JP3882656B2

JP3882656B2 - ガス濃度測定方法及びガス濃度センサ

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Publication number: JP3882656B2
Application number: JP2002088988A
Authority: JP
Inventors: 明信森山
Original assignee: Nissan Motor Co Ltd
Current assignee: Nissan Motor Co Ltd
Priority date: 2002-03-27
Filing date: 2002-03-27
Publication date: 2007-02-21
Anticipated expiration: 2022-03-27
Also published as: JP2003287518A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス濃度測定方法及びガス濃度センサに関し、特に、水素及び水蒸気が共存する燃料電池システム等の燃料ガスにおける成分濃度の測定に好適なガス濃度測定方法及びガス濃度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、被測定ガス中の水蒸気濃度（水蒸気分圧）を検出する方法として、特開２０００−０２８５７７号公報，特開平１０−２２１３００号公報，特開平９−２８８０８５号公報，特開平６−１４８１３０号公報に開示されるように、酸素イオン伝導性固体電解質の内外に設けた電極間に電圧を印加して水分分解させたときの酸素ポンプ電流に基づいて、水蒸気濃度（水蒸気分圧）を検出する方法があった。
【０００３】
また、特開２００１−０５０９３３号公報，特開平１１−００２６１６号公報，特開平１０−２８４１０８号公報に開示されるように、プロトン（水素イオン）伝導性固体電解質を用い、基準ガスにおける基準水蒸気濃度と被測定ガス中の水蒸気濃度との違いに基づいて、水蒸気濃度（水蒸気分圧）を検出する方法があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記酸素イオン伝導性固体電解質を用いる水蒸気濃度の測定方法では、被測定ガス中の可燃性ガス濃度が変化すると、酸素濃度の検出特性や水分の分解特性が変化し、特に被測定ガス中に水素が共存する場合には、水素の拡散速度が他の成分ガスよりも速いため、水素の濃度変化の影響を受けて測定精度が悪化するという問題があった。
【０００５】
また、プロトン（水素イオン）伝導性固体電解質を用いて水蒸気濃度を測定する場合も、被測定ガス中に含まれる水素の影響を受けて測定精度が悪化するという問題があった。
本発明は上記問題点に鑑みなされたものであり、被測定ガス中の可燃性ガス（特に水素）の濃度変化に大きく影響されることなく、水蒸気濃度を測定することが可能なガス濃度測定方法及びガス濃度センサを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そのため、請求項１に係るガス濃度測定方法では、被測定ガス中に含まれる水素を外部からの酸素の供給によって酸化させた後、被測定ガス中に含まれる水分を分解し、水素の酸化のために被測定ガス中に供給した酸素量と、水分分解後の被測定ガス中の酸素量及び／又は水素量とから、前記被測定ガス中に含まれる水分の濃度を算出する構成とした。
【０００７】
上記構成によると、水素の酸化のために被測定ガス中に供給した酸素量は水素量に相関し、水分分解後の被測定ガス中の酸素量及び／又は水素量は、元々被測定ガス中に含まれていた水分（水蒸気）と酸化によって生成された水分との総和に相関するから、両者の差として元々被測定ガス中に含まれていた水分（水蒸気）の濃度を測定することが可能である。
