JP3912348B2 - 弾性表面波デバイスの製造方法 - Google Patents
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まず、フリップチップ実装工程を行なう。前記実装基板2は、絶縁基板3の底部に表面実装用の外部電極4及び上部にSAWチップ15を実装するための配線パターン5と該配線パターン5を囲繞する枠体20を備えると共に、内部に外部電極4と配線パターン5とを電気的導通する内部導体6を備えている。また、SAWチップ15は圧電基板18の主面上にSAWを励振するためのIDT17と該IDT17と導通した接続パッド16を備えている。そして、実装基板2上の配線パターン5とSAWチップ15上の接続パッド16とを導体バンプ10を用いて接続することによりフリップチップ実装を行う。なお、前記枠体20は以下の条件(1)〜(4)を全て満たすように設置されている。
(1)枠体20は、SAWチップ15と実装基板母材40との間の空間Sの外周に設けられ、実装基板母材40上面から圧電基板18底面までの間隙よりも小さい厚みであること。
(2)枠体20の各辺の幅は、ダイシング切り代Dより大きいこと。
(3)枠体20は、ダイシング切り代Dを覆うように実装基板母材40上に設けられていること。
(4)枠体20の少なくとも一部が圧電基板18と実装基板母材40上との間に挟まれていること。即ち、SAWチップ15の周縁部と重複するように枠体20を設定すること。
次に、図2に示すように、下枠配設工程及び樹脂シート載置工程を行なう。まず、前記実装基板母材40上の外周縁に位置するSAWチップ15の外側に、前記実装基板母材40上に実装した隣接するSAWチップ15同士で対向する端面間の間隙Eと同一の大きさを有する空間F(=E)を形成するための環状の下枠81を配設する。つぎに、前記実装基板母材40上に実装した複数のSAWチップ15の上面及び前記下枠81の内側周縁を跨るように、即ち下枠81の開口を閉止するように樹脂シート30を載置する。この樹脂シート30は、樹脂シート本体31の一方の面に離型性を有する保護フィルム32、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)からなるフィルムを剥離可能に貼付している。
L/{(X+Gx)(Y+Gy)}≦tr
但し、L=(X+Gx)(Y+Gy)(H+T+A)−XYT−XYA−{XVyA+YVxA+(4VxVyA)/3}
(L:一つのSAWチップ外面を封止するのに必要な樹脂シートの体積、X:SAWチップの一辺の長さ、Y:SAWチップの他辺の長さ、Gx:X方向に隣接し合うSAWチップの間隔、Vx:Y方向へ延びるダイシング切り代から直近のSAWチップ側面までの距離、Gy:Y方向に隣接し合うSAWチップ間の間隔、Vy:X方向へ延びるダイシング切り代から直近のSAWチップ側面までの距離、H:一つのSAWチップ外面を樹脂シートにて被覆完了した後のSAWチップ上面に位置する樹脂の厚さ、T:圧電基板の厚さ、A:実装基板母材上面から圧電基板底面までの間隔)とする。
これは、SAWチップ間の裾部に樹脂が行き渡るのに必要な樹脂シートの体積を求め、この体積の値をSAWチップ一個当りの実装基板の面積で割った式であり、最低限必要な樹脂シート本体31の厚みを算出できる。なお、樹脂シート本体の厚さtrの上限値については、樹脂が気密空所内に入り込み過ぎて、SAW伝搬領域に樹脂が付着しないような値を選択すればよい。
次に、ラミネート工程を行なう。ここでは、図3(a)に示すような熱ローララミネート方法を用いた例について説明する。熱ローララミネート工程を実施するためのラミネート装置50は、SAWチップ15を搭載した実装基板母材40を矢印で示す方向へ所定のラミネート速度で移動させる移動手段と、SAWチップ15上の樹脂シート30の上面に圧接して矢印方向へ回転駆動される熱ローラとしての押圧ローラ51と、実装基板母材40の下面を支持して押圧ローラ51との間で加圧力を発生するガイド部材としての支持ローラ52とを備えている。押圧ローラ51は、ヒータにより所要温度に加熱制御されると共に、駆動源により実装基板母材40をラミネート方向へ送るように回転駆動される。そして、支持ローラ52は、矢印方向へ連れ回り、或いは回転駆動される。この熱ローララミネート工程では、以下の条件(5)〜(8)を満たすことが求められる。
(5)押圧ローラ51の加熱温度を樹脂シート30の軟化(又は溶融)温度以上、且つ硬化温度未満に設定すること。
(6)押圧ローラ51によって樹脂シート30を押圧ローラ51にて加熱しながら加圧することにより軟化(又は溶融)させること。
(7)軟化(又は溶融)した樹脂シート30を押圧ローラ51にて加熱しながら加圧することによって、樹脂シート本体31を(実装基板母材上の中央部に位置し)隣接するSAWチップ同士の谷間に充填、浸透させて、気密空間Sを保持しながらSAWチップ15を樹脂にて被覆すること。
(8)軟化(又は溶融)した樹脂シート30を押圧ローラ51にて加熱しながら加圧することによって、樹脂シート本体31を(実装基板母材40上の外周縁に位置する)SAWチップと該SAWチップの外側に前記樹脂シート本体が流出するのを防ぐための前記下枠81との谷間に充填、浸透させて、気密空間Sを保持しながらSAWチップ15を樹脂にて被覆すること。
ラミネート工程後のSAWデバイスは、図3(b)に示すように、少なくとも前記下枠81を(望ましくは前記枠体20をも)設けたことにより、ラミネート工程時に前記樹脂シート30が前記SAWチップ15の外面から前記下枠81の内側に露出する実装基板母材40の上面にかけて充填される際に、実装基板母材40上に実装されたSAWチップの箇所に関わらず、樹脂が実装基板母材40上面から圧電基板18底面までの間隙、特に圧電基板18底面周縁の間隙に入り込む量(であって前記気密空間Sには到達しない量である。)を制御することができる。また、枠体20の厚みは実装基板母材40上面から圧電基板18底面までの間隙よりも小さいので、各SAWチップ15を個片毎にエアーを抜きながら容易にラミネートすることができるのでボイドの発生を抑圧することができる。
ラミネート工程後、図4に示すようなプレス成形工程を行う。このプレス成形工程は、プレス成形装置60によって実施される。前記プレス成形装置60は、前記実装基板母材40の底面を支持する金属型61と、金属型61上に支持された実装基板母材40の外径方向に位置するスペーサ62と、少なくとも前記下枠81の開口部と略一致する(同等若しくは若干大きい)大きさの開口部を備える環状の押えフレーム63と、該押えフレーム63の上面を加圧する金属板(加圧部材)64と、プレス機70と、を備えている。まず図4(a)のように、ラミネート工程を終えた樹脂ラミネート済み実装基板母材(ラミネート済みユニットUと称す)を前記金属型61の上面に載置し、ラミネート済みユニットUに過剰な圧力がかからぬように、ラミネート済みユニットUの外径方向に離間して前記スペーサ62を設ける。該スペーサ62は金属型61の上面に固定する。そして、前記押えフレーム63の開口部中央及び前記下枠81の開口部略中央が互いに略一致する共に実装基板母材40上にラミネートされた樹脂シート30の上面外周縁を挟んで下枠81の上方に押えフレーム63を配置し該押えフレーム63の上面に前記金属板64を載置する。
ラミネート済みユニットUを図4(a)のようにセットした後、プレス機70を用いて図4(b)に示すようにプレス成形を行う。このプレス機70は、上型(加圧部材)71と下型72とからなり、上型71と下型72とはそれぞれ樹脂の硬化温度に設定されている。下型72上に金属型61を載置すると共に、前記金属板64の上面に上型71を当接し所望のプレス圧力で前記スペーサ62によりプレス動作が規制されるまで加圧する。前記金属板64は前記押えフレーム63の開口部を閉止することで、該開口部から加圧によって隆起する前記樹脂シート30を抑圧すると共に、(プレス成形工程後の)前記樹脂シート高さを一定に揃える役割も備える。
プレス成形工程後のSAWデバイスにおける前記圧電基板18底面周縁の間隙に入り込む樹脂量(はラミネート工程時に浸入した樹脂をさらに内部方向へ押し込むが前記気密空間Sには到達しない。)の制御は、ラミネート工程同様、前記下枠81を設置したことに依存する。そこで、製造工数や材料費の削減を考慮して前記枠体20を削除し、前記下枠81(及び前記押えフレーム63)による樹脂浸入量を制御する方法、特に下枠81及び押えフレーム63の外形寸法、プレス圧力について説明する。
前記下枠81及び前記押えフレーム63の外形寸法条件は、前記下枠81の厚さをH1とし前記押えフレーム63の厚さをH2とすると、(A+T)≦H1+H2≦Rh(以下「数式1」と示す。)で表される。ここでRh=H+〔{XY(A+T)N}/(RxRy)〕(以下「数式2」と示す。)である。ただし、Rh:ラミネート後の樹脂シート本体の厚さ、Rx:下枠内側の一方辺の長さ、Ry:下枠内側の他方辺の長さ、H:ラミネート前の樹脂シート本体の厚さ、X:SAWチップの一方辺の長さ、Y:SAWチップの他方辺の長さ、A:実装基板母材上面から圧電基板底面までの間隔高さ、T:圧電基板の厚さ、N:実装基板母材に実装したSAWチップの総数である。前記Rhの算出式は、ラミネート前の樹脂シート本体の体積:RxRyHがラミネート後の樹脂シート本体の体積:RhRxRyからN個のSAWチップ及び該SAWチップ下面と実装基板母材上面との間の間隙体積:XY(A+T)Nを減じた体積に略一致する(前記樹脂シートは非圧縮性材料とする。)ことから、HRxRy=RhRxRy−{XY(A+T)N}を、HRxRy+{XY(A+T)N}=RhRxRyとし、両辺をRxRyで除することでH+〔{XY(A+T)N}/(RxRy)〕=Rhとなる。
そして、下枠81の厚さH1と前記押えフレーム63の厚さH2との和(H1+H2)を最大でも(プレス工程後の)所望する樹脂シートの厚みと同一にすることで、望ましくはそれよりは小さく(薄く)なるように設定し前記プレス機70の(前記上型71の)可動ストロークを調整した上で所望のプレス圧力で加圧し所望の厚みに成形された樹脂シートを備えるプレス済みユニットU1(プレス工程終了後の前記ラミネート済みユニットU)を得ることが可能になる。
(A)前記押えフレーム63及び前記金属板64は互いに独立した部材であること。
(B)前記押えフレーム63の開口部中央及び前記金属板64の開口部中央が互いに略一致するように設置していること。
(C)前記下枠81の厚さH1と前記押えフレーム63の厚さH2との和は、少なくともH1+H2≦Rh(前記数式1)の関係を有すること。
(D)プレス圧力は0.3MPa以上であること。
プレス成形工程後、前記押えフレームと取り外し前記保護フィルム32を剥離し、後硬化工程に入る。後硬化工程では、雰囲気温度を樹脂硬化温度に設定した恒温槽(後硬化装置)内に前記プレス済みユニットU1を図6(a)のような状態で配置し加熱する。加熱時間は選択した樹脂シートの材質等の条件の違いによって適宜硬化条件を選択する必要がある。そして、樹脂が完全に硬化した後、図6(a)に示されているダイシング切り代に沿って幅Dのダイシングブレードにてダイシングし、図6(b)のような個片のSAWデバイス1が複数個完成する。
(E)第一の枠体20と第二の枠体21の高さの和をSAWチップ15の上面の高さよりも低く設定すること。
(F)第二の枠体21の各辺の幅はダイシング切り代Dの幅よりも大きくすること。
(G) 第二の枠体21はダイシング切り代Dを覆うように実装基板母材40上面に設けること。
(H)第二の枠体21の各辺の幅は第一の枠体20の各辺の幅よりも小さくすること。
このように、第一の枠体上に第二の枠体を設けることにより、第一の実施形態と比較して、ラミネート工程時にボイドが発生してもダイシング切り代に到達しにくくなり、また、樹脂も気密空間Sに浸入しにくくなるので、より確実に気密空間を保持した高品質なSAWデバイスを提供できる。
5・・配線パターン 5・・内部導体 7・・導体バンプ 8・・SAWチップ
9・・接続パッド 17・・IDT 18・・圧電基板
20・・枠体(第一の枠体) 21・・第二の枠体 30・・樹脂シート
31・・樹脂シート本体 32・・保護フィルム 40・・実装基板母材
51・・押圧ローラ 52・・支持ローラ 53・・ブレード
60・・プレス成形装置 61・・金属型 62・・スペーサ
63・・押えフレーム 64・・金属板(加圧部材) 70・・プレス機
71・・上型 72・・下型 81・・下枠 100・・電子装置
101・・実装基板 101a・・一方の主面 102・・導体パターン
103・・電子部品 103a・・一方の主面 103b・・他方の主面
104・・接続電極 105・・樹脂フィルム 106・・間隙
