JP3898210B2 - 液槽式冷熱衝撃試験装置 - Google Patents

Description

この発明は液槽式冷熱衝撃試験装置に関し、特に小型精密機械等の部品、又は電子部品等の熱的衝撃による耐久性や強度等の試験を行う液槽式冷熱衝撃試験装置に関するものである。

精密機器等の部品や電子部品等は、その一般的テストの他に熱的影響に対しての耐久性を確認するために熱衝撃試験を行っている。従来このテストを行うに際して、試験対象となる試料を低温状態で液状を呈する液体槽と高温の液体槽との間を交互に移動させてこれに浸漬させて試験を行う方式を採用している。

図９は、例えば特許文献１に示されているような従来の液槽式熱衝撃試験装置の概略構造を示す正面図である。

図を参照して、液槽式熱衝撃試験装置６９は、箱型形状の装置本体１４の下方部に低温槽１５と高温槽１６とが断熱層１７を介して並列状態に設置されている。低温槽１５の内部には低温液２１が収納され、高温槽１６の内部には高温液２２が収納されている。低温槽１５の上方は開放されているが、これを密閉状態とするための開閉蓋７０が取り付けられている。一方、高温槽１６の上方面にも同様に開閉蓋７３が取り付けられている。

低温槽１５の上方にはその内部に試料が格納される試料カゴ３１が位置している。試料カゴ３１は仮蓋７１の下面に取り付けられている。仮蓋７１の上方には可動盤７４が配置され、可動盤７４はその上方に位置する第１昇降シリンダ７５ａ，第１昇降シリンダ７５ｂによって所定の長さ分だけ下方に移動できるように構成されている。又、仮蓋７１の中央には可動盤７４に固定されている第２昇降シリンダ７６のピストンロッドが接続するように構成されている。これによって試料カゴ３１は第２昇降シリンダ７６の働きによって更に下方に移動することができるように構成されている。

第１昇降シリンダ７５ａ，第１昇降シリンダ７５ｂが固定されている基盤７２は、横方向に配置されている支持枠体７７に沿って水平方向に移動可能なように構成されている。

図１０は図９の状態から試料カゴ３１を低温槽１５内に下降させた状態を示した概略図である。

図を参照して、所定のタイミングとなると、第１昇降シリンダ７５ａ，第１昇降シリンダ７５ｂが作動して、仮蓋７１及び可動盤７４が一体となって下降する。下降した仮蓋７１は低温槽１５の上面の開放面を塞ぎ、低温槽１５内部を密閉状態とする。この状態で更に第２昇降シリンダ７６が駆動して試料カゴ３１を下降させる。下降した試料カゴ３１は低温槽１５内に収納されている低温液２１に浸漬され低温状態に維持される。

所定時間が経過すると、第２昇降シリンダ７６及び第１昇降シリンダ７５ａ，第１昇降シリンダ７５ｂが各々駆動して図９に示した状態に復帰する。次に開閉蓋７３が開き、試料カゴ３１は水平方向に移動して高温槽１６の上方に位置する。試料カゴ３１が移動すると、開閉蓋３１は閉じて低温槽１５内を密閉状態にする。そして所定のタイミングで図１０に示したのと同様に試料カゴ３１は下降して高温槽１６内部に収納されている高温液２２に浸漬される。これによって試料は高温状態に保持される。

所定時間が経過すると試料カゴ３１は高温槽１６から上方に取り出され、更に水平方向に移動して図９の状態に戻る。このようなサイクルを試料に応じて所定回数繰り返すことによって試料の所望の熱衝撃試験が行われる。

特開昭６０‐２６３８３６号公報

上記のような従来の熱衝撃試験装置では、低温槽と高温槽との間を移動する際、一方の槽から外部に一旦試料カゴが取り出されてから他方の槽へ向かうため、この移動の間で試料カゴに付着した低温液、高温液が拡散してその消費が多くなってしまう。そのため、随時液の補充を行うとしても人手がいるため、長期間の連続的な試験が困難となりやすい。更に、これらの液は高価なものが多く、消費が多いとコスト的に不利な装置となる。又、液は蒸発して拡散するため、環境的にも好ましいものではない。

この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、液の拡散による消費が少なく、長期間の試験にも適した液槽式冷熱衝撃試験装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、請求項１記載の発明は、液槽式冷熱衝撃試験装置であって、低温の第１の浴液を保有する低温槽と、低温槽に隣接され、第１の浴液より高温の第２の浴液を保有する高温槽と、低温槽及び高温槽の上部を密閉状態に囲うと共に、その上面に開口部が形成された箱体と、開口部に対して密閉状態に覆うことができる密閉蓋と、密閉蓋を、開口部を密閉する第１の位置と開口部から上方に離れた第２の位置との間を垂直方向に移動自在とする蓋駆動機構と、密閉蓋にほぼ密閉状態に設けられ、密閉蓋の下方に位置する試料カゴを低温槽の上方の低温側位置と高温槽の上方の高温側位置との間を水平方向に移動自在とする水平駆動機構と、水平駆動機構に保持され、試料カゴを低温側位置と低温槽内の位置との間及び高温側位置と高温槽内の位置との間の各々に対して垂直方向に移動自在とする垂直駆動機構とを備えたものである。

このように構成すると、密閉状態の箱体内において、試料カゴが低温槽と高温槽との間を移動する。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の構成において、箱体、低温槽及び高温槽は、ほぼ密閉状態の箱型形状の装置本体に収納され、装置本体内は、箱体内のテストエリアと箱体外の搬入エリアとに区画され、搬入エリアの圧力はテストエリアの圧力より大きく設定されているものである。

このように構成すると、テストエリア内の気体は搬入エリア内へ拡散しにくくなる。

請求項３記載の発明は、請求項２記載の発明の構成において、密閉蓋の第１の位置への移動の完了に少なくとも応答して、搬入エリアには除湿された圧縮空気が供給されるものである。

このように構成すると、箱体内の湿度は極めて低くなる。

請求項４記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の発明の構成において、密閉蓋にはその内部が視認できる点検窓が形成されるものである。

このように構成すると、密閉蓋が箱体の開口部を塞いだ状態であっても箱体内部を目視できる。

請求項５記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の発明の構成において、低温槽及び高温槽は断熱層によって区画され、低温槽と高温槽との間の断熱層の上面は低温槽に向かって下がるように傾斜しているものである。

このように構成すると、断熱層の傾斜面に落下した浴液の各々は低温槽に流れ込む。

請求項６記載の発明は、請求項１から請求項５のいずれかに記載の発明の構成において、箱体内であって高温槽の上方に取り付けられ、発生する蒸気から第２の浴液を回収する回収器を更に備えたものである。

このように構成すると、第２の浴液の蒸気は回収器によって液化する。

以上説明したように、請求項１記載の発明は、密閉状態の箱体内において試料カゴが低温槽と高温槽との間を移動するため、第１の浴液及び第２の浴液の拡散による消費が低減される。その結果コスト的に有利となり、又、各浴液の管理が容易となるので長期間の試験にも適した装置となる。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の効果に加えて、テストエリア内の気体は搬入エリア内へ拡散しにくくなる。そのため、第１の浴液及び第２の浴液から気化した蒸気は搬入エリアへ漏れにくくなるため各浴液の消費が更に低減される。

請求項３記載の発明は、請求項２記載の発明の効果に加えて、箱体内の湿度は極めて低くなるため、低温槽での氷結現象が防止され装置の信頼性が向上する。

請求項４記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の発明の効果に加えて、密閉蓋が箱体の開口部を塞いだ状態であっても箱体内部を目視できるため、装置の使い勝手がより向上する。

請求項５記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の発明の効果に加えて、断熱層の傾斜面に落下した浴液の各々は低温槽に流れ込むため、各浴液の回収効率がより向上する。

請求項６記載の発明は、請求項１から請求項５のいずれかに記載の発明の効果に加えて、第２の浴液の蒸気は回収器によって液化するため、テストエリア内の高温槽の上方で拡散する蒸気から第２の浴液を効率的に回収することが可能となる。この場合、テストエリアは箱体全体の容積に比べて小さいため蒸気の拡散密度が高くなる。したがって、回収器による回収効率が従来の装置に対して向上する。

図１はこの発明の第１の実施の形態による液槽式冷熱衝撃試験装置の概略構造を示した正面図であり、図２は図１で示した試験装置の概略側面図であり、図３は図１で示した試験装置の概略平面図である。

これらの図を参照して、液槽式冷熱衝撃試験装置１３は、主にその外郭がほぼ密閉構造よりなる直方体形状の装置本体１４によって構成されている。装置本体１４の内部の下方部には第１の浴液として低温液２１を保有する低温槽１５と第２の浴液として高温液２２を保有する高温槽１６とが並列状態に設置され、その周囲は断熱層１７によって充填され区画されている。低温槽１５の側壁には冷却コイル１９が設置され、高温槽１６の底部にはヒーター２０が設置されている。尚、この実施の形態にあっては、低温液２１と高温液２２は同一のフッ素系不活性液（例えば商品名ガルデン）が使用され、試験時には低温液２１にあっては−６５℃に維持され、高温液２２にあっては１５０℃に維持されている。尚、低温液２１と高温液２２とは、必ずしも同一液でなくそれぞれ別の液を使用しても良い。しかし、この実施の形態のように同一液であれば、試験時に低温液と高温液とが混合することによる粘度変化や消費量の増加を危惧する必要が無いため好ましい。

低温槽１５及び高温槽１６の上方には気密性を有する箱体２５が設置され、その内部のテストエリア２３を箱体２５の外部の搬入エリア２８に対して密閉状態となるように設置されている。尚、箱体２５の上面は開口部２６となっており、この開口部２６を試験時外に閉鎖するための遮蔽蓋２７ａ，遮蔽蓋２７ｂが取り付けられている。したがって後述するように開口部２６が密閉蓋３７によって密閉状態となっている時には、箱体２５の内部のテストエリア２３は低温槽１５及び高温槽１６の内部も含めて箱体２５の外方の搬入エリア２８に対して密閉状態に維持されることになる。

又、箱体２５の側壁面であって、高温槽１６の上方側の位置には回収器２９ａ〜回収器２９ｃが取り付けられているが、この機能については後述する。又、低温槽１５と高温槽１６との間の断熱層１７の部分の上面は、低温槽１５に向かって下がるように傾斜している傾斜面２４となっている。この傾斜面２４の効果についても後述する。

装置本体１４の内部であって箱体２５の上方のスペースに密閉蓋３７が設置されている。この密閉蓋３７の平面視の大きさは箱体２５の開口部２６を完全に塞ぐことができる大きさに設定されている。密閉蓋３７の背面側には垂直板３８が接続され、垂直板３８は接続体４８を介して蓋駆動機構４１に係合している。これによって蓋駆動機構４１を駆動させると、接続体４８を介して密閉蓋３７は図に示した位置から図２の２点鎖線で示した位置まで下降できるように構成されている。

密閉蓋３７は、図３に示されているように前面パネル４３側には長方形形状の点検窓４９が形成されている。密閉蓋３７の中央部には左右方向に伸びる互いに平行な一対のガイド４５ａ，ガイド４５ｂが取り付けられている。そしてガイド４５ａ，ガイド４５ｂに掛け渡すように固定板３４が取り付けられている。固定板３４の背面側は接続体４７を介して密閉蓋３７に取り付けられている水平駆動機構３９に係合している。このようにして、水平駆動機構３９を駆動することによって固定板３４は接続体４７を介して左右方向に移動自在となるように構成されている。

固定板３４の図３において右側には蛇腹４６ａが取り付けられ、固定板３４の左側には蛇腹４６ｂが取り付けられている。蛇腹４６ａ，蛇腹４６ｂの各々は固定板３４の左右への移動に伴い伸縮自在となるように構成されており、又その伸縮状態のいずれの状態にあっても密閉蓋３７の上方と下方との間の気密性を阻害しないように構成されている。

一方、固定板３４の上面には垂直駆動機構３２が取り付けられており、そのピストンロッド３３は試料カゴ３１の上面に固定されている。又、固定板３４に対して上下に摺動自在となるようにケーブル用管３５が取り付けられ、その下方端は試料カゴ３１に接続するように構成されている。これによって垂直駆動機構３２を駆動すると、密閉蓋３７に対して試料カゴ３１を下降させることが可能となる。

図４は図１で示した試験装置において使用される浴液の管理のための制御フローを示した概略図である。

図を参照して、まず浴液の温度制御について説明する。

低温槽１５内部にはその浴液の温度を検知するための温度センサ６３が設置されている。この温度センサ６３の検出結果に基づいてポンプ６２が駆動され、低温液２１は熱交換器６１を介して循環する。これによって低温槽１５内に配置された冷却コイル１９と熱交換器６１との作用により低温槽１５内部の低温液２１は所望の温度に維持される。

一方、高温槽１６にもその内部に収容されている高温液２２の温度を検知するための温度センサ６６が取り付けられている。試験時にあっては、高温液２２の温度は高温槽１６内部に設置されているヒーター２０によって制御されている。しかし運転が終了すると、高温による浴液の蒸発量を低減させるために高温液２２の温度をできるだけ早く常温程度に下げることが望ましい。この時、この実施の形態にあっては、温度センサ６６の検出結果に基づいてポンプ６５を駆動して熱交換器６４を介して高温液２２を循環させる。その結果、熱交換器６４の作用によって高温液２２は迅速に高温状態から常温状態にその温度を下げることが可能となる。

次に浴液の液量制御について説明する。

まず運転開始前にあっては、液槽式冷熱衝撃試験装置１３に含まれ、装置本体１４外に配置されているリザーブタンク５１に外部（Ａ）から所定の浴液を充填する。次に液槽式冷熱衝撃試験装置１３に含まれ、装置本体１４外に配置されている補助タンク５３に設置されている液面センサ５４における内部の浴液の液面が所定の液面レベル以下になっている旨を検知すると、この検知信号に基づいてポンプ５２が駆動する。これによってリザーブタンク５１に充填されている浴液は補助タンク５３に投入されることになる。

一方、低温槽１５及び高温槽１６にも、その低温液２１及び高温液２２の各々の液面を検知するための液面センサ５６及び液面センサ５８が設置されている。低温液２１が所定の液面レベル以下になった旨を液面センサ５６が検知すると、その検知信号によって電磁弁５７が閉状態から開状態に変わり、補助タンク５３に充填されている浴液が低温槽１５内部に投入される。同様に高温液２２の液面レベルが所定値以下となった旨を液面センサ５８が検知すると、その検知信号によって電磁弁５９が開状態となり、補助タンク５３に充填されている浴液が高温槽１６に投入される。

このように構成することによって、外部（Ａ）から浴液を補給するだけで低温槽１５及び高温槽１６の低温液２１及び高温液２２の液面レベルは所望のレベルに維持されることになる。

又、高温槽１６からオーバーフローした高温液２２は、水分や異物を除去するためのフィルタ６８を介してリザーブタンク５１に流入するように構成されている。又、箱体２５内に配置されている回収器２９によって回収された高温液２２の蒸気からの凝縮液は、フィルタ６８を介してリザーブタンク５１に流入するように構成されている。又、低温槽１５と高温槽１６との間の傾斜面２４に滴下した浴液を、その傾斜によって低温槽１５内部に回収するように構成されている。

このようにして浴液の液量及び温度の制御が行われているため、浴液の拡散による消費は極めて低減するように構成されている。又、上述のように試験時に低温槽１５や高温槽１６に保有されている浴液が減少した場合、自動的に浴液が供給されるように構成されている。そのため、試験開始時にリザーブタンクに十分な浴液を入れておきさえすれば、テストエリア内で浴液不足となることなく長期間の試験を継続することが可能となる。

次にこの発明の第１の実施の形態による試験装置の使用状態について説明する。

試験に際しては、まず図２に示されているように装置本体１４の前面パネル４３に取り付けられている扉４４を開放する。この状態で試験すべき試料を収納した試料カゴ３１をピストンロッド３３の下端に取り付けられた枠体（図示せず）に設置する。試料カゴ３１の設置が終了すると、扉４４を閉じ、図示しないコントロールパネルを介して運転開始を指令する。

運転の開始が指令されると、図１及び図２で示した状態からまず、遮蔽蓋２７ａ，遮蔽蓋２７ｂを閉状態から開状態に移動させ、次に蓋駆動機構４１が駆動され密閉蓋３７が下降する。この時、密閉蓋３７の下方に位置する試料カゴ３１も同時に下降する。