【０００９】
一方、請求項２に係るガス濃度センサは、イオン伝導性固体電解質によって外部空間と隔成される空室を有すると共に、前記イオン伝導性固体電解質を介して外部空間から空室内に酸素を供給して、被測定ガス中に含まれる水素を酸化させるガス酸化手段と、該酸化後に被測定ガス中に含まれる水分を分解する水分分解手段と、前記水分の分解で生成された酸素を、前記イオン伝導性固体電解質を介して外部空間に汲み出す酸素汲み出し手段と、前記水分の分解で生成された水素を、前記イオン伝導性固体電解質を介して外部空間に汲み出す水素汲み出し手段と、を有し、前記ガス酸化手段で供給した酸素量と、前記酸素汲み出し手段で汲み出された酸素量及び／又は水素汲み出し手段で汲み出された水素量とから、前記被測定ガス中に含まれる水分の濃度を算出する構成とした。
【００１０】
上記構成によると、被測定ガス中に含まれる水素を、イオン伝導性固体電解質を介したポンピング作用によって外部から供給される酸素によって酸化させた後、被測定ガス中に含まれる水分を分解し、該分解で生成された酸素及び水素を、イオン伝導性固体電解質を介したポンピング作用によって外部に汲み出す。
【００１１】
ここで、水素の酸化のために外部から供給した酸素量は水素量に相関し、水分分解で生成されて外部に汲み出した酸素量及び／又は水素量は、元々被測定ガス中に含まれていた水分（水蒸気）と酸化によって生成された水分との総和に相関するから、両者の差として元々被測定ガス中に含まれていた水分（水蒸気）の濃度を測定することが可能である。
【００１２】
尚、酸素汲み出し手段は、電位の供給によって酸素イオンの汲み出しを行うものであり、水分分解に必要な電位を印加する構成とすることで、酸素汲み出し手段が水分分解手段を兼ねる構成とすることができる。請求項３記載の発明では、酸素汲み出し手段及び水素汲み出し手段を、空室の最深部に形成する構成とした。
【００１３】
上記構成によると、空室の最深部において被測定ガス中の酸素及び水素の外部への汲み出しが行われることで、空室の最深部が減圧されることになる。請求項４記載の発明では、前記空室として、第１ガス拡散律速部を介して外部空間から被測定ガスを導入する空室であって、ガス酸化手段が形成される第１空室と、この第１空室に対して第２ガス拡散律速部を介して連通する空室であって、水分分解手段，酸素汲み出し手段及び水素汲み出し手段が形成される第２空室とを備える構成とした。
【００１４】
上記構成によると、第１空室には、第１ガス拡散律速部を介して外部空間から被測定ガスが導入され、該第１空室で酸化された被測定ガスは、第２ガス拡散律速部を介して第２空室に導入され、センサ素子の最深部である第２空室において、水分分解及び酸素・水素の汲み出しが行われる。請求項５記載の発明では、前記ガス酸化手段が、前記第１空室中の酸素濃度を検出する第１酸素濃度検出手段を含んで構成され、前記第１空室内への酸素の供給量を、前記第１酸素濃度検出手段により検出される酸素濃度に基づいて制御する構成とした。
【００１５】
上記構成によると、第１空室内の酸素濃度を測定し、該測定結果に基づいて外部から第１空室に供給する酸素量を制御することで、供給酸素量を、水素の完全酸化に必要な量に制御する。請求項６記載の発明では、前記酸素汲み出し手段が、前記第２空室中の酸素濃度を検出する第２酸素濃度検出手段を含んで構成され、前記第２空室からの酸素の汲み出し量を、前記第２酸素濃度検出手段により検出される酸素濃度に基づいて制御する構成とした。
【００１６】
上記構成によると、第２空室内の酸素濃度を測定し、該測定結果に基づいて、水分分解で生成された酸素の汲み出しが制御される。請求項７記載の発明では、前記酸素汲み出し手段が、前記第１空室中の酸素濃度と第２空室中の酸素濃度とが同じになるように、酸素の汲み出しを制御する構成とした。
