JP3882141B2 - 気相成長装置および気相成長方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハを加熱しながら高温状態で原料ガスを供給することによりウェハ表面に化合物半導体等の薄膜を気相成長させるための気相成長装置に係り、特に、ウェハを配置するためのウェハ収容体の材質の特性に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、気相成長法は産業界の様々な分野で利用されている。気相成長においてウェハ上に成長した薄膜の膜厚、組成およびドーピング濃度の面内全域の高均一化はいうまでもなく必須項目である。そして、面内全域の均一化の実現手段として、ウェハ加熱の均熱化は最も重要な要素技術とされている。
【０００３】
図１は、一般的な気相成長装置の構成例を示す断面図である。図１に示すように、気相成長装置１００は、反応炉１と、ウェハ２を配置するウェハホルダ３と、ウェハホルダ３を載置するサセプタ４と、サセプタ４の下側に設けられた加熱ヒータ５と、ウェハホルダ３およびサセプタ４を回転自在に支持する回転機構６と、原料ガスやキャリアガスを供給するガス導入管７と、未反応ガスを排気するガス排気管８等で構成される。
【０００４】
図９はウェハホルダ３の詳細な構成を示す拡大図であり、（ａ）上面図と（ｂ）Ａ−Ａ断面図である。ウェハホルダ３は、その片面にウェハ２を配置するための円形のポケット孔３ａを同一円周上に複数個（図２では６個）形成され、反対面でサセプタ４と接触するように構成されている。ここで、ウェハホルダ３は単一若しくは複数の部材で構成できるが、通常は、図９に示すように単一の部材で構成される。
【０００５】
なお、サセプタ４は加熱ヒータ５からの熱を均一に伝達するために熱伝導率の高い材質（例えばモリブデン等）で構成される。また、ウェハホルダ３にも熱伝導率の高いグラファイトやモリブデン等が用いられるのが一般的である。
【０００６】
上述の構成をした気相成長装置においては、加熱ヒータ５でサセプタ４の下側から加熱することによりサセプタ４、ウェハホルダ３を介してウェハ２に熱を伝え、ウェハ２を所定の温度まで上昇させる。また、サセプタ４を回転機構６により所定の回転数で回転させることにより、ガス導入管７より導入した原料ガスやキャリアガスをウェハ２表面に均等に供給しながら薄膜の気相成長を行う。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、本発明者等の実験により、上述したような気相成長装置１００においては、ウェハ２の表面温度がウェハホルダ３の表面温度より低くなるため、ウェハ２の周縁部分はウェハホルダ３の温度の影響を受けてウェハ２の中央部分よりも温度が高くなってしまうことが判明した。つまり、従来の気相成長装置１００ではウェハ２の面内温度分布が均一とならないために、ウェハ２の面内全域において均一性に優れた薄膜を気相成長させるのは困難であることが明らかとなった。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、ウェハの面内全域において良好な均一性を有する薄膜を気相成長させることができる気相成長装置および気相成長方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、密閉可能な反応炉と、該反応炉内に設置され所定の位置にウェハを配置するためのウェハ収容体と、ウェハに向けて原料ガスを供給するためのガス供給手段と、前記ウェハを加熱するための加熱手段と、を少なくとも備え、前記反応炉内において前記加熱手段により前記ウェハ収容体を介してウェハを加熱しつつ、高温状態で原料ガスを供給することにより、前記ウェハ表面に成長膜を形成する気相成長装置において、前記ウェハ収容体を、前記ウェハを収容するための空部を形成された熱流制御部と、該熱流制御部に接合され前記空部に収容されたウェハに熱を伝導するための熱流伝導部とで構成し、前記熱流制御と前記熱流伝導部とが近接する平面及び曲面間には均一な接触熱抵抗Ｒg（Ｒ2g）が存在するようにしたものである。
【００１０】
このようにウェハ収容体を構成することにより、前記熱流伝導部から前記ウェハ表面に向かう熱伝達経路の熱抵抗Ｒ1と前記熱流伝導部から前記熱流制御部表面に向かう熱伝達経路の熱抵抗Ｒ2の比Ｒ2／Ｒ1を容易に調整することができる。また、前記熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1は、０．８以上１．２以下とするのが望ましい。
【００１１】
これにより、ウェハ収容体の裏面（熱流伝導部の裏面）からウェハおよびウェハ収容体の表面（熱流制御部の表面）へ熱が伝達される際に、それぞれの熱伝達経路における熱抵抗がほぼ同等となるので、同様の熱伝導が行われ、ウェハおよびウェハ収容体の表面の到達温度を同じくすることができる。したがって、ウェハ表面とウェハ収容体の表面温度に差が生じることによってウェハ周縁部の表面温度がウェハ中央部の表面温度よりも上昇するのを回避でき、ウェハの面内温度分布を均一に保持することができる。その結果、ウェハの面内全域において良好な均一性を有する薄膜を気相成長させることができる。
【００１２】
また、前記接触熱抵抗Ｒgは１．０×１０-6ｍ2Ｋ／Ｗ以上５．０×１０-3ｍ2Ｋ／Ｗ以下とする。もしくは、前記熱流制御部と前記熱流伝導部との隙間距離は、０．００１ｍｍから１ｍｍの範囲で一様とする。これにより、前記接触熱抵抗Ｒg（Ｒ2g）は、前記熱流伝導部とウェハとの接触熱抵抗（Ｒ1g）とほぼ同等となるので、熱抵抗Ｒ 1 とＲ2の比Ｒ2／Ｒ1の調整が容易となる。
さらに、前記熱流制御部を前記熱流伝導部上に配置されるウェハの熱伝導率の０．５倍以上２０倍以下の熱伝導率を有する材質で形成するようにした。
【００１３】
特に限定しないが、熱流制御部は、薄膜成長やリアクタ内の雰囲気を汚染しないような特性を有する材料であれば、いかなる材料で熱流制御部３１を製作してもよい。
【００１４】
また、熱流伝導部を、ウェハに比べ熱伝導率の高い材質、例えば、５０Ｗ／ｍＫ以上４５０Ｗ／ｍＫ以下の熱伝導率を有する材質で形成するようにした。
例えば、前記熱流制御部を、アモルファスカーボン、窒化アルミ、グラファイト、シリコン、炭化ケイ素、モリブデン、パイロリテックボロンナイトライド、アルミナの何れか一つで形成し、前記熱流伝導部を、モリブデン、グラファイト、金、銀の何れか一つで形成するのが望ましい。
【００１５】
また、上述したような気相成長装置を用いて、前記反応炉内において前記加熱手段により前記ウェハ収容体を介してウェハを加熱しつつ、高温状態で原料ガスを供給することにより、前記ウェハ表面に薄膜を形成する気相成長方法において、薄膜を気相成長させる際の前記ウェハ収容体表面と前記ウェハ表面との温度差を２℃以内に制御しながら気相成長するようにした。これにより、ウェハの面内温度分布が均一になるので、ウェハの面内全域において良好な均一性を有する薄膜を気相成長させることができる。
【００１６】
以下に、本発明を完成するに至った経緯について図１０を参照して説明する。まず、本発明者等は、ウェハ２の表面温度がウェハホルダ３の表面温度より低くなる原因について、ウェハ２およびウェハホルダ３内部における熱伝達経路の違いに着目した。すなわち、一般的にウェハ２とウェハホルダ３の材質は異なり、同様の熱伝達が行われないために、それぞれの表面の到達温度に差が生じると考えた。
【００１７】
図１０は、ウェハ２とウェハホルダ３における熱抵抗概念図である。図１０において、Ｔupはウェハホルダ３の裏面温度で、Ｔsurfはウェハ２またはウェハホルダ３の表面温度で、Ｔdownはウェハ２およびウェハホルダ３表面から所定の距離だけ離れた位置に想定した面（以下、仮想境界面と称する）における温度である。図１０に示すように、ウェハ２の表面にはウェハホルダ３裏面からウェハホルダ３およびウェハ2を通過して仮想境界面に到達する熱伝達経路１にしたがって熱伝達が行われ、ウェハホルダ３の表面にはウェハホルダ３裏面からウェハホルダ３を通過して仮想境界面に到達する熱伝達経路２にしたがって熱伝達が行われる。このように、ウェハ２の表面とウェハホルダ３の表面とでは、それぞれ熱の伝達経路が異なっていることがわかる。
【００１８】
すなわち、図１０に示すウェハ２とウェハホルダ３における熱抵抗概念図より、熱伝達経路１における熱抵抗Ｒ1は、ウェハホルダ３部分の熱抵抗Ｒ1cと、ウェハホルダ３とウェハ２との接触熱抵抗Ｒ1gと、ウェハ２部分の熱抵抗Ｒ1wとを足し合わせた抵抗となり、熱伝達経路２における熱抵抗Ｒ2はウェハホルダ３部分の熱抵抗Ｒ2cとなる。
また、熱抵抗Ｒは下式（１）で与えられる。
【００１９】
【数式１】
【００２０】
これより、熱抵抗Ｒ1、Ｒ2は下式のように表すことができる。
【００２１】
【数式２】
【００２２】
ここで、ウェハ２（ＩｎＰ、ＧａＡｓ等）の熱伝導率ｋ1wはウェハホルダ３（グラファイト、モリブデン等）の熱伝導率ｋ2cに比べて著しく小さいことからＬw/ｋ1w＞Ｌw/ｋ2cとなるうえ、ウェハ２とウェハホルダ３との接触面では接触熱抵抗Ｒ1gが生じるので、明らかにＲ1よりもＲ2のほうが小さくなる。
【００２３】
【数式３】
【００２４】
また、熱伝達は、熱伝達経路における熱流束に支配される。一般に、熱流束とは単位面積（単位：ｍ2）を流れるエネルギー（熱流）量であり、下式（５）で与えられる。
【００２５】
【数式４】
【００２６】
また、図３において熱伝達経路１，２における総括熱抵抗Ｒ1total，Ｒ2totalは下式で表される。
【００２７】
【数式５】
【００２８】
上式（４）、（６）、（７）よりＲ1total＞Ｒ2totalとなる。したがって、熱伝達経路１における熱流束ｑ1は熱伝達経路２における熱流束ｑ2よりも小さくなる。
【００２９】
【数式６】
【００３０】
また、熱流束ｑ1，ｑ2は、ウェハ２の表面温度Ｔ1surf、ウェハホルダ３の表面温度Ｔ2surfを用いて下式のように表すことができる。
【００３１】
【数式７】
【００３２】
上式（８）、（９）、（１０）より、ウェハ２の表面温度Ｔ1surfがウェハホルダ３の表面温度Ｔ2surfよりも低くなることが導き出される。
【００３３】
【数式８】
【００３４】
このように、従来の気相成長装置においては、ウェハ２とウェハホルダ３の熱伝導率が大きく異なるために、上述のように表面温度Ｔ1surf、Ｔ2surfに差が生じることがわかった。
【００３５】
一方、上式（５）〜（１０）より、ウェハ２の表面温度Ｔ1surfとウェハホルダ３の表面温度Ｔ2surfを同等とするためには、それぞれの熱伝達経路における熱抵抗Ｒ1とＲ2を同等とすればよい（すなわち、熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1を１に近づける）。そこで、本発明者らは、熱流制御部３１と熱流伝導部３２の２つの部材でウェハホルダ３を構成する方法を案出した。
このとき、熱抵抗概念図は図３のようになり、熱抵抗Ｒ1および熱抵抗Ｒ2は下式で表される。
【００３６】
【数式９】
【００３７】
これより、ウェハ２と熱流伝導部３２との接触熱抵抗Ｒ1gと熱流制御部３１と熱流伝導部との接触熱抵抗Ｒ2gの値を近くするとともに、ウェハ２部分の熱伝導率ｋ1wと熱流制御部３１部分の熱伝導率ｋ2pの値を近くすることにより、熱抵抗Ｒ1とＲ2の値を近づけることができる。
【００３８】
本発明は、上記知見をもとに完成するに至ったものであり、気相成長装置において、ウェハホルダ３を、ウェハ２を収容するための中空部を形成された熱流制御部と、該熱流制御部およびウェハを配置するための熱流伝導部とで構成するようにし、熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1が０．８以上１．２以下となるようにしたものである。そして、前記熱抵抗Ｒgを１．０×１０-6ｍ2Ｋ／Ｗ以上５．０×１０-3ｍ2Ｋ／Ｗ以下とする、もしくは、前記熱流制御部と前記熱流伝導部との隙間距離を０．００１ｍｍから１ｍｍの範囲で一様とすることで、接触熱抵抗Ｒ1gとＲ2gとがほぼ同等となるようにした。また、熱流制御部を、前記熱流伝導部上に配置されるウェハの熱伝導率の０．５倍以上２０倍以下の熱伝導率を有する材質で形成するようにして、ウェハ２部分の熱伝導率ｋ1wと熱流制御部３１部分の熱伝導率ｋ2pの値が近くなるようにした。
【００３９】
また、上式（１２）、（１３）においてＬｗまたはＬｃの値を大きくすることによっても熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1を１に近づけることができるが、温度制御上、装置の有効空間上、コスト上の問題から実現は困難であるため、具体的な方策として、ウェハホルダ３（熱流制御部３１）の材質をウェハ２の熱伝導率と近い熱伝導率を有する材質とした。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかる気相成長装置（ＭＯＣＶＤ装置）の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施形態の気相成長装置の概略構成を示す断面図である。従来技術で示した気相成長装置と概略構成は同じである。従来技術ではグラファイト等の熱伝導率が高い材質で形成されていたウェハ収容体としてのウェハホルダ３を、本実施形態ではグラファイト等の熱伝導率が高い材質からなる熱流伝導部３２とウェハの熱伝導率と比較的近い熱伝導率を有するアモルファスカーボン（以下、α−カーボンと略記する）からなる熱流制御部３１とで構成している点が異なる。
【００４１】
なお、熱伝導部３２の材質はグラファイトに限らず、例えば、モリブデン、金、銀等で形成するようにしてもよい。また、前記熱流伝導部は、α−カーボンの他、窒化アルミ、グラファイト、シリコン、炭化ケイ素、モリブデン、パイロリテックボロンナイトライド、アルミナ等で形成するようにしてもよい。
【００４２】
図１に示すように、気相成長装置１００は、反応炉１と、ウェハ２を配置するウェハホルダ３と、ウェハホルダ３を載置するサセプタ４と、サセプタ４の下側に設けられた加熱ヒータ５と、ウェハホルダ３およびサセプタ４を回転自在に支持する回転機構６と、原料ガスやキャリアガスを供給するガス導入管７と、未反応ガスを排気するガス排気管８等で構成される。
【００４３】
この気相成長装置１００の各壁体は例えばステンレスで構成される。また、ガス導入管７は上側壁体中央部に設置され、例えば、トリメチルインジウム（ＴＭＩ）、トリメチルアルミニウム（ＴＭＡｌ）、トリメチルガリウム（ＴＭＧ）等の第１３（３Ｂ）族原料ガスと、アルシン（ＡｓＨ3）、ホスフィン（ＰＨ3）等の第１５（５Ｂ）族原料ガスと、キャリアガスとしての水素（Ｈ2）等の不活性ガスと、を反応炉内に導入する。
【００４４】
ウェハホルダ３は、円盤状に成型されたグラファイト製の熱流伝導部３２上にα−カーボン製の熱流制御部が一体的に形成された一つの部材でなり、サセプタ４上に載置される。また、熱流制御部３１には、ウェハ２を収容するための円形のポケット孔３ａが同一円周上に複数個（図２では６個）形成されている。サセプタ４は、加熱ヒータ５からの熱を均等に伝達するために熱伝導率の高い材質（例えばモリブデン等）で構成され、回転機構６により回転可能に支持されている。また、サセプタ４の下側にはウェハ２を加熱するための加熱ヒータ５が同心円状に配設されている。
【００４５】
従来の気相成長装置においては、ウェハホルダ３は全体が熱伝導率の高いグラファイトやモリブデン等の同一材料で形成されるのが一般的であったが、本実施形態ではグラファイト製の熱流伝導部３２とα−カーボン製の熱流制御部３１とで構成している。そして、熱流制御部３１として、熱伝導率が１０Ｗ／ｍ・Ｋのα−カーボンを用いることにより、ウェハホルダ３に配置されるウェハ２の熱伝導率と熱流制御部３１の熱伝導率が近くなるようにした。例えば、ＩｎＰウェハの熱導電率は１４．３Ｗ／ｍ・Ｋであり、α−カーボンの熱導電率の約１．４倍である。
【００４６】
また、熱流制御部３１と熱流伝導部３２との隙間は０．０１ｍｍ〜１ｍｍの範囲で一様であるようにし、接触抵抗が１．０×１０-6ｍ2Ｋ／Ｗ以上１．０×１０-1ｍ2Ｋ／Ｗ以下となるようにした。
【００４７】
このような構成とすることで、加熱ヒータ５からサセプタ４およびウェハホルダ３を介してウェハ２およびウェハホルダ３の表面に向かう熱伝達経路における熱抵抗は同等となるので、ウェハ２表面とウェハホルダ３表面はほぼ同じ温度に到達する。したがって、ウェハ２とウェハホルダ３の表面温度の差によってウェハ周縁部がウェハ中央部よりも温度が高くなるのを回避できるので、ウェハ２の面内温度分布が均一となりやすい。
【００４８】
ガス導入管７は反応炉１の上壁に、また、ガス排気管８は反応炉１の底壁に設置される。ガス導入管７を介して導入口より反応炉１内に導入された原料ガスは、反応炉の上流側で分解され下流側に流れてウェハ２上に薄膜を形成し、未反応の原料ガスはキャリアガスと共に排気口を介してガス排気管８から外部へ排出される。
【００４９】
また、図には示さないが、例えば回転機構６の外周および反応炉の下側壁面外壁には水冷ジャケットが設けられ、これらの水冷ジャケットおよび加熱ヒータ５で反応炉１内の温度を制御するようになっている。
【００５０】
上述した構成をした気相成長装置１００においては、加熱ヒータ５によりサセプタ４の下側から加熱することによりサセプタ４、ウェハホルダ３を介してウェハ２に熱が伝わり、ウェハ２を所定の温度まで上昇させる。また、サセプタ４を回転機構６により所定の回転数で回転させることにより、ガス導入管７より導入した原料ガスやキャリアガスをウェハ２表面に均等に供給して薄膜を気相成長させる。このとき、ウェハ２表面とウェハホルダ３（熱流制御部３１）表面の温度はほぼ同じとなるので、ウェハ２の面内温度分布は均一となり、均一性に優れた薄膜を気相成長させることができる。
【００５１】
（シミュレーションによる実施の解析例）
以下に、実施例および比較例を挙げて本発明の特徴とするところを明らかにする。上述した気相成長装置１００において、ウェハ２およびその近傍をモデル化して、有限体積法による３次元熱伝導解析を行った。なお、実施例ではグラファイト製の熱流伝導部３１とα−カーボン製の熱流制御部３１とで構成されるウェハホルダ３とし、比較例ではグラファイト製のウェハホルダ３とした。
【００５２】
図４は、本実施例に係る気相成長装置１００のウェハ２およびウェハホルダ３近傍（ウェハの外周より１０ｍｍ）の概略解析モデル図である。図４において、ウェハホルダ３の底面からウェハ２までの距離は６．４ｍｍ、ウェハ２厚さ（ポケット孔３ａ深さ）は０．５ｍｍとした。また、反応炉１内は水素雰囲気とした。また、ウェハ２は内径を５０ｍｍ（２インチ）のＩｎＰウェハとした。
【００５３】
また、解析時のメッシュ数は約６００万メッシュとした。このときのウェハ２と熱流伝導部３２との間の接触熱抵抗（Ｒ1g）および熱流制御部３１と熱流伝導部３２との間の接触抵抗（Ｒ2g）をそれぞれ２．０×１０-4ｍ2Ｋ／Ｗとした。なお、接触熱抵抗Ｒ1gは、接触する部材間の平面度、表面粗さ、物質の熱拡散係数によって影響を受け、接触面間の距離を小さく調整することにより、より小さくすることができる。
さらに、解析条件として、ウェハ２の上方３５ｍｍに位置する仮想境界面に４５℃、ウェハホルダ３境界面（裏面）に６５０℃の境界条件を与えた。
【００５４】
なお、水素は低プラントル数のため熱拡散が粘性拡散よりも優位で、また層流域の比較的低いレイノルズ数域では移流の影響を無視して考えることができるので、本モデルの熱伝導解析では近似的に固体として扱った。
また、本解析では下表１に示す物性値を用いた。
【００５５】
【表１】
【００５６】
図５は本実施例のウェハホルダ３を用いた場合のウェハ２およびウェハホルダ３内部の温度分布を示した解析結果であり、図６は比較例のウェハホルダ３を用いた場合の解析結果である。なお、図５、図６では、解析結果を明確にするためにウェハ２とウェハホルダ３の境界部分を拡大している。
【００５７】
また、図７は実施例におけるウェハ２とウェハホルダ３の表面温度分布を示した解析結果であり、図８は比較例におけるウェハ２とウェハホルダ３の表面温度分布を示した解析結果である。なお、図７、図８では、ウェハ中心を０として直径方向の位置における表面温度を示している。
【００５８】
本実施例では、図５に示すように平行かつ均一な等温線分布となっているのに対して、比較例では、図６に示すようにウェハの中央部から周縁部に向かって温度が高くなっていることが分かる。このことから、本実施例の方が熱伝達経路が異なっても同じように熱伝導が行われていることがわかる。また、実施例における熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1は１．０６であり、比較例における熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1は０．２４であった。
【００５９】
また、本実施例では、図７に示すようにウェハ表面温度とウェハホルダ（熱流制御部）表面温度がともに約６３４．０℃で同じなのに対して、比較例では図８に示すようにウェハ表面温度が約６３６．０℃、ウェハホルダ表面温度が約６３８．０℃でその差が約２．０℃であった。つまり、ウェハ２の周縁部（２２〜２５ｍｍ）の表面温度と中央部（０付近）の表面温度との差は、本実施例の方が小さく、ウェハ２の面内温度分布が均一に改善されていることが分かった。
【００６０】
このように、本実施例では、ウェハ２周縁部の表面温度がウェハホルダ３の表面温度から受ける影響はほとんどなくなるので、ウェハ２の面内温度分布を均一に保持することができた。その結果、ウェハ２の面内全域において良好な均一性を有する薄膜を気相成長させることができた。
【００６１】
以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、本発明は、ウェハホルダ３を熱流制御部３１と熱流伝導部３２とで構成し、熱流制御部の材質を適切に選択することによりウェハ２の面内温度分布のばらつきを抑えることができるので、Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＧａＮ、サファイア、ガラス、セラミックウェハなどに薄膜を成長させる場合にも有効である。この場合、用いるウェハに応じて熱流制御部３１の材質を変更するようにしてもよい。
【００６２】
また、本発明に係る気相成長装置は、上述した縦型高速回転方式に限定されるものではなく、フェイスダウン方式、横型方式、自公転方式の気相成長装置にも適応できることは言うまでもない。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、ウェハ表面に成長膜を形成する気相成長装置において、ウェハ収容体を、ウェハを収容するための空部を形成された熱流制御部と、該熱流制御部に接合され前記空部に収容されたウェハに熱を伝導するための熱流伝導部とで構成し、前記熱流制御と前記熱流伝導部との接触熱抵抗を１．０×１０-6ｍ2Ｋ／Ｗ以上５．０×１０-3ｍ2Ｋ／Ｗ以下にするとともに、前記熱流制御部を前記熱流伝導部上に配置されるウェハの熱伝導率の０．５倍以上２０倍以下の熱伝導率を有する材質で形成するようにしたので、ウェハ収容体の裏面（熱流伝導部の裏面）からウェハおよびウェハ収容体の表面（熱流制御部の裏面）へ熱が伝達される際に、それぞれの熱伝達経路における熱抵抗がほぼ同等となる。
【００６４】
すなわち、同様の熱流束にしたがって熱伝導が行われるので、ウェハおよびウェハ収容体の表面の到達温度を同じくすることができる。したがって、ウェハ周縁部の表面温度がウェハホルダの表面温度から受ける影響は少なくなるので、ウェハの面内温度分布を一様に保持することができ、その結果、ウェハの面内全域において良好な均一性を有する薄膜を気相成長させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態の気相成長装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】実施形態のウェハホルダ３の詳細な構成を示す拡大図であり、（ａ）上面図と（ｂ）断面図である。
【図３】本発明に係るウェハ２とウェハホルダ３における熱抵抗概念図である。
【図４】実施例に係る気相成長装置１００のウェハ２およびウェハホルダ３近傍の概略解析モデル図である。
【図５】実施例のウェハホルダを用いた場合のウェハおよびウェハホルダ内部の温度分布を示した解析結果である。
【図６】比較例のウェハホルダを用いた場合のウェハおよびウェハホルダの温度分布を示した解析結果である。
【図７】実施例におけるウェハ２とウェハホルダ３の表面温度分布を示した解析結果である。
【図８】比較例におけるウェハ２とウェハホルダ３の表面温度分布を示した解析結果である。
【図９】従来のウェハホルダ３の詳細な構成を示す拡大図であり、（ａ）上面図と（ｂ）断面図である。
【図１０】従来の気相成長装置におけるウェハ２とウェハホルダ３における熱抵抗概念図である。
【符号の説明】
１ 反応炉
２ ウェハ
３ ウェハホルダ（ウェハ収容体）
３１ 熱流制御部
３２ 熱流伝導部
３ａ ポケット孔
４ サセプタ
５ 加熱ヒータ（加熱手段）
６ 回転機構
７ ガス導入管（ガス供給手段）
８ ガス排気管
１００ 気相成長装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハを加熱しながら高温状態で原料ガスを供給することによりウェハ表面に化合物半導体等の薄膜を気相成長させるための気相成長装置に係り、特に、ウェハを配置するためのウェハ収容体の材質の特性に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、気相成長法は産業界の様々な分野で利用されている。気相成長においてウェハ上に成長した薄膜の膜厚、組成およびドーピング濃度の面内全域の高均一化はいうまでもなく必須項目である。そして、面内全域の均一化の実現手段として、ウェハ加熱の均熱化は最も重要な要素技術とされている。
【０００３】
図１は、一般的な気相成長装置の構成例を示す断面図である。図１に示すように、気相成長装置１００は、反応炉１と、ウェハ２を配置するウェハホルダ３と、ウェハホルダ３を載置するサセプタ４と、サセプタ４の下側に設けられた加熱ヒータ５と、ウェハホルダ３およびサセプタ４を回転自在に支持する回転機構６と、原料ガスやキャリアガスを供給するガス導入管７と、未反応ガスを排気するガス排気管８等で構成される。
【０００４】
図９はウェハホルダ３の詳細な構成を示す拡大図であり、（ａ）上面図と（ｂ）Ａ−Ａ断面図である。ウェハホルダ３は、その片面にウェハ２を配置するための円形のポケット孔３ａを同一円周上に複数個（図２では６個）形成され、反対面でサセプタ４と接触するように構成されている。ここで、ウェハホルダ３は単一若しくは複数の部材で構成できるが、通常は、図９に示すように単一の部材で構成される。
【０００５】
なお、サセプタ４は加熱ヒータ５からの熱を均一に伝達するために熱伝導率の高い材質（例えばモリブデン等）で構成される。また、ウェハホルダ３にも熱伝導率の高いグラファイトやモリブデン等が用いられるのが一般的である。
【０００６】
上述の構成をした気相成長装置においては、加熱ヒータ５でサセプタ４の下側から加熱することによりサセプタ４、ウェハホルダ３を介してウェハ２に熱を伝え、ウェハ２を所定の温度まで上昇させる。また、サセプタ４を回転機構６により所定の回転数で回転させることにより、ガス導入管７より導入した原料ガスやキャリアガスをウェハ２表面に均等に供給しながら薄膜の気相成長を行う。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、本発明者等の実験により、上述したような気相成長装置１００においては、ウェハ２の表面温度がウェハホルダ３の表面温度より低くなるため、ウェハ２の周縁部分はウェハホルダ３の温度の影響を受けてウェハ２の中央部分よりも温度が高くなってしまうことが判明した。つまり、従来の気相成長装置１００ではウェハ２の面内温度分布が均一とならないために、ウェハ２の面内全域において均一性に優れた薄膜を気相成長させるのは困難であることが明らかとなった。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、ウェハの面内全域において良好な均一性を有する薄膜を気相成長させることができる気相成長装置および気相成長方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、密閉可能な反応炉と、該反応炉内に設置され所定の位置にウェハを配置するためのウェハ収容体と、ウェハに向けて原料ガスを供給するためのガス供給手段と、前記ウェハを加熱するための加熱手段と、を少なくとも備え、前記反応炉内において前記加熱手段により前記ウェハ収容体を介してウェハを加熱しつつ、高温状態で原料ガスを供給することにより、前記ウェハ表面に成長膜を形成する気相成長装置において、前記ウェハ収容体を、前記ウェハを収容するための空部を形成された熱流制御部と、該熱流制御部に接合され前記空部に収容されたウェハに熱を伝導するための熱流伝導部とで構成し、前記熱流制御と前記熱流伝導部とが近接する平面及び曲面間には均一な接触熱抵抗Ｒg（Ｒ2g）が存在するようにしたものである。
【００１０】
このようにウェハ収容体を構成することにより、前記熱流伝導部から前記ウェハ表面に向かう熱伝達経路の熱抵抗Ｒ1と前記熱流伝導部から前記熱流制御部表面に向かう熱伝達経路の熱抵抗Ｒ2の比Ｒ2／Ｒ1を容易に調整することができる。また、前記熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1は、０．８以上１．２以下とするのが望ましい。
【００１１】
これにより、ウェハ収容体の裏面（熱流伝導部の裏面）からウェハおよびウェハ収容体の表面（熱流制御部の表面）へ熱が伝達される際に、それぞれの熱伝達経路における熱抵抗がほぼ同等となるので、同様の熱伝導が行われ、ウェハおよびウェハ収容体の表面の到達温度を同じくすることができる。したがって、ウェハ表面とウェハ収容体の表面温度に差が生じることによってウェハ周縁部の表面温度がウェハ中央部の表面温度よりも上昇するのを回避でき、ウェハの面内温度分布を均一に保持することができる。その結果、ウェハの面内全域において良好な均一性を有する薄膜を気相成長させることができる。
【００１２】
また、前記接触熱抵抗Ｒgは１．０×１０-6ｍ2Ｋ／Ｗ以上５．０×１０-3ｍ2Ｋ／Ｗ以下とする。もしくは、前記熱流制御部と前記熱流伝導部との隙間距離は、０．００１ｍｍから１ｍｍの範囲で一様とする。これにより、前記接触熱抵抗Ｒg（Ｒ2g）は、前記熱流伝導部とウェハとの接触熱抵抗（Ｒ1g）とほぼ同等となるので、熱抵抗Ｒ 1 とＲ2の比Ｒ2／Ｒ1の調整が容易となる。
さらに、前記熱流制御部を前記熱流伝導部上に配置されるウェハの熱伝導率の０．５倍以上２０倍以下の熱伝導率を有する材質で形成するようにした。
【００１３】
特に限定しないが、熱流制御部は、薄膜成長やリアクタ内の雰囲気を汚染しないような特性を有する材料であれば、いかなる材料で熱流制御部３１を製作してもよい。
【００１４】
また、熱流伝導部を、ウェハに比べ熱伝導率の高い材質、例えば、５０Ｗ／ｍＫ以上４５０Ｗ／ｍＫ以下の熱伝導率を有する材質で形成するようにした。
例えば、前記熱流制御部を、アモルファスカーボン、窒化アルミ、グラファイト、シリコン、炭化ケイ素、モリブデン、パイロリテックボロンナイトライド、アルミナの何れか一つで形成し、前記熱流伝導部を、モリブデン、グラファイト、金、銀の何れか一つで形成するのが望ましい。
【００１５】
また、上述したような気相成長装置を用いて、前記反応炉内において前記加熱手段により前記ウェハ収容体を介してウェハを加熱しつつ、高温状態で原料ガスを供給することにより、前記ウェハ表面に薄膜を形成する気相成長方法において、薄膜を気相成長させる際の前記ウェハ収容体表面と前記ウェハ表面との温度差を２℃以内に制御しながら気相成長するようにした。これにより、ウェハの面内温度分布が均一になるので、ウェハの面内全域において良好な均一性を有する薄膜を気相成長させることができる。
【００１６】
以下に、本発明を完成するに至った経緯について図１０を参照して説明する。まず、本発明者等は、ウェハ２の表面温度がウェハホルダ３の表面温度より低くなる原因について、ウェハ２およびウェハホルダ３内部における熱伝達経路の違いに着目した。すなわち、一般的にウェハ２とウェハホルダ３の材質は異なり、同様の熱伝達が行われないために、それぞれの表面の到達温度に差が生じると考えた。
【００１７】
図１０は、ウェハ２とウェハホルダ３における熱抵抗概念図である。図１０において、Ｔupはウェハホルダ３の裏面温度で、Ｔsurfはウェハ２またはウェハホルダ３の表面温度で、Ｔdownはウェハ２およびウェハホルダ３表面から所定の距離だけ離れた位置に想定した面（以下、仮想境界面と称する）における温度である。図１０に示すように、ウェハ２の表面にはウェハホルダ３裏面からウェハホルダ３およびウェハ2を通過して仮想境界面に到達する熱伝達経路１にしたがって熱伝達が行われ、ウェハホルダ３の表面にはウェハホルダ３裏面からウェハホルダ３を通過して仮想境界面に到達する熱伝達経路２にしたがって熱伝達が行われる。このように、ウェハ２の表面とウェハホルダ３の表面とでは、それぞれ熱の伝達経路が異なっていることがわかる。
【００１８】
すなわち、図１０に示すウェハ２とウェハホルダ３における熱抵抗概念図より、熱伝達経路１における熱抵抗Ｒ1は、ウェハホルダ３部分の熱抵抗Ｒ1cと、ウェハホルダ３とウェハ２との接触熱抵抗Ｒ1gと、ウェハ２部分の熱抵抗Ｒ1wとを足し合わせた抵抗となり、熱伝達経路２における熱抵抗Ｒ2はウェハホルダ３部分の熱抵抗Ｒ2cとなる。
また、熱抵抗Ｒは下式（１）で与えられる。
【００１９】
【数式１】
これより、熱抵抗Ｒ1、Ｒ2は下式のように表すことができる。
【００２１】
【数式２】
ここで、ウェハ２（ＩｎＰ、ＧａＡｓ等）の熱伝導率ｋ1wはウェハホルダ３（グラファイト、モリブデン等）の熱伝導率ｋ2cに比べて著しく小さいことからＬw/ｋ1w＞Ｌw/ｋ2cとなるうえ、ウェハ２とウェハホルダ３との接触面では接触熱抵抗Ｒ1gが生じるので、明らかにＲ1よりもＲ2のほうが小さくなる。
【００２３】
【数式３】
また、熱伝達は、熱伝達経路における熱流束に支配される。一般に、熱流束とは単位面積（単位：ｍ2）を流れるエネルギー（熱流）量であり、下式（５）で与えられる。
【００２５】
【数式４】
また、図３において熱伝達経路１，２における総括熱抵抗Ｒ1total，Ｒ2totalは下式で表される。
【００２７】
【数式５】
上式（４）、（６）、（７）よりＲ1total＞Ｒ2totalとなる。したがって、熱伝達経路１における熱流束ｑ1は熱伝達経路２における熱流束ｑ2よりも小さくなる。
【００２９】
【数式６】
また、熱流束ｑ1，ｑ2は、ウェハ２の表面温度Ｔ1surf、ウェハホルダ３の表面温度Ｔ2surfを用いて下式のように表すことができる。
【００３１】
【数式７】
上式（８）、（９）、（１０）より、ウェハ２の表面温度Ｔ1surfがウェハホルダ３の表面温度Ｔ2surfよりも低くなることが導き出される。
【００３３】
【数式８】
このように、従来の気相成長装置においては、ウェハ２とウェハホルダ３の熱伝導率が大きく異なるために、上述のように表面温度Ｔ1surf、Ｔ2surfに差が生じることがわかった。
【００３５】
一方、上式（５）〜（１０）より、ウェハ２の表面温度Ｔ1surfとウェハホルダ３の表面温度Ｔ2surfを同等とするためには、それぞれの熱伝達経路における熱抵抗Ｒ1とＲ2を同等とすればよい（すなわち、熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1を１に近づける）。そこで、本発明者らは、熱流制御部３１と熱流伝導部３２の２つの部材でウェハホルダ３を構成する方法を案出した。
このとき、熱抵抗概念図は図３のようになり、熱抵抗Ｒ1および熱抵抗Ｒ2は下式で表される。
【００３６】
【数式９】
これより、ウェハ２と熱流伝導部３２との接触熱抵抗Ｒ1gと熱流制御部３１と熱流伝導部との接触熱抵抗Ｒ2gの値を近くするとともに、ウェハ２部分の熱伝導率ｋ1wと熱流制御部３１部分の熱伝導率ｋ2pの値を近くすることにより、熱抵抗Ｒ1とＲ2の値を近づけることができる。
【００３８】
本発明は、上記知見をもとに完成するに至ったものであり、気相成長装置において、ウェハホルダ３を、ウェハ２を収容するための中空部を形成された熱流制御部と、該熱流制御部およびウェハを配置するための熱流伝導部とで構成するようにし、熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1が０．８以上１．２以下となるようにしたものである。そして、前記熱抵抗Ｒgを１．０×１０-6ｍ2Ｋ／Ｗ以上５．０×１０-3ｍ2Ｋ／Ｗ以下とする、もしくは、前記熱流制御部と前記熱流伝導部との隙間距離を０．００１ｍｍから１ｍｍの範囲で一様とすることで、接触熱抵抗Ｒ1gとＲ2gとがほぼ同等となるようにした。また、熱流制御部を、前記熱流伝導部上に配置されるウェハの熱伝導率の０．５倍以上２０倍以下の熱伝導率を有する材質で形成するようにして、ウェハ２部分の熱伝導率ｋ1wと熱流制御部３１部分の熱伝導率ｋ2pの値が近くなるようにした。
【００３９】
また、上式（１２）、（１３）においてＬｗまたはＬｃの値を大きくすることによっても熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1を１に近づけることができるが、温度制御上、装置の有効空間上、コスト上の問題から実現は困難であるため、具体的な方策として、ウェハホルダ３（熱流制御部３１）の材質をウェハ２の熱伝導率と近い熱伝導率を有する材質とした。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかる気相成長装置（ＭＯＣＶＤ装置）の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施形態の気相成長装置の概略構成を示す断面図である。従来技術で示した気相成長装置と概略構成は同じである。従来技術ではグラファイト等の熱伝導率が高い材質で形成されていたウェハ収容体としてのウェハホルダ３を、本実施形態ではグラファイト等の熱伝導率が高い材質からなる熱流伝導部３２とウェハの熱伝導率と比較的近い熱伝導率を有するアモルファスカーボン（以下、α−カーボンと略記する）からなる熱流制御部３１とで構成している点が異なる。
【００４１】
なお、熱伝導部３２の材質はグラファイトに限らず、例えば、モリブデン、金、銀等で形成するようにしてもよい。また、前記熱流伝導部は、α−カーボンの他、窒化アルミ、グラファイト、シリコン、炭化ケイ素、モリブデン、パイロリテックボロンナイトライド、アルミナ等で形成するようにしてもよい。
【００４２】
図１に示すように、気相成長装置１００は、反応炉１と、ウェハ２を配置するウェハホルダ３と、ウェハホルダ３を載置するサセプタ４と、サセプタ４の下側に設けられた加熱ヒータ５と、ウェハホルダ３およびサセプタ４を回転自在に支持する回転機構６と、原料ガスやキャリアガスを供給するガス導入管７と、未反応ガスを排気するガス排気管８等で構成される。
【００４３】
この気相成長装置１００の各壁体は例えばステンレスで構成される。また、ガス導入管７は上側壁体中央部に設置され、例えば、トリメチルインジウム（ＴＭＩ）、トリメチルアルミニウム（ＴＭＡｌ）、トリメチルガリウム（ＴＭＧ）等の第１３（３Ｂ）族原料ガスと、アルシン（ＡｓＨ3）、ホスフィン（ＰＨ3）等の第１５（５Ｂ）族原料ガスと、キャリアガスとしての水素（Ｈ2）等の不活性ガスと、を反応炉内に導入する。
【００４４】
ウェハホルダ３は、円盤状に成型されたグラファイト製の熱流伝導部３２上にα−カーボン製の熱流制御部が一体的に形成された一つの部材でなり、サセプタ４上に載置される。また、熱流制御部３１には、ウェハ２を収容するための円形のポケット孔３ａが同一円周上に複数個（図２では６個）形成されている。サセプタ４は、加熱ヒータ５からの熱を均等に伝達するために熱伝導率の高い材質（例えばモリブデン等）で構成され、回転機構６により回転可能に支持されている。また、サセプタ４の下側にはウェハ２を加熱するための加熱ヒータ５が同心円状に配設されている。
【００４５】
従来の気相成長装置においては、ウェハホルダ３は全体が熱伝導率の高いグラファイトやモリブデン等の同一材料で形成されるのが一般的であったが、本実施形態ではグラファイト製の熱流伝導部３２とα−カーボン製の熱流制御部３１とで構成している。そして、熱流制御部３１として、熱伝導率が１０Ｗ／ｍ・Ｋのα−カーボンを用いることにより、ウェハホルダ３に配置されるウェハ２の熱伝導率と熱流制御部３１の熱伝導率が近くなるようにした。例えば、ＩｎＰウェハの熱導電率は１４．３Ｗ／ｍ・Ｋであり、α−カーボンの熱導電率の約１．４倍である。
【００４６】
また、熱流制御部３１と熱流伝導部３２との隙間は０．０１ｍｍ〜１ｍｍの範囲で一様であるようにし、接触抵抗が１．０×１０-6ｍ2Ｋ／Ｗ以上１．０×１０-1ｍ2Ｋ／Ｗ以下となるようにした。
【００４７】
このような構成とすることで、加熱ヒータ５からサセプタ４およびウェハホルダ３を介してウェハ２およびウェハホルダ３の表面に向かう熱伝達経路における熱抵抗は同等となるので、ウェハ２表面とウェハホルダ３表面はほぼ同じ温度に到達する。したがって、ウェハ２とウェハホルダ３の表面温度の差によってウェハ周縁部がウェハ中央部よりも温度が高くなるのを回避できるので、ウェハ２の面内温度分布が均一となりやすい。
【００４８】
ガス導入管７は反応炉１の上壁に、また、ガス排気管８は反応炉１の底壁に設置される。ガス導入管７を介して導入口より反応炉１内に導入された原料ガスは、反応炉の上流側で分解され下流側に流れてウェハ２上に薄膜を形成し、未反応の原料ガスはキャリアガスと共に排気口を介してガス排気管８から外部へ排出される。
【００４９】
また、図には示さないが、例えば回転機構６の外周および反応炉の下側壁面外壁には水冷ジャケットが設けられ、これらの水冷ジャケットおよび加熱ヒータ５で反応炉１内の温度を制御するようになっている。
【００５０】
上述した構成をした気相成長装置１００においては、加熱ヒータ５によりサセプタ４の下側から加熱することによりサセプタ４、ウェハホルダ３を介してウェハ２に熱が伝わり、ウェハ２を所定の温度まで上昇させる。また、サセプタ４を回転機構６により所定の回転数で回転させることにより、ガス導入管７より導入した原料ガスやキャリアガスをウェハ２表面に均等に供給して薄膜を気相成長させる。このとき、ウェハ２表面とウェハホルダ３（熱流制御部３１）表面の温度はほぼ同じとなるので、ウェハ２の面内温度分布は均一となり、均一性に優れた薄膜を気相成長させることができる。
【００５１】
（シミュレーションによる実施の解析例）
以下に、実施例および比較例を挙げて本発明の特徴とするところを明らかにする。上述した気相成長装置１００において、ウェハ２およびその近傍をモデル化して、有限体積法による３次元熱伝導解析を行った。なお、実施例ではグラファイト製の熱流伝導部３１とα−カーボン製の熱流制御部３１とで構成されるウェハホルダ３とし、比較例ではグラファイト製のウェハホルダ３とした。
【００５２】
図４は、本実施例に係る気相成長装置１００のウェハ２およびウェハホルダ３近傍（ウェハの外周より１０ｍｍ）の概略解析モデル図である。図４において、ウェハホルダ３の底面からウェハ２までの距離は６．４ｍｍ、ウェハ２厚さ（ポケット孔３ａ深さ）は０．５ｍｍとした。また、反応炉１内は水素雰囲気とした。また、ウェハ２は内径を５０ｍｍ（２インチ）のＩｎＰウェハとした。
【００５３】
また、解析時のメッシュ数は約６００万メッシュとした。このときのウェハ２と熱流伝導部３２との間の接触熱抵抗（Ｒ1g）および熱流制御部３１と熱流伝導部３２との間の接触抵抗（Ｒ2g）をそれぞれ２．０×１０-4ｍ2Ｋ／Ｗとした。なお、接触熱抵抗Ｒ1gは、接触する部材間の平面度、表面粗さ、物質の熱拡散係数によって影響を受け、接触面間の距離を小さく調整することにより、より小さくすることができる。
さらに、解析条件として、ウェハ２の上方３５ｍｍに位置する仮想境界面に４５℃、ウェハホルダ３境界面（裏面）に６５０℃の境界条件を与えた。
【００５４】
なお、水素は低プラントル数のため熱拡散が粘性拡散よりも優位で、また層流域の比較的低いレイノルズ数域では移流の影響を無視して考えることができるので、本モデルの熱伝導解析では近似的に固体として扱った。
また、本解析では下表１に示す物性値を用いた。
【００５５】
【表１】
図５は本実施例のウェハホルダ３を用いた場合のウェハ２およびウェハホルダ３内部の温度分布を示した解析結果であり、図６は比較例のウェハホルダ３を用いた場合の解析結果である。なお、図５、図６では、解析結果を明確にするためにウェハ２とウェハホルダ３の境界部分を拡大している。
【００５７】
また、図７は実施例におけるウェハ２とウェハホルダ３の表面温度分布を示した解析結果であり、図８は比較例におけるウェハ２とウェハホルダ３の表面温度分布を示した解析結果である。なお、図７、図８では、ウェハ中心を０として直径方向の位置における表面温度を示している。
【００５８】
本実施例では、図５に示すように平行かつ均一な等温線分布となっているのに対して、比較例では、図６に示すようにウェハの中央部から周縁部に向かって温度が高くなっていることが分かる。このことから、本実施例の方が熱伝達経路が異なっても同じように熱伝導が行われていることがわかる。また、実施例における熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1は１．０６であり、比較例における熱抵抗比Ｒ2／Ｒ1は０．２４であった。
【００５９】
また、本実施例では、図７に示すようにウェハ表面温度とウェハホルダ（熱流制御部）表面温度がともに約６３４．０℃で同じなのに対して、比較例では図８に示すようにウェハ表面温度が約６３６．０℃、ウェハホルダ表面温度が約６３８．０℃でその差が約２．０℃であった。つまり、ウェハ２の周縁部（２２〜２５ｍｍ）の表面温度と中央部（０付近）の表面温度との差は、本実施例の方が小さく、ウェハ２の面内温度分布が均一に改善されていることが分かった。
【００６０】
このように、本実施例では、ウェハ２周縁部の表面温度がウェハホルダ３の表面温度から受ける影響はほとんどなくなるので、ウェハ２の面内温度分布を均一に保持することができた。その結果、ウェハ２の面内全域において良好な均一性を有する薄膜を気相成長させることができた。
【００６１】
以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、本発明は、ウェハホルダ３を熱流制御部３１と熱流伝導部３２とで構成し、熱流制御部の材質を適切に選択することによりウェハ２の面内温度分布のばらつきを抑えることができるので、Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＧａＮ、サファイア、ガラス、セラミックウェハなどに薄膜を成長させる場合にも有効である。この場合、用いるウェハに応じて熱流制御部３１の材質を変更するようにしてもよい。
【００６２】
また、本発明に係る気相成長装置は、上述した縦型高速回転方式に限定されるものではなく、フェイスダウン方式、横型方式、自公転方式の気相成長装置にも適応できることは言うまでもない。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、ウェハ表面に成長膜を形成する気相成長装置において、ウェハ収容体を、ウェハを収容するための空部を形成された熱流制御部と、該熱流制御部に接合され前記空部に収容されたウェハに熱を伝導するための熱流伝導部とで構成し、前記熱流制御と前記熱流伝導部との接触熱抵抗を１．０×１０-6ｍ2Ｋ／Ｗ以上５．０×１０-3ｍ2Ｋ／Ｗ以下にするとともに、前記熱流制御部を前記熱流伝導部上に配置されるウェハの熱伝導率の０．５倍以上２０倍以下の熱伝導率を有する材質で形成するようにしたので、ウェハ収容体の裏面（熱流伝導部の裏面）からウェハおよびウェハ収容体の表面（熱流制御部の裏面）へ熱が伝達される際に、それぞれの熱伝達経路における熱抵抗がほぼ同等となる。
【００６４】
すなわち、同様の熱流束にしたがって熱伝導が行われるので、ウェハおよびウェハ収容体の表面の到達温度を同じくすることができる。したがって、ウェハ周縁部の表面温度がウェハホルダの表面温度から受ける影響は少なくなるので、ウェハの面内温度分布を一様に保持することができ、その結果、ウェハの面内全域において良好な均一性を有する薄膜を気相成長させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態の気相成長装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】実施形態のウェハホルダ３の詳細な構成を示す拡大図であり、（ａ）上面図と（ｂ）断面図である。
【図３】本発明に係るウェハ２とウェハホルダ３における熱抵抗概念図である。
【図４】実施例に係る気相成長装置１００のウェハ２およびウェハホルダ３近傍の概略解析モデル図である。
【図５】実施例のウェハホルダを用いた場合のウェハおよびウェハホルダ内部の温度分布を示した解析結果である。
【図６】比較例のウェハホルダを用いた場合のウェハおよびウェハホルダの温度分布を示した解析結果である。
【図７】実施例におけるウェハ２とウェハホルダ３の表面温度分布を示した解析結果である。
【図８】比較例におけるウェハ２とウェハホルダ３の表面温度分布を示した解析結果である。
【図９】従来のウェハホルダ３の詳細な構成を示す拡大図であり、（ａ）上面図と（ｂ）断面図である。
【図１０】従来の気相成長装置におけるウェハ２とウェハホルダ３における熱抵抗概念図である。
【符号の説明】
１ 反応炉
２ ウェハ
３ ウェハホルダ（ウェハ収容体）
３１ 熱流制御部
３２ 熱流伝導部
３ａ ポケット孔
４ サセプタ
５ 加熱ヒータ（加熱手段）
６ 回転機構
７ ガス導入管（ガス供給手段）
８ ガス排気管
１００ 気相成長装置
Claims (8)
- 密閉可能な反応炉と、該反応炉内に設置され所定の位置にウェハを配置するためのウェハ収容部と、ウェハに向けて原料ガスを供給するためのガス供給手段と、前記ウェハを加熱するための加熱手段と、を少なくとも備え、
前記反応炉内において前記加熱手段により前記ウェハ収容部を介してウェハを加熱しつつ、高温状態で原料ガスを供給することにより、前記ウェハ表面に所定の成長温度で成長膜を形成する気相成長装置において、
前記ウェハ収容部は、前記ウェハを収容するための空部が形成された熱流制御部と、該熱流制御部に接合され、前記空部に収容されたウェハに熱を伝導するための熱流伝導部とで構成され、
前記熱流制御部と前記熱流伝導部とが接する平面間または曲面間には均一な接触熱抵抗Ｒgが存在することを特徴とする気相成長装置。 - 前記熱流伝導部裏面から前記ウェハ表面に向かう熱伝達経路の前記成長温度における熱抵抗Ｒ1と前記熱流伝導部裏面から前記熱流制御部表面に向かう熱伝達経路の前記成長温度における熱抵抗Ｒ2の比Ｒ2／Ｒ1が０．８以上１．２以下であることを特徴とする請求項１に記載の気相成長装置。
- 前記接触熱抵抗Ｒgは１．０×１０-6ｍ2Ｋ／Ｗ以上５．０×１０-3ｍ2Ｋ／Ｗ以下であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の気相成長装置。
- 前記熱流制御部と前記熱流伝導部との隙間距離は、０．００１ｍｍから１ｍｍの範囲で一様であることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の気相成長装置。
- 前記熱流制御部は、前記熱流伝導部上に配置されるウェハの熱伝導率の０．５倍以上２０倍以下の熱伝導率を有する材質で形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の気相成長装置。
- 前記熱伝導部は、５０Ｗ／ｍＫ以上４５０Ｗ／ｍＫ以下の熱伝導率を有する材質で形成されていることを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の気相成長装置。
- 前記熱流制御部は、アモルファスカーボン、窒化アルミ、グラファイト、シリコン、炭化ケイ素、モリブデン、パイロリテックボロンナイトライド、アルミナの何れか一つで形成され、
前記熱流伝導部は、モリブデン、グラファイト、金、銀の何れか一つで形成されていることを特徴とする請求項１から請求項６の何れか一項に記載の気相成長装置。 - 請求項１に記載の気相成長装置を用いて、前記反応炉内において前記加熱手段により前記ウェハ収容部を介してウェハを加熱しつつ、高温状態で原料ガスを供給することにより、前記ウェハ表面に薄膜を形成する気相成長方法において、
薄膜を気相成長させる際の前記ウェハ収容部表面と前記ウェハ表面との温度差を２℃以内とすることを特徴とする気相成長方法。
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