JP3883823B2 - マトリクス型の超音波探触子及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 18
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 26
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000003637 basic solution Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
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- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/49147—Assembling terminal to base
- Y10T29/49149—Assembling terminal to base by metal fusion bonding
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は複数の圧電素子2を二次元方向に並べたマトリクス型の超音波探触子(マトリクス探触子とする)及びその製造方法を産業上の技術分野とし、特に複数の圧電素子を微小化したマトリクス探触子に関する。
【0002】
【従来の技術】
(発明の背景)超音波探触子は医用等における超音波診断装置に超音波の送受波部として用いられる。近年では、被検出体(生体)に対して二次元方向に圧電素子を並べてリアルタイムな立体像(生体情報)を得るようにしたマトリクス探触子が注目を浴びている(参照:特開平2000−41299号公報)。
【0003】
(従来技術の一例)第6図は従来例を説明するマトリクス探触子の図である。
マトリクス探触子は、概ね、バッキング材1上に複数の圧電素子2を二次元方向に並べてなる。バッキング材1の表面には第1台座3例えば樹脂板3が固着される。そして、バッキング材1中には二次元方向に平板状とした複数の信号線4が埋設され、一端側を第1樹脂板3の表面に露出して他端側を背面側から導出する。複数の圧電素子2は両主面に電極5(ab)を有し、第1樹脂板3の表面に導電性接着剤(未図示)によって固着される。そして、第1樹脂板3の表面に露出した信号線4と下面電極5bが電気的に接続する。
【0004】
このようなものでは、先ず、第7図に示したように各信号線4が共通線6に連結した簾状の金属薄板7をバッキング材1中に平行に埋設する。但し、第1樹脂板3の表面に金属薄板7の共通線6を露出する。そして、第1樹脂板3の表面に導電性接着剤によって、両主面に電極5(ab)を有する圧電板2Aを固着する。次に、圧電板2A上からバッキング材1に到達する切れ目8を設けて、圧電板2A、第1樹脂板3及び共通線6を切断する。そして、二次元方向に配列されて下面電極5bから各信号線4が導出された複数の圧電素子2を得る。なお、各切れ目8には図示しない充填材が埋設される。そして、上面電極5aは蒸着等による金属膜(未図示)によって共通接続され、アース電位に接地される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
(従来技術の問題点)しかしながら、上記構成のマトリクス探触子では、分解能を向上させるべく、圧電素子2の大きさを小さくする傾向にある。例えば0.2×0.2mm程度にすることが試みられている。そして、振動周波数を例えば約2.5MHzとするとその厚み(高さ)は0.6mmとなり、圧電素子2は幅よりも高さが格段に大きくなる。このことから、圧電板2Aを各圧電素子2に切断分割する際、導電性接着剤による固着強度が小さく圧電素子2が倒壊する問題があった。
【0006】
(発明の目的)本発明は圧電素子の倒壊を防止したマトリクス探触子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、圧電素子2の下面電極5bに貫通孔11を有する第2台座9を設けたことを基本的な解決手段とする。
【0008】
【作用】
本発明では、圧電素子2の下面電極5(ab)に第2台座9を設けたので、導電性接着剤10との馴染みを良好にして固着強度を高められる。以下、本発明の一実施例を製造方法を踏まえて説明する。
【0009】
【実施例】
第1図は、本発明の一実施例を説明するマトリクス探触子の一部断面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。超音波探触子は、前述したように、先ず、バッキング材1の表面に設けられて簾状とする金属薄板7の連結部が露出した第1樹脂板3に導電性接着剤10によって圧電板2Aを固着する(第2図)。そして、この実施例では、第3図に示したように、第1樹脂板3と対向する圧電板2Aの一主面側となる下面電極5bには予め樹脂板からなる第2台座9が接着剤によって固着される。第2樹脂板9には二次元上に並び、各圧電素子2の下面電極5bの中央に対応した貫通孔11を有する。貫通孔11は第2樹脂板9を圧電板2Aに固着した後、切削等によって形成される。
【0010】
次に、前述のように、圧電板2A上からバッキング材1に到達する切れ目8を設けて、圧電板2A、第1及び第2樹脂板3、9及び共通線6を切断する。そして、二次元方向に配列されて下面電極5bから各信号線4が導出された複数の圧電素子2を得る。なお、圧電素子2は前述のように、0.2×0.2mm程度としてその厚み(高さ)を0.6mmとする。
【0011】
このような構成であれば、圧電板2Aの下面電極5bに設けた第2樹脂板9と導電性接着剤10の馴染みがよく、固着強度を高められる。そして、貫通孔11によって下面電極5bとの電気的接続を確実にするとともに、導電性接着剤10との接合面積を大きくするのでさらに固着強度を大きくできる。これらのことから、圧電素子2の幅に対する高さが大きくなっても、切断時における倒壊を防止する。
【0012】
【他の事項】
上記実施例では、第2樹脂板9には基本的に電気的導通を計る貫通孔11を設けたが、例えば第4図に示したようにしてもよい。すなわち、第1樹脂板3に中央部に凹部を設け、これに対向して第2樹脂板9の貫通孔11の周囲に凸部を設けて嵌め合わせる形状として、導電性接着剤の接合面積を増加させて固着強度をさらに高めてもよい。勿論、凹凸は自在に形成できる。また、第5図に示したように、第2樹脂板9に貫通孔11を設ける際、下面電極5bに達する切れ目を設けて、導電性接着剤10との接合面積を大きくし接続強度を高めてもよい。この場合、下面電極5bの厚みを予め大きくすることもできる。
【0013】
また、第2樹脂板9にはそれぞれ独立した信号線4の貫通孔11を設けたが、例えば第2樹脂板9を横断して貫通孔11として機能する溝であってもよい。そして、信号線4は第1樹脂板3の表面に露出するとしたが、導電性接着剤10との電気的接続を確実にするため突出させてもよい。また、各台座3、9は樹脂板としたが、これに限らず絶縁板及び導電板でもよく、要は導電性接着剤10との馴染みがよいものであればよい。
【0014】
【発明の効果】
本発明は、圧電素子の下面電極に貫通孔を有する第2台座を設けたので、圧電素子の倒壊を防止したマトリクス探触子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を説明するマトリクス探触子の一部断面図である。
【図2】本発明の一実施例を説明するマトリクス探触子の製造工程図である。
【図3】本発明の一実施例を説明する圧電板に固着した樹脂板の図である。
【図4】本発明の他の実施例を説明するマトリクス探触子の一部断面図である。
【図5】本発明の他の実施例を説明するマトリクス探触子の一部断面図である。
【図6】従来例を説明するマトリクス探触子の図である。
【図7】従来例を説明するマトリクス探触子の製造工程図である。
【符号の説明】
1 バッキング材、2 圧電素子、3 第1樹脂板(台座)、4 信号線、5電極、6 共通線、7 金属薄板、8 切れ目、9 第2樹脂板(台座)、10 導電性接着剤、11 貫通孔.
Claims (2)
- 表面に第1台座を有するバッキング材と、前記バッキング材に二次元方向に埋設されて一端側を前記第1台座上に露出した複数の信号線と、前記第1台座上に導電性接着剤によって固着されて前記信号線と電気的に接続した二次元方向に並べられた複数の圧電素子とからなるマトリクス型の超音波探触子において、前記第1台座と対向する前記圧電素子の一主面には貫通孔を有する第2台座を設けたことを特徴とする超音波探触子。
- 表面に第1台座を有するとともに二次元方向に埋設されて一端側を前記第1台座上に露出した複数の信号線を有するバッキング材上に導電性接着剤によって圧電板を固着する工程と、前記圧電板上から前記信号線間を切断して二次元方向に並べられた複数の圧電素子に分割する工程とからなるマトリクス型とした超音波探触子の製造方法において、前記第1台座と対向する前記圧電素子の一主面には貫通孔を有する第2台座を設けた後、前記圧電素子を前記バッキング材上に固着したことを特徴とする超音波探触子の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001185357A JP3883823B2 (ja) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | マトリクス型の超音波探触子及びその製造方法 |
US10/173,325 US6803701B2 (en) | 2001-06-19 | 2002-06-17 | Matrix type ultrasonic probe and method of manufacturing the same |
US10/866,339 US7143487B2 (en) | 2001-06-19 | 2004-06-10 | Method of manufacturing the matrix type ultrasonic probe |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001185357A JP3883823B2 (ja) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | マトリクス型の超音波探触子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003009289A JP2003009289A (ja) | 2003-01-10 |
JP3883823B2 true JP3883823B2 (ja) | 2007-02-21 |
Family
ID=19024953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001185357A Expired - Fee Related JP3883823B2 (ja) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | マトリクス型の超音波探触子及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6803701B2 (ja) |
JP (1) | JP3883823B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US20050251127A1 (en) * | 2003-10-15 | 2005-11-10 | Jared Brosch | Miniature ultrasonic transducer with focusing lens for intracardiac and intracavity applications |
US7251884B2 (en) * | 2004-04-26 | 2007-08-07 | Formfactor, Inc. | Method to build robust mechanical structures on substrate surfaces |
JP4503347B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2010-07-14 | 日本電波工業株式会社 | 超音波探触子の製造方法 |
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CN109926299B (zh) * | 2017-12-18 | 2021-04-20 | 深圳先进技术研究院 | 一种磁兼容式超声换能器及其制造方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2929541A1 (de) * | 1979-07-20 | 1981-02-05 | Siemens Ag | Ultraschallwandleranordnung |
FR2485857B1 (fr) * | 1980-06-25 | 1986-05-02 | Commissariat Energie Atomique | Sonde ultrasonore multi-elements et son procede de fabrication |
JPS60140153A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-07-25 | Toshiba Corp | 超音波探触子の製造方法 |
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JP3392985B2 (ja) | 1995-04-18 | 2003-03-31 | 日本電波工業株式会社 | マトリクス状超音波探触子 |
FR2756447B1 (fr) * | 1996-11-26 | 1999-02-05 | Thomson Csf | Sonde acoustique multielements comprenant une electrode de masse commune |
JP3507655B2 (ja) | 1997-03-31 | 2004-03-15 | 日本電波工業株式会社 | 探触子用バッキング材及びこれを用いた超音波探触子の製造方法並びに超音波探触子 |
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-
2001
- 2001-06-19 JP JP2001185357A patent/JP3883823B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-06-17 US US10/173,325 patent/US6803701B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-06-10 US US10/866,339 patent/US7143487B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6803701B2 (en) | 2004-10-12 |
JP2003009289A (ja) | 2003-01-10 |
US20040239212A1 (en) | 2004-12-02 |
US7143487B2 (en) | 2006-12-05 |
US20030018268A1 (en) | 2003-01-23 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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