JP3876944B2 - 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、成形性、保存安定性に優れた硬化物を与える半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びその硬化物で封止された半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
現在、半導体デバイスは樹脂封止型のダイオード、トランジスター、IC、LSI、超LSIが主流となっており、一般にエポキシ樹脂が他の熱硬化性樹脂に比べ成形性、接着性、電気特性、機械特性、耐湿性等に優れているため、エポキシ樹脂組成物で半導体装置を封止することが多く行われている。最近は、これらの半導体装置は集積度が益々大きくなり、それに応じてチップ寸法も大きくなりつつある。
【0003】
一方、これに対してパッケージ外形寸法は電子機器の小型化、軽量化の要求に伴い薄型化が進んでいる。チップ寸法、パッケージ形状の変化に対応して、樹脂組成物は十分に低粘度である必要があり、粘度の高い樹脂組成物で封止するとワイヤー流れ、パッドシフト、ボイド発生や未充填等の成形トラブルが起こり易い。
【0004】
また、チップに対するダメージをより少なくするため、樹脂組成物は良好な硬化性及び金型離型性を有することも必要である。この硬化性及び金型離型性を改良するためには、硬化促進剤を多めに配合する手法が一般的であり、硬化促進剤の配合量を多くすることにより、樹脂組成物は硬化が速くなり成形後の強度も高くなるため、一般に金型離型性を向上させることができる。
【0005】
しかしながら、上記の手法では、金型離型性は向上するものの、樹脂組成物の粘度が高くなり、前述したようなワイヤー流れ、パッドシフト、ボイド発生や、未充填等の成形トラブルが起こり易い。また、硬化促進剤の配合量が多いと、室温付近の温度でも反応が進み易く粘度が上昇するため、樹脂組成物の保存安定性が悪くなるという問題点もあった。
【0006】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、良好な硬化性及び金型離型性を有し、かつ成形性、保存安定性に優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びその硬化物で封止された半導体装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】
本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を行った結果、エポキシ樹脂、硬化剤、無機充填材、硬化促進剤を必須成分として含有してなるエポキシ樹脂組成物において、硬化促進剤として下記一般式(1)で表わされる有機リン系化合物を配合することにより、良好な硬化性及び金型離型性を有すると共に、成形性、保存安定性に優れた硬化物を与え、その硬化物で封止された半導体装置は高い信頼性を有することを知見し、本発明をなすに至ったものである。
【0008】
【化3】
【0009】
以下、本発明について更に詳しく説明すると、本発明のエポキシ樹脂組成物に用いるエポキシ樹脂としては、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有し、後述する各種の硬化剤によって硬化させることが可能である限り分子構造、分子量等に制限はなく、従来から知られている種々のエポキシ樹脂の中から適宜選択して使用することができる。エポキシ樹脂として具体的には、ノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールアルカン型エポキシ樹脂及びその重合物、ビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン−フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂等が挙げられる。
【0010】
本発明に用いる硬化剤としては、フェノール化合物、アミン化合物、酸無水物等の従来からエポキシ樹脂の硬化剤として使用されるもの全般を適用し得、特に制限されないが、1分子中にフェノール性水酸基を2個以上有するフェノール樹脂を好適に使用することができる。具体的には、ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂、トリフェノールアルカン型フェノール樹脂及びその重合物、ナフタレン環含有フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂などが挙げられ、これらの硬化剤は単独で又は2種以上を混合して用いることができる。
【0011】
なお、エポキシ樹脂と硬化剤の配合量は特に制限されず、硬化剤を硬化有効量用いればよいが、上述したフェノール樹脂を用いる場合には、エポキシ樹脂中に含まれるエポキシ基1モルに対して、フェノール樹脂中に含まれるフェノール性水酸基のモル比が0.5〜1.5、特に0.8〜1.2となる範囲にすることが好ましい。
【0012】
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、無機充填材を配合することにより封止材の膨張係数を小さくし、半導体素子に加わる応力を低下させることができる。このような無機充填材としては、通常のエポキシ樹脂組成物に配合されるものを使用することができる。具体的には、破砕状、球状の形状を有する溶融シリカ、結晶性シリカが主に用いられ、この他にアルミナ、窒化珪素、窒化アルミニウム、ボロンナイトライド、酸化チタン、ガラス繊維等を使用することもできる。
【0013】
更に、硬化物の低膨張化と成形性を両立させるためには、上記無機充填材として球状と破砕品とのブレンド、あるいは球状品のみを用いることが好ましい。更に、上記無機充填材の平均粒径は5〜30μmの範囲が好適である。
【0014】
なお、無機充填材は、樹脂と無機充填材表面との結合強度を強くするため、予めシランカップリング剤などで表面処理したものを配合することが好ましい。ここで、表面処理に用いるカップリング剤量及び表面処理方法については特に制限されない。
【0015】
この無機充填材の配合量は特に限定されないが、エポキシ樹脂及び硬化剤の合計量100重量部に対して200〜1,200重量部、特に400〜1,000重量部とすることが好ましい。配合量が200重量部未満では膨張係数が大きくなり、半導体素子に加わる応力が増大し、素子特性の劣化を招く場合があり、1,200重量部を超えると成形時の粘度が高くなり、成形性が悪くなる場合がある。
【0016】
本発明では、エポキシ樹脂と硬化剤との硬化反応を促進するために使用する硬化促進剤として、下記一般式(1)で示される有機リン系化合物を配合するものである。
【0017】
【化4】
【0018】
上記式(1)中、R1としては、例えば水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基等のアルキル基、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等のアルコキシ基が挙げられる。また、上記式(2)中のR2としては、上記R1と同様の基が挙げられる。
【0019】
このような上記式(1)の有機リン系化合物として具体的には、下記構造の化合物が例示される。
【0020】
【化5】
【0021】
【化6】
【0022】
上記式(1)の硬化促進剤は、1種を単独で使用しても2種以上を組み合わせて使用してもよく、その添加量は特に制限されないが、エポキシ樹脂及び硬化剤の合計量100重量部に対して0.5〜500重量部(又は0.001〜1モル)、特に5〜250重量部(又は0.01〜0.5モル)の範囲にすることが好ましい。配合量が0.5重量部未満では硬化反応が十分に起こりにくく、金型離型性を悪くする場合があり、500重量部を超えると成形時の粘度が高くなると共に耐湿性等の信頼性が悪くなる場合がある。
【0023】
硬化促進剤としては、上記式(1)の有機リン系化合物と共に、必要に応じて公知の硬化促進剤を本発明の効果を妨げない範囲で併用して添加することができる。その他の硬化促進剤としては、例えばイミダゾール又はその誘導体、シクロアミジン誘導体、上記式(1)以外のホスフィン誘導体などが挙げられる。
【0024】
なお、これらの硬化促進剤は、樹脂組成物中に分散し易くするために予め樹脂成分と混合し、これを粉砕して用いてもよい。
【0025】
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂、硬化剤、無機充填材、硬化促進剤を必須成分とするが、更に必要に応じて各種の添加剤を配合することができる。その他の添加剤としては、例えば熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー、有機合成ゴム、シリコーン系等の低応力剤、カルナバワックス、高級脂肪酸、合成ワックス等のワックス類、酸化アンチモン、ハロゲン化合物等の難燃化剤、カーボンブラック等の着色剤、ハロゲントラップ剤等を挙げることができる。なお、これら任意成分の添加量は、本発明の効果を妨げない範囲で通常量とすることができる。
【0026】
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂、硬化剤、無機充填材、その他の添加物を所定の組成比で配合し、これをミキサー等によって十分均一に混合した後、熱ロール、ニーダー、エクストルーダー等による溶融混合処理を行い、次いで冷却固化させ、適当な大きさに粉砕して成形材料とすることができる。
【0027】
このようにして得られる本発明の半導体封止用樹脂組成物は、各種の半導体装置の封止用に有効に利用でき、この場合、封止の最も一般的な方法としては、低圧トランスファー成形法が挙げられる。なお、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物の成形温度は150〜180℃で30〜180秒、後硬化は150〜180℃で2〜16時間行うことが望ましい。
【0028】
【発明の効果】
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、特定構造の硬化促進剤を使用することにより、硬化性及び金型離型性が良好であると共に、流動性、保存安定性に優れ、ワイヤー流れ、パッドシフト、ボイド発生や未充填等の成形トラブルが発生することなく成形性にも優れた硬化物を与える。従って、本発明組成物で封止された半導体装置は、耐湿性等の信頼性に優れるものとなる。
【0029】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に示すが、本発明は下記実施例に制限されるものではない。なお、以下の例において部はいずれも重量部である。
【0030】
〔実施例1〜5、比較例1〜3〕
表1に示す成分を熱2本ロールにて均一に溶融混合し、冷却、粉砕して半導体封止用エポキシ樹脂組成物を得た。なお、使用した硬化促進剤の構造は下記の通りであり、いずれの硬化促進剤の添加量もエポキシ樹脂及び硬化剤の合計量100部に対して0.005モルとした。
【0031】
これらの組成物につき、次の(イ)〜(チ)の諸特性を測定した。結果を表1に併記する。
【0032】
【化7】
【0033】
(イ)スパイラルフロー値
EMMI規格に準じた金型を使用して、175℃,70kg/cm2、成形時間120秒の条件で測定した。
(ロ)ゲル化時間
組成物のゲル化時間を175℃熱板上で測定した。
(ハ)溶融粘度
高化式フローテスター(島津製作所製)を用いて、試験荷重10kg/cm2において175℃で測定した。
(ニ)成形硬度
JIS−K6911に準じて175℃,70kg/cm2、成形時間90秒の条件で10×4×100mmの棒を成形したときの熱時硬度をバーコール硬度計で測定した。
(ホ)ガラス転移温度、膨張係数
175℃、70kg/cm2、成形時間120秒の条件で4×4×15mmの試験片を成形し、180℃で4時間ポストキュアーしたものを用い、ディラトメーターにより毎分5℃で昇温させることにより測定した。
(ヘ)成形性(ボイド、金線流れ)
9×10×0.3mmの大きさのシリコンチップを10×15mmの大きさのダイパッドに貼り付け、14×20×2.7mmの大きさの100pinQFP(42アロイ)を得た。更に、金線を張りこの半導体部品をエポキシ樹脂組成物で温度175℃、成形圧力70kg/cm2、トランスファースピード10秒でオートモールド装置を用いて成形した。成形物の外部ボイド、金線流れを測定した。
(ト)耐湿性
アルミニウム配線を形成した6×6mmの大きさのシリコンチップを14pin−DIPフレーム(42アロイ)に接着し、更にチップ表面のアルミニウム電極とリードフレームとを30μmφの金線でワイヤボンディングした後、これにエポキシ樹脂組成物を成形条件175℃,70kg/cm2、成形時間120秒で成形し、180℃で4時間ポストキュアーした。このパッケージを121℃/100%RHの雰囲気中−20Vのバイアス電圧をかけて72時間放置した後、アルミニウム腐食が発生したパッケージ数を調べた。
(チ)保存性
エポキシ樹脂組成物をアルミニウム製の密閉袋に入れ、25℃で72時間恒温器中に放置した。放置後のエポキシ樹脂組成物のスパイラルフローを測定し、初期値に比べて何%低下しているかを算出した。
【0034】
表1の結果より、本発明の特定構造の硬化促進剤を使用したエポキシ樹脂組成物は、流動性が良好であり、保存安定性にも優れ、ワイヤー流れ、ボイド発生等の問題がない硬化物を与え、本発明組成物で封止された半導体装置は、耐湿性等の信頼性に優れるものであることが確認された。
【0035】
【表1】
*1 日本化薬社製、EOCN3300、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキ
シ当量195
*2 油化シェル社製、YX4000HK、ビフェニル型エポキシ樹脂、エポキシ当量1
90
*3 三井東圧化学社製、XL−225−3L、フェノールアラルキル樹脂、フェノール
当量168
*4 日本化薬社製、BREN−105、フェノールノボラック型臭素化エポキシ樹脂、
エポキシ当量280、臭素含有量35%
*5 信越化学工業社製、シランカップリング剤、KBM403、γ−グリシドキシプロ
ピルトリメトキシシラン
Claims (2)
- 請求項1記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物で封止された半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36650097A JP3876944B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
US09/220,439 US6168872B1 (en) | 1997-12-24 | 1998-12-24 | Semiconductor encapsulating epoxy resin composition and semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36650097A JP3876944B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11181236A JPH11181236A (ja) | 1999-07-06 |
JP3876944B2 true JP3876944B2 (ja) | 2007-02-07 |
Family
ID=18486943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP36650097A Expired - Fee Related JP3876944B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6168872B1 (ja) |
JP (1) | JP3876944B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001055431A (ja) * | 1999-08-19 | 2001-02-27 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
TW478089B (en) * | 1999-10-29 | 2002-03-01 | Hitachi Ltd | Semiconductor device and the manufacturing method thereof |
US6770965B2 (en) * | 2000-12-28 | 2004-08-03 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Wiring substrate using embedding resin |
US7329617B2 (en) * | 2004-12-22 | 2008-02-12 | Asm Assembly Automation Ltd. | Coating for enhancing adhesion of molding compound to semiconductor devices |
JP6911806B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2021-07-28 | 味の素株式会社 | 樹脂組成物、シート状積層材料、プリント配線板及び半導体装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES491385A0 (es) | 1979-08-08 | 1981-05-16 | Un metodo para preparar un silano | |
JPS5933125B2 (ja) | 1980-03-17 | 1984-08-14 | 信越化学工業株式会社 | 半導体装置封止用エポキシ樹脂組成物 |
US4572853A (en) | 1980-06-05 | 1986-02-25 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Resin encapsulation type semiconductor device |
FR2488471B1 (fr) | 1980-08-08 | 1986-01-31 | Thomson Brandt | Circuit integre d'interface entre un recepteur de television et sa prise de peritelevision |
JPS5933125A (ja) | 1982-08-19 | 1984-02-22 | Toyo Rubber Chem Ind Co Ltd | クツシヨン体の製造方法 |
JP2927173B2 (ja) | 1994-03-07 | 1999-07-28 | 信越化学工業株式会社 | 4級リン系化合物及びその製造方法並びに硬化触媒 |
-
1997
- 1997-12-24 JP JP36650097A patent/JP3876944B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-12-24 US US09/220,439 patent/US6168872B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11181236A (ja) | 1999-07-06 |
US6168872B1 (en) | 2001-01-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040818 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060712 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060719 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060915 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131110 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |