JP3870693B2 - レーザ加工機 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザ加工機、特にそのレーザビームの遮断に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のプリント基板用レーザ加工機(以下適宜、「P板加工機」と記す)について説明する。
一般に、プリント基板の加工には、CO2レーザが通常は用いられているが、高密度実装化に伴い、より径の小さな穴、例えば50μm以下のViaホール、の加工が要求されるようになってきた。レーザ加工による穴径はレーザビームの波長によって調整されるため、CO2レーザの波長よりも短い波長が必要となる。そのため、YAGレーザを用い、さらに元の2倍波(元の波長の1/2の波長),3倍波,4倍波等に変換する機構が必要となっている。
ここで、従来のP板加工機を、図6を用いて説明する。図6において、1はレーザ発振器である。レーザ発振器1の内部には、Qスイッチ5を内蔵している。レーザ発振器1のレーザ媒質には、YAGの結晶(図示せず)が用いられている。YAGの結晶は半導体レーザ若しくはランプによって、連続的に励起されている。Qスイッチ5が、その動作信号である数十kHzの周波数でON・OFF動作を繰り返すことにより、レーザビームのパルス発振が起こる。ここで、Qスイッチ5は、ONの場合、レーザビームを遮断し、OFFの場合、レーザビームを通過(素通し)させるものとする。
【0003】
発振したQスイッチ5によるパルス化されたレーザビーム(以下適宜、「パルス光」と記す)は、波長変換素子8を通過することで、2倍波,3倍波,4倍波へと変換される。波長変換を行う場合は、パルスピーク値の高いこのようなQスイッチパルス光を用いることが一般的である。波長変換素子8には、KTP,BBO,LBO等の素子が用いられる。波長変換素子8は、使用する結晶の温度により波長変換効率が定まる(温度位相整合を用いる)ものであり、その所望の変換効率が得られる許容温度幅は約0.1度程度と狭い。従って、その温度変化により波長変換効率が大きく変化するため、水冷若しくはぺルチェ素子等を用いた強制的な側面からの温度制御により、温度変化の範囲は±0.1℃程度に収まるように設定されている。この温度範囲を逸脱すると、波長変換効率が大きく低下してしまうため、波長変換した出力に大きな変動を招くこととなる。6はこの温度管理を行う制御装置である。
【0004】
この従来例のようなP板加工機において、ワーク7を加工する場合、ガルバノミラー3はレーザビームの照射点が所望の加工点に位置決めされると停止するように、ガルバノドライバー4によって制御されている。このガルバノミラー3の位置決め停止信号と連動して、レーザ発振器1の内部のQスイッチ5が数十kHzのパルス周波数でON・OFF動作を繰り返すことにより、予め決められた数十ショット数だけワーク7にパルス光を照射し、加工を行うこととなる。加工を行わない場合には、Qスイッチ5がONの状態を保つことにより、レーザビームが遮断され、パルス発振は行われない。
このように、従来例のP板加工機において、レーザ発振器1の内部に設けられたQスイッチ5は、その機能として、加工時と非加工時とでレーザビームの通過と遮断とを切り替えるシャッター機能と、加工時すなわちワーク7へのレーザビーム照射時に、連続的に発振されているレーザビームを、数十kHzの周波数でON・OFF動作を繰り返すことによってパルス光化する機能とを有している。
【0005】
上述のように、レーザ発振器1の内部にQスイッチ5を用いた場合、波長変換素子8を用いないYAGレーザであれば、所望の出力のパルス光をワーク7に照射することが可能であるが、先に述べたような波長変換素子8を用いたYAGレーザのレーザ発振器1の場合、Qスイッチ5のON,OFFによってワーク7へのパルス光の遮断,照射を行うと、Qスイッチ5から波長変換素子8へ入射されたレーザビームを波長変換素子8自体が吸収することにより温度ドリフトが発生し、ワーク7に照射する数mS間の出力の急激な変化を招き不安定な加工となる。
このため、波長変換素子8を用いたレーザ発振器1の場合、加工を安定的,高精度に行うには、波長変換素子8の温度変化を避けるため、パルス光を常時、波長変換素子8へ入射させておくことが不可欠である。換言すれば、Qスイッチ5を、波長変換素子8へ入射する以前の位置でのレーザビームの遮断,通過を切り替える為の比較的長い時間間隔或いは不規則な時間間隔でON・OFFの切り替えを行うようなシャッターとして用いることは適当ではない。このため、光路上のシャッター機能としては、レーザ発振器1内部のQスイッチ5以外に、波長変換素子8を通過した後の光路上に、高速応答できるシャッター手段を別途設けることが必要となる。
【0006】
レーザビームの遮断,通過を切り替える為に、比較的長く且つ不規則な時間間隔でのON・OFF切り替え動作を要求されるシャッターとして有効なものとして、例えば、音響光学素子が挙げられる。ここでは、シャッターとして音響光学素子を用いた場合について、図7を用いて説明する。
2はラマン回折型の音響光学素子であり、電気信号のON,OFFに従い、入射レーザビームを素通し又は回折散乱し、その応答速度は、数十kHzが可能である。ここではマスク9と組み合わせることにより、電気信号のON,OFFに対応して、レーザビームの遮断(減衰)と通過とを切り替える光学シャッターとして使用する場合について説明する。入射するレーザビームは直線偏光であり、ラマン回折型音響光学素子(以下適宜、「音響光学素子」と記す)2は、その減衰特性の向きがレーザビームの偏光面に合致するように設置される。電気信号がONの場合、音響光学素子2を通過したレーザビームは0次光を中心に1,2,・・,−1,−2,・・次光の回折光に分割される。光路の先に設置したマスク9によって高次の回折ビームは遮断され、元の光路と同じ経路を通る0次光のみがマスク9を通過する。0次光以外の高次光成分に分配されるレーザビームの強度が高いほど音響光学素子2の回折効率、すなわち減衰率が高いと言うことができ、マスク9を通過する0次光の強度を弱めることができる。通常、音響光学素子2では0次光の強度は元のレーザビームの10%程度であり、従って電気信号ON時に約90%のレーザ出力がこのビーム変調器で減衰されることとなる。
この音響光学素子2を、加工時と非加工時とでレーザビームの遮断と通過とを切り替えるシャッター機能(手段)として図6に示したP板加工機に用いる場合、レーザビームの光路中、波長変換素子8を通過した後の、例えば点P1の位置に設置されることとなる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
以上に述べたとおり、レーザビーム光路上のシャッター機能として、波長変換素子8を通過した後の光路上に、高速応答できるシャッター手段を別途設けることが必要であり、図7に示したラマン回折型音響光学素子2は、該シャッター手段として有効である。しかし、ラマン回折型音響光学素子2は、単体でのビーム減衰率が約90%であるため、この音響光学素子2をレーザ加工機に、レーザビームの光学シャッターとして用いた場合、非加工時等、レーザビームを遮断しようとした場合にも10%程度の0次光すなわち漏れ光が、ビーム変調器を通過してワーク7上に照射されて状態となり、ワーク7の表面が損傷するという問題点があった。
【0008】
この発明は、上述の問題点を解決するためになされたもので、高速で且つ、高い遮断性能のシャッターリング動作を行うことができるレーザ加工機を得るものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るレーザ加工機は、直線偏光したレーザビームの光路中の波長変換素子から被加工物までの間に、第一の音響光学素子と第二の音響光学素子とを設け、前記光路中の前記第一の音響光学素子と前記第二の音響光学素子との間に旋光手段を配置し、前記第1の音響光学素子は入射するレーザビームの偏光面に対し減衰特性が得られる向きに配置され、この旋光手段は、前記第二の音響光学素子へ入射されるレーザビームの偏光面を、前記第二の音響光学素子のレーザビーム減衰特性に応じて旋回させるものである。
【0010】
また、第二の音響光学素子を、第一の音響光学素子に対して90度回転させて設置したものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
この発明の第一の実施の形態によるレーザ加工機を、図1及び図2を用いて説明する。図において、従来例のものと同一または相当のものには同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
この実施の形態のものにおいて、レーザ発振器1内で高調波に変換されて出力されたレーザビームは、2個のラマン回折型音響光学素子21,22と旋光手段31、マスク9とにより構成されるビーム変調器20を通過し、ガルバノミラー3によって位置調整されワーク7に照射される。ビーム変調器20は制御装置6からの電気信号により、レーザビームを素通し又は減衰させるシャッターリング動作を行う。
【0012】
先にも述べたとおり、この実施の形態のレーザ加工機に用いる音響光学素子単体での回折効率は90%程度である為、1つの音響光学素子に入力されたレーザビームのうち、10%程度の光は0次光として音響光学素子を通過し、漏れ光となってしまう。このような漏れ光があると、ガルバノミラーが次の加工位置に動作する間に常時ワークに照射され、ワークが所望の加工位置以外で加工され損傷してしまう。このようなことを防止するために、漏れ光を制限する必要がある。材料により制限する光の量は異なるが、概ね1%以下にすることで、焼損するには至らないことが実験的に求められた。
【0013】
そのために、まず、音響光学素子2個を直列に配置することによりビーム減衰率の向上を図ることが考えられた。
この場合、図3に示すように、音響光学素子は入射するレーザビームの偏光面によって回折効率すなわち減衰率が大きく異なり、音響光学素子の設置角度、すなわち、入射されるレーザビームの光軸を回転中心とした音響光学素子の傾きに従い、音響光学素子の減衰特性が最大になる傾きと、入射されるレーザビームの偏光面とが合致するような場合(図3(a))は、上述のように約90%の減衰率が得られるが、音響光学素子の減衰特性が最大になる傾きと入射されるレーザビームの偏光面とが合致しない場合(図3(b))は、減衰率は約50%と大きく低下することがわかった。
【0014】
次に、2個の音響光学素子がそれぞれ、入射されるレーザビームの偏光面に対して減衰特性が最大になる傾きとなるよう、2個の音響光学素子を全く同じ傾きに設置すると、それぞれの音響光学素子としては原理的に高い減衰率を得られたが、1個目(前段)の音響光学素子によって回折光となった光の一部が2個目(後段)の音響光学素子へ再び入力してしまう等、他の要因によって、総体的には所望の高効率の減衰が実現されないことがわかった。
【0015】
そこで、2個の音響光学素子を直列に配置する場合、2個目の音響光学素子は1個目の音響光学素子に対して、入射されるレーザビームの偏光面に対する傾きを異ならせて設置せざるを得ず、90度、傾きを異ならせた状態で設置することが好ましいことがわかった。
【0016】
しかし、単純に1個目の音響光学素子と2個目の音響光学素子との傾きを変えて設置した場合、レーザビームの偏光面は一定であるため、仮にレーザビームの偏光面を、1個目の音響光学素子の減衰特性が最大になる傾きと合致するように設定しても、そのレーザビームの偏光面は2個目の音響光学素子に対して、その減衰特性が最大になる傾きとは合致しないこととなる。
先ほども述べたように、単純に1個目の音響光学素子と2個目の音響光学素子との傾きを変えて設置し、レーザビームの偏光面を1個目の音響光学素子の減衰特性が最大になる傾きと合致するように設定した場合、レーザビームは、1個目の音響光学素子により90%減衰されて、元の強度の10%相当のレーザビームが0次光として通過することになる。この0次光が2個目の音響光学素子へ入力し、ここでは入射した0次光のうち50%のみが減衰される。換言すれば、2個の音響光学素子を用いても、10%×50%=5%の強度のレーザビームが通過して、最終的にワーク等に照射されてしまうことになる。
【0017】
そこで、この実施の形態のものでは、更なる高減衰率を実現するため、図2に示すように、2個の音響光学素子21,22を、それぞれの減衰特性が最大になる傾きが互いに90度異なるように配置するとともに、その2個の音響光学素子21,22を直列に設置した間に、レーザビームの偏光面を回転させる旋光手段としてλ/2板31を挿入した。
【0018】
λ/2板31は、その出射するレーザビームの偏光面を、2個目の音響光学素子22の減衰特性が最大になる傾きと合致するように設定する。これにより、1個目の音響光学素子21により90%減衰されたレーザビームは、さらに2個目の音響光学素子22により90%減衰されて、レーザ発振器1から出力された元のレーザビームの強度の10%×10%=1%相当のレーザビームが0次光として2個目の音響光学素子22を通過することになる。
図4に、音響光学素子の設置による、減衰率の比較を示す。aは、音響光学素子が1個のみの場合、bは、1個目の音響光学素子と2個目の音響光学素子との傾きを90度異ならせて設置した場合、cは、音響光学素子2個をその傾きを90度異ならせて設置し且つ2個の音響光学素子の間に、その出射するレーザビームの偏光面を、2個目の音響光学素子の減衰特性が最大になる傾きと合致するように設定したλ/2板を挿入した場合を示す。cの構成の場合に減衰率は大きく向上し、約99%の減衰率が得られた。ここでは、90度偏光面を回転させる旋光手段としては、λ/2板の他に、水晶ローテータ等がある。
これにより、最終的に通過する0次光の強度が十分減衰され、漏れ光によるワーク7の焼損が防止された。
【0019】
この、第一の実施の形態のレーザ加工機によるワーク7の加工は、以下のように行われる。この実施の形態のようなP板レーザ加工機の場合、ワーク7に加工する際、ガルバノミラー3は照射点が加工点に位置決めされると停止するように、ガルバノドライバー4によって制御されている。このガルバノミラー3の位置決め信号をトリガーとして、光路上に設けられたビーム変調器20が動作する。音響光学素子21,22は、予め決められたショット数に対応して、レーザビームの光路の通過と遮断とを切り替えるシャッター動作を行う。これらの動作は、P板加工機を制御する制御装置によって制御される。加工時の光路は、マスク9を通過してワーク7に照射されるが、音響光学素子21,22により回折される0次光以外の高次光成分となったレーザビームは、図1に破線で示すように、マスク9によって遮断される。一方0次光は、ワークの損傷レベル以下である、当初の強度の約1%に減衰された状態でワーク7まで伝送される。当然、加工時は、既定のエネルギーをもったレーザビームがワーク7に照射され、加工を実施することとなる。
【0020】
実施の形態2.
図5に音響光学素子を3個以上使用した場合の実施の形態を示す。3個の音響光学素子21,22,23はそれぞれ異なる傾きで配置され、その間にはそれぞれλ/2板31,32が挿入されている。λ/2板31は音響光学素子22の、λ/2板32は音響光学素子23の、それぞれの音響光学素子の減衰特性が最大になる傾きに対応した角度だけ、レーザビームの偏光面を回転するように設置されている。
【0021】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、レーザビームの光路中の波長変換素子から被加工物までの間に、第一の音響光学素子と第二の音響光学素子とを設け、前記光路中の前記第一の音響光学素子と前記第二の音響光学素子との間に旋光手段を配置し、この旋光手段は、前記第二の音響光学素子へ入射されるレーザビームの偏光面を、前記第二の音響光学素子のレーザビーム減衰特性に応じて旋回させる、といった構成を用いたことにより、高速で且つ、漏れ光による被加工物への損傷が無い、高遮断性能のシャッターリング機能を安定的に呈するレーザ加工機を得ることができる、といった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の第一の実施の形態によるレーザ加工機の概略構成図。
【図2】 この発明の第一の実施の形態によるレーザ加工機の音響光学素子によるビーム変調器の構成図。
【図3】 音響光学素子の動作説明図。
【図4】 音響光学素子と旋光手段との設置によるレーザビームの減衰率を示した図。
【図5】 この発明の第二の実施の形態によるレーザ加工機の音響光学素子によるビーム変調器の構成図。
【図6】 従来のレーザ加工機の概略構成図。
【図7】 従来の音響光学素子によるビーム変調器の構成図。
【符号の説明】
1 レーザ発振器
3 ガルバノミラー
4 ガルバノドライバー
5 Qスイッチ
6 制御装置
7 ワーク
8 波長変換素子
9 マスク
20 ビーム変調器
21,22,23 音響光学素子
31,32 λ/2板(旋光手段)
Claims (2)
- 直線偏光したレーザビームの光路中の波長変換素子から被加工物までの間に、第一の音響光学素子と第二の音響光学素子とを設け、前記光路中の前記第一の音響光学素子と前記第二の音響光学素子との間に旋光手段を配置し、前記第1の音響光学素子は入射するレーザビームの偏光面に対し減衰特性が得られる向きに配置され、この旋光手段は、前記第二の音響光学素子へ入射されるレーザビームの偏光面を、前記第二の音響光学素子のレーザビーム減衰特性に応じて旋回させるものであることを特徴とするレーザ加工機。
- 前記第1の音響光学素子と前記第2の音響光学素子を直列に配置し、
前記旋光手段はレーザビームの偏光面を90度回転させるものであり、
前記第二の音響光学素子を、前記第一の音響光学素子に対してレーザビームの光路を軸に90度回転させて設置したことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工機。
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