JP2010518415A - 光パワーの高周波変調 - Google Patents
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Abstract
変調パルス光ビームを供給するための装置は定パルス繰返し周波数でパルス光ビームを供給する光源を有する。パルス光ビームの経路にあるビーム偏向器が複数のビーム強度変調器のそれぞれに向けて順次に巡回態様でパルス光ビームを方向転換させるように作動できる。ビーム再結合器が定パルス繰返し周波数で変調パルス光ビームを形成するために複数のビーム強度変調器のそれぞれからの変調光を結合する。
Description
本出願は2006年9月5日にコブ(Cobb)等により出願された、名称を「光パワーの高周波変調のための方法及び装置(METHOD AND APPARATUS FOR OPTICAL POWER MODULATION AT HIGH FREQUENCY)」とする、米国仮特許出願第60/842306号の恩典を主張する。
本発明は全般的には高周波パルス光源のための光パワー変調に関し、さらに詳しくは、パルス毎にパワーが可変のパルス光出力を得るための方法及び装置に関する。
パルスレーザは外科用デバイスから微細電子回路の形成のためのフォトリソグラフィシステムにわたる用途に広く用いられている。パルスレーザ変調には従来多くのタイプのデバイスが用いられている。そのようなデバイスには、例えば、様々なタイプの音響光学変調器(AOM)及び電気光学変調器(EOM)のような、レーザ光の一部を偏向するかまたは回折させるデバイスがある。液晶(LC)変調器のような、別のタイプの変調器は偏光状態を用いて動作する。また別のタイプのパルス光変調器は、例えば、ボイスコイル作動デバイス、圧電アクチュエータ、モーター及びサーボデバイスのようなデバイスによって作動する、レーザビームのいくらかの可変部分を遮る機械的作用によって動作する。
パルスレーザ変調に従来用いられている変調器のそれぞれのタイプには何らかの限界がある。例えば、機械的デバイスはある範囲の速度でしか動作しない。音響光学変調器のような、いくつかのタイプのデバイスはある範囲の波長にわたってしか有効ではない。
パルス変調が特に重視される一分野はUVリソグラフィである。微細回路作成のための間断ない解像度向上への猛進はさらに短い波長の使用への関心をかき立て、一般に約250nmより短波長の、深UV領域の光が特に注目されている。しかし、この範囲のパルスレーザビームの変調は、従来の方策では対応できない多くの問題を提示する。一問題は、AOM及びEOMデバイスのような変調器デバイスの有効範囲をこえるスペクトル範囲に関する。例えば、KD*P(リン酸二重水素カリウム)またはKDP(リン酸二水素カリウムのような代表的なEOM材料はUV波長において比較的強い吸収を示し、この結果、このスペクトル範囲にかけて材料の損傷閾が低くなる。これにより、これらのデバイスはUVリソグラフィ用途のための変調器としての候補から外される。
別の問題は高パルスレートに関する。適するパワーレベルのUV光は、5〜6kHzないしさらに高いパルスレートで動作することができる、エキシマーレーザによって効率よく供給される。これは、他の点では深UV範囲で動作できるであろう機械的光変調器の応答速度を相当に上回る。したがって従来の光変調方策は極めて短い波長と比較的高いパルス周波数の組合せに対応しない。
速度及びフレキシビリティに関して限度があるパルスレーザ変調への従来手法は、したがって、UVリソグラフィ技術の能力を制限する。従来手法の顕著な例をいくつか考察することが説明の役に立つ。
名称を「制御された露光(Controlled Exposure)」とするスズキ(Sizuki)の特許文献1は、レーザ自体への駆動信号を制御することによるパルスエネルギーの通常制御を説明している。これにより、UVリソグラフィのような用途に望ましいパルス毎の強度の変化が可能になる。しかし、このタイプのレーザ駆動電流直接変調は速度が数100Hz以下でしかないパルスレーザにしか適していないであろう。さらに、より高速の応答が可能であるとしても、一般にはレーザパワー自体の連続変調を試みるよりも一定のパワー出力で動作させる方が一層望ましい。この理由のため、このタイプの手法は高速パルス変調のための実用機構を提供しない。
名称を「露光制御デバイス(Exposure Control Device)」とするスズキ等の特許文献2は、光路の中間に一組のフィルタを配置する、自転フィルタホイールの使用を説明している。それぞれのフィルタは光に対して相異なる減衰レベルを与え、よって固定減衰パターンがレーザビームに与えられる。そのような方策は初期の500Hzパルスレーザ源に対して変調を与えるために用いることができる。しかし、この方策はより最近に開発された5〜6kHzで動作するレーザ源には適用できないであろう。さらに、このタイプの方策で与えられる減衰では、不連続パワーレベルの固定された組合せが反復パターンで与えられる。
同様の自転フィルタホイール方策を示すその他の開示には、名称を「露光制御のための複数の減衰器ブレードを装備するステップアンドスキャン露光システム(Step and Scan Exposure System Equipped with a Plurality of Attenuator Blades for Exposure Control)」とするリー(Li)の特許文献3及び名称を「エネルギー量制御デバイス(Energy Amount Controlling Device)」とするオオモリ(Ohmori)の特許文献4がある。
すなわち、より高速のパルスレーザ周波数が最近数年の間に達成されているにも関わらず、UVパルスレーザを利用するリソグラフィシステムは、そのようなレーザが提供するさらに高い潜在能力を、高められた露光精度及び処理速度のために利用することができていない。したがって、それぞれのパルスを個別に変調できる、高周波パルス光ビームを提供する装置が必要とされている。
本発明の目的はレーザ光変調技術の進展にある。この目的を念頭において、本発明は、変調パルス光ビームを供給するための、
(a)定パルス繰返し周波数のパルス光ビームを供給するための光源、
(b)複数のビーム強度変調器、
(c)パルス光ビームの経路にあり、複数のビーム強度変調器のそれぞれに向けて順次に巡回態様でパルス光ビームを方向転換させるように作動できる、ビーム偏向器、及び
(d)定パルス繰返し周波数の変調パルス光を形成するために複数のビーム強度変調器のそれぞれからの変調光を結合するように配置されたビーム再結合器、
を備える装置を提供する。
(a)定パルス繰返し周波数のパルス光ビームを供給するための光源、
(b)複数のビーム強度変調器、
(c)パルス光ビームの経路にあり、複数のビーム強度変調器のそれぞれに向けて順次に巡回態様でパルス光ビームを方向転換させるように作動できる、ビーム偏向器、及び
(d)定パルス繰返し周波数の変調パルス光を形成するために複数のビーム強度変調器のそれぞれからの変調光を結合するように配置されたビーム再結合器、
を備える装置を提供する。
低周波変調器列にかけてパルス光をスキャンすることにより高周波変調を提供することが本発明の特徴である。
リソグラフィに用いられる深UV領域における高周波パルスレーザ変調が可能になることが本発明の利点である。
本発明の上記及びその他の目的、特徴及び利点は、当業者には、本発明の例示実施形態が示され、説明される図面とともになされる、以下の詳細な説明を読めば明らかになるであろう。
図1のタイミングチャートは本発明の全体的目標、すなわち、比較的一定のパワー出力を有するパルス光ビーム10から発生される、変調された高周波パルス光ビーム20の供給を示す。本発明の装置及び方法はある範囲の、特に個々の変調コンポーネント自体の応答時間より短い周期t1を含む、周期t1に適合可能である。例えば、以降に説明される実施形態において、個々のコンポーネントのそれぞれの最高応答時間が約1kHzでしかない変調器コンポーネントのアレイを、パルス繰返し周波数が5kHz(周期t1が0.2ミリ秒)のパルスレーザビームを変調するために用いることができる。図1に示されるように、高周波変調パルス光ビーム20の個々のパルスのそれぞれを変調することができ、パルス毎に、極めて精確な出力パワー送出が可能になる。以降の図面における略図は、パルス光ビーム10の入力経路を示し、様々な実施形態において変調パルス光ビーム20がどのようにして形成されるかを示す。以下の図面及び本文において、同様のコンポーネントは同様の参照数字で指定され、先に説明済のコンポーネント及びコンポーネントの構成または相互作用に関する同様の説明は省略される。
図2の略図は、本発明の動作の主要な原理を説明するビーム発生装置30の一実施形態を示す。光源として、(図2には示されていない)高周波パルスレーザが偏光ビームスプリッタ24に偏光パルス光ビーム22を供給する。光ビーム22は、光ビーム22を調整して円偏光パルス光ビームにする1/4波長板26を通り、光ビーム22の方向転換のための可変ビーム偏向器として動作する、高周波スキャナー12に導かれる。図2に示される実施形態において、高周波スキャナー12は、例えばレーザスキャン装置及びレーザプリンタに通常用いられているような、回転多角形反射素子である。ここで、作動された高周波スキャナー12はパルスビーム22の周波数に同期して回転し、パルスビーム22のそれぞれのパルスを、レンズ14またはその他の適する光学系を通して、変調器アレイ28の変調器18a,18b,18c,18dまたは18eの内の1つに導く。本実施形態において、パルス光ビームのそれぞれの連続パルスは順次に巡回態様で異なる変調チャネルに方向転換され、それぞれの変調チャネルは個別のビーム強度変調器18a〜18eを有する。この構成では、それぞれの変調器18a,18b,18c,18dまたは18eが順次に、それぞれの変調器18a,18b,18c,18dまたは18eの右側に簡略に示されるように、個々のパルスを可変変調レベルで変調する。個々のパルスのそれぞれの変調は、変調器コンポーネントの分解能において、0%〜100%の範囲の減衰とすることができる。次いで、ミラー32またはその他の反射面が変調光を方向転換させ、変調器18a,18b,18c,18dまたは18eを通すかまたは何か別の経路に沿ってスキャナー12に戻す。変調光は次いで1/4波長板26を通って戻る出力経路に沿って送られる。この光は1/4波長板26を2度通過することを思い起こせば、この光が今は偏光ビームスプリッタ24を通して送られた原パルス光ビーム22に対して直交方向に偏光していることがわかる。したがって、この変調光は偏光ビームスプリッタ24から反射される。すなわち、図2に示されるように、偏光ビームスプリッタ24,1/4波長板26,それぞれの光変調器18a〜18e,ミラー32またはその他の反射コンポーネント及びスキャナー12が一体となってパルスビーム再結合器の機能を提供して、変調パルス光ビーム20を形成する。変調パルス光ビーム20は出力として供給するか、別の光学系に導くことができる。この順次動作は巡回態様で反復され、それぞれの変調器18a〜18eは単一パルスまたは2つ以上の連続パルスを順次に受け取る。5つの変調器18a〜18eを有する図2の実施形態を参照すれば、この巡回反復は、パルス光ビーム10の6番目の入力パルスは第1の変調器18aに導かれ、7番目のパルスは第2の変調器18bに導かれ、以下同様となるであろうことを意味する。
本多重化方式に用いられる高周波スキャナー12は単一パルスまたは2つ以上の連続パルスを一度に変調器18a,18b,18c,18dまたは18eの内の1つに導き得ることを述べておくことが有意義である。出力パワーの精密制御には、整数(すなわち、0,1,2,3等の、ゼロまたは正の整数)個の順次パルスをいずれかの単一変調チャネルに精確なタイミングで導くことが好ましい。図2に示される実施形態は、それぞれの変調器18a,18b,18c,18dまたは18eに、一度に1つのパルスを与えられた減衰レベルで変調させる。しかし、例えば、2つ以上の連続パルスをそれぞれの変調器に順次に送り、同じレベルで減衰させることができるであろう。
図3A〜3Eの略図は順次に、本発明の別の実施形態の動作を示す。ここで、ビーム偏向器としてはたらく高周波スキャナー12は、一度に一組の変調器18a,18b,18c,18dまたは18eの内の1つに入力パルス光ビーム22を偏向するように作動できるホログラフスキャナーである。レーザ16またはその他のタイプの光源からのパルス光ビーム22は偏光になっている必要がない。この場合、ビーム再結合器の機能は異なる態様で実施される。図2に示される装置30におけるように、未変調光に用いられる経路と同じ経路に沿って戻る変調光の反射を用いる代りに、図3A〜3Eの実施形態では、個々の変調光パルスを出力軸42に沿って再結合させるためにビーム結合器40を用いる。ビーム結合器40は、一実施形態において、1つ以上の回転ミラー38及び一連のダイクロイック面36を備える。
図4のタイミング図は図2及び3A〜3Eに示されるような実施形態について用いられる同期化を一括して示す。一実施形態において、パルス光ビーム10は5kHzの周波数で供給され、よって周期t1は0.2ミリ秒である。(図2及び3A〜3Eの変調器18a〜18eに対応する)変調器1〜5についての例示変調レベル図も示される。すなわち、例えば、変調器1は変調パルス光ビーム20の第1のパルスのレベルを設定し、変調器2は第2のパルスのレベルを設定し、変調器3は第3のパルスのレベルを設定し、以下同様である。例えば、変調器1が第1のパルスの供給に必要な減衰レベルと第6のパルスの供給に必要な減衰レベルの間で遷移するにはある程度の時間が必要であることに注意されたい。パルスレーザ出力の周期t1に対して、変調器18a〜18eは低速で、一般に1kHz周波数範囲内の応答時間、すなわち1.0m秒の周期で応答する。すなわち、例えば、単一の変調器18aでは動作が低速すぎて5kHzのパルスシーケンスにおける個々のパルスのそれぞれを制御可能な態様で変調することは明らかに不可能である。しかし、図2及び3A〜3Eの例示実施形態に示されるように、変調器の応答時間より短い周期を有するパルスレーザビームのパルス毎変調を提供するために、本発明の多重化構成により、2つ以上のそのような低速変調器を用いることができる。
ビーム偏光、パルス変調及びビーム再結合の機能は多くの可能なコンポーネントの組合せを用いて実施することができる。図5A及び5Bの略図に示される実施形態は、ビーム偏向器として、ガルバノメータミラーとしても知られる、ガルバノメータ式スキャナー56を用いる。本実施形態において、高周波パルスレーザ16が偏向パルス光ビーム22を偏向ビームスプリッタ24に供給する。光ビーム22は1/4波長板26を通して送られ、ガルバノメータ式スキャナー56に導かれる。図5Aに示されるような、第1の位置において、ガルバノメータ式スキャナー56はパルス光ビームの内の1つ以上のパルスを、変調器18a及びミラー32を有する第1の変調チャネル60aに導く。次のパルスまたはパルス群を扱うために、図5Aに点線の外形線で示される、第2の変調チャネル60bが構成される。第1の変調チャネル60aからの変調光は次いで方向転換され、1/4波長板26を通って偏光ビームスプリッタ24に戻り、偏光ビームスプリッタ24は変調パルスを反射し、変調パルスビーム20の一部として、出力に送る。次いでガルバノメータ式スキャナー56が作動され、図5Bに示されるような、第2の位置に変位する。ここで、ガルバノメータ式スキャナー56はパルス光ビームを第2の変調チャネル60bに導き、変調、反射及び変調光の再結合が同様の態様で行われる。図5A及び5Bの実施形態はその機械的な単純性及び堅牢性のために有利であり得るが、高パルス繰返し周波数においてパルス毎変調を提供するためには2つより多くの変調チャネルが必要になり得る。
図6A,6B,6C及び6Dの斜視図は4つの変調チャネル60a,60b,60c及び60dを有するビーム発生装置30の一実施形態を示し、ビーム偏向器及びビームを再結合させる結合器40の両者として機能するスキャナー12は回転モノゴン50または単ファセットスキャナーである。図示される実施形態において、このプリズムコンポーネントはシャフト44上で回転する。これにより、パルス光は、可変変調のため、それぞれの変調チャネル60a,60b,60c及び60dに順次に巡回態様で導かれる。シャフト44の回転軸Rに対して、変調チャネル60a,60b,60c及び60dはこの軸の周りに等角間隔で配置されることが好ましい。
動作はそれぞれの変調チャネル60a,60b,60c及び60dにおいて同様である。図6Aに示される第1の変調チャネル60aを考察すれば、方向転換されたパルス光ビーム22の1つまたは複数のパルスは、破線の外形線で示されるように、多くのコンポーネントを用いて形成された変調器18aに進む。変調器18a〜18dは、それぞれ図6A〜6Dの対応する1つに破線の外形線で強調され、それぞれがガルバノメータ式構成を有する。図6Aの変調器18aを特に参照すれば、集束レンズ58が回転モノゴン50またはその他のタイプのスキャナー12から反射された光を屈折板46に向けて導く。屈折板46はガルバノメータ態様で作動されて位置間を往復運動し、可変量の光をスリット面48に供給する。この組合せコンポーネントは次いでビームの一部を反射してスキャナー12に戻し、変調パルス光ビーム20の一部として出力に送る。図6B,6C及び6Dの変調器18b,18c及び18dは同様に動作する。図6A〜6Dの実施形態は、変調器18a〜18dの例示実施形態として光を変調するために用いられる往復運動デバイスを示しているが、別のタイプの変調器を用いることができる。さらに、4つの変調器18a〜18dが示されているが、異なる数の変調器を用いる別の構成も可能である。
モノゴン50が回転すると、入射パルス光は続いて変調器18b,18c及び18dに順次に供給され、同様に、それぞれの変調チャネルからの光の変調及び再結合により巡回態様で変調パルス光ビーム20の連続パルス列が供給される。図6A〜6Dには、入力パルス光ビーム22の供給及び状態調整のため、または光学システム内での使用のために変調パルス光ビーム20を供給するためのコンポーネントは特に示されていない。そのようなコンポーネントは光学設計技術の当業者にはよく知られているであろう。先に述べたように、変調光の経路と未変調光の経路に分離には偏光またはその他の方法を用いることができるであろう。
図7の斜視図は回転二連モノゴン62を用いる別の実施形態を示す。図8Aに側面図でも示される回転二連モノゴン62は、回転シャフト44の両端上の2つのモノゴン50,52からなる。動作において、回転二連モノゴン62は、(i)図2及び3A〜3Eの実施形態においてはスキャナー12によって、また図5A及び5Bにおいてはガルバノメータ式スキャナー56によって類似態様で実施されるビーム偏向機能、及び(ii)図3A〜3Eの実施形態について示される結合器40と同様のビーム結合器機能の、2つの基本機能を果たす。図7には、一変調チャネル60bの動作が示される。第1のモノゴン50が回転して一変調チャネルのための位置につき、1つ以上のパルスを、本例においては変調器18bに、回転ミラー48を介して導く。変調チャネル60bからの変調出力は次いで、ここではビーム結合器40としてはたらき、変調光を変調パルス光ビーム20の一部として出力に送る、第2の回転モノゴン52に、第2の回転ミラー48を介して導く。シャフト44が回転すると、モノゴン52及び54の結合対は同時に動いて、図6A〜6Dに示されるパターンと同様のパターンにしたがい、次の変調チャネルのそれぞれに対する位置につく。
図8Aの側面図は、偏光を変調するためのビーム発生装置30に二連モノゴン62を用いる図7の構成を有する一実施形態を示す。本構成では、二連モノゴン62がやはりビーム偏向器及びビーム再結合器のいずれの機能も果たし、モノゴン50がビーム偏向器としてはたらき、モノゴン52がビーム再結合器としてはたらく。2つの変調器18a及び18bが示され、別の変調器を回転軸Rの周りの適する角位置にさらに配置することができるであろう。大入射角での反射は偏光に悪影響を与え得るから、鋭角、好ましくは45°より小さい鋭角で、偏光を反射することが有利である。図8Aにおける二連モノゴン62及びミラー48の角度配置によって、入射角及び反射角A1,A2,A3及びA4が小さくなり、偏光状態への反射の影響が最小限に抑えられる。
図8Bは、単一のコンポーネントがビーム偏向及びビーム再結合のいずれをも提供する、また別の構成を示す。図Bの側面図は、回転ビーム偏向器/ビーム再結合器として回転プリズム屈折素子66を用いる、ビーム発生装置30の一実施形態を示す。回転プリズム屈折素子66は(紙面に垂直な)軸Rを中心にして回転する。図8Bに示される回転位置において、回転プリズム屈折素子66は入射パルス光ビーム22の1つ以上のパルスを方向転換させて、鋭角の入射角及び反射角A3でミラー48に導く。ミラー48は変調器18aに向けて光を反射する。変調器18aからの出力である変調光パルスは次いで第2のミラー48から反射され、回転プリズム屈折素子66に向けて戻る。入射角及び反射角A2及びA3は本実施形態により低減される。図8Aと同様に、2つの変調器18a及び18bしか示されていないが、別の変調器を回転軸Rの周りの適する角位置にさらに配置することができるであろう。
図9はホログラフスキャナーを用いる一実施形態の簡略なブロック図であり、本実施形態においてレーザ16は偏光光源である。パルス光ビーム22は偏光ビームスプリッタ24に進み、1/4波長板26を通り、次いでビーム偏向を提供するホログラフスキャナー12に進む。一つのパルスまたは一組のパルスの、変調器18eをもつ変調チャネル60eへの、方向転換が図9に示される。変調光は次いでミラー32から反射され、逆方向に、変調器18eを通るかまたは迂回し、再び1/4波長板26を通って戻る。偏光ビームスプリッタ24はここではビーム結合器40の一部として作用し、この出力光を反射してビーム発生装置30の出力に送る。他の変調チャネルのそれぞれについての変調は先の例で詳細に説明した巡回パターンにしたがう。
図2,3A〜3E,5A,5B,6A〜6D,7,8A,8B及び9に提示される実施形態が示すように、本発明に必要なビーム再結合機能の提供には数多くの可能な構成がある。図2,5A,5B,6A〜6D及び8Bに示されるような実施形態においては、入り未変調光の経路でもある経路にあり、協働して変調パルス光ビーム20を供給する、1つ以上のコンポーネントを用いてビーム結合器40が形成される。あるいは、図3A〜3E,7及び8Aに示されるような実施形態において、ビーム結合器40は、入り未変調光の経路にはない、別個のコンポーネントまたはコンポーネントの組合せである。
本発明は、ビーム整形光学系、ビーム偏向デバイス及び変調デバイスが適切に構成されれば、様々なレーザパワーレベルで用いることができる。例えば、一実施形態において、エキシマーレーザから約10mJ(ミリジュール)/パルスで原パルスが送り出される。パルスレーザ源については、パルス幅が一般に周期(図1のt1)に対して非常に狭く、代表的なパルス幅は50nsから100nsの範囲にある。本明細書に示される例示実施形態からわかるように、本発明の装置及び方法により、パルス光ビームのパルス毎変調を実施するために、アレイ28に構成された、複数の比較的低速なビーム強度変調器の使用が可能になる。これにより個々のパルスのそれぞれの相対強度の制御が可能になり、これはUVリソグラフィのような用途にとって決定的な利点となる。
パルス毎変調に加えて、本発明の装置及び方法によってもたらされる別の利点は改善されたパワー散逸に関する。巡回態様で多くの変調チャネルのそれぞれに少数のレーザパルスを導くことにより、変調コンポーネント及びそれらの支援光学系の寿命の延長に役立つように本発明を用いることができる。
AOM,EOM,またはLCデバイス、圧電またはサーボ作動アパーチャ、回転シャッターまたは別の方法で作動されるシャッターを含むシャッター、あるいは圧電アクチュエータまたはサーボデバイスまたはボイスコイル作動デバイス、ガルバノメータ作動デバイスまたはその他のデバイスで作動されるスリットを含む、数多くのタイプのビーム変調器のいずれも本発明の装置に用いることができるであろう。例えば、電気光学変調器には、ポッケルセルデバイス、間隔可変ファブリ−ペロエタロン、半透過性メッシュ及び穿孔板、半透過性または半反射性光学コーティングまたは光学面、バルク吸収光学材料、可動ブレードまたは可動シャッターのような機械的機構を含めることができる。可傾式減衰器素子によって、また固定素子を交換するかまたはパルス光経路にかけて透過率勾配を有する素子を平行移動させることによって、可変透過率を得るために、誘電体フィルムのような、光学コーティングを用いることができる。段階的減衰制御または連続可変制御のいずれも用いることができるであろう。減衰の段差は、線形または対数形とすることができ、あるいは別の入力−出力特性を有することができる。本明細書に説明される実施形態のいくつかにおいては、光に変調器を両方向で通過させて、光を2度変調できることを述べておくことが有意義である。これは、例えば、図2を参照して説明した基本構成を用いると、おこることである。対照的に、図3A〜3Eのコンポーネント構成は、変調器18a〜18eのそれぞれを1度だけ通過する光を示す。
ビーム強度変調器の特に有望な一タイプは、透過率を変えるために適する角度に選択的に作動させることができる、ダイクロイックエッジフィルタを用いる。図10のグラフは一実施形態におけるエッジフィルタの透過率曲線を示す。この曲線が示すように、約10°にわたる、すなわち約35°から約45°までの入射光に対する角度変化により、このフィルタの透過率は100%近くから0%近くまで劇的に変化する。ビーム減衰に対して上記またはその他のコーティング特性を用いる連続可変光学系は、例えば、独国ガルブゼン(Garbsen)のLaseroptikのような会社から提供される。
図11は、先に説明した光学コンポーネントの例示構成の内の1つを用いる、ビーム発生装置30のシステム実施形態を示す。図11に示されるように、それぞれの変調器18a,18b,18c等の変調レベルをスキャナー12のビーム偏向器から受け取られるパルスのタイミングと同期させるためには、いずれかのタイプの制御ロジックプロセッサ64が必要である。それぞれの変調器への制御信号により、図4の例示波形を参照して説明したように、必要な変調レベルが上記の必要な同期とともに得られるであろう。この機能のための制御ロジックは、例えば専用マイクロプロセッサまたはその他のプログラム制御コンポーネントを用いて、ビーム発生装置30に組み込むことができる。必要に応じて、外部コンピュータワークステーションまたはその他の外部プロセッサ上で実行されるソフトウエアにより、必要な信号レベル及び同期を得ることができるであろう。光学装置技術の同業者には当然であるように、位置データとの制御信号の同期化のためのような、制御ロジックプロセッサ64へのステータス情報の提供のために、様々なタイプのフィードバック機構を用いることもできる。
本発明のいくつかの好ましい実施形態を特に参照して本発明を詳細に説明したが、本発明の範囲を逸脱することなく、上に説明したような、また添付される特許請求の範囲に述べられるような、本発明の範囲内で変形及び改変が実施され得ることが当業者には当然であろう。例えば、レーザ源自体はエキシマーレーザまたは何か別のタイプの高周波源とすることができよう。例えば、レーザ16は、Qスイッチ型またはモードロック型の周波数4逓倍YAG(イットリウムアルミニウムガーネット)レーザのような、パルス固体レーザとすることができよう。本発明の装置に用いられるようなパルス光ビームの巡回方向転換のためのスキャナー12,ないしさらに一般にはビーム偏向器の提供には多くの選択肢がある。そのような選択肢には、例えば、回転多角形反射素子、回転モノゴン、またはその他の可回転反射素子、ホログラフスキャナー、ガルバノメータ式スキャナー、及び共振変調器コンポーネントがあり、また組み合せて用いられる様々なコンポーネントもある。例えば、米国特許第2403731号明細書に開示されるマクニール(MacNeille)プリズムのような、様々な偏光ビームスプリッタ24を用いることができ、あるいは、ハンセン(Hansen)等の米国特許第6234634号明細書に説明されるタイプのワイアグリッドデバイスのような、ワイアグリッドビームスプリッタコンポーネントを用いることができるであろう。
以上のように、パルス毎にパワーが可変のパルス光出力を得るための装置及び方法が提供される。
10 定出力パルス光ビーム
12 高周波スキャナー
14 レンズ
16 レーザ
18 変調器
20 変調パルス光ビーム
22 偏光パルス光ビーム
24 偏光ビームスプリッタ
26 1/4波長板
28 変調器アレイ
30 ビーム発生装置
32 ミラー
36 回転ミラー
38 ダイクロイック面
40 ビーム結合器
42 出力軸
12 高周波スキャナー
14 レンズ
16 レーザ
18 変調器
20 変調パルス光ビーム
22 偏光パルス光ビーム
24 偏光ビームスプリッタ
26 1/4波長板
28 変調器アレイ
30 ビーム発生装置
32 ミラー
36 回転ミラー
38 ダイクロイック面
40 ビーム結合器
42 出力軸
Claims (10)
- 変調パルス光ビームを供給するための装置において、
(a)定パルス繰返し周波数でパルス光ビームを供給するための光源、
(b)複数のビーム強度変調器、
(c)前記パルス光ビームの経路にあり、前記複数のビーム強度変調器のそれぞれに向けて順次に巡回態様で前記パルス光ビームを方向転換させるように作動できるビーム偏向器、及び
(d)前記定パルス繰返し周波数で前記変調パルス光ビームを形成するために前記複数のビーム強度変調器のそれぞれからの変調光を結合するように配置されたビーム再結合器、
を備えることを特徴とする装置。 - 前記ビーム偏向器が前記パルス光ビームを、一度に1パルスで、前記複数のビーム強度変調器のそれぞれの1つに向けて順次に方向転換させるように作動できることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記ビーム偏向器が前記パルス光ビームを、一度に2つ以上の連続パルスで、前記複数のビーム強度変調器のそれぞれの1つに向けて順次に方向転換させるように作動できることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記複数のビーム強度変調器の内の少なくとも1つが、シャッター、圧電作動デバイス、ボイスコイル作動デバイス作動デバイス、サーボ作動デバイス及びガルバノメータ式作動デバイスからなる群から選ばれることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記複数のビーム強度変調器の内の少なくとも1つが反射面を有することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記ビーム偏向器が、回転多角形反射素子、回転モノゴン、回転プリズム屈折素子、ホログラフスキャナー及びガルバノメータ式スキャナーからなる群から選ばれることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記光源がエキシマーレーザを含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記光源がパルス固体レーザを含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記ビーム再結合器が偏光ビームスプリッタを含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 変調パルス光ビームを供給する方法において、
(a)定パルス繰返し周波数でパルス光ビームを供給する工程、
(b)変調光を形成するために、複数のビーム強度変調器のそれぞれに向けて順次に巡回態様で前記パルス光ビームを方向転換させる工程、及び
(c)前記定パルス繰返し周波数で前記変調パルス光ビームを形成するために前記複数のビーム強度変調器のそれぞれからの前記変調光を再結合する工程、
を含むことを特徴とする方法。
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