JP3882957B2 - 異方導電性接着テープのチップ仮圧着装置 - Google Patents

異方導電性接着テープのチップ仮圧着装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3882957B2
JP3882957B2 JP12077697A JP12077697A JP3882957B2 JP 3882957 B2 JP3882957 B2 JP 3882957B2 JP 12077697 A JP12077697 A JP 12077697A JP 12077697 A JP12077697 A JP 12077697A JP 3882957 B2 JP3882957 B2 JP 3882957B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip
conductive adhesive
anisotropic conductive
head
cradle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP12077697A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH10313024A (ja
Inventor
遵一 小出
功 塚越
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd, Showa Denko Materials Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP12077697A priority Critical patent/JP3882957B2/ja
Publication of JPH10313024A publication Critical patent/JPH10313024A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3882957B2 publication Critical patent/JP3882957B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ状の電子部品の電極形成面に異方導電性接着テープを仮圧着し、前記電極形成面に接着剤を転写するための仮圧着装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
異方導電性接着テープにより回路基板とチップ状の電子部品間の電気的接続をはかる方法としては、ガラス基板等の回路面に接着剤を転写して仮圧着し、それにチップ状の電子部品の電極面を相対じさせて電気的な接続と固定をする方法が一般的である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
基板上にICチップを直接接続する方法として、COG(Chip on Glass)やCOB(Chip on Board)等の方法があり、この場合従来の異方導電性接着テープの仮圧着方法では、接続に寄与しないテープの割合が大きく無駄が多い。また、ICチップの基板への搭載密度が大きくなると、チップとチップの間隔が小さくなり、1つのチップを加熱加圧して接続する場合、その熱が隣接チップの異方導電性接着テープに伝わり熱硬化反応を起こさせて悪い影響を与えるという問題があった。
本発明はテープの歩留りを向上させ、かつ、チップ間隔が小さくなっても問題なく接続できる方法を提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
かかる目的は本発明によれば、加熱ヒータにより自由に温度設定ができ、真空吸着孔を設けてチップ状電子部品を吸着固定でき、かつ上下方向にチップを搬送可能な仮付ヘッドと、仮付ヘッドの直下に配置されたチップ仮圧着時のクッション材を載せる受台と、仮付ヘッドと受台の中間の高さに配置され、かつ水平方向に移動可能な剥離ローラと、接着剤層とセパレータ層からなる異方導電性接着テープを取付けるテープ供給リール及び仮圧着後のテープを巻取るテープ巻取リールからなり、受台上のクッションの上に異方導電性接着テープが接着剤層を上向きにして配設された状態で、チップ状電子部品が接続面を下にして吸着固定されている仮付ヘッドを下降させることにより、チップ接続面を異方導電性接着テープ接着剤層面に押し付け、所定の温度、圧力、時間をかけてチップに仮圧着したのち仮付ヘッドを上昇させ、しかるのちに剥離ローラが仮付ヘッドと受台の間を水平移動することにより、チップ状電子部品に転写された接着剤層セパレータ層から剥離するようにしたものである。