【００１７】
上記構成によると、水素の酸化を行うことで水素の濃度測定を行う第１空室の酸素濃度と、水分分解を行うと共に該水分分解で生成された酸素・水素の汲み出しを行って水分濃度の測定を行う第２空室の酸素濃度が同じになるように、第２空室からの酸素の汲み出しが制御される。請求項８記載の発明では、前記水素汲み出し手段が、前記酸素汲み出し手段による酸素の汲み出し量に応じて水素の汲み出しを制御する構成とした。
【００１８】
上記構成によると、酸素については第２空室内の酸素濃度に基づいてその汲み出しが制御されるが、水素については、水素濃度を計測することなく、酸素イオンの汲み出し量に応じて制御される。
【００２０】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によると、水素を酸化してから、水分分解を行わせるから、水素が水分の分解特性や水分分解後の酸素濃度の検出特性に影響を与えることを回避でき、かつ、水素の酸化に必要とした酸素量から水素濃度を検出することが可能であるので、被測定ガス中に元々含まれていた水分濃度を精度良く検出することが可能であるという効果がある。
【００２１】
請求項２記載の発明によると、イオン伝導性固体電解質を介した外部からの酸素の供給によって水素を酸化させることで、酸素供給量から水素の濃度を測定できると共に、水素がその後の水分分解特性や水分分解後の酸素濃度の検出特性に影響を与えることを回避でき、また、水分分解後にイオン伝導性固体電解質を介して外部に汲み出される酸素量及び／又は水素量から、水素の酸化によって生成された水分を含む水分濃度を測定でき、結果、被測定ガス中に元々含まれていた水分濃度を精度良く検出することが可能であるという効果がある。
【００２２】
請求項３記載の発明によると、空室の最深部で酸素・水素の汲み出しが行われることで、最深部が減圧され、以って、被測定ガスの導入部から最深部までのガス拡散速度が加速され、ガス濃度測定の応答性を向上させることができるという効果がある。請求項４記載の発明によると、ガス拡散律速部を介して、水素の酸化を行わせる空室と、水分分解を行わせる空室とをそれぞれ独立に設けることで、ガス酸化作用及び水分分解作用をそれぞれ確実に働かせ、かつ、相互の干渉を低減させることができるという効果がある。
【００２３】
請求項５記載の発明によると、水素の酸化を行わせる第１空室内の酸素濃度に応じて、外部から供給する酸素量を制御することで、水素の完全酸化に必要な酸素を過不足なく供給して、供給酸素量から被測定ガス中の水素の濃度を精度良く測定できるという効果がある。請求項６記載の発明によると、水分分解後の酸素・水素の汲み出しを第２空室において行わせるときに、第２空室内の酸素濃度に基づいて汲み出しを制御することで、汲み出し動作を正確かつ安定的に行わせることができるという効果がある。
【００２４】
請求項７記載の発明によると、第１空室と第２空室の酸素濃度が同じになるように制御することで、両空室間の酸素濃度差による干渉影響を排除でき、高い濃度測定精度を得られるという効果がある。請求項８記載の発明によると、第２空室内の水素濃度を測定することなく、第２空室からの水素の汲み出し量を最適に制御することができるという効果がある。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１，２はガス濃度センサのセンサ構造を示すものである。
但し、図面に示すセンサ構造は、実際のセンサの寸法関係を正確に示すものではなく、構成及び作用を解り易く説明するためのものである。
【００２７】
図１において、センサ素子本体１０は、センサ素子保持部１６によって大気側と隔絶されると共に、被測定ガス中に晒されるように配置される。
尚、前記センサ素子本体１０の外周を、被測定ガスが流入可能なセンサ素子保護部材（カバー部材）によって覆うようにしても良い。
前記センサ素子本体１０は、セラミックス体１１，１２，１３，１４，１５を積層して構成され、セラミックス体１５には、ヒータ線１５ａが埋設されている。
【００２８】
セラミックス体１１，１３は、共にイオン伝導性固体電解質で形成され、セラミックス体１１がプロトン（水素イオン）を、セラミックス体１３が酸素イオンを、それぞれ選択的に透過できる特性を有するイオン伝導性固体電解質体である。
セラミックス体１１（プロトン伝導性固体電解質体）とセラミックス体１３（酸素イオン伝導性固体電解質体）との間には、第１ガス拡散律速部１２ｘ、第１空室１２ａ、第２ガス拡散律速部１２ｙ、第２空室１２ｂが形成されており、第１ガス拡散律速部１２ｘを介して第１空室１２ａに導入された被測定ガスは、更に、第２ガス拡散律速部１２ｙを介して第２空室１２ｂに導入されるようになっている。
【００２９】
また、セラミックス体１３とセラミックス体１５との間には、大気側と連通する大気室１４ａが形成されている。
前記セラミックス体１３の第１空室１２ａを構成する部分の大気室１４ａ側には、多孔質白金電極１３ｄが密着して設けられ、また、第１空室１２ａ側には、多孔質白金電極１３ｃ及び多孔質白金電極１３ｅが密着して設けられる。
【００３０】
前記多孔質白金電極１３ｄ及び多孔質白金電極１３ｃは、大気側から酸素を第１空室１２ａ内に供給してガス酸化を行うためのポンピング用電極対を構成し、第１ポンピング手段２０ａに接続される。
また、前記多孔質白金電極１３ｄ及び多孔質白金電極１３ｅは、第１空室１２ａ内の酸素濃度検知のためのセンシング用電極対を構成し、第１センシング手段２０ｂ（第１酸素濃度検出手段）に接続されている。
【００３１】
更に、前記セラミックス体１３の第２空室１２ｂを構成する部分の大気室１４ａ側には、多孔質白金電極１３ｂが密着して設けられ、また、第２空室１２ｂ側には、多孔質白金電極１３ａが密着して設けられる。
前記多孔質白金電極１３ｂ及び多孔質白金電極１３ａは、第１空室１２ａで酸化された後、第２空室１２ｂに流入した水分（Ｈ₂Ｏ）を分解して酸素イオンを大気側に汲み出すためのポンピング用電極対を構成し、第２ポンピング手段３０ａに接続されている。
【００３２】
尚、大気室１４ａ側に面した多孔質白金電極１３ｂ，１３ｄを共通化しても良い。
一方、セラミックス体１１の第２空室１２ｂを構成する部分の外部被測定ガス雰囲気側には、多孔質白金電極１１ｂが密着して設けられ、また、第２空室１２ｂ側には、多孔質白金電極１１ａが密着して設けられる。
【００３３】
前記多孔質白金電極１１ｂ及び多孔質白金電極１１ａは、前記多孔質白金電極１３ａでの水分分解で生成される水素を分解して、水素イオンを外部の被測定ガス中に汲み出すためのポンピング用電極対を構成し、第３ポンピング手段４０ａに接続されている。
上記構成のガス濃度センサの作用を以下に説明する。
【００３４】
まず、第１空室１２ａ内の作用について説明する。
前記第１センシング手段２０ｂ及び第１ポンピング手段２０ａを含んで構成される酸素供給手段２０（ガス酸化手段）においては、第１センシング手段２０ｂで検出される起電力Ｖ１に応じて第１ポンピング手段２０ａをフィードバック制御する。
【００３５】
前記起電力Ｖ１は、一般には次式で求められる。
Ｖ１＝ＲＴ／４Ｆ・ｌｎ（ＰＡ（Ｏ₂）／ＰＢ（Ｏ₂））
上式において、Ｒは気体定数，Ｔは気体温度（絶対温度），Ｆはファラデー定数，ＰＡ（Ｏ₂）は被測定ガス中の酸素分圧，ＰＢ（Ｏ₂）は基準気体中の酸素分圧である。
【００３６】
ここで、本実施形態では、ＰＡ（Ｏ₂）は第１空室１２ａ内の酸素分圧で、ＰＢ（Ｏ₂）は大気室１４ａ内の酸素分圧となり、起電力Ｖ１から第１空室１２ａ内の酸素分圧（濃度）を知ることができる。そして、前記起電力Ｖ１が所定の値（一定の酸素分圧）になるように第１ポンピング手段２０ａを制御して、第１空室１２ａ内に大気側から酸素を供給するようにすれば、このときの第１ポンピング電流Ａ１から、被測定ガス中の可燃性ガス（水素）を完全酸化させるのに必要とした供給酸素量が求められ、この供給酸素量は、被測定ガス中の可燃性ガス（水素）分圧（濃度）と比例関係になる。
【００３７】
第１空室１２ａ内では、次式に示されるような反応が生じることになる。
ｍ（Ｈ₂）＋ｎ（Ｏ₂）＋ｂ（Ｏ₂）→ｍ（Ｈ₂Ｏ）＋ｂ（Ｏ₂）
ここで、ｍ（Ｈ₂）は、第１ガス拡散律速部１２ｘから第１空室１２ａ内に導入した水素量で、ｎ（Ｏ₂）は、水素を完全酸化させるのに必要とした供給酸素量で、ｎ（Ｏ₂）＝ｍ（Ｈ₂）／２の関係にある。
【００３８】
また、ｍ（Ｈ₂Ｏ）は、上式の酸化反応において生成される水分量で、ｂ（Ｏ₂）は、第１空室１２ａ内のベースとなる酸素分圧であって、第１空室１２ａ内を常に酸化雰囲気にするため、１／１０⁸〜１／１０³ａｔｍの範囲とすることが好ましい。
即ち、被測定ガス中の水素分圧（濃度）ＰＨ₂と、第１ポンピング手段２０ａで測定される第１ポンピング電流Ａ１との関係を予め求めておけば、この第１ポンピング電流Ａ１から被測定ガス中の水素分圧（濃度）ＰＨ₂が求められることになる。
【００３９】
次に、第２空室１２ｂ内の作用について説明する。
前記第２ポンピング手段３０ａを含んで構成される酸素汲み出し手段３０は、水分分解手段を兼ね、水分を電気分解するに必要な電位が供給された多孔質白金電極１３ａにて、下式に示す水分分解を生じさせる。
【００４０】
【数１】

【００４１】
上記の水分分解で発生した酸素イオンは、セラミックス体１３（酸素イオン伝導性固体電解質体）中を透過し、多孔質白金電極１３ｂにて酸素となって、大気室１４ａ側に汲み出されることになる。
このとき汲み出される酸素イオン量［ｍ＋α］は、酸素供給手段２０により可燃性ガス（水素）の酸化のために供給された分ｍ（被測定ガス中に元々含まれていた水素ガス量に比例する量）に、被測定ガス中に元々水分として含まれていた分αを加算した量であり、第２ポンピング手段３０ａの第２ポンピング電流Ａ２として検知される。
【００４２】
また、前記第３ポンピング手段４０ａを含んで構成される水素汲み出し手段４０は、前記水分分解で同時に発生した水素を第２空室１２ｂから汲み出す。
前記水分分解で同時に発生した水素は、水素をイオン化（プロトン）するに必要な電位が与えられた多孔質白金電極１１ａにて、下式に示すイオン化反応が起きることで、水素イオン（プロトン）に変換される。
【００４３】
【数２】

【００４４】
そして、前記水素イオン（プロトン）は、セラミックス体１１（プロトン伝導性固体電解質体）中を透過し、多孔質白金電極１１ｂにて再び水素となり、センサ素子外部（被測定ガス中）に汲み出される。
この汲み出される水素イオン量［ｍ＋α］は、被測定ガス中に元々含まれていた水素ガス量分ｍに、被測定ガス中に元々水分として含まれていた分αを加算した量であり、その合計が第３ポンピング手段４０ａの第３ポンピング電流Ａ３として検知される。
【００４５】
以上から明らかなように、被測定ガス中の水素分圧（濃度）ＰＨ₂に依存するｍが、第１ポンピング電流Ａ１から求められ、被測定ガス中の水素分圧（濃度）ＰＨ₂と被測定ガス中の水蒸気分圧（濃度）ＰＨ₂Ｏとの合計に依存するｍ＋αが第２ポンピング電流Ａ２或いは第３ポンピング電流Ａ３から求められる。
即ち、第１ポンピング電流Ａ１と第２ポンピング電流Ａ２及び／又は第３ポンピング電流Ａ３によって、被測定ガス中の水素分圧（濃度）と被測定ガス中の水蒸気分圧（濃度）とが求められる。
【００４６】
更には、被測定ガスの全圧を１として変化がなく一定であれば、水素、水蒸気以外の第３成分ガス分圧（濃度）Ｐｘは、
Ｐｘ＝１−（ＰＨ₂＋ＰＨ₂Ｏ）
として、簡単に求めることができる。
次に、第２の実施形態を図３，図４に基づいて説明する。
【００４７】
尚、図１，２に示した第１の実施形態と同一構成及び作用の部位については、同一符号を付して詳しい説明を省略する。
図３，図４に示される第２の実施形態は、第１の実施形態の構成に対して第２センシング手段３０ｂ（第２酸素濃度検出手段）を付加したものである。
前記第２センシング手段３０ｂは、第２空室１２ｂ内に面したセラミックス体１３（酸素イオン伝導性固体電解質体）に多孔質白金電極１３ｆを密着して形成し、多孔質白金電極１３ｂとの組み合わせによって、第２空室１２ｂ内の酸素分圧（濃度）を検知する構成であり、その検知原理は、前述の第１センシング手段２０ｂと同様である。
【００４８】
この第２センシング手段３０ｂによって検出される起電力Ｖ２は、酸素汲み出し手段３０及び／又は水素汲み出し手段４０のフィードバック制御量として与えられ、これによって、酸素汲み出し手段３０及び／又は水素汲み出し手段４０を、より正確にかつより安定に動作させることができる。
特に、上記フィードバック制御において、第１空室１２ａと第２空室１２ｂの酸素分圧を同一とするように制御すると、両空室間の酸素分圧の差による干渉影響を排除することができる。
【００４９】
また、上記第１及び第２の実施形態において、第２空室１２ｂからの水素及び酸素の汲み出しは、水分分解によって生成された水素・酸素を汲み出すもので、水素汲み出し量は酸素汲み出し量と同じであることから、水素汲み出しを酸素汲み出し量に応じて制御するように構成することで、水素濃度を検出することなく、水素汲み出し制御をより安定化できる。
【００５０】
また、水素汲み出し手段４０及び酸素汲み出し手段３０を、センサ素子１０内部の最深部に形成させることで、第１ガス拡散律速部１２ｘから第２空室１２ｂまでのガス拡散速度を加速でき、ガス濃度検出の応答性を格段に向上させることができる。
図５は、本発明に係るガス濃度センサ１００を、純水素型燃料電池システム２００に適用した例を示すものである。
【００５１】
この図５において、燃料電池セル２１０のカソード側２１１に酸素（空気などの酸化剤）が供給され、アノード側２１２に水素（燃料）が供給され、電解質２１３を介した酸素と水素の反応によって発生する電気エネルギーを外部（負荷３００）に取り出すよう構成される。
この他、エゼクタ２１４，加湿器２１５，圧力センサ２１６，水分分離器２１７，パージ制御器２１８が設けられ、燃料電池セル２１０で消費されなかった水素（燃料）は、エゼクタ２１４によって循環されるようになっており、ガス濃度センサ１００は、加湿器２１５とアノード側２１２との間に配置される。
【００５２】
この循環水素燃料は、カソード側２１１からアノード側２１２に透過してくる窒素等の不純物によって徐々にその実質水素濃度（水素量）が低下し、これによって、燃料電池セル２１０から取り出せる電気エネルギーが低下してしまうことから、所定の制御タイミングで循環水素をパージ制御器２１８によりパージさせるようになっている。
【００５３】
係る純水素型燃料電池システム２００に本発明のガス濃度センサ１００を適用すれば、実際に燃料電池セル２１０に供給される燃料中の不純物である窒素濃度（第３成分濃度）を高応答に測定できることから、前述の循環水素のパージ制御を最適に行わせることができる。
更に、圧力センサ２１６の信号、或いは、図示しない新規供給燃料量の信号と、ガス濃度センサ１００で検出できる水素濃度を用いれば、燃料電池セル２１０から取り出せる電気エネルギー量を算出することができ、燃料電池システム制御に有効なセンサとなり得る。
【００５４】
また、ガス濃度センサ１００による水蒸気濃度の検出結果に応じて、加湿器２１５を制御する用途もある。
