JP2000352553A - 走査型プローブ顕微鏡のオフセット除去装置 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡のオフセット除去装置Info
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- JP2000352553A JP2000352553A JP11164335A JP16433599A JP2000352553A JP 2000352553 A JP2000352553 A JP 2000352553A JP 11164335 A JP11164335 A JP 11164335A JP 16433599 A JP16433599 A JP 16433599A JP 2000352553 A JP2000352553 A JP 2000352553A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 粘弾性体を半硬化状態に維持する必要がな
く、かつ分解能を向上できる走査型プローブ顕微鏡を提
供することにある。 【解決手段】 探針１０を原子間力の作用する試料３２
の表面の領域まで近付けるＺ軸粗動動作を終了すると、
該加熱コイル１６に流す電流は遮断され、粘弾性体１７
は自然冷却される。この自然冷却によりスキャナは熱収
縮するが、スキャナの微動制御を中立状態（ボイスコイ
ル６に流す電流が０の状態）に維持して、電源電圧制御
部４４から、該ＰＩ制御部４３からの制御信号に対応し
た電圧を、積層圧電セラミックス等で構成された試料高
さ調整装置３４に供給し、探針１０と試料３２との距離
が常に一定となるように、試料高さ調整装置３４の高さ
を制御する。時間が経過して、熱的な平衡状態に達し、
スキャナ長の収縮が止まったら、試料高さ調整装置３４
を固定し、スキャナ側の微動制御に切り替える。
く、かつ分解能を向上できる走査型プローブ顕微鏡を提
供することにある。 【解決手段】 探針１０を原子間力の作用する試料３２
の表面の領域まで近付けるＺ軸粗動動作を終了すると、
該加熱コイル１６に流す電流は遮断され、粘弾性体１７
は自然冷却される。この自然冷却によりスキャナは熱収
縮するが、スキャナの微動制御を中立状態（ボイスコイ
ル６に流す電流が０の状態）に維持して、電源電圧制御
部４４から、該ＰＩ制御部４３からの制御信号に対応し
た電圧を、積層圧電セラミックス等で構成された試料高
さ調整装置３４に供給し、探針１０と試料３２との距離
が常に一定となるように、試料高さ調整装置３４の高さ
を制御する。時間が経過して、熱的な平衡状態に達し、
スキャナ長の収縮が止まったら、試料高さ調整装置３４
を固定し、スキャナ側の微動制御に切り替える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は走査型プローブ顕
微鏡に関し、特に、スキャナ内部に充填された粘弾性体
の温度を変えることによって、粗動機構および微動機構
の切り替えを行う走査型原子間力顕微鏡（ＡＦＭ： Ato
mic Force Microscope）等の走査型プローブ顕微鏡に関
する。
微鏡に関し、特に、スキャナ内部に充填された粘弾性体
の温度を変えることによって、粗動機構および微動機構
の切り替えを行う走査型原子間力顕微鏡（ＡＦＭ： Ato
mic Force Microscope）等の走査型プローブ顕微鏡に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の走査型プローブ顕微鏡の一例を、
図４を参照して説明する。図示されているように、Ｚ方
向のボイスコイルモータ１は、第１の磁石２と、その心
棒部３に遊嵌されている可動子４と、該可動子４を弾性
的に支持するメンブレン５と、該可動子４の周囲に巻回
されているコイル６から構成されている。該コイル６に
は、電流源７から該ボイスコイルモータ１を作動させる
に必要な電流が供給される。
図４を参照して説明する。図示されているように、Ｚ方
向のボイスコイルモータ１は、第１の磁石２と、その心
棒部３に遊嵌されている可動子４と、該可動子４を弾性
的に支持するメンブレン５と、該可動子４の周囲に巻回
されているコイル６から構成されている。該コイル６に
は、電流源７から該ボイスコイルモータ１を作動させる
に必要な電流が供給される。
【０００３】前記可動子４には、Ｚ方向に延びるスピン
ドル８の一端が固着されている。該スピンドル８の他端
には、カンチレバー等の探針１０が装着されている。ま
た、該スピンドル８はその下端部でばね１１によりスキ
ャナ可動部材１２に支持されている。筐体１３に支持さ
れかつ試料室に突出する細管部１４と、これに連なる太
管部１５とが設けられ、該太管部１５の一部には加熱コ
イル１６が巻回されている。該太管部１５は熱伝導性の
良い金属などの材料により構成されている。また、該太
管部１５と前記スキャナ可動部材１２との間には、例え
ばエチレングリコール、グリコールフタレート等のポリ
マ類からなる粘弾性体１７が挿入充填されている。該粘
弾性体１７は室温（約２５°Ｃ）では固体と同様の性質
を示すが、前記加熱コイル１６に通電され、４２°Ｃ程
度まで加熱されると急激に軟化し、粘性を示すようにな
る。
ドル８の一端が固着されている。該スピンドル８の他端
には、カンチレバー等の探針１０が装着されている。ま
た、該スピンドル８はその下端部でばね１１によりスキ
ャナ可動部材１２に支持されている。筐体１３に支持さ
れかつ試料室に突出する細管部１４と、これに連なる太
管部１５とが設けられ、該太管部１５の一部には加熱コ
イル１６が巻回されている。該太管部１５は熱伝導性の
良い金属などの材料により構成されている。また、該太
管部１５と前記スキャナ可動部材１２との間には、例え
ばエチレングリコール、グリコールフタレート等のポリ
マ類からなる粘弾性体１７が挿入充填されている。該粘
弾性体１７は室温（約２５°Ｃ）では固体と同様の性質
を示すが、前記加熱コイル１６に通電され、４２°Ｃ程
度まで加熱されると急激に軟化し、粘性を示すようにな
る。
【０００４】また、前記ボイスコイルモータ１と同構成
のｘ方向ボイスコイルモータ２１が図示の位置に設けら
れ、該ｘ方向ボイスコイルモータ２１と同構成のｙ方向
ボイスコイルモータ（図示せず）が９０°回転した位置
に設けられている。前記探針１０と対向する位置には試
料台３１が設けられ、該試料台３１上に検査すべき試料
３２が載置されている。また、該試料台３１は粗動ｘ，
ｙ，ｚステージ３３上に設置されている。
のｘ方向ボイスコイルモータ２１が図示の位置に設けら
れ、該ｘ方向ボイスコイルモータ２１と同構成のｙ方向
ボイスコイルモータ（図示せず）が９０°回転した位置
に設けられている。前記探針１０と対向する位置には試
料台３１が設けられ、該試料台３１上に検査すべき試料
３２が載置されている。また、該試料台３１は粗動ｘ，
ｙ，ｚステージ３３上に設置されている。
【０００５】さて、前記の構成を有する走査型プローブ
顕微鏡において、探針１０を試料３２の面に近付けるＺ
軸粗動動作を行う場合、粘弾性体１７を加熱コイル１６
に電流を流して加熱し、スキャナ長を可変状態として、
ボイスコイルモータ１でスピンドル８にＺ方向の力を加
え、探針１０を原子間力の作用する試料３２の表面の領
域まで近付ける。該Ｚ軸粗動動作を終了すると、該加熱
コイル１６に流す電流量を減らして加熱温度を低下さ
せ、粘弾性体１７を半硬化状態として微動状態に切り替
え、試料面の操作を開始する。
顕微鏡において、探針１０を試料３２の面に近付けるＺ
軸粗動動作を行う場合、粘弾性体１７を加熱コイル１６
に電流を流して加熱し、スキャナ長を可変状態として、
ボイスコイルモータ１でスピンドル８にＺ方向の力を加
え、探針１０を原子間力の作用する試料３２の表面の領
域まで近付ける。該Ｚ軸粗動動作を終了すると、該加熱
コイル１６に流す電流量を減らして加熱温度を低下さ
せ、粘弾性体１７を半硬化状態として微動状態に切り替
え、試料面の操作を開始する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記したように、Ｚ軸
粗動動作が終了するとスキャナ部の温度は低下させられ
るため、熱収縮でスキャナ長が短くなる。このため、探
針１０が試料面より離れないように、ボイスコイルモー
タ１に電流を流すと共に、加熱コイル１６に電流を流し
て粘弾性体１７が半硬化状態となる余熱温度に制御する
ことにより、スキャナ可動部を徐々に下方向に移動させ
ることが必要となる。このように、従来は、粘弾性体１
７を半硬化状態となる余熱温度に保つために、常に温度
制御が必要であるという問題、および粘弾性体１７を半
硬化状態に維持して試料３２の観察を行うために、分解
能を上げることができないという問題があった。
粗動動作が終了するとスキャナ部の温度は低下させられ
るため、熱収縮でスキャナ長が短くなる。このため、探
針１０が試料面より離れないように、ボイスコイルモー
タ１に電流を流すと共に、加熱コイル１６に電流を流し
て粘弾性体１７が半硬化状態となる余熱温度に制御する
ことにより、スキャナ可動部を徐々に下方向に移動させ
ることが必要となる。このように、従来は、粘弾性体１
７を半硬化状態となる余熱温度に保つために、常に温度
制御が必要であるという問題、および粘弾性体１７を半
硬化状態に維持して試料３２の観察を行うために、分解
能を上げることができないという問題があった。
【０００７】この発明の目的は、前記した従来技術の問
題点を除去し、粘弾性体を半硬化状態に維持する必要が
なく、かつ分解能を向上できる走査型プローブ顕微鏡を
提供することにある。
題点を除去し、粘弾性体を半硬化状態に維持する必要が
なく、かつ分解能を向上できる走査型プローブ顕微鏡を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、温度により粘性が変化する粘弾性体を有
する粗動機構を搭載した走査型プローブ顕微鏡のオフセ
ット除去装置において、試料を載置し、これを上下動さ
せる試料高さ調整装置と、Ｚ軸粗動終了時に該粘弾性体
の加熱を停止する手段と、Ｚ軸粗動終了後のＺ軸変位オ
フセット量を測定し、該Ｚ軸変位オフセット量を相殺す
るように前記試料高さ調整装置を制御する制御装置とを
具備した点に特徴がある。
に、本発明は、温度により粘性が変化する粘弾性体を有
する粗動機構を搭載した走査型プローブ顕微鏡のオフセ
ット除去装置において、試料を載置し、これを上下動さ
せる試料高さ調整装置と、Ｚ軸粗動終了時に該粘弾性体
の加熱を停止する手段と、Ｚ軸粗動終了後のＺ軸変位オ
フセット量を測定し、該Ｚ軸変位オフセット量を相殺す
るように前記試料高さ調整装置を制御する制御装置とを
具備した点に特徴がある。
【０００９】この特徴によれば、前記粘弾性体の余熱温
度制御が不要となり、電力の消費を減少させることがで
きると共に、粘弾性体を硬化させた状態で試料観察のた
めの走査をさせることができるので、分解能を向上させ
ることができるようになる。
度制御が不要となり、電力の消費を減少させることがで
きると共に、粘弾性体を硬化させた状態で試料観察のた
めの走査をさせることができるので、分解能を向上させ
ることができるようになる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
を詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態の構成の
説明図であり、図４と同一の符号は同一または同等物を
示す。比較器４１、目標値設定部４２、および比例積分
（ＰＩ）制御部４３はＺサーボ系を構成しており、ＰＩ
制御部４３からは、探針１０のＺ方向変位に対応した制
御信号が出力される。
を詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態の構成の
説明図であり、図４と同一の符号は同一または同等物を
示す。比較器４１、目標値設定部４２、および比例積分
（ＰＩ）制御部４３はＺサーボ系を構成しており、ＰＩ
制御部４３からは、探針１０のＺ方向変位に対応した制
御信号が出力される。
【００１１】さて、本実施形態では、探針１０を試料３
２の面に近付けるＺ軸粗動時（すなわち、アプローチ
時）には、加熱コイル１６に電流を流して粘弾性体１７
を加熱し、スキャナ長を可変状態として、ボイスコイル
モータ１に電流源４５から電流を供給してスピンドル８
にＺ方向の力を加え、探針１０を試料３２の表面に近付
ける。探針１０が原子間力の作用する試料表面の領域ま
で移動させられて、Ｚ軸粗動動作を終了すると、該加熱
コイル１６に流す電流を遮断する。
２の面に近付けるＺ軸粗動時（すなわち、アプローチ
時）には、加熱コイル１６に電流を流して粘弾性体１７
を加熱し、スキャナ長を可変状態として、ボイスコイル
モータ１に電流源４５から電流を供給してスピンドル８
にＺ方向の力を加え、探針１０を試料３２の表面に近付
ける。探針１０が原子間力の作用する試料表面の領域ま
で移動させられて、Ｚ軸粗動動作を終了すると、該加熱
コイル１６に流す電流を遮断する。
【００１２】Ｚ軸粗動動作が終了すると、粘弾性体１７
は冷却され、スキャナは熱収縮するが、スキャナの微動
制御を中立状態（ボイスコイル６に流す電流が０の状
態）に維持して、スイッチ４７の端子ａを介して電源電
圧制御部４４に、ＰＩ制御部４３から探針１０のＺ方向
変位に対応した制御信号を供給する。電源電圧制御部４
４は、該ＰＩ制御部４３からの制御信号に対応した電圧
を、積層圧電セラミックス等で構成された試料高さ調整
装置３４に供給し、探針１０と試料３２との距離が常に
一定となるように、試料高さ調整装置３４の高さを制御
する。時間が経過して、熱的な平衡状態に達し、スキャ
ナ長の収縮が止まったら、試料高さ調整装置３４を固定
し、スキャナ側の微動制御に切り替える。
は冷却され、スキャナは熱収縮するが、スキャナの微動
制御を中立状態（ボイスコイル６に流す電流が０の状
態）に維持して、スイッチ４７の端子ａを介して電源電
圧制御部４４に、ＰＩ制御部４３から探針１０のＺ方向
変位に対応した制御信号を供給する。電源電圧制御部４
４は、該ＰＩ制御部４３からの制御信号に対応した電圧
を、積層圧電セラミックス等で構成された試料高さ調整
装置３４に供給し、探針１０と試料３２との距離が常に
一定となるように、試料高さ調整装置３４の高さを制御
する。時間が経過して、熱的な平衡状態に達し、スキャ
ナ長の収縮が止まったら、試料高さ調整装置３４を固定
し、スキャナ側の微動制御に切り替える。
【００１３】図２(a) 、(b) および(c) は、それぞれＺ
軸粗動完了後のスキャナ温度、探針１０の高さ、および
試料台３１の高さの時間的変化を示す図であり、Ｚ軸粗
動完了後、前記加熱コイル１６に流す電流が遮断されス
キャナ温度が低下すると、探針１０の高さはスキャナの
熱収縮のため、図示のように上昇しオフセットが発生す
る。一方、試料台３１の高さは、該オフセットが相殺さ
れるように、試料台高さ調整装置３４を制御することに
より、試料台３１の高さは図示のように上昇する。この
結果、スキャナが熱収縮しても、探針１０は原子間力の
作用する試料３２の表面の領域に保持されることにな
る。
軸粗動完了後のスキャナ温度、探針１０の高さ、および
試料台３１の高さの時間的変化を示す図であり、Ｚ軸粗
動完了後、前記加熱コイル１６に流す電流が遮断されス
キャナ温度が低下すると、探針１０の高さはスキャナの
熱収縮のため、図示のように上昇しオフセットが発生す
る。一方、試料台３１の高さは、該オフセットが相殺さ
れるように、試料台高さ調整装置３４を制御することに
より、試料台３１の高さは図示のように上昇する。この
結果、スキャナが熱収縮しても、探針１０は原子間力の
作用する試料３２の表面の領域に保持されることにな
る。
【００１４】この実施形態によれば、粘弾性体１７の余
熱温度制御が不要となり、電力の消費を減少させること
ができるようになる。また、粘弾性体１７を硬化状態で
走査できるので、分解能を向上させることができるよう
になる。次に、本実施形態の変形例を説明する。上記の
実施形態では、スキャナ長の収縮が止まり、スキャナ側
の微動制御に切り替えた時には、試料高さ調整装置３４
の高さを固定するために、電源電圧制御部４４からオフ
セット電圧を常に印加する構成であったが、スキャナの
熱収縮量を前回のＺ軸粗動動作により予め求めてオフセ
ット電圧保持部４６に保持しておき、Ｚ軸粗動動作開始
前に、スイッチ４７を端子ｂ側に切換えて、該熱収縮量
のオフセット電圧を試料高さ調整装置３４に予め与えて
おけば、Ｚ軸粗動動作が終了し、スキャナの熱収縮が終
了した時点で、スキャナおよび試料高さ調整装置３４
を、オフセット０の中立付近で使うことができるように
なる。
熱温度制御が不要となり、電力の消費を減少させること
ができるようになる。また、粘弾性体１７を硬化状態で
走査できるので、分解能を向上させることができるよう
になる。次に、本実施形態の変形例を説明する。上記の
実施形態では、スキャナ長の収縮が止まり、スキャナ側
の微動制御に切り替えた時には、試料高さ調整装置３４
の高さを固定するために、電源電圧制御部４４からオフ
セット電圧を常に印加する構成であったが、スキャナの
熱収縮量を前回のＺ軸粗動動作により予め求めてオフセ
ット電圧保持部４６に保持しておき、Ｚ軸粗動動作開始
前に、スイッチ４７を端子ｂ側に切換えて、該熱収縮量
のオフセット電圧を試料高さ調整装置３４に予め与えて
おけば、Ｚ軸粗動動作が終了し、スキャナの熱収縮が終
了した時点で、スキャナおよび試料高さ調整装置３４
を、オフセット０の中立付近で使うことができるように
なる。
【００１５】次に、本発明の第２実施形態を、図３を参
照して説明する。この実施形態は、前記第１実施形態の
試料高さ調整装置３４をボイスコイルモータ３８で構成
した点に特徴がある。該ボイスコイルモータ３８のボイ
スコイルは、スイッチ４７が端子ａに接続されている時
には、前記ＰＩ制御部４３からの出力である探針１０の
Ｚ方向変位に対応した制御信号によって制御された電源
電流制御部４８からオフセット補償電流を供給され、試
料台３１の高さを前記オフセットを相殺するように制御
する。
照して説明する。この実施形態は、前記第１実施形態の
試料高さ調整装置３４をボイスコイルモータ３８で構成
した点に特徴がある。該ボイスコイルモータ３８のボイ
スコイルは、スイッチ４７が端子ａに接続されている時
には、前記ＰＩ制御部４３からの出力である探針１０の
Ｚ方向変位に対応した制御信号によって制御された電源
電流制御部４８からオフセット補償電流を供給され、試
料台３１の高さを前記オフセットを相殺するように制御
する。
【００１６】また、前回のＺ軸粗動動作により予め求め
られたオフセット電圧保持部４６に保持しておき、Ｚ軸
粗動動作開始前に、スイッチ４６を端子ｂ側に切換え
て、該熱収縮量のオフセット電圧を試料高さ調整装置３
４に予め与えておけば、Ｚ軸粗動動作が終了し、スキャ
ナの熱収縮が終了した時点で、スキャナおよび試料高さ
調整装置３４を、オフセット０の中立付近で使うことが
できるようになる。
られたオフセット電圧保持部４６に保持しておき、Ｚ軸
粗動動作開始前に、スイッチ４６を端子ｂ側に切換え
て、該熱収縮量のオフセット電圧を試料高さ調整装置３
４に予め与えておけば、Ｚ軸粗動動作が終了し、スキャ
ナの熱収縮が終了した時点で、スキャナおよび試料高さ
調整装置３４を、オフセット０の中立付近で使うことが
できるようになる。
【００１７】前記第１、第２実施形態において、Ｚ軸ボ
イスコイルに流す電流および試料高さ調整装置３４、３
８に印加する電圧または電流を中立状態に保持して、ス
キャナの微動制御を行うと、電力の無駄な消費を極力削
減できるようになる。
イスコイルに流す電流および試料高さ調整装置３４、３
８に印加する電圧または電流を中立状態に保持して、ス
キャナの微動制御を行うと、電力の無駄な消費を極力削
減できるようになる。
【００１８】
【発明の効果】前記の説明から明らかなように、本発明
によれば、Ｚ軸粗動終了時に粘弾性体の加熱を停止し、
該粘弾性体を含むスキャナの熱収縮によって発生するＺ
軸変位オフセット量を相殺するようにしたので、粘弾性
体の余熱温度制御が不要となり電力消費を減少させるこ
とができるようになる。また、該粘弾性体を硬化させた
状態で、スキャナを走査できるようになるので、観察像
の分解能を向上させることができるようになるという効
果がある。
によれば、Ｚ軸粗動終了時に粘弾性体の加熱を停止し、
該粘弾性体を含むスキャナの熱収縮によって発生するＺ
軸変位オフセット量を相殺するようにしたので、粘弾性
体の余熱温度制御が不要となり電力消費を減少させるこ
とができるようになる。また、該粘弾性体を硬化させた
状態で、スキャナを走査できるようになるので、観察像
の分解能を向上させることができるようになるという効
果がある。
【図１】本発明の第１実施形態の構成を示すブロック図
である。
である。
【図２】本実施形態の動作の概略説明図である。
【図３】本発明の第２実施形態の構成を示すブロック図
である。
である。
【図４】従来装置の構成を示すブロック図である。
１０ 探針 ３４ 試料高さ調整装置 ４１ 比較器 ４２ 目標値設定部 ４３ ＰＩ制御部 ４４ 電源電圧制御部 ４６ オフセット電圧保持部 ４７ スイッチ ４８ 電源電流制御部
Claims (4)
- 【請求項１】 温度により粘性が変化する粘弾性体を有
する粗動機構を搭載した走査型プローブ顕微鏡のオフセ
ット除去装置において、 試料を載置し、これを上下動させる試料高さ調整装置
と、 Ｚ軸粗動終了時に該粘弾性体の加熱を停止する手段と、 Ｚ軸粗動終了後のＺ軸変位オフセット量を測定し、該Ｚ
軸変位オフセット量を相殺するように前記試料高さ調整
装置を制御する制御装置とを具備したことを特徴とする
走査型プローブ顕微鏡のオフセット除去装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡
のオフセット除去装置において、 前記Ｚ軸変位オフセット量を保持する手段を具備し、 Ｚ軸粗動動作開始前に、該Ｚ軸変位オフセット量に相当
する変位を前記試料高さ調整装置に予め与えておいてＺ
軸粗動動作を行うようにしたことを特徴とする走査型プ
ローブ顕微鏡のオフセット除去装置。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の走査型プロー
ブ顕微鏡のオフセット除去装置において、 スキャナ側の微動装置を具備し、 前記Ｚ軸粗動後に前記粘弾性体の加熱を停止し、該停止
直後から該粘弾性体の温度が安定するまでは、前記スキ
ャナ側の微動装置の制御量を一定にして試料の高さ調整
を行うようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微
鏡のオフセット除去装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の走査型プローブ顕微鏡
のオフセット除去装置において、 前記スキャナ側の微動装置の制御量を０にしたことを特
徴とする走査型プローブ顕微鏡のオフセット除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11164335A JP2000352553A (ja) | 1999-06-10 | 1999-06-10 | 走査型プローブ顕微鏡のオフセット除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11164335A JP2000352553A (ja) | 1999-06-10 | 1999-06-10 | 走査型プローブ顕微鏡のオフセット除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000352553A true JP2000352553A (ja) | 2000-12-19 |
Family
ID=15791225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11164335A Pending JP2000352553A (ja) | 1999-06-10 | 1999-06-10 | 走査型プローブ顕微鏡のオフセット除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000352553A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100439966C (zh) * | 2005-06-14 | 2008-12-03 | 清华大学 | 微操作探针 |
| CN104931333A (zh) * | 2015-05-13 | 2015-09-23 | 太原理工大学 | 一种可变径局部原位压入测试装置 |
| CN108080733A (zh) * | 2016-11-22 | 2018-05-29 | 镇江亚昆机械有限公司 | 一种精确移动切割机 |
-
1999
- 1999-06-10 JP JP11164335A patent/JP2000352553A/ja active Pending
Cited By (3)
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