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下本発明を実施例を示した図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は本発明にかかるチップ仮圧着装置の機構を示したもので、セパレータ付異方導電性接着テープ(以下ACFと略す)をICチップの電極形成面に仮圧着して、接着剤のみを前記電極形成面に転写するもので、ACFは供給リール6に取付けられ、巻取リール7によって巻取られる。テープの送り量は、テープ送りローラ10によって制御される。ACFはテンションローラ8により、常に一定の張力を与えられているので途中でたるむことはない。仮圧着前のACFは、接着剤層4a(図3)を上面にして、受台12上のクッション材11の上に設置される。ICチップ3は、仮付ヘッド1の真空吸着孔2により吸着固定され、仮付ヘッド1に内蔵された加熱手段によりICチップ3を所定の温度に加熱する。またエアシリンダとタイマにより、チップをACFに所定の圧力と時間で押し付けることができる。ACFとチップを加熱加圧すると、ACFの接着剤層4aは、チップに接着し、セパレータ層4bから剥離することが可能となる。ACFが接着されて仮付ヘッド1が上昇し、ACFが持ち上げられた状態で剥離ロール5を移動すると、接着剤層はチップ外周のエッジで切断され、セパレータ層から剥離してチップに残る。このようにしてチップに接着剤を転写することができる。チップの仮圧着に接着剤層をチップ外周で切断するためには、チップの温度制御とチップ外周での圧力を高めることが必要である。セラミックヒータにより仮付ヘッドを製作すると、温度を所定の温度に任意に変化させることが可能となる。また、平らな受台の上に載せるクッション材の厚さを、図2に示すように、ICチップが当たる部分の面積とほぼ同程度もしくは、若干大きな面積について若干薄くしたり、クッションゴムと受台の間にICチップの形状と同じか、もしくは若干大きな穴を設けた薄板13を設置したり、もしくは受台の表面をチップと同程度の大きさについて、若干凹みをつけたりすることにより、チップ外周で接着剤層をきれいに切断することができる。クッション材としては耐熱性を有するシリコーンゴム等が適している。
【0006】
テンションローラ8は、重錘を変化させて所定の張力をACFにかける。張力の大きさによっては剥離ローラ5で剥離する時に、接着剤層とチップの間で浮きがでたり剥がれたりするので、張力のコントロールは重要である。仮付ヘッドの温度を制御することにより、チップの温度をコントロールできる。チップの温度は圧着時は50〜110℃で、剥離時は50℃以下にする。クッションゴムはチップに接着剤層を押し付けると同時に、弾性体であるためチップ外周のエッジ部における圧力を高くし、チップエッジによる接着剤層の切断を容易にする。図2に示した形状は、何れもチップ外周エッジ部の圧力を高くするのに有効である。
【0007】
【実施例】
図1に示す装置により、テンションローラ8によりACF4にかける張力は重りを調節して50gf以下とした。仮付ヘッド1は、セラミックヒータを使用し圧着時温度は90〜100℃、剥離時温度は40〜50℃とした。圧着時の圧力は接着面において10〜50kgf/cm2とし、圧着時間は2〜5秒にした。クッション材にはアンカーケミカル製シリコンゴムシート70HR(厚さ0.5t)を用いた。クッション材としてはその他にも、ウレタンゴムシートや、硬質発泡シート等が使用できる。このような条件でACFとして、日立化成工業製AC−8000シリーズを使用して仮圧着を行ったところ、ACFのセパレータがテフロン製のものは問題なくできるが、PET製のものは図2bの方法により仮圧着できることがわかった。薄板13の材質はステンレスで厚さは0.03〜0.01mmである。
【0008】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明によれば、接着剤をチップ側に転写することにより、異方導電性接着テープの歩留りが向上し、かつチップ配列の位置をチップ間隔を狭くでき、また仮付ヘッドをセラミックヒータにより製作すれば圧着時温度と剥離時温度を任意に制御でき、チップエッジによる切断とセパレータ剥離を効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すチップ仮圧着装置の機構図。
【図2】本発明のクッションゴムと受台の実施例を示す断面図。
【図3】異方導電性接着テープの構造図。
【符号の説明】
1 仮付ヘッド 2 真空吸着孔
3 ICチップ 4 異方導電性接着テープ(ACF)
5 剥離ローラ 6 供給リール
7 巻取リール 8 テンションローラ
9 ガイドローラ 10 テープ送りローラ
11 クッション材 12 受台
13 薄板

Claims (2)

  1. チップ状電子部品の電極形成面に接着剤を転写するための装置であって、加熱手段と吸着手段とを有しかつ上下方向に移動可能な仮付ヘッドと、前記仮付ヘッドの直下に配置されたクッション材を載せる受台と、仮付ヘッドと受台の中間の高さに配置されかつ水平方向に移動可能な剥離ローラと、接着剤層とセパレータ層からなるセパレータ付異方導電性接着テープの供給リール及び仮圧着後のセパレータの巻取りリールとからなり、受台上のクッション材の上に異方導電性接着テープが接着剤層を上向きにして配設された状態で、チップ状電子部品が接続面を下にして吸着固定されている仮付ヘッドを下降させることにより、チップ接続面を異方導電性接着テープ接着剤層面に押し付け、チップに仮圧着したのち仮付ヘッドを上昇させ、しかるのちに剥離ローラが仮付ヘッドと受台の間を水平移動することにより、チップ状電子部品に転写された接着剤層セパレータ層から剥離する異方導電性接着テープのチップ仮圧着装置。
  2. 仮付ヘッド自体をセラミックヒータで構成した請求項1記載のチップ仮圧着装置。
JP12077697A 1997-05-12 1997-05-12 異方導電性接着テープのチップ仮圧着装置 Expired - Fee Related JP3882957B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12077697A JP3882957B2 (ja) 1997-05-12 1997-05-12 異方導電性接着テープのチップ仮圧着装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12077697A JP3882957B2 (ja) 1997-05-12 1997-05-12 異方導電性接着テープのチップ仮圧着装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10313024A JPH10313024A (ja) 1998-11-24
JP3882957B2 true JP3882957B2 (ja) 2007-02-21

Family

ID=14794729

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12077697A Expired - Fee Related JP3882957B2 (ja) 1997-05-12 1997-05-12 異方導電性接着テープのチップ仮圧着装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3882957B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160136876A (ko) * 2015-05-21 2016-11-30 문호평 제품부착장치

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007115893A (ja) * 2005-10-20 2007-05-10 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd 熱圧着方法および熱圧着装置
JP5147189B2 (ja) * 2006-03-13 2013-02-20 デクセリアルズ株式会社 接着剤層の貼付方法及び接着フィルム
JP5608200B2 (ja) * 2012-08-20 2014-10-15 デクセリアルズ株式会社 接着フィルム
CN102935557B (zh) * 2012-10-26 2016-01-20 秦皇岛博硕光电设备股份有限公司 焊接装置用的焊接头及焊接装置
US10420222B2 (en) * 2017-04-20 2019-09-17 Palo Alto Research Center Incorporated Method for bonding discrete devices using anisotropic conductive film

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160136876A (ko) * 2015-05-21 2016-11-30 문호평 제품부착장치
KR101724844B1 (ko) * 2015-05-21 2017-04-10 문호평 제품부착장치

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10313024A (ja) 1998-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5038251A (en) Electronic apparatus and a method for manufacturing the same
EP0824270B1 (en) A method of mounting a plurality of electronic parts on a circuit board
JP4261356B2 (ja) 半導体パッケージを製造する方法
JP2004281460A (ja) 補強板貼り付け装置および貼り付け方法
JP3882957B2 (ja) 異方導電性接着テープのチップ仮圧着装置
JP3838797B2 (ja) 部品の貼り着け方法とその装置
JP2004047976A (ja) 保護テープ貼付方法およびその装置
JP3757193B2 (ja) 半導体チップのボンディング方法および装置
JP5122192B2 (ja) 半導体素子実装装置
JP2011197461A (ja) Fpdモジュールの組立装置
US6565706B2 (en) Support-frame bonding apparatus
JP3030271B2 (ja) 半導体部品の実装方法
JP2006066625A (ja) ベアチップ実装装置、ベアチップ実装方法及びシート
JP4552352B2 (ja) 接着フィルムの貼着方法、貼着装置および電子回路装置の組立方法
JP5272397B2 (ja) 接着フィルムの貼付装置及び接着フィルムの貼付方法
JP4151083B2 (ja) 異方導電性接着テープの貼付け方法および装置
JPH10224012A (ja) 可撓基板にスチフナを装着する方法
JP7317482B2 (ja) ウエーハの加工方法
JP2010192615A (ja) 圧着ツール保持機構および圧着装置
JP2004296632A (ja) 部品搭載装置および部品搭載方法
JP2009032845A (ja) 熱圧着装置及び電気部品の実装方法
JP2000101220A (ja) 電子部品の実装方法およびそのシステム
JP2004247721A (ja) 電子回路基板の製造方法および製造装置
JP2002184809A (ja) テープ貼付方法及び装置
JP3881447B2 (ja) Tabテープ貼付け装置およびtabテープ貼付け方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040510

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050301

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060601

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060726

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060816

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061004

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20061026

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20061108

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091124

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101124

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111124

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees