JP3874437B2 - ヨウ化水素の純度保持法 - Google Patents
ヨウ化水素の純度保持法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3874437B2 JP3874437B2 JP32690995A JP32690995A JP3874437B2 JP 3874437 B2 JP3874437 B2 JP 3874437B2 JP 32690995 A JP32690995 A JP 32690995A JP 32690995 A JP32690995 A JP 32690995A JP 3874437 B2 JP3874437 B2 JP 3874437B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrogen iodide
- cylinder
- purity
- gas
- stainless steel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/32—Hydrogen storage
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ヨウ化水素に不純物の混入することを防止し、ヨウ化水素を高純度の状態に保持する技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、特に半導体産業の分野において、ヨウ化水素はエッチング剤として極めて有用であるということが認められているが、このような分野に使用されるヨウ化水素においては通常の反応試剤などに用いられるものとは異なり、いわゆる4ナイン若しくは5ナイン、又はそれ以上のものといった、極めて高純度なものが要求される。
【0003】
このようなヨウ化水素は、通常は液化ガスとしてボンベに充填され、必要時に導管に導出されて使用に供される。しかしながら、一般に液化ガスを充填するボンベにおいては通常、材質が鋼製でマンガン 1.5重量%程度を含み(以下、マンガン鋼という)、この継目なしのものが耐食性に優れるものとして多用されるが、このような一般的なボンベにヨウ化水素を充填し、保存又は輸送等を行った場合は、封入されているヨウ化水素の純度が顕著に悪化していくという問題がある。
【0004】
すなわち、純度の悪化をもたらす原因は、マンガン鋼の表面若しくは内部に残る微量の水分又は酸素などが作用するためと考えられ、これらがヨウ化水素中に溶出、加えてこのような不純物を含んだヨウ化水素は更なるボンベ内面の腐食を助長するようになるため、封入されているヨウ化水素の純度が次第に悪化していくと考えられている。しかし、マンガン鋼の表面又は内部に残存する水分、酸素など、ヨウ化水素の純度を悪化させる原因となる成分を、このようなボンベから完全に除くことは極めて困難なことである。
【0005】
このような状況下において、現在、半導体の高集積化などに伴い、使用されるヨウ化水素は不純物のない極めて高純度なものが要求され、特に金属分混入の許容量については重量ppb (以下、wtppb と記す)オーダーという非常に厳しい制限がつけられる。そのため、上記したようなボンベでは半導体製造用などのヨウ化水素を取り扱う上において不適当である。更には、このようなボンベにヨウ化水素を長期間保存したり、又はボンベに封入したヨウ化水素を断続的に導出し使用するなどの場合は、ヨウ化水素ガス中の金属分混入量がより顕著に増加する傾向があり、通常、ヨウ化水素ガス中の金属分を数十wtppb 以下におさえておくということは困難である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ヨウ化水素をボンベに貯蔵又はボンベより導出して使用するに際し、ヨウ化水素又はそのガス中に不純物の混入してしまうことを防止し、高純度なヨウ化水素の状態に維持することを可能とする方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明者らはまず、マンガン鋼からなるボンベの内面に注目し、様々な処理を試みる研究を行った。その結果、内面が研磨処理されたマンガン鋼製のボンベに高純度ヨウ化水素を封入した場合は、ボンベ内面の腐食の程度は減少するものの、高純度のヨウ化水素の状態に長期間維持するという前記した目的を達成する上では遠く及ばないものであった。
【0008】
更に本発明者らは上記ヨウ化水素の封入に用いたボンベを調べたところ、その内面は全面にわたってほぼ紫色を呈しており、ヨウ素の固着のあることを認めた。
このような、ヨウ素が遊離する現象は現在のところ定かではないが、マンガン鋼の表面ではヨウ化水素の分解が促進されてしまい、その結果、ボンベ内面にヨウ素が固着するのではないかと考えられる。加えてヨウ素は一般の金属類に対し強力な腐食性を示す物質であり、このようなヨウ素の遊離現象がある場合は、封入されたヨウ化水素の更なる純度低下のあることは明白である。
【0009】
そこで本発明者らは、種々の材質からなる試験片を様々に処理し、ヨウ化水素に対する耐腐食性試験を長期に渡り行い、各々腐食の程度及びそれらの表面状態を観察するとともに、試験に供したヨウ化水素中の不純物増加を調査し、鋭意研究を行ってきた。
【0010】
その結果、ボンベはクロムを12%程度以上含む鋼(以下、ステンレス鋼と呼ぶ)の材質からなるものであって、しかも内面が鏡面のように研磨されたものを用い、これに高純度ヨウ化水素を封入した場合は、内表面に何らの色変化及びヨウ素の固着現象を起こすことがなく、また封入されたヨウ化水素の純度は悪化することが極めて少なく、高純度ヨウ化水素の長期に渡る保存又は断続的に導出して使用する場合においても、常に高純度の状態に維持できるものであることを見出し、本発明を完成するに至った。
【0011】
すなわち、本発明は、内面が研磨処理されたステンレス鋼製のボンベにヨウ化水素を封入することを特徴とするヨウ化水素の純度保持法である。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明を実施するに際し、上記したようなボンベを得るには、種々の公知技術又はそれらの応用技術を採用することにより達成される。すなわち、ステンレス鋼製のボンベ内面を研磨処理するには、空気などの気流と共に砂を吹き付けるサンドブラスト法、液体ホーニング法、電解研磨法、又は粒子の転動による研磨方法などがある。本発明ではこれらのうちでも、ボンベ中に多数の球状粒子、例えばセラミック粒子を入れた後、該ボンベを軸心方向に回転させてその内面を研磨加工する、いわゆるバレル研磨法により処理されたステンレス鋼製のボンベを用いるのがより好ましい。このようなボンベの材質としては、通常、オーステナイト系ステンレス鋼として広い範囲で用いられているSUS−304、SUS−316、又はSUS−316Lからなるものを十分に使用することができる。
【0013】
本発明において、ステンレス鋼製のボンベにおける内面処理の程度は、通常、内部が全面に渡り、ザラつきがなく、鏡面のような状態であるなら高純度ヨウ化水素の純度保持には顕著に差が現れるが、ヨウ化水素を長期に渡り保存する、又は封入されているヨウ化水素を断続的に使用する、などを考慮した場合、内面は、あらさ(日本工業規格 JIS-B-0601(1955) に規定された表面あらさの定義をいう。以下同じ)3μm以下にまで研磨処理されていることが非常に好ましい。すなわち、このように内面が処理されたステンレス鋼製のボンベを用いた場合は、ヨウ化水素を長期に渡り保存したり、又は封入されたヨウ化水素を断続的に使用する場合であっても、その純度の低下は全くないか、若しくは純度の低下があっても格段にその割合を小さなものとすることができるからである。
【0014】
また、本発明を実施するに際し、当該ボンベに付設される弁においても防食処理を施されたものを用いることが好ましく、例えば、少なくともヨウ化水素との接ガス部が研磨処理されたステンレス鋼製の弁、又は接ガス部が金、ニッケル若しくはポリフッ化エチレン系の樹脂で被覆されている弁を用いるのがよい。ステンレス鋼製の弁を用いる場合は、SUS−304、SUS−316、又はSUS−316Lなどからなる材質のものが使用でき、少なくとも接ガス部はあらさ3μm以下にまで研磨処理されているものを用いるのが好ましい。
【0015】
本発明によれば、長期に渡るヨウ化水素の保存をした場合でも、又はボンベ内のヨウ化水素を断続的に使用する場合であってもその純度は低下してしまうようなことはなく、高純度のヨウ化水素をほぼそのままの状態で維持することを可能とするものであるが、ヨウ化水素をこれより導出し使用するに際して、付帯する他の機器、配管などに関しても、少なくともその接ガス部分は防食処理されたものを用いることが重要である。すなわち、ボンベに充填されたヨウ化水素を実際に使用する場合は、通常、ガスの調圧器、圧力計、又は流量計などの機器類の設けられることが多いが、それらのヨウ化水素と接触する可能性のある部分の全て、及び配管の内面を防食処理しておくのが好ましい。
【0016】
【実施例】
以下、実施例により本発明の有用性をより詳細に説明する。本実施例における実験を行った際の装置の接続及びガスの流れについては図1に示すとおりである。
【0017】
使用したボンベについては、材質がSUS−304からなるものでその内面をバレル研磨法によりあらさ12μmまで処理したもの(以下、12Sと表示)、同6μmまで処理したもの(以下、6Sと表示)、同3μmまで処理したもの(以下、3Sと表示)、及び同1μmまで処理したもの(以下、1Sと表示)の各々について試験し、その結果を表1及び表2中に実験No1〜5として示した。
【0018】
また、マンガン鋼の材質からなるボンベのもので、その内面をバレル研磨法によりあらさ1μmまで処理されたもの(以下、M(1S)と表示)、及び同12μmまで処理されたもの(以下、M(12S) と表示)を使用した例を比較例とし、表1及び表2中に実験No6,7,8として示した。
【0019】
図1に示す装置の接続及びガスの流れにおいて、弁2については材質がSUS−316Lからなるものでその接ガス部が、あらさ1μmまで処理されているもの(以下、Kと表示)、又は全く処理されていないもの(以下、Nと表示)のいずれかのものを用いて試験を行い、表1及び表2中では「弁内」として示した。また、配管5の内面、ニードル弁4、及び流量計6内などのヨウ化水素と接触する部分については、ニッケル又はニッケルメッキ施工された材料のものを用い、接続部のガスケット類はテフロン製のものを用いた。
【0020】
操作及びガスの分析の条件は以下のとおりである。
まず、高純度ヨウ化水素の充填されたボンベ1の弁2を開き、ヨウ化水素ガスを調圧器3に導いた後、該ガスをニードル弁4で一定流量下10分間流した後のガス中の分析値を「ガス通気直後」として表1中に記してある。
【0021】
また、ヨウ化水素の断続使用試験については、ニードル弁4で一定流量下に30分間流した後、ニードル弁4を閉めて一晩放置するという操作を少なくとも10回は繰り返し、その後、10分間ガスを流した後のガス中の分析値を「断続使用操作」として表1中に記した。
【0022】
ヨウ化水素の長期保存試験については、上記の断続使用試験を行った後、そのまま放置させ、一ヶ月経過後に10分間ガスを流した後にそのガスを分析し、「一ヶ月経過後」として表2中に記した。これを更に二ヶ月間放置した後、同様に操作しガスを分析した結果を「三ヶ月経過後」として表2中に記した。
【0023】
なお、ガスの分析はイオンプラズマ発光分析装置を用いた。また、表1及び表2中における「ボ内」とはボンベ内部を意味するものである。
【0024】
【表1】
(実験No6,7,8は比較例である。)
【0025】
【表2】
(実験No6,7,8は比較例である。)
【0026】
次いで、上記三ヶ月の長期保存試験を行った後の各々のボンベ封入ガスをパージし、それらの内部を内視鏡を用いて観察したところ、実験No6,7及び8に用いられたマンガン鋼製のボンベにおいては、その内表面が全面にわたり紫色を呈しており、単体ヨウ素の付着しているのが観察された。
これに対し、実験No1〜5に用いられたステンレス鋼製のボンベにおいてはこのような色変化が何ら認められず、使用開始前の金属肌の状態と同様であった。
【0027】
【発明の効果】
以上、実施例の結果からも明らかなように、本発明に記載の構成とすることにより、ヨウ化水素を断続的に使用した場合であっても、あるいは長期に渡る貯蔵を行う場合においても、その純度は低下するようなことがなく、常に高度に保持させておくことが可能である。また、特に、ボンベ内面があらさ3μm以下にまで研磨処理されたステンレス鋼製のボンベを用いるとすることにより、ヨウ化水素中に含まれる金属分は、常に10wtppb 未満におさえることが可能になるという、更なる格段に優れた効果が奏されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に記載の実施例で行った装置の概略図、及びヨウ化水素の流れを示す説明図である。
【符号の説明】
1・・・ボンベ
2・・・弁
3・・・調圧器
4・・・流量調節用ニードル弁
5・・・配管
6・・・流量計
7・・・イオンプラズマ発光分析装置
Claims (3)
- 内面の表面あらさが3μm以下まで研磨処理されたステンレス鋼製の ボンベにヨウ化水素を封入することを特徴とするヨウ化水素の純度保持法。
- 材質がSUS−304、SUS−316、又はSUS−316Lのス テンレス鋼からなるボンベを用いる請求項1記載のヨウ化水素の純度保持法。
- ボンベに付設する弁として、接ガス部の材質はステンレス鋼であるも のを用い、かつその接ガス部表面が、あらさ3μm以下まで研磨処理されたものを用 いる請求項1又は2記載のヨウ化水素の純度保持法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32690995A JP3874437B2 (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | ヨウ化水素の純度保持法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32690995A JP3874437B2 (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | ヨウ化水素の純度保持法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09165204A JPH09165204A (ja) | 1997-06-24 |
JP3874437B2 true JP3874437B2 (ja) | 2007-01-31 |
Family
ID=18193113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32690995A Expired - Lifetime JP3874437B2 (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | ヨウ化水素の純度保持法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3874437B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004270917A (ja) * | 2002-08-05 | 2004-09-30 | Mitsui Chemicals Inc | ハロゲン系ガス充填容器およびこれに充填されたガス並びに充填容器の処理方法 |
US8590705B2 (en) | 2010-06-11 | 2013-11-26 | Air Products And Chemicals, Inc. | Cylinder surface treated container for monochlorosilane |
WO2024106318A1 (ja) * | 2022-11-18 | 2024-05-23 | 住友精化株式会社 | 金属容器、ヨウ化炭化水素充填容器及びヨウ化炭化水素 |
-
1995
- 1995-12-15 JP JP32690995A patent/JP3874437B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09165204A (ja) | 1997-06-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5480677A (en) | Process for passivating metal surfaces to enhance the stability of gaseous hydride mixtures at low concentration in contact therewith | |
EP0428733A1 (en) | Device for forming tungsten film | |
JP2019190853A (ja) | 腐食試験装置および腐食試験方法 | |
Chandler et al. | Testing to determine the effect of high-pressure hydrogen environments on the mechanical properties of metals | |
EP3441499B1 (en) | Storage container for clf, valve installed in said storage container and method of manufacturing the same | |
JPH07233476A (ja) | 酸化不動態膜の形成方法及びフェライト系ステンレス鋼並びに流体供給システム及び接流体部品 | |
JP3874437B2 (ja) | ヨウ化水素の純度保持法 | |
US6231690B1 (en) | Method of oxidizing inner surface of ferritic stainless pipe | |
Konys et al. | Corrosion of high-temperature alloys in chloride-containing supercritical water oxidation systems | |
EP0501867A1 (fr) | Procédé de décapage de matériaux en acier tels que les aciers inoxydables et les aciers alliés | |
JP3213254B2 (ja) | 高耐蝕性金属製品およびその製法 | |
JP3558672B2 (ja) | オーステナイト系ステンレス鋼、配管システム及び接流体部品 | |
EP0517576B1 (en) | Process for storing a gas mixture in passivated metal containers to enhance the stability of gaseous hydride mixtures at low concentration in contact therewith | |
Rosli et al. | Corrosion of UNS G10180 Steel in Supercritical and Subcritical CO2 with O2 as a Contaminant | |
Mori et al. | Intergranular stress corrosion cracking of copper in nitrite solutions | |
JPH05311455A (ja) | 半導体製造装置用ステンレス鋼部材およびその表面処理方法 | |
San Marchi et al. | Fatigue life of austenitic stainless steel in hydrogen environments | |
US5569334A (en) | Stainless steel member for semiconductor fabrication equipment and surface treatment method therefor | |
JPH05287496A (ja) | ステンレス鋼部材の表面処理方法 | |
JPH0246837B2 (ja) | ||
JP2720716B2 (ja) | 耐食性に優れる高純度ガス用オーステナイト系ステンレス鋼材及びその製造方法 | |
JP3398899B2 (ja) | 外部リーク量計測方法及び計測システム | |
Schlain et al. | Corrosion properties of high-purity vanadium | |
JPH0959003A (ja) | ヨウ化水素の純度保持法 | |
CN1227277A (zh) | 废塑料处理设备的防蚀处理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050704 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060725 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060922 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061024 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 4 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131102 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |