JP3917000B2 - プローブ走査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査型プローブ顕微鏡等のプローブ走査装置に係り、特に、温度ドリフトやノイズの少ない計測を可能にするプローブ走査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
先に、本出願人は図10に示したズーム機能を有するプローブ走査装置を発明し、特許出願した(特開平10年221348号)。このプローブ走査装置の構成と動作を以下に簡単に説明する。
【0003】
筐体1は、試料室に突出する細管部14とこれに連なる太管部15とを主要部とする走査管20を有する。太管部15の内側には中筒13が粘性体17を介して支持されている。太管部15、中筒13および細管部14は同材質であり、それぞれの熱伝導度および熱膨脹係数は実質的に同一である。太管部15の外側面には低融点金属ホルダ74が固着されている。低融点金属ホルダ74は、セラミックあるいはスーパーエンプラ等の断熱材料で構成され、その上面に形成された溝内に低融点金属(例えば、uアロイ)75が断熱的に収容されている。
【0004】
筐体1の上部には、第1のボイスコイルモータ(VCM)が取付けられている。この第1のボイスコイルモータは、心棒部3を有する磁石2と、その周囲にコイル5が巻回されている可動子4aと、可動子4aに固着された可動子部品4bと、メンブレン6aと、メンブレン6aの外周を固着している固着部品6bとから構成されている。前記可動子部品4bには、z方向に伸びるスピンドル8が固着されている。このスピンドル8の下側端部には、探針10の変位量を検出する検出体9が装着されている。
【0005】
前記スピンドル8は、中筒13に保持されている第1、第2のばね11、12により弾性的に支持されている。前記太管部15の外側であって粘性体17に対向する位置には加熱コイル16が巻回されている。加熱コイル16は、探針10のZ方向への粗動時に粘性体17を軟化させるために通電される。
【0006】
前記筐体1の側部には、心棒部22を有する磁石21と、その周囲にコイル24が巻回されている可動子23aと、可動子23aに固着された可動子部品23bと、メンブレン25と、このメンブレン25の外周を固着している固着部品25aとからなる第2のボイスコイルモータが取付けられている。
【0007】
さらに、前記筐体1の横部には、走査管20の太管部15がXY方向に傾いた時に、可動子23aが心棒部22または磁石21に接触するのを防止するために、薄いリング状の板ばね23cが設けられている。この薄いリング状板ばね23cは、その外周部を筐体1とメンブレン固着部品25aとで押えられ、その内周部を可動子部品23bとリング状ばね押え部品23dとで押さえられている。可動子部品23bおよびリング状ばね押え部品23dには、x方向に伸びるスピンドル27が取り付けられている。スピンドル27の解放端は、前記太管部15の突起部15aに固着されている。
【0008】
なお、図示は省略したが、前記第2のボイスコイルモータと90°異なる方向に第3のボイスコイルモータが取り付けられている。第3のボイスコイルモータは、前記第2のボイスコイルモータと同一または同等の構成をしている。y方向(紙面に垂直方向)スピンドルは、第3のボイスコイルモータの可動子に固着された可動子部品と前記太管部15とを接続している。そして、第2および第3のボイスコイルモータを駆動することにより、前記探針10はxy方向に走査されることになる。前記探針10と対向する位置には、図示しない試料台が設けられ、その上に試料が載置される。
【0009】
細管部14の外側には、一端が筐体1に固着された外管部71が、細管部14と同軸であって、かつ前記試料室に突出する方向に延びている。外管部71の先端外周にはセラミック等から形成された断熱部材72を介して熱伝導筒73が装着されている。熱伝導筒73の外周には加熱コイル76が巻回されている。前記熱伝導筒73の下側端部は、前記低融点金属ホルダ74の低融点金属75内に埋没している。
【0010】
このような構成では、前記加熱コイル76への通電を制御して低融点合金75を溶融または凝固させることにより、走査管20のばね合成を、細管部14のみのばね剛性または細管部14と外管71とを加算したばね剛性のいずれかに切り換えることができる。これによりボイスコイルモータへ供給する駆動電流が同一であっても走査管20のXY方向の可動範囲を異ならせることができるので、ズーム機能を発揮させることができる。
【0011】
