JPS6234500A - マトリクス状超音波探触子及びその製造方法 - Google Patents
マトリクス状超音波探触子及びその製造方法Info
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- JPS6234500A JPS6234500A JP60173715A JP17371585A JPS6234500A JP S6234500 A JPS6234500 A JP S6234500A JP 60173715 A JP60173715 A JP 60173715A JP 17371585 A JP17371585 A JP 17371585A JP S6234500 A JPS6234500 A JP S6234500A
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- Japan
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- piezoelectric
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- grooves
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- matrix
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の利用分野）
本発、明は、超音波探触子に係わり、特に圧電体の一方
の主板面と他方の主板面との間で交叉する複数列の電極
を配したマトリクス状の超音波探触子（以下、マトリク
ス状探触子とする。）に関し、例えば医用の電子走査型
診断装置の超音波送受波部として利用されろ。
の主板面と他方の主板面との間で交叉する複数列の電極
を配したマトリクス状の超音波探触子（以下、マトリク
ス状探触子とする。）に関し、例えば医用の電子走査型
診断装置の超音波送受波部として利用されろ。
（考案の一般技術）
一般に、超音波を利用した超音波装置にあっては、医用
としての診断装置や、工業用としての探高装置が知られ
ており、これらの超音波装置は超音波送受波部として超
音波探触子を備えている。
としての診断装置や、工業用としての探高装置が知られ
ており、これらの超音波装置は超音波送受波部として超
音波探触子を備えている。
この超音波探触子には、超音波装置の診断あるいは探傷
システム等に適した種々の形態のものがある。例えば超
音波の送受波源となる圧電板を複数個−列にならべた配
列型の超音波探触子（以下、配列型探触子とする。）は
、被測定体の内部状態を電子走査により探索し、ブラウ
ン官に映像化する超音波システムに適用されろ。
システム等に適した種々の形態のものがある。例えば超
音波の送受波源となる圧電板を複数個−列にならべた配
列型の超音波探触子（以下、配列型探触子とする。）は
、被測定体の内部状態を電子走査により探索し、ブラウ
ン官に映像化する超音波システムに適用されろ。
第２図は、この種の配列型探触子の一般的な構成図で、
同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同断面図である。図
中の符号１は幅方向に並べられた複数個の圧電片で、こ
の圧電片１は例えば通称ＰＺＴと招ばれろジルコン酸チ
タン酸鉛の両生面に電極２が形成され、厚み方向の振動
に対する送受波源となる。３は音響整合層で、各圧電片
１の主面側である超音波の送受波面に施されている。４
はバッキング材で、例えばエポキシ樹脂からなり不要超
音波を吸収するダンパーである。５は充填材で、各圧電
片１の間に例えばエポキシ系樹脂が充填され、圧電片１
の幅方向の振動を抑制し音響的結合を防止する。
同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同断面図である。図
中の符号１は幅方向に並べられた複数個の圧電片で、こ
の圧電片１は例えば通称ＰＺＴと招ばれろジルコン酸チ
タン酸鉛の両生面に電極２が形成され、厚み方向の振動
に対する送受波源となる。３は音響整合層で、各圧電片
１の主面側である超音波の送受波面に施されている。４
はバッキング材で、例えばエポキシ樹脂からなり不要超
音波を吸収するダンパーである。５は充填材で、各圧電
片１の間に例えばエポキシ系樹脂が充填され、圧電片１
の幅方向の振動を抑制し音響的結合を防止する。
（考案の従来技術）
ところで、近年、−次元方向にのみ圧電片を並べた配列
型探触子に代わって、広範囲の領域におけろ探索を可能
とずべく、二次元方向に圧電片をならべたマ＋−＋Ｊク
ス状探触子が脚光を浴びている。例えば、この−例とし
て特開昭５６−２１０５７号公報「電子走査型超音波探
触子」にては、第３図に示したように、平板状の圧電板
６の一方の主板面に複数列の電極７を形成し、他方の主
板面に前記電極７と直交する電極８を複数列形成し、例
えば例丸ば電極７ａに士、電極８ａに−の電圧を印加し
て電極７ａと電極８ａの対向する圧電板部分を励振し、
この圧電板部分からのみ超音波を放射するようにしてい
る。従って、このマトリクス探触子ては、電極７と電極
８が交叉する圧電板部分の超音波の送受により、図示し
ない被検出体の圧電板８の面積内におけろ任意の箇所の
探索や、電極７と電極８との交叉電極を順次以降するこ
とにより二次元平面のＸ方向のみならずＹ方向等の分解
能にすぐれた電子走査を可能とする。そして、複数個の
圧電片を単に二次元的にならべたものではなく、１枚の
圧電板にて、対向する交叉電極部分を独立した振動子と
みなしているので、リード線をｉ４極７と電極８に接続
するのみでよく、そのリード線の本数が少なくて済み、
製造が極めて容易な構造上の長所を有する。
型探触子に代わって、広範囲の領域におけろ探索を可能
とずべく、二次元方向に圧電片をならべたマ＋−＋Ｊク
ス状探触子が脚光を浴びている。例えば、この−例とし
て特開昭５６−２１０５７号公報「電子走査型超音波探
触子」にては、第３図に示したように、平板状の圧電板
６の一方の主板面に複数列の電極７を形成し、他方の主
板面に前記電極７と直交する電極８を複数列形成し、例
えば例丸ば電極７ａに士、電極８ａに−の電圧を印加し
て電極７ａと電極８ａの対向する圧電板部分を励振し、
この圧電板部分からのみ超音波を放射するようにしてい
る。従って、このマトリクス探触子ては、電極７と電極
８が交叉する圧電板部分の超音波の送受により、図示し
ない被検出体の圧電板８の面積内におけろ任意の箇所の
探索や、電極７と電極８との交叉電極を順次以降するこ
とにより二次元平面のＸ方向のみならずＹ方向等の分解
能にすぐれた電子走査を可能とする。そして、複数個の
圧電片を単に二次元的にならべたものではなく、１枚の
圧電板にて、対向する交叉電極部分を独立した振動子と
みなしているので、リード線をｉ４極７と電極８に接続
するのみでよく、そのリード線の本数が少なくて済み、
製造が極めて容易な構造上の長所を有する。
（従来技術の欠点）
しかしながら、このマトリクス状探触子にあっては、１
枚の圧電板６の両生板面にて交叉する電極７．８の対向
する圧電板部分を一つの独立した弔位振動子として動作
させているために以下の欠点を生ずる。
枚の圧電板６の両生板面にて交叉する電極７．８の対向
する圧電板部分を一つの独立した弔位振動子として動作
させているために以下の欠点を生ずる。
即ら、この従来例で例えば圧電板を一般に使用されろｐ
ｚ ’ｒとした場合、ＰＺＴの歪みに対する応力の大
きさを示す弾性定数は、厚み方向とそれに直角な横方向
に対する値がそれほど違わないので、例えば第４図（ａ
）の平面図、同図（ｂ）に同図（Ｑ）のＡ−Ａ’断面図
に示したように、実際には交叉電極７．８の対向面積内
の圧電板６の厚み方向のみならず対向面積外の圧電板部
分にも厚み方向の不要振動が発生する。このため、交叉
ＴＸ極７．８の対向面積を単位振動子の超音波の放射面
積とすることができず仕様書等で決定されろ各特性を得
れないことがある。例えば、交叉電極の周辺に不要振動
が発生し単位振動子の放射面積の径が超音波の波長λよ
り大きくなった場合には、単位振動子を点音源とするこ
とができずサイドロブを発生したり、隣接する他の単位
振動子の間で相互干渉したりして音場特性を低下させろ
欠点がある。
ｚ ’ｒとした場合、ＰＺＴの歪みに対する応力の大
きさを示す弾性定数は、厚み方向とそれに直角な横方向
に対する値がそれほど違わないので、例えば第４図（ａ
）の平面図、同図（ｂ）に同図（Ｑ）のＡ−Ａ’断面図
に示したように、実際には交叉電極７．８の対向面積内
の圧電板６の厚み方向のみならず対向面積外の圧電板部
分にも厚み方向の不要振動が発生する。このため、交叉
ＴＸ極７．８の対向面積を単位振動子の超音波の放射面
積とすることができず仕様書等で決定されろ各特性を得
れないことがある。例えば、交叉電極の周辺に不要振動
が発生し単位振動子の放射面積の径が超音波の波長λよ
り大きくなった場合には、単位振動子を点音源とするこ
とができずサイドロブを発生したり、隣接する他の単位
振動子の間で相互干渉したりして音場特性を低下させろ
欠点がある。
（発明の目的）
本考案は圧電板の両生面にて交叉する複数列の電極が形
成され、電極が交叉する各圧電体部分が相互干渉するこ
となく音場特性を良好としたマトリクス状探触子及びそ
の製造方法を提供することを目的とする。
成され、電極が交叉する各圧電体部分が相互干渉するこ
となく音場特性を良好としたマトリクス状探触子及びそ
の製造方法を提供することを目的とする。
（発明の特徴）
圧電板の両生面に互いに交叉する溝を設けて複数列の突
出部を形成し、該突出部の表面上に電極を施し、両生面
にて交叉する圧電体部分を単位振動体として動作させた
点にある。
出部を形成し、該突出部の表面上に電極を施し、両生面
にて交叉する圧電体部分を単位振動体として動作させた
点にある。
（発明の実施例）
以下、本発明の実施例を図により説明する。
第１図は、本発明のマトリクス状探触子を示す図である
。
。
図中、９は圧電体で例えばジルコン酸チタン酸鉛からな
る。この圧電体９は座標軸Ｘ、ｙで示される両生面にて
は圧電体９の厚みｔに対して略７０％の深さでＸ軸方向
に複数列の溝１０を設けて突出部１１が形成され、他方
の主板面にてはＸ軸と直交するｙ軸方向に複数列の溝１
２を同様に厚みｔに対して７０％の深さて設けて突出部
１３が形成されている。そして、突出部１１．１３の複
数列の主板面側には電ｆ％１４，１５．が形成され、１
Ｍ１０Ｈ１２には、圧電体とは音響インピーダンス値の
異なる例えばエポキシ系の樹脂が補強材１６として充填
されている。尚、実際に使用するにあっては、例えば第
５図の断面図に示したように、圧電板９の一方の主板面
側の電極１４には音６ｍ合層１７がコーティングされ、
他方の板面側にはバッキング材１８が形成される。
る。この圧電体９は座標軸Ｘ、ｙで示される両生面にて
は圧電体９の厚みｔに対して略７０％の深さでＸ軸方向
に複数列の溝１０を設けて突出部１１が形成され、他方
の主板面にてはＸ軸と直交するｙ軸方向に複数列の溝１
２を同様に厚みｔに対して７０％の深さて設けて突出部
１３が形成されている。そして、突出部１１．１３の複
数列の主板面側には電ｆ％１４，１５．が形成され、１
Ｍ１０Ｈ１２には、圧電体とは音響インピーダンス値の
異なる例えばエポキシ系の樹脂が補強材１６として充填
されている。尚、実際に使用するにあっては、例えば第
５図の断面図に示したように、圧電板９の一方の主板面
側の電極１４には音６ｍ合層１７がコーティングされ、
他方の板面側にはバッキング材１８が形成される。
従って、この構成により、先に説明したと同様に、例え
ば電極１４ａを＋側、電極１５ｎを一側としてパルス電
圧を印加することにより、電極１４ａと電極１５ａとが
交叉する圧電体部分のみが励振され、超音波の送受波可
能領域となる。そして、電極１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、
１４ｄと電極１５ ａ、 １５ ｂ、 １５ ｃ、 １
５ ｄを順次切換えてやれば、二次元状平１ωのＸ方向
のみならずＹ方向の電子走査を可能とし、各電極１４．
１５の径により画素子数の多い高分解能の画像を得るこ
とができる。
ば電極１４ａを＋側、電極１５ｎを一側としてパルス電
圧を印加することにより、電極１４ａと電極１５ａとが
交叉する圧電体部分のみが励振され、超音波の送受波可
能領域となる。そして、電極１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、
１４ｄと電極１５ ａ、 １５ ｂ、 １５ ｃ、 １
５ ｄを順次切換えてやれば、二次元状平１ωのＸ方向
のみならずＹ方向の電子走査を可能とし、各電極１４．
１５の径により画素子数の多い高分解能の画像を得るこ
とができる。
そして、この圧電体９は、両生板面にて互いに直交する
溝１０と１２が設けられているので、電極１４と１５と
が交叉する圧電体部分は、第６図に補強材１６を除く拡
大図にを示したように、厚み方向の中央部領域が隣接す
る圧電体部分と物理的に分離独立する。従って、電極１
４と電極１５とが交叉する圧電体部分は第３図の従来例
に比し独立した一つの振動子とみなすことができるので
、各圧電体部分との相互干渉を防止し、超音波の音場特
性を損なうことがない。更に、この実施例にては、圧電
体９の溝１０．１２には、補強材１６として、圧電体と
は音響インピーダンス値の異なるエポキシ系樹脂が充填
されているので、各圧電体部分との音響的結合を生ずる
ことなく、且つ衝撃に対し良好な強度を維持できる。
溝１０と１２が設けられているので、電極１４と１５と
が交叉する圧電体部分は、第６図に補強材１６を除く拡
大図にを示したように、厚み方向の中央部領域が隣接す
る圧電体部分と物理的に分離独立する。従って、電極１
４と電極１５とが交叉する圧電体部分は第３図の従来例
に比し独立した一つの振動子とみなすことができるので
、各圧電体部分との相互干渉を防止し、超音波の音場特
性を損なうことがない。更に、この実施例にては、圧電
体９の溝１０．１２には、補強材１６として、圧電体と
は音響インピーダンス値の異なるエポキシ系樹脂が充填
されているので、各圧電体部分との音響的結合を生ずる
ことなく、且つ衝撃に対し良好な強度を維持できる。
以下、上記実施例に係わる超音波探触子の製造方法を第
７図により説明する。
７図により説明する。
先ず、第７図（ａ）に示したように、両生板面に電極１
９．２０が形成され分極く処理が施された圧電板２１の
一方の主板面の全面に音ＶＪ整合層２２をコーティング
する。次に、第７図（ｂ）に示したように、圧電板２１
の座標軸Ｘ、Ｙで示される主板面の一方の主板面に、音
響整合層２２の上から圧電板２１の厚みｔに対し略７０
％の深さの溝２３をＸ軸方向に複数列形成する。次に、
第７図（Ｃ）に示したように、圧電板２１の一方の主板
面に形成された溝２３に圧電板２１の音響インピーダン
スと異なる値のエポキシ系樹脂を補強材２４として充填
する。次に、第７図（ｄ）に示したように、圧電板２１
の他方の主板面に前述したと同様に厚みＬに対し略７０
％の深さの溝２５をＸ軸と直交するＹ軸方向に形成する
。そして、圧電板１７の他方の板面側に形成された溝２
５に、前述同様のエポキシ系樹脂からなる補強材２４を
充填し、前述したマトリクス状探触子を完成する。
９．２０が形成され分極く処理が施された圧電板２１の
一方の主板面の全面に音ＶＪ整合層２２をコーティング
する。次に、第７図（ｂ）に示したように、圧電板２１
の座標軸Ｘ、Ｙで示される主板面の一方の主板面に、音
響整合層２２の上から圧電板２１の厚みｔに対し略７０
％の深さの溝２３をＸ軸方向に複数列形成する。次に、
第７図（Ｃ）に示したように、圧電板２１の一方の主板
面に形成された溝２３に圧電板２１の音響インピーダン
スと異なる値のエポキシ系樹脂を補強材２４として充填
する。次に、第７図（ｄ）に示したように、圧電板２１
の他方の主板面に前述したと同様に厚みＬに対し略７０
％の深さの溝２５をＸ軸と直交するＹ軸方向に形成する
。そして、圧電板１７の他方の板面側に形成された溝２
５に、前述同様のエポキシ系樹脂からなる補強材２４を
充填し、前述したマトリクス状探触子を完成する。
従って、この製造方法によれば、圧電板２１の一方の主
板面に形成された溝２３に補強材２４を充填した後、他
方の主板面に溝２５を形成したので、例えばマルチソウ
等により、他方の板面から溝を形成する際、圧電板１７
を破損することなく良好な作業製を得ろことができろ。
板面に形成された溝２３に補強材２４を充填した後、他
方の主板面に溝２５を形成したので、例えばマルチソウ
等により、他方の板面から溝を形成する際、圧電板１７
を破損することなく良好な作業製を得ろことができろ。
（他の事項）
尚、本実施例の製造方法にあっては、両生板面に補強材
を施したが、少なくとも一方の主板面側の溝に充填され
ていれば、本発明の効果を奏するもので、本発明は、そ
の趣旨を逸脱しない範囲内で適宜利用されることは言う
までもない。
を施したが、少なくとも一方の主板面側の溝に充填され
ていれば、本発明の効果を奏するもので、本発明は、そ
の趣旨を逸脱しない範囲内で適宜利用されることは言う
までもない。
（発明の効果）
以上により、本発明は、圧電板の両生板面にて交叉する
複数列にＴｉ極が形成され、且つ電極が交叉する各圧電
体部分が相互干渉することなく、音場特性を良好とした
マトリクス状探触子及びその製造方法を提供できる。
複数列にＴｉ極が形成され、且つ電極が交叉する各圧電
体部分が相互干渉することなく、音場特性を良好とした
マトリクス状探触子及びその製造方法を提供できる。
第１図は本発明のマ！・リクス状探触子の図、第２図は
従来の配列径探触子を説明する図、第３図は従来のマト
リクス状探触子の図、第４図は前図の従来例の欠点を説
明する図、第５図は本発明のマトリクス状探触子の断面
図、第６図は第１図の一部拡大図、第７図は本発明の製
造方法を説明する図。 ９・・圧電板、１４．１５・・電極、１６・・強材。 ｓ２１！！ ’（ｂ） 第３ｒＩＡ 第４１！Ｉ（ａ） 第４図（ｂ）第５図
従来の配列径探触子を説明する図、第３図は従来のマト
リクス状探触子の図、第４図は前図の従来例の欠点を説
明する図、第５図は本発明のマトリクス状探触子の断面
図、第６図は第１図の一部拡大図、第７図は本発明の製
造方法を説明する図。 ９・・圧電板、１４．１５・・電極、１６・・強材。 ｓ２１！！ ’（ｂ） 第３ｒＩＡ 第４１！Ｉ（ａ） 第４図（ｂ）第５図
Claims (3)
- （１）厚み振動を呈する圧電板の一方の主板面と他方の
主板面にそれぞれ互いに交叉する溝を設けて複数列の突
出部が形成され、該突出部の表面上に電極を形成したこ
とを特徴とするマトリクス状超音波探触子。 - （２）第１項記載の特許請求の範囲において、前記溝に
補強材が充填されていることを特徴とするマトリクス状
超音波探触子。 - （３）厚み振動を呈する圧電板の一方の主板面に複数列
の溝を設けて第１の突出部を形成し、前記溝に充填材を
施した後、前記圧電板の他方の主板面に前記溝と交叉す
る複数列の溝を設けて第２の突出部を形成したことを特
徴とするマトリクス状超音波探触子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60173715A JPS6234500A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | マトリクス状超音波探触子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60173715A JPS6234500A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | マトリクス状超音波探触子及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6234500A true JPS6234500A (ja) | 1987-02-14 |
| JPH0511479B2 JPH0511479B2 (ja) | 1993-02-15 |
Family
ID=15965789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60173715A Granted JPS6234500A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | マトリクス状超音波探触子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6234500A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02248864A (ja) * | 1989-03-23 | 1990-10-04 | Mazda Motor Corp | 超音波トランスジューサ |
| US6803701B2 (en) | 2001-06-19 | 2004-10-12 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Matrix type ultrasonic probe and method of manufacturing the same |
| JP2009061112A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | 超音波探触子および超音波撮像装置 |
| WO2012157769A1 (ja) * | 2011-05-18 | 2012-11-22 | 株式会社 東芝 | 超音波トランスデューサ、超音波プローブおよび超音波トランスデューサの製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54131380A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-12 | Hitachi Medical Corp | Dumbbell type ultrasonic wave detecting contacting piece |
| JPS5768999A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-27 | Olympus Optical Co Ltd | Ultrasonic wave probe |
| JPS6058129A (ja) * | 1983-09-12 | 1985-04-04 | 株式会社東芝 | 超音波探触子 |
-
1985
- 1985-08-06 JP JP60173715A patent/JPS6234500A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54131380A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-12 | Hitachi Medical Corp | Dumbbell type ultrasonic wave detecting contacting piece |
| JPS5768999A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-27 | Olympus Optical Co Ltd | Ultrasonic wave probe |
| JPS6058129A (ja) * | 1983-09-12 | 1985-04-04 | 株式会社東芝 | 超音波探触子 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02248864A (ja) * | 1989-03-23 | 1990-10-04 | Mazda Motor Corp | 超音波トランスジューサ |
| US6803701B2 (en) | 2001-06-19 | 2004-10-12 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Matrix type ultrasonic probe and method of manufacturing the same |
| US7143487B2 (en) | 2001-06-19 | 2006-12-05 | Nihon Denpa Kogyo Co., Ltd. | Method of manufacturing the matrix type ultrasonic probe |
| JP2009061112A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | 超音波探触子および超音波撮像装置 |
| WO2012157769A1 (ja) * | 2011-05-18 | 2012-11-22 | 株式会社 東芝 | 超音波トランスデューサ、超音波プローブおよび超音波トランスデューサの製造方法 |
| JP2012244342A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Toshiba Corp | 超音波トランスデューサ、超音波プローブおよび超音波トランスデューサの製造方法 |
| US9321082B2 (en) | 2011-05-18 | 2016-04-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic transducer, manufacturing method thereof, and ultrasonic probe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0511479B2 (ja) | 1993-02-15 |
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