JP3827925B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は走査型原子間力顕微鏡(AFM)等の走査型プローブ顕微鏡に係り、特に、試料へのアプローチを開始してから測定可能状態に至るまでの時間を短縮した走査型プローブ顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
図6は、従来の走査型プローブ顕微鏡のブロック図である。筐体1の上部にはZ軸ボイスコイルモータ3が取付けられている。ボイスコイルモータ3の可動子部品4にはスピンドル8が固着されており、スピンドル8の下側端部には、カンチレバー10を支持するカンチレバーホルダ9が装着されている。
【0003】
筐体1は、試料室に突出する細管13およびこれに連なるスキャナ外筒15を有し、スキャナ外筒15の内側にはスキャナ内筒14が粘性体17を介して支持されている。前記スピンドル8は第1、第2のばね11、12によりスキャナ内筒14に対して弾性的に支持されている。前記スキャナ外筒15の外側であって粘性体17に対向する位置には加熱ヒータ16が巻回されている。
【0004】
前記筐体1の横部にはX軸ボイスコイルモータ7が取付けられている。図示は省略したが、前記ボイスコイルモータ7と90°異なる方向にはY軸ボイスコイルモータが取付けられている。Y軸ボイスコイルモータは前記X軸ボイスコイルモータ7と同一または同等の構成を有する。
【0005】
カンチレバー10をステージ31上の試料30に近付ける粗動アプローチでは、CPU56が温度設定部61に粗動温度Ta を設定する。スキャナ外筒15に巻回されたヒータ16には電流源65から電流が供給され、粘性体17が軟化するまでスキャナ外筒15が加熱される。スキャナ外筒15の温度は温度センサ18により検知され、その制御は温度設定部61、温度データ変換部62、比較器63、PI制御部64および電流源65により行われる。
【0006】
粘性体17が軟化すると、目標値設定部52に目標値がセットされて電流源54がオンされる。この結果、ボイスコイルモータ3のコイル6に電流が流れて可動子4およびスピンドル8が駆動される。スピンドル8は、ばね11、12を介してスキャナ内筒14に接続されているので、粘性体17が軟化していると、スキャナ内筒14が外筒15からずれて降下する。
【0007】
カンチレバー10が試料30に接触すると、カンチレバー10からカンチレバーホルダ9を介して出力される観察信号が目標値設定部52に設定された目標値と比較器51において比較される。比較器51から出力される誤差信号はPI(比例積分)制御部53に入力される。PI制御部53は、カンチレバー10が試料30に一定の力で接するように電流源54を制御する。
【0008】
CPU56は、PI制御部53の出力信号をA/D変換器55を介して読み込み、カンチレバー10が試料30にアプローチしたか否かを判定する。アプローチが完了すると、CPU56は温度設定部61に予熱温度Tb を設定する。この予熱温度Tb は粗動温度Ta より約10°C程度低く、予熱温度Tb では粘性体17が硬化してスキャナ内筒14が外筒15に固定される。
【0009】
スキャナ内筒14がスキャナ外筒15に固定されると、X,Yの各ボイスコイルモータに走査信号を供給してカンチレバー10を試料表面でX,Y方向に走査し、PI制御部53の信号をA/D変換器55を介して取込み、試料30の表面形状を測定する。測定データはメモリ57に蓄えられる。
【0010】
ところで、粘性体17を硬化させるために外筒15の温度を低下させると、その過程において、温度低下による粘性体17および外筒15の収縮により測定結果が誤差を含むことになる。すなわち、温度ドリフトが生じる。したがって、観察時にはスキャナ外筒15を予熱温度Tb に維持する温度制御が継続的に行われる。これにより、スキャナ外筒15の温度が十分に低下して粘性体17およびスキャナ外筒15の収縮が収束するまで待機する必要がなくなるので、試料へのアプローチを開始してから測定可能状態に至るまでの時間を短縮できる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来技術では、アプローチ終了後の観察時もスキャナ外筒15の温度を予熱温度に保持するために、電流源65が温度センサ18の検知信号に基づいて動的に制御され続ける。このため、温度制御回路系にノイズが混入すると、検出信号とノイズとの合成信号に対してPI制御が実行されてしまい、観察信号がノイズ成分を含んで観察像のS/Nが低下してしまうという問題があった。
【0012】
本発明の目的は、上記した従来技術の課題を解決し、試料へのアプローチを開始してから測定できる状態に至るまでの時間を短縮した走査型プローブ顕微鏡において、観察信号へのノイズの混入を防止してS/Nの高い観察を可能にすることにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するために、本発明は、筐体に固定されたスキャナ外筒と、スキャナ外筒の内部に収容されたスキャナ内筒と、スキャナ内筒の一端に設けられたスキャナと、前記スキャナ内筒およびスキャナ外筒の間に挿入された粘性体と、前記スキャナ外筒を加熱して前記粘性体の粘度を調整する加熱手段とを含み、前記スキャナを試料表面で走査して試料の表面形状を観察する走査型プローブ顕微鏡において、前記スキャナ外筒の温度を代表する温度信号に基づいて前記加熱手段を制御する温度制御手段を具備し、前記温度制御手段は温度信号をホールドするサンプル・ホールド回路を含み、試料の表面形状を観察する際は、前記サンプル・ホールド回路によりホールドされた温度信号に基づいて加熱手段を制御することを特徴とする。
【0014】
上記した特徴によれば、試料の表面形状を観察する際は、温度制御手段による温度制御が静的に行われるので、温度制御回路系からのノイズの発生が抑制され、S/Nの高い観察が可能になる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施形態の構成を示したブロック図である。
【0016】
温度データ変換部62は温度センサ18の検出信号を電圧データに変換する。サンプル・ホールド回路66は、温度データ変換部62から出力される温度データを所定のタイミングでサンプリングし、かつホールドする。比較器63はサンプル・ホールド回路66の出力と温度設定部61で設定された温度とを比較し、前者が後者より大きければ降温制御信号、小さければ昇温制御信号を出力する。比較器63の出力はPI制御部64で比例積分され、電流源65を制御する。この制御により、スキャナ外筒15は温度設定部61に設定された温度に保持される。他の構成は既に説明されているので説明を省略する。
【0017】
次に、本実施形態の動作を、図3のフローチャートおよび図4のタイミングチャートを参照して説明する。図4の縦軸は前記サンプル・ホールド回路66から出力される温度データ、横軸は時間を示している。
【0018】
ステップS1において、アプローチ開始の指示が検出されると、ステップS2では、温度設定部61に粗動温度Ta がセットされる。ステップS3では電流源65の制御が開始され、ヒータ16に電流が供給される。温度センサ18はスキャナ外筒15の温度を検知し、温度信号を温度データ変換部62およびCPU56へ供給する。サンプル・ホールド回路66は、温度データ変換部62の出力信号をそのまま出力する。最初はスキャナ外筒15の温度が粗動温度Ta より低いので、比較器63からは昇温信号が出力され、PI制御部64は昇温制御を動的に実行する。
【0019】
以上の動作が続けられ、ステップS4においてスキャナ外筒15の温度が粗動温度Ta に達すると、粘性体17が既に軟化しているのでステップS5へ進み、電流源54の制御が開始される。これにより、スキャナ内筒14が外筒15からずれて降下し始める。
【0020】
ステップS6では、粗動によるアプローチが完了したか否かが判定され、完了するまで前記粗動によるアプローチが継続される。その後、ステップS6においてアプローチの完了が検知されると、ステップS7では、温度設定部61に予熱温度Tb がセットされる。ステップS8では、スキャナ外筒15を予熱温度Tb まで低下させるPI制御が開始される。この結果、スキャナ外筒15の温度は、図4に示したように徐々に低下する。
【0021】
その後、ステップS9において、スキャナ外筒温度が予熱温度Tb まで低下し、かつ図4の時刻t0 で観察開始が指示され、これがステップS10において検知されると、ステップS11では、温度データ変換部62から出力されている温度データがサンプル・ホールド回路66によりサンプリングされてホールドされる。したがって、これ以後は温度センサ18により検知されているスキャナ外筒温度15の実際の温度とは無関係に、サンプル・ホールド回路66および比較器63の出力が一定になるので、PI制御部64による電流源65の制御も静的に行われるようになる。すなわち、電流源65は一定電流を出力し続ける。
【0022】
ステップS12では観察が実行され、カンチレバーホルダ9から出力される観察信号が比較器51、PI制御部53およびA/D変換器55を介してCPU56に取り込まれ、試料表面の形状データとしてメモリ57に蓄えられる。
【0023】
本実施形態によれば、カンチレバー10の試料30へのアプローチが終了して観察が開始されると、スキャナ外筒温度の制御が静的に行われるので、温度制御回路系内で発生したノイズが電流源65に入力されず、S/Nの高い観察が可能になる。
【0024】
図2は、本発明の第2実施形態のブロック図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。図5は、電流源65に入力される電流データの変化を示した図である。
【0025】
本実施形態では、PI制御部64の出力信号をサンプリングしてホールドするサンプル・ホールド回路67を設けている。サンプル・ホールド回路67は、図5の時刻t1 においてアプローチが完了して観察が開始されると、PI制御部64から出力される電流データをサンプリングし、かつホールドする。したがって、時刻t1 以降は電流源65に入力される電流データが一定となり、電流源65は一定電流を出力し続けることになる。
【0026】
本実施形態によれば、観察中は電流源65に入力される制御信号が一定値に保持され、電流源65の出力電流が一定になるので、温度制御回路系内で発生したノイズが観察信号に混入せず、S/Nの高い観察が可能になる。
【0027】
【発明の効果】
本発明によれば、観察中はスキャナ外筒の温度制御が静的に行われ、電流源の出力電流が一定に保持されるので、観察信号へのノイズの混入が防止されてS/Nの高い観察が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態のブロック図である。
【図2】本発明の第2実施形態のブロック図である。
【図3】第1実施形態の動作を説明するためのフローチャートである。
【図4】第1実施形態の動作を説明するためのタイミングチャートである。
【図5】第2実施形態の動作を説明するためのタイミングチャートである。
【図6】従来装置のブロック図である。
【符号の説明】
1…筐体、3,7…ボイスコイルモータ、6…コイル、14…スキャナ内筒、15…スキャナ外筒、16…ヒータ、18…温度センサ、30…試料、56…CPU、61…温度設定部、62…温度データ変換部、63…比較器、64…PI制御部、65…電流源、66,67…サンプル・ホールド回路
Claims (3)
- 筐体に固定されたスキャナ外筒と、スキャナ外筒の内部に収容されたスキャナ内筒と、スキャナ内筒の一端に設けられたカンチレバーと、前記スキャナ内筒およびスキャナ外筒の間に挿入された粘性体と、前記スキャナ外筒を加熱して前記粘性体の粘度を調整する加熱手段とを含み、前記カンチレバーの探針を試料表面で走査して試料の表面形状を観察する走査型プローブ顕微鏡において、
前記スキャナ外筒の温度を代表する温度信号に基づいて前記加熱手段を制御する温度制御手段を具備し、
前記温度制御手段は、前記温度信号をホールドするサンプル・ホールド回路を含み、試料を観察する際は、前記サンプル・ホールド回路によりホールドされた温度信号に基づいて前記加熱手段を制御することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記温度制御手段は、
前記加熱手段に電力を供給する電流源と、
スキャナ外筒の温度を検知する温度センサと、
温度センサの出力信号に基づいて電流源を制御する制御手段とを含み、
前記サンプル・ホールド回路が温度センサと制御手段との間に接続されたことを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記温度制御手段は、
前記加熱手段に電力を供給する電流源と、
スキャナ外筒の温度を検知する温度センサと、
温度センサの出力信号に基づいて電流源を制御する制御手段とを含み、
前記サンプル・ホールド回路が制御手段と電流源との間に接続されたことを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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