試料を計測する際には、初めに太管部15の加熱コイル16に通電して粘性体17の温度を上昇させ、その粘性を低下させる。次いで、z方向のボイスコイルモータに通電してスピンドル8をz方向へ粗動させる。探針10が試料表面に接触して、その撓み量が所定値に達すると、前記ボイスコイルモータへの通電が制限されて探針10の降下が停止する。すなわち、粗動が完了する。
【0012】
次いで、加熱コイル16への通電を制限して粘性体17の温度を予熱温度まで下げる。その結果、粘性体17の粘性が大きくなり、太管部15と中筒13とが粘性体17の粘性により略一体化定されるので試料の計測が可能になる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
上記した構成のプローブ走査装置では、試料の表面形状を正確に計測するためには、探針10のxy方向への走査速度を遅くすることが望ましい。すなわち、z軸の共振周波数は第1、第2のばね11、12の合力やz軸可動部の質量の関数なので、x軸やy軸の走査速度を時間軸にしてz軸の変化を周波数分解したときの周波数成分に前記z軸の共振周波数成分が含まれていると、この成分の振幅が大きく観察される。そして、このような共振現象はxy方向の走査速度を遅くすることにより防止できる。
【0014】
しかしながら、走査速度を遅くすると計測に要する時間が必然的に長くなる。そして、粘性体17は予熱温度でも多少の粘性を有し、中筒13が僅かずつではあるが太管部15に対して降下または上昇する。したがって、計測時間が長くなると、中筒13の降下または上昇量が大きくなり、z方向に関するデータが前記降下または上昇量に相当する誤差を含んでしまう。
【0015】
さらに、計測時に加熱コイル16への通電が制限されると、太管部15や中筒13を含む各部の温度が徐々に低下して熱収縮するので、z方向に関するデータも熱収縮量に相当する誤差を含んでしまう。
【0016】
本発明の目的は、上記した従来技術の課題を解決し、走査速度の遅い計測においても高精度でノイズの少ない計測を可能にするプローブ走査装置を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するために、本発明は、一端を筐体に支持されてz方向に延設された太管部と、前記太管部の内側を通る中筒と、前記中筒の先端に設けられた探針と、前記太管部と中筒との間に充填された粘性体と、前記太管部を加熱する第1の加熱手段と、前記太管部をxy方向に揺動させる走査手段と、前記中筒を前記太管部に対してz方向へ駆動するボイスコイルモータと、前記第1の加熱手段に駆動電流を供給して前記粘性体の粘性を低下させる第1の温度制御手段と、前記探針を試料表面まで粗動させる粗動モード、および前記粗動後に探針と試料表面との相対位置が所定の関係を維持するように前記探針をz方向に微動させる計測モードとを備えた駆動手段とを具備したプローブ走査装置において、以下のような手段を講じた点に特徴がある。
【0018】
(1)太管部と中筒とを選択的に固定する固定手段を具備した。
【0019】
(2)前記固定手段が、中筒に固定されて低融点金属を断熱的に収容する低融点金属ホルダと、太管部に断熱部材を介して固定され、その一端が前記低融点金属内に埋設されるように位置決めされた熱伝導性部材と、熱伝導性部材を加熱する第2の加熱手段と、熱伝導性部材の温度が粗動時には前記低融点金属が軟化する第1温度まで上昇し、計測時には前記低融点金属が硬化する第2温度まで低下するように前記第2の加熱手段へ供給する駆動電流を制御する第2の温度制御手段とを含み、前記第1の温度制御手段は、太管部の温度が粗動時には前記粘性体の粘性が低下する第3温度まで上昇し、前記計測時には第4温度までさらに上昇するように第1の加熱手段を制御することを特徴とする。
【0020】
(3)ボイスコイルモータの駆動電流に含まれるオフセット電流を検出する手段をさらに具備し、第1の温度制御手段は、前記太管部の温度が、前記粗動時には前記粘性体の粘性が低下する温度まで上昇し、前記計測時には、前記オフセット電流が減少する温度に収束するように、前記第1の加熱手段へ供給する駆動電流を制御することを特徴とする。
【0021】
(4)各温度制御手段は、各加熱手段に供給する駆動信号を計測時にホールドするホールド手段を含むことを特徴とする。
【0022】
上記した特徴(1)によれば、中筒と太管部とが、固化した低融点金属により強固に固定されるので経時的な位置ズレを防止することができる。
【0023】
上記した特徴(2)によれば、低融点金属が固化する温度まで熱伝導筒の温度を低下させても、熱伝導筒のz方向への熱収縮を太管部および中筒の熱膨張により相殺できる。
【0024】
上記した特徴(3)によれば、計測時中の温度変化により生じる温度ドリフトを、ボイスコイルモータへのオフセット電流の供給によってではなく、太管部および中筒の熱膨張または熱収縮によって解消できる。
【0025】
上記した特徴(4)によれば、計測中は第1および第2温度制御部の出力信号がホールドされるので、周囲温度の変化や制御系における温度揺らぎ等にかかわらずノイズの少ない画像を得られる。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。図1は、本発明を適用したプローブ走査装置の第1実施形態の主要部の構成を示した断面図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。
【0027】
本実施形態では、筐体1が熱膨張係数の極めて小さい材料、例えばスーパーインバー(31%Ni−5%Co−Fe)で構成されている。太管部15の外周には加熱コイル16が巻回されると共に、その温度を計測するための温度センサ91が設けられている。太管部15の先端部には、セラミックあるいはスーパーエンプラ等の断熱部材82を介して筒状の熱伝導筒83が固着されている。前記熱伝導筒83の外周部には、加熱コイル86が巻回されると共に、その温度を計測するための温度センサ92が設けられている。中筒13の外周には環状の低融点金属ホルダ84が固着されている。前記低融点金属ホルダ84は、セラミックあるいはスーパーエンプラ等の断熱材料で構成され、その上面に形成された溝内に低融点金属(例えば、uアロイ)85が断熱的に収容されている。
【0028】
外管部71の先端外周にはセラミック等から形成された断熱部材72を介して熱伝導筒73が装着されている。熱伝導筒73の外周には加熱コイル76が巻回されると共に、その温度を計測するための温度センサ93が設けられている。
【0029】
前記熱伝導筒83、低融点金属85およびそのホルダ84は、前記太管部15と中筒13とを計測時に相互に固定する固定手段として機能する。前記熱伝導筒83および低融点金属ホルダ84は、前記中筒13の粗動範囲内では熱伝導筒83の先端が前記低融点金属内85に埋設されるように位置決めされる。
【0030】
前記探針10と対向する位置には試料台31が設けられ、この試料台31の上に試料32が載置される。前記試料台31は粗動x、y、zステージ33上に搭載される。
【0031】
前記各温度センサ91,92,93の出力信号は、それぞれ温度監視部40a、40b,40cへ入力される。各温度監視部は、各温度センサの出力信号に基づいて各部の温度を演算し、演算結果を温度制御部41へ通知する。温度制御部41は、各部の温度が所定の温度に維持されるように、各加熱コイル16,86,76へ供給する駆動電流を制御する。
【0032】
このような構成のプローブ走査装置において、始めに太管部15の加熱コイル16に通電して粘性体17の温度を上昇させ、その粘性を低下させる。その後、粘性体17が所定の粘性を維持するように、温度センサ91の出力信号に基づいて加熱コイル16への通電が前記温度制御部41により制御される。
【0033】
次いで、加熱コイル86に通電し、熱伝導筒83の温度を上昇させて低融点金属85を溶融させる。これにより、太管部15と中筒13との固定が解除される。
そして、z方向のボイスコイルモータに通電してスピンドル8をz方向へ粗動させる。中筒13は試料に向かって所定の速度で降下し、その先端に配置されている探針10が試料表面に接近する。探針10が試料表面に接触して、その撓み量が所定値に達すると、前記ボイスコイルモータへの通電が制限されて探針10の降下が停止する。すなわち、粗動が完了する。
【0034】
次いで、前記加熱コイル86への通電を制限し、熱伝導筒83の温度を低下させて低融点金属85を固化させる。これにより、中筒13と太管部15とが強固に固定されて両者は実質的に一体化される。
【0035】
次いで、探針10と試料表面との距離が一定に保たれるようにz方向のボイスコイルモータを微動させながら探針10をxy方向へ走査すれば、ボイスコイルモータの駆動電流が試料の表面形状を代表できる。この間、本実施形態では中筒13が太管部15に対して位置ズレを起こすことがないので、xy方向走査速度が遅く、計測に長時間を要する場合であっても高精度の計測が可能になる。
【0036】
また、本実施形態では上記した計測期間内は、各温度監視部40が各部の温度を常時監視し、それぞれの温度が所定の温度に維持されるように、前記温度制御部41が各加熱コイルへの通電を常時制御するので、温度ドリフトに影響されない高精度の計測が可能になる。
【0037】
さらに、本実施形態では筐体1を熱膨張係数の極めて小さいスーパーインバーで構成したので、温度ドリフトの影響をさらに低減することができる。
【0038】
図2は、本発明を適用したプローブ走査装置の第2実施形態の主要部の構成を示した断面図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。
【0039】
上記した第1実施形態では、z方向の粗動が完了した後、太管部15と中筒13とを固定するために加熱コイル86への通電を制限して熱伝導筒83の温度を低下させると、熱伝導筒83が熱収縮して探針10を上方へ引き上げてしまう。このとき、z方向のボイスコイルモータには、この熱収縮分を補うためのオフセット電流が流れる。
【0040】
ボイスコイルモータにオフセット電流が常時流れると、z方向の観察範囲が狭くなるのみならず、ボイスコイルモータの発熱量が増えて各部が熱膨張するので、x,y,zの各方向に温度ドリフトが生じてしまう。
【0041】
このような新たな技術課題を解決するために、次に説明する本発明の第2実施形態では、前記熱伝導筒83の温度T83を低下させたときの当該熱伝導筒83のz方向への実質的な熱収縮量(すなわち、探針10の引き上げ量)と、前記太管部15を粗動時の温度から所定温度まで更に上昇させたときの太管部15および中管13のz方向への実質的な熱膨張量(すなわち、探針10の引き下げ量)との和とが一致して両者が相殺されるような前記所定温度T4を予め求めておく。そして、計測中は太管部15の温度が前記所定温度に維持されるように加熱コイル16への通電を制御するようにしている。
【0042】
図2において、各温度センサ91,92,93の出力信号は温度監視部61へ入力される。温度監視部61は、各温度センサの出力信号に基づいて各部の温度を演算し、演算結果を温度制御部60a,60b,60cへ提供する。各温度制御部60は、各部の温度が所定の温度に維持されるように、各加熱コイル16,86、76への通電を制御する。
【0043】
VCM駆動部64は、検出体9により検出された探針10の変位量に基づいてZ方向のボイスコイルモータを駆動する。動作制御部62は、動作モード(粗動モードまたは計測モード)に応じて各部を制御する。
【0044】
図3は、前記第1および第2温度制御部60a,60bの主要部の構成を示したブロック図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。
【0045】
第2温度制御部60bにおいて、粗動時目標温度設定部611には、粗動時における熱伝導筒83の目標温度T1として、前記低融点金属85の融点よりも高い温度が設定されている。計測時目標温度設定部612には、計測時における熱伝導筒83の目標温度T2として、前記低融点金属85が固化する温度よりも低い温度T2が設定されている。但し、この温度が低すぎると計測時における熱伝導筒83の熱収縮量が大きくなるので、本実施形態では前記固化温度よりも1〜2℃だけ低い温度に設定されている。
【0046】
比較部614は、切換スイッチ613により選択される目標温度T1またはT2と前記温度センサ92により検知された熱伝導筒83の実温度T83とを比較し、その差分信号ΔTをPI制御部616へ出力する。PI制御部616は、前記差分信号ΔTがゼロに収束するように、ドライバ回路618を介して前記加熱コイル86へ駆動信号を供給する。
【0047】
第1温度制御部60aにおいて、粗動時目標温度設定部601には、粗動時における太管部15の目標温度T3として、前記粘性体17の粘性が十分に低下する温度が設定されている。計測時目標温度設定部602には、計測時における太管部15の目標温度T4が設定されている。この目標温度T4は、前記熱伝導筒83の温度をT1からT2まで低下させたときの当該熱伝導筒83のz方向への実質的な熱収縮量(すなわち、探針10の引き上げ量)と、前記太管部15の温度をT3からT4まで上昇させたときの太管部15および中管13のz方向への実質的な熱膨張量(すなわち、探針10の引き下げ量)の和とが一致して両者が相殺されるような値に設定されている。
【0048】
比較部604は、切換スイッチ603により選択される目標温度T3またはT4と前記温度センサ91により検知された太管部15の実温度T15とを比較し、その差分信号ΔTをPI制御部606へ出力する。PI制御部606は、前記差分信号ΔTがゼロに収束するように、ドライバ回路608を介して前記加熱コイル16へ駆動信号を供給する。
【0049】
次いで、図4のフローチャートを参照して本実施形態の動作を詳細に説明する。なお、初期状態では動作制御部62が粗動モードで動作し、第1温度制御部60aでは切換スイッチ603により粗動時目標温度T3が選択され、第2温度制御部60bでは切換スイッチ613により粗動時目標温度T1が選択されているものとする。
【0050】
ステップS1では、第1および第2温度制御部60a,60bが付勢されて加熱コイル16,86に駆動電流が供給され、太管部15および熱伝導筒83の温度が上昇する。ステップS2では、温度センサ91により検知される太管部15の温度T15および温度センサ92により検知される熱伝導筒83の温度T83が、それぞれ前記目標温度T3,T1に達したか否かが判定される。
【0051】
太管部15および熱伝導筒83の温度がいずれも前記目標温度に到達すると、ステップS3では、VCM駆動部64が付勢されてスピンドル8がz方向へ粗動される。ステップS4では、探針10が試料表面に到達したか否かが探針10の撓み量に基づいて判定される。探針10が試料表面に到達したと判定されると、ステップS5において、VCM駆動部64によるボイスコイルモータへの通電が制限されて探針10の降下が停止する。すなわち、粗動が完了して計測モードへ移行する。
【0052】
計測モードでは、ステップS6において、第1温度制御部60aの切換スイッチ603が計測時目標温度(T4)側に切り換えられ、第2温度制御部60bの切換スイッチ613が計測時目標温度(T2)側に切り換えられる。
【0053】
ステップS7では、熱伝導筒83の温度T83が前記計測時目標温度T2まで低下したか否かが判定される。熱伝導筒83の温度T83が目標温度T2まで低下して、太管部15と中筒13とが一体化されると、ステップS8では、太管部15の温度T15が前記計測時目標温度T4に到達したか否かが判定される。太管部15の温度T15が前記目標温度T4に到達していると、ステップS9において計測が行われる。
【0054】
本実施形態によれば、熱伝導筒83の温度を低下させて太管部15と中筒13とを一体化する際に生じるz方向の温度ドリフトが、ボイスコイルモータへのオフセット電流の供給によってではなく、太管部15および中筒13の熱膨張によって解消される。したがって、z方向のボイスコイルモータにオフセット電流を流し続けることにより生じ得る温度ドリフトを完全に防止できる。
【0055】
図5は、本発明を適用したプローブ走査装置の第3実施形態の主要部の構成を示した断面図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。本実施形態では、前記VCM駆動部64から出力される駆動信号に含まれるオフセット電流を検出するオフセット電流検出部63を設け、前記第1温度制御部60aが前記太管部15の温度を、粗動時には粘性体17の粘性が低下する温度まで上昇させ、計測時には前記オフセット電流が減少する温度に収束させるようにした点に特徴がある。
【0056】
図6は、前記第1および第2温度制御部60a,60bの主要部の構成を示したブロック図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。
【0057】
第1温度制御部60aにおいて、粗動時目標温度設定部601には、粗動時における太管部15の目標温度T3として、前記粘性体17の粘性が十分に低下する温度が設定されている。比較部604は、前記粗動時目標温度T3と前記温度センサ91により検知された太管部15の実温度T15とを比較して差分信号ΔTを出力する。
【0058】
切換スイッチ605は、前記オフセット電流検出部63により検知されたオフセット電流値を代表するオフセット信号Soffまたは前記差分信号ΔTをPI制御部606へ出力する。PI制御部606の出力信号はドライバ回路608を介して前記加熱コイル16へ供給される。
【0059】
第2温度制御部60bにおいて、粗動時目標温度設定部611には、粗動時における熱伝導筒83の目標温度T1として、前記低融点金属85の融点よりも高い温度が設定されている。計測時目標温度設定部612には、計測時における熱伝導筒83の目標温度T2として、前記低融点金属85が固化する温度よりも低い温度T2が設定されている。
【0060】
比較部614は、切換スイッチ613により選択された目標温度T1またはT2と前記温度センサ92により検知された熱伝導筒83の実温度T83とを比較し、その差分信号ΔTをPI制御部616へ出力する。PI制御部616の出力信号はドライバ回路618を介して前記加熱コイル86へ供給される。
【0061】
次いで、図7のフローチャートを参照して本実施形態の動作を詳細に説明する。なお、初期状態は粗動モードであり、第1温度制御部60aでは切換スイッチ605により比較器604が選択され、第2温度制御部60bでは切換スイッチ613により粗動時目標温度(T1)側が選択されているものとする。
【0062】
ステップS1では、第1温度制御部60aおよび第2温度制御部60bが付勢されて加熱コイル16,86に駆動電流が供給され、太管部15および熱伝導筒83の温度が上昇する。ステップS2では、温度センサ91により検知される太管部15の温度T15および温度センサ92により検知される熱伝導筒83の温度T83が、それぞれ前記目標温度T3,T1に達したか否かが判定される。
【0063】
太管部15および熱伝導筒83の温度がいずれも目標温度に到達すると、ステップS3では、VCM駆動部64が付勢されてスピンドル8がz方向へ粗動される。ステップS4では、探針10が試料表面に到達したか否かが探針の撓み量に基づいて判定される。探針10が試料表面に到達したと判定されると、ステップS5において、VCM駆動部64によるボイスコイルモータへの通電が制限されて探針10の降下が停止する。すなわち、粗動が完了して計測モードへ移行する。
【0064】
計測モードでは、ステップS6において、第2温度制御部60bの切換スイッチ613が計測時目標温度(T2)側に切り換えられる。ステップS7では、第1温度制御部60aの切換スイッチ605がオフセット信号Soff側に切り換えられる。ステップS8では、熱伝導筒83の温度T83が目標温度まで低下したか否かが判定される。ステップS9では、オフセット信号Soffが安定したか否かが前記動作制御部62において判定される。オフセット信号Soffが安定したと判定されると、ステップS11において計測が行われる。
【0065】
本実施形態によれば、計測時中の温度変化により生じるz方向の温度ドリフトが、ボイスコイルモータへのオフセット電流の供給によってではなく、太管部15および中筒13の熱膨張または熱収縮によって解消される。したがって、z方向のボイスコイルモータにオフセット電流を流し続けることにより生じ得る発熱や周囲温度の変化による温度ドリフトを完全に防止できる。
【0066】
図8は、本発明を適用したプローブ走査装置の第4実施形態の主要部の構成を示した断面図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。本実施形態では、第1および第2温度制御部60a,60bにおいて、各PI制御部606,616の後段に、それぞれホールド回路607,617を追加した点に特徴がある。
【0067】
図9は、本実施形態の動作を示したフローチャートであり、ステップS1からステップS9までは第3実施形態と同様の処理が実行される。
【0068】
本実施形態では、ステップS9においてオフセット信号Soffが安定したと判定されると、ステップS10では、第1および第2温度制御部60a,60bの各ホールド回路607,617にホールド信号Sholdが供給される。各ホールド回路は、前記ホールド信号Sholdの入力タイミングで入力信号をホールドする。ステップS11では計測が開始される。
【0069】
本実施形態によれば、計測中は第1および第2温度制御部60a,60bの出力信号がホールドされ、各加熱コイルの発熱量が一定に保たれるので、周囲温度の変化や制御系における温度揺らぎ等にかかわらず、ノイズの少ない画像を得られるようになる。
【0070】
【発明の効果】
本発明によれば、以下のような効果が達成される。
(1)太管部と中筒とを動作モードに応じて選択的に一体化させるプローブ走査装置において、中筒と太管部とを低融点金属を固化させることで一体化させるようにしたので、中筒と太管部との経時的な位置ズレを防止することができる。したがって、xy方向の走査速度が遅く、計測に長時間を要する場合であっても高精度の計測が可能になる。
(2)計測中は各部の温度が所定の温度に維持されるように各加熱コイルへの通電が制御されるので、温度ドリフトに影響されない高精度の計測が可能になる。
(3)筐体をスーパーインバー等の熱膨張係数の極めて小さい材料で構成したので、温度ドリフトの影響をさらに低減することができる。
(4)低融点金属が凝固する温度まで熱伝導筒の温度を低下させても、熱伝導筒のz方向への熱収縮が太管部および中筒の熱膨張により相殺されるので、z方向のボイスコイルモータにオフセット電流が流れない。したがって、ボイスコイルモータにオフセット電流が流れることにより生じる温度ドリフトの発生を防止できる。
(5)計測時中の温度変化により生じるz方向の温度ドリフトが、ボイスコイルモータへのオフセット電流の供給によってではなく、太管部15および中筒13の熱膨張または熱収縮によって解消される。したがって、z方向のボイスコイルモータにオフセット電流を流し続けることにより生じ得る温度ドリフトを完全に防止できる。
(6)計測中は第1および第2温度制御部の出力信号がホールドされるので、周囲温度の変化や制御系における温度揺らぎ等にかかわらず、ノイズの少ない画像を得られるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態であるプローブ走査装置の主要部の構成を示した断面図である。
【図2】本発明の第2実施形態であるプローブ走査装置の主要部の構成を示した断面図である。
【図3】第2実施形態の制御系の構成を示したブロック図である。
【図4】第2実施形態の動作を示したフローチャートである。
【図5】本発明の第3,4実施形態であるプローブ走査装置の主要部の構成を示した断面図である。
【図6】第3実施形態の制御系の構成を示したブロック図である。
【図7】第3実施形態の動作を示したフローチャートである。
【図8】第4実施形態の制御系の構成を示したブロック図である。
【図9】第4実施形態の動作を示したフローチャートである。
【図10】従来のズーム機構を備えたプローブ走査装置の主要部の構成を示した断面図である。
【符号の説明】
1…筐体、10…探針、14…細管部、15…太管部、16,76,86…加熱コイル、17…粘性体、23…可動子、27…スピンドル、82…断熱部材、83…熱伝導筒、84…低融点金属ホルダ、85…低融点金属、91,92,93…温度センサ、40a、40b,40c…温度監視部、41…温度制御部,60a、60b,60c…温度制御部、61…温度制御部,62…動作制御部,63…オフセット電流検出部、64…VCM駆動部
Claims (7)
- 一端を筐体に支持されてZ方向に延設された太管部と、
前記太管部の内側を通る中筒と、
前記中筒の先端に設けられた探針と、
前記太管部と中筒との間に充填された粘性体と、
前記太管部を加熱する第1の加熱手段と、
前記太管部をXY方向に揺動させる走査手段と、
前記中筒を前記太管部に対してZ方向へ駆動するボイスコイルモータと、
前記第1の加熱手段に駆動電流を供給して前記粘性体の粘性を可変させる第1の温度制御手段と、を具備したプローブ走査装置において、
前記中筒に固定され、低融点金属を収容する断熱材料からなる低融点金属ホルダと、
前記太管部に断熱部材を介して固定され、一端が前記低融点金属内に埋設されるように位置決めされた熱伝導性筒と、
前記熱伝導性筒を加熱する第2の加熱手段と、
前記第2の加熱手段に駆動電流を供給して、前記熱伝導性筒を、前記探針を試料に接近させる粗動時には前記低融点金属が軟化する第1温度にして、前記探針と試料表面との相対位置を所定の距離に維持する計測時には前記低融点金属が硬化する第2温度にするようにする第2の温度制御手段と、を備えたことを特徴とするプローブ走査装置。 - 前記第1の温度制御手段は、前記太管部の温度を、前記粗動時には前記粘性体の粘性が低下する第3温度まで上昇させ、前記計測時には前記第1温度から前記第2温度まで低下したときの前記熱伝導性筒のZ方向の熱収縮を、前記太管部および中管のZ方向の熱膨張で相殺するように第4温度にさらに上昇させるように制御することを特徴とする請求項1に記載のプローブ走査装置。
- 前記ボイスコイルモータを駆動する駆動信号に含まれるオフセット電流を検出する手段と、を具備し、
前記第1の温度制御手段が、前記太管部の温度を、
前記粗動時には、前記粘性体の粘性が低下する第3温度まで上昇させ、
前記計測時には、前記オフセット電流検出手段で検出されたオフセット電流が減少する第5温度にするように、前記第1の加熱手段へ供給する駆動電流を制御することを特徴とする請求項1に記載のプローブ走査装置。 - 前記第1の温度制御手段は、前記計測時に前記第1の加熱手段に供給する駆動信号を固定するホールド回路を含むことを特徴とする請求項3に記載のプローブ走査装置。
- 前記第2の温度制御手段は、前記計測時に前記第2の加熱手段に供給する駆動信号を固定するホールド回路を含むことを特徴とする請求項3に記載のプローブ走査装置。
- 前記ホールド回路は、前記オフセット信号が安定したときに前記駆動電流を固定することを特徴とする請求項4または5に記載のプローブ走査装置。
- 前記太管部を筐体に対して選択的に固定するズーム機構をさらに具備したことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のプローブ走査装置。
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