107・・ヒーター 108・・治具 108A・・治具本体
108B・・吸引孔
Claims (5)
- 弾性表面波チップと、上面に前記弾性表面波チップをフリップチップ実装した実装基板と、前記弾性表面波チップに形成されたIDTと前記実装基板との間に気密空間を形成しつつ前記弾性表面波チップの外面と前記実装基板の上面とを覆う封止樹脂と、を備えた弾性表面波デバイスの製造方法であって、
複数の前記実装基板をシート状に連結する実装基板母材に前記弾性表面波チップをフリップチップ実装する工程と、前記実装基板母材上の外周縁に位置する前記弾性表面波チップの外側に下枠を配設する工程と、前記実装基板母材に実装した複数の弾性表面波チップの上面に樹脂シートを載置する工程と、実装基板の一端から他端に向けて前記樹脂シートを軟化又は溶融させながら加圧することにより前記弾性表面波チップの外面を樹脂にて覆うラミネート工程と、ラミネートした前記樹脂を加圧しながら加熱硬化させるプレス成形工程と、プレス成形した前記樹脂を完全に加熱硬化させる後硬化工程と、を備え、
前記プレス成形工程において、前記下枠及び該下枠の開口部と略一致する大きさの開口
部を備える押えフレームを前記樹脂シートを挟んで対向配置させ前記プレス成形工程を実
施することを特徴とする弾性表面波デバイスの製造方法。 - 前記下枠の厚さをH1とし前記押えフレームの厚さをH2とした場合、
H1+H2≦Rh、Rh=H+〔{XY(A+T)N}/(RxRy)〕
(Rh:ラミネート後の樹脂シート本体の厚さ、Rx:下枠内側の一方辺の長さ、Ry:下枠内側の他方辺の長さ、H:ラミネート前の樹脂シート本体の厚さ、X:SAWチップの一方辺の長さ、Y:SAWチップの他方辺の長さ、A:実装基板母材上面から圧電基板底面までの間隔高さ、T:圧電基板の厚さ、N:実装基板母材に実装したSAWチップの総数)であることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波デバイスの製造方法。 - 弾性表面波チップと、上面に前記弾性表面波チップをフリップチップ実装した実装基板と、前記弾性表面波チップに形成されたIDTと前記実装基板との間に気密空間を形成しつつ前記弾性表面波チップの外面と前記実装基板の上面とを覆う封止樹脂と、を備えた弾性表面波デバイスの製造方法であって、
複数の前記実装基板をシート状に連結する実装基板母材に前記弾性表面波チップをフリップチップ実装する工程と、前記実装基板母材上の外周縁に位置する前記弾性表面波チップの外側に下枠を配設する工程と、前記実装基板母材に実装した複数の弾性表面波チップの上面に樹脂シートを載置する工程と、実装基板の一端から他端に向けて前記樹脂シートを軟化又は溶融させながら加圧することにより前記弾性表面波チップの外面を樹脂にて覆うラミネート工程と、ラミネートした前記樹脂を加圧しながら加熱硬化させるプレス成形工程と、プレス成形した前記樹脂を完全に加熱硬化させる後硬化工程と、を備え、
前記プレス成形工程において、前記下枠及び該下枠の開口部と略一致する大きさの開口部を備える枠状突起を下面に備える治具を前記樹脂シートを挟んで対向配置させ前記プレス成形工程を実施することを特徴とする弾性表面波デバイスの製造方法。 - 前記下枠の厚さをH1とし前記枠状突起の厚さをH2とした場合、
H1+H2≦Rh、Rh=H+〔{XY(A+T)N}/(RxRy)〕
(Rh:ラミネート後の樹脂シート本体の厚さ、Rx:下枠内側の一方辺の長さ、Ry:下枠内側の他方辺の長さ、H:ラミネート前の樹脂シート本体の厚さ、X:SAWチップの一方辺の長さ、Y:SAWチップの他方辺の長さ、A:実装基板母材上面から圧電基板底面までの間隔高さ、T:圧電基板の厚さ、N:実装基板母材に実装したSAWチップの総数)であることを特徴とする請求項3に記載の弾性表面波デバイスの製造方法。 - 前記プレス成形工程において、ラミネートした前記樹脂を0.3MPa以上の圧力で加圧しながら加熱硬化させることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性表面波デバイスの製造方法。
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