尚、図５に示す例では、燃料電池セル２１０の入り口側にガス濃度センサ１００を取りつけた例で説明したが、出口側あるいは両方に取りつける構成としても良く、また、改質型燃料電池システムなど、その他いろいろな用途に本発明のガス濃度センサ１００を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態のセンサ素子構造を示す断面図。
【図２】第１の実施形態の構成及び作用を説明するためのシステム概略図。
【図３】第２の実施形態のセンサ素子構造を示す断面図。
【図４】第２の実施形態の構成及び作用を説明するためのシステム概略図。
【図５】本発明に係るガス濃度センサを適用した純水素型燃料電池システムを示すシステム構成図。
１０…センサ本体
１１…セラミックス体（プロトン伝導性固体電解質体）
１２ａ…第１空室
１２ｂ…第２空室
１２ｘ…第１ガス拡散律速部
１２ｙ…第２ガス拡散律速部
１３…セラミックス体（酸素イオン伝導性固体電解質体）
２０…酸素供給手段（ガス酸化手段）
２０ａ…第１ポンピング手段
２０ｂ…第１センシング手段（第１酸素濃度検出手段）
３０…酸素汲み出し手段
３０ａ…第２ポンピング手段
３０ｂ…第２センシング手段（第２酸素濃度検出手段）
４０…水素汲み出し手段
４０ａ…第３ポンピング手段

Claims

被測定ガス中に含まれる水素を外部からの酸素の供給によって酸化させ、該酸化後に被測定ガス中に含まれる水分を分解し、前記水素の酸化のために被測定ガス中に供給した酸素量と、前記水分分解後の被測定ガス中の酸素量及び／又は水素量とから、前記被測定ガス中に含まれる水分の濃度を算出することを特徴とするガス濃度測定方法。
イオン伝導性固体電解質によって外部空間と隔成される空室を有し、前記空室に外部空間から導入される被測定ガス中の測定対象成分ガス濃度を測定するガス濃度センサであって、前記イオン伝導性固体電解質を介して外部空間から空室内に酸素を供給して、被測定ガス中に含まれる水素を酸化させるガス酸化手段と、該酸化後に被測定ガス中に含まれる水分を分解する水分分解手段と、前記水分の分解で生成された酸素を、前記イオン伝導性固体電解質を介して外部空間に汲み出す酸素汲み出し手段と、前記水分の分解で生成された水素を、前記イオン伝導性固体電解質を介して外部空間に汲み出す水素汲み出し手段と、を有し、前記ガス酸化手段で供給した酸素量と、前記酸素汲み出し手段で汲み出された酸素量及び／又は水素汲み出し手段で汲み出された水素量とから、前記被測定ガス中に含まれる水分の濃度を算出することを特徴とするガス濃度センサ。
前記酸素汲み出し手段及び水素汲み出し手段を、前記空室の最深部に形成したことを特徴とする請求項２記載のガス濃度センサ。
前記空室として、第１ガス拡散律速部を介して外部空間から被測定ガスを導入する空室であって、前記ガス酸化手段が形成される第１空室と、該第１空室に対して第２ガス拡散律速部を介して連通する空室であって、前記水分分解手段，酸素汲み出し手段及び水素汲み出し手段が形成される第２空室とを備えることを特徴とする請求項２記載のガス濃度センサ。
前記ガス酸化手段が、前記第１空室中の酸素濃度を検出する第１酸素濃度検出手段を含んで構成され、前記第１空室内への酸素の供給量を、前記第１酸素濃度検出手段により検出される酸素濃度に基づいて制御することを特徴とする請求項４記載のガス濃度センサ。
前記酸素汲み出し手段が、前記第２空室中の酸素濃度を検出する第２酸素濃度検出手段を含んで構成され、前記第２空室からの酸素の汲み出し量を、前記第２酸素濃度検出手段により検出される酸素濃度に基づいて制御することを特徴とする請求項４又は５記載のガス濃度センサ。
前記酸素汲み出し手段が、前記第１空室中の酸素濃度と第２空室中の酸素濃度とが同じになるように、酸素の汲み出しを制御することを特徴とする請求項６記載のガス濃度センサ。
前記水素汲み出し手段が、前記酸素汲み出し手段による酸素の汲み出し量に応じて水素の汲み出しを制御することを特徴とする請求項２〜７のいずれか１つに記載のガス濃度センサ。