図５は図１に対応する図であって、密閉蓋３７の下降が終了した状態を示した概略図である。

図を参照して、蓋駆動機構４１の駆動によって下降した密閉蓋３７は箱体２５の開口部２６を塞ぐように箱体２５の上面に当接状態となる。密閉蓋３７の外周全周には図示しないパッキンが設置されており、このパッキンが箱体２５の上面と当接状態となって密閉蓋３７による密閉状態が維持される。この状態にあっては、垂直駆動機構３２及び水平駆動機構３９は駆動されていないため、試料カゴ３１は高温槽１６の上方に位置した状態となる。この密閉蓋３７の下降タイミングに少なくとも併せて、搬入エリア２８には図示しない開口から−７５℃で除湿された圧縮空気が供給される。この圧縮空気の圧力すなわち、搬入エリア２８の圧力は箱体内の圧力すなわち、高温液２２の蒸気の圧力より大きくなるように設定されている。又、この蒸気の比重は空気より大きいので、これらの相乗効果によってテストエリア２３内の蒸気は箱体２５外にほとんど拡散することはない。又、試験終了後に密閉蓋３７を上昇させた場合でも、箱体２５内の浴液の蒸気は漏れ出しにくくなる。

次に水平駆動機構３９が駆動して試料カゴ３１は低温槽１５の上方側に移動する。

図６は図５に対応した図であって、試料カゴ３１が低温槽１５の上方への移動が完了した状態を示した図である。

図を参照して、水平駆動機構３９の駆動によって試料カゴ３１は低温槽１５の上方側に移動する。この時、垂直駆動機構３２は駆動していないため、試料カゴ３１の上下の位置は移動前と変わらず、その水平移動には何ら障害を生じない。この水平移動にあっては、図３で示されているように蛇腹４６ａ，蛇腹４６ｂの各々の長さが変化することによって密閉蓋３７の密閉状態が維持されている。次に垂直駆動機構３２が駆動して試料カゴ３１は低温槽１５内に下降する。

図７は図６に対応した図であって、試料カゴ３１が低温槽１５の内部まで下降した状態を示した図である。

図を参照して、垂直駆動機構３２が駆動するとピストンロッド３３が下方に伸びて試料カゴ３１は下降する。そして低温槽１５内に収納されている低温液２１に試料カゴ３１は浸漬され、試料は低温状態に維持される。この時、ケーブル用管３５は試料カゴ３１に固定されているため、固定板３４から下方に移動する。この場合であってもケーブル用管３５の上端は固定板３４の上方に位置するように構成されている。これによってケーブル用管３５を介して試料カゴ３１内の試料に接続されたケーブル等は、搬入エリア２８内でその長さに余裕を持たせておけば何ら影響を受けることなく試験を行うことが可能となる。

試料カゴ３１が低温液２１に浸漬された状態が所定時間経過すると、垂直駆動機構３２が駆動して試料カゴ３１が上昇して図６の状態に復帰する。そして水平駆動機構３９が駆動して試料カゴ３１は水平方向に移動して図５の状態に復帰する。この時試料カゴ３１に付着した低温液２１の一部は滴下するが、傾斜面２４の上に滴下した浴液は低温槽１５側に回収される。図５の状態に復帰した試料カゴ３１は、更に垂直駆動機構３２が駆動して下降する。

図８は図５に対応した図であって、下降した試料カゴ３１が高温槽１６内部に収納された状態を示す概略図である。

図を参照して、下降した試料カゴ３１は高温槽１６の高温液２２に浸漬されて高温状態に維持される。この状態にあっても、ケーブル用管３５の上端は固定板３４の上方に位置するため、試料に接続されたケーブル等に影響を与えることはない。試料カゴ３１の高温液２２への浸漬状態が所定時間経過すると、垂直駆動機構３２が駆動して試料カゴ３１は上昇する。この上昇に伴って高温液２２から生じる多量の蒸気は回収器２９によって凝縮され凝縮液となって回収される。試料カゴ３１の上昇が完了すると図５の状態に復帰する。以後同様に図５から図８の状態を試験内容に応じて所定回数繰り返すことによって衝撃試験は完了する。

上述のように衝撃試験は箱体２５内のテストエリア２３において連続的に行われるため、その状態を密閉蓋３７に取り付けられている点検窓４９を介して目視することが可能となる。そのため、試料カゴ３１の低温液２１や高温液２２への浸漬状態が直接確認できるため装置の信頼性がより向上する。試験が終了すると、図５の状態となっているため、この状態において蓋駆動機構４１を駆動すると密閉蓋３７が上昇し、図１及び図２の状態に復帰する。そして、扉４４を開けることによって試料カゴ３１を取り出し、その試験結果を確認することが可能となる。

尚、上記の実施の形態では、装置本体は密閉構造としているが、必ずしも密閉構造でなくても良く、又、搬入エリアへの圧縮空気の供給はなくても良く、更に、圧縮空気の代わりに他の不活性ガスを供給するように構成しても良い。

又、上記の実施の形態では、密閉蓋に点検窓を設けているが、点検窓は必ずしもなくても良い。

更に、上記の実施の形態では、低温槽と高温槽との間の断熱層の上面を傾斜面としているが、水平面であっても良い。

更に、上記の実施の形態では、箱体内に３台の回収器を設けているが、台数はこれに限らず、又、回収器自体設けなくても良い。

更に、上記の実施の形態では、各駆動機構はシリンダー構造を前提としているが、他の駆動機構であっても同様の効果を奏する。

この発明の第１の実施の形態による液槽式冷熱衝撃試験装置の概略構成を示した正面図である。 図１で示した試験装置の概略構成を示した側面図である。 図１で示した試験装置の概略構成を示した平面図である。 図１で示した試験装置の浴液の管理に関する制御フローを示した概略図である。 図１に対応した図であって、試験工程の第１段階の状態を示した図である。 図５に対応した図であって、試験工程の第２段階の状態を示した図である。 図６に対応した図であって、試験工程の第３段階の状態を示した図である。 図５に対応した図であって、試験工程の最終段階の状態を示した図である。 従来の液槽式熱衝撃試験装置の概略構造を示した図である。 図９に対応した図であって、試験工程の第１段階の状態を示した図である。

符号の説明

１３…液槽式冷熱衝撃試験装置
１４…装置本体
１５…低温槽
１６…高温槽
１７…断熱層
２１…低温液
２２…高温液
２３…テストエリア
２４…傾斜面
２５…箱体
２６…開口部
２７…遮蔽蓋
２８…搬入エリア
２９…回収器
３１…試料カゴ
３２…垂直駆動機構
３７…密閉蓋
３９…水平駆動機構
４１…蓋駆動機構
４９…点検窓
尚、各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。

Claims (6)

1. 液槽式冷熱衝撃試験装置であって、
   低温の第１の浴液を保有する低温槽と、
   前記低温槽に隣接され、前記第１の浴液より高温の第２の浴液を保有する高温槽と、
   前記低温槽及び前記高温槽の上部を密閉状態に囲うと共に、その上面に開口部が形成された箱体と、
   前記開口部に対して密閉状態に覆うことができる密閉蓋と、
   前記密閉蓋を、前記開口部を密閉する第１の位置と前記開口部から上方に離れた第２の位置との間を垂直方向に移動自在とする蓋駆動機構と、
   前記密閉蓋にほぼ密閉状態で設けられ、前記密閉蓋の下方に位置する試料カゴを前記低温槽の上方の低温側位置と前記高温槽の上方の高温側位置との間を水平方向に移動自在とする水平駆動機構と、
   前記水平駆動機構に保持され、前記試料カゴを前記低温側位置と前記低温槽内の位置との間及び前記高温側位置と前記高温槽内の位置との間の各々に対して垂直方向に移動自在とする垂直駆動機構とを備えた、液槽式冷熱衝撃試験装置。
2. 前記箱体、前記低温槽及び前記高温槽は、ほぼ密閉状態の箱型形状の装置本体に収納され、前記装置本体内は、前記箱体内のテストエリアと、前記箱体外の搬入エリアとに区画され、
   前記搬入エリアの圧力は、前記テストエリアの圧力より大きく設定されている、請求項１記載の液槽式冷熱衝撃試験装置。
3. 前記密閉蓋の前記第１の位置への移動の完了に少なくとも応答して、前記搬入エリアには除湿された圧縮空気が供給される、請求項２記載の液槽式冷熱衝撃試験装置。
4. 前記密閉蓋には、その内部が視認できる点検窓が形成される、請求項１から請求項３のいずれかに記載の液槽式冷熱衝撃試験装置。
5. 前記低温槽及び前記高温槽は断熱層によって区画され、
   前記低温槽と前記高温槽との間の前記断熱層の上面は、前記低温槽に向かって下がるように傾斜している、請求項１から請求項４のいずれかに記載の液槽式冷熱衝撃試験装置。
6. 前記箱体内であって前記高温槽の上方に取り付けられ、発生する蒸気から前記第２の浴液を回収する回収器を更に備えた、請求項１から請求項５のいずれかに記載の液槽式冷熱衝撃試験装置。
   

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