酸カルシウムの製造方法 | |
JP4016532B2 (ja) | フッ化窒素の分解用反応剤及び分解法 | |
JP3713366B2 (ja) | 弗化窒素の分解方法および分解用反応剤 | |
JP3228459B2 (ja) | ハロゲン化物ガスの分解方法 | |
JP2004181300A (ja) | 酸化性ガス及び酸性ガスの処理剤並びに該処理剤を用いた無害化方法 | |
JP3804680B2 (ja) | マグネタイト−鉄複合粉末による汚染された土壌、水、ガスの浄化方法 | |
JPH0924243A (ja) | フロン分解剤 | |
JPH0924242A (ja) | フロン分解装置 | |
WO1998001217A1 (fr) | Procede et equipement de decompositions d'hydrocarbures fluores | |
Boudou et al. | Activated carbons from mixtures of coal pitch and FeCl3 graphite intercalated compounds | |
JP3330500B2 (ja) | 三弗化窒素ガスの除害剤及び除害方法 | |
JP2004351256A (ja) | 環境浄化用鉄粉およびその製造方法 | |
SU1574364A1 (ru) | Способ обработки порошковых материалов |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040123 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061031 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070123 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070213 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110223 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120223 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120223 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130223 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |