JP3855216B2 - 半田ボール吸着検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップに用いられる接合用微小半田ボールをマウントする装置における吸着ヘッドの半田ボール吸着状態を検査する装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の半田ボール吸着検査装置では、ピンポイントのセンサのON/OFFによりエキストラボールやリメインボールを検出し、光透過によりミッシングボールを検出している。しかし、扱う半田ボールの小型化が進み、半田ボールの直径が従来の1mmから0.05mm乃至0.3mmに微小化した現在、かような検査装置では対応できなくなってきた。
【0003】
他の検査方法として二次元CCDセンサにより平面イメージを読み取り検査することも知られているが、この方法では図4に示されるような吸着した半田ボール1の真下にぶら下がった状態のエキストラボール2の検出ができない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、吸着ヘッドに吸着される半田ボールが微小半田ボールでも、更に正常に吸着された半田ボールの真下にぶら下がった状態のエキストラボールでも確実に検査可能な検査装置を提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するため、ボール供給ユニットとボール搭載ユニットを具備する半田ボールマウント装置の半田ボール吸着ヘッドの移動経路上に二次元CCDカメラを該吸着ヘッドの半田ボール吸着面が認識されるよう設置するとともに、側方からライン状の光を吸着ヘッドの下部から一定幅で吸着面に沿うよう投光する投光部と投光部に対向する光を検出する受光部とよりなるラインセンサを設置し、半田ボールを吸着した吸着ヘッドを、二次元CCDカメラにて半田ボール吸着面の平面イメージを読み取り検査するとともに、ラインセンサにより吸着面から一定幅の受光結果を読み取り検査し、上記半田ボール吸着面の平面イメージ検査と吸着面から一定幅の受光結果検査の双方が正しい場合にのみ半田ボール吸着ヘッドをボール搭載工程へ移動させることを特徴とする半田ボール吸着検査装置を提供するものである。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下図示の実施例とともに発明の実施の形態につき説明する。本発明は二次元CCDカメラ3とラインセンサ4のコンビネーションにより吸着ヘッド5に吸着された半田ボール1の適否を検査するもので、図1は検査の流れを示す説明斜視図である。
【0007】
ボール供給ユニット6の先に、半田ボール吸着検査装置が配置される。半田ボール吸着検査装置は二次元CCDカメラ3とラインセンサ4により構成される。図1中の上方に向かう矢印は吸着ヘッド5の移動経路を示すもので、二次元CCDカメラ3及びラインセンサ4は、この移動経路上に設置される。
【0008】
ボール供給ユニット6で半田ボール1を吸着した吸着ヘッド5は、まず、ボール吸着検査装置の二次元CCDカメラ3の上部で一旦停止する。
【0009】
図2に示すように停止中に二次元CCDカメラ3は吸着ヘッド5の下面(半田ボール吸着面)のイメージを取り込み、あらかじめ取り込んであった基準画面と比較する。
【0010】
図3は二次元CCDカメラ3で取り込んだ吸着ヘッド5の下面(半田ボール吸着面)のイメージを示す説明図であり、この比較により同図に示すように吸着穴8に半田ボール1が吸着していないミッシングボール7と吸着穴8以外についてしまったエキストラボール9及び吸着穴8からずれてしまったポジションエラーボール10の検出が行われる。
【0011】
二次元CCDカメラ3でミッシングボール7が検出された場合、吸着ヘッド5はボール供給ユニット6に戻り、半田ボールの再吸着を行う。二次元CCDカメラ3にて検査のミッシングボール7が検出されなければ吸着ヘッド5はボール排出ボックス11側へと向かう。
【0012】
二次元CCDカメラ3による吸着ヘッド5の下面のイメージ取り込みによる検査では、垂直方向にぶら下がった状態のエキストラボール2(正確には二次元CCDカメラ3の認識方向と同軸上に重なって存在するエキストラボール2)は、基準画面と比較してもエラーとして検出されない。従って次にラインセンサ4の検査を行うのである。
【0013】
ボール排出ボックス11の手前にはラインセンサ4が配置されており、投光部12からは移動中の吸着ヘッド5の側方より吸着ヘッド5の下部から一定幅分のライン状の光13を投光している。
【0014】
ライン状の光13のライン方向は吸着ヘッド5の下面に対して垂直方向であり、ライン状の光13の幅は、吸着ヘッド5の下部より、正常吸着半田ボール1及びぶら下がり状態のエキストラボール2の検出に必要な幅である。
【0015」
投光された光13は、投光部12に対向して配置される複数の受光センサをライン状に有する受光部14にて受光される。
【0016】
受光部14では、基準レベル以上の光を受光した受光センサはON信号を出し、基準レベル以下の光を受光した受光センサは信号を出さない。受光部14はこの信号を積算し出力する。
【0017】
出力されたデータは図5に示すグラフのごとく処理し、出力15がスレッシュレベル16より小さくなると半田ボール1にぶら下がった状態のエキストラボール2があると判断する。すなわち、ラインセンサ4は、受光部14で受光した光量が予め設定したスレッシュレベル16より小さい場合に不良と判断するのである。
【0018】
なお、スレッシュレベル16は、正常に吸着された半田ボール1の高さにより決定されるが、半田ボール1のサイズは、一乃至二割程度の大きさのばらつきがあるため、スレッシュレベルの設定時にこれを考慮する必要がある。
【0019】
二次元CCDカメラ3及びラインセンサ4での検査の結果、ぶら下がり状態のエキストラボール2や他のエキストラボール9やポジションエラーボール10があると判断された場合には、吸着ヘッド5に振動を与え、ボール排出ボックス11内へエキストラボール2、9を排出し、再度検査を行う。この時、吸着ヘッド5は、真空吸引を停止し、全半田ボールを排出した後、再びボール供給ユニット6へ戻って再吸着をしても良い。又、アラーム信号を出して停止しても良い。
【0020】
二次元CCDカメラ3及びラインセンサ4での検査の結果、ぶら下がり状態のエキストラボール2や他のエキストラボール9やポジションエラーボール10がないと判断された場合、すなわち半田ボール吸着面の平面イメージ検査と吸着面から一定幅の受光結果検査の双方が正しい場合にのみ半田ボール吸着ヘッド5をボール搭載工程へ移動させる。
【0021】
ボール搭載工程は、ボール搭載ユニット15のボールマウントステーション18にて行われる。ボールマウントステーション18は、進行方向(Y軸方向)及び前後方向(X軸方向)へと移動可能なXYテーブル16とその上に設置された回転テーブル17により、ボールマウントステーション18上に載置された半導体チップ、ウエハ、基板などのワークを位置決め固定し、吸着ヘッド5を下降させて半田ボール1をマウントする。
【0022】
本実施例では、半田ボール1をワークにマウントする前に、図示されていない転写ピンにより、ボールマウントステーション18上のワークにフラックスを転写しているが、ボールマウント前に吸着ヘッド5の半田ボール1にフラックスを転写しても良い。
【0023】
【発明の効果】
本発明は、如上のように二次元CCDカメラとラインセンサにより、半田ボールの吸着状態を検査するため、第1に小径の半田ボールの吸着エラーの検出、更にはぶら下がり状態のエクストラボールの検出が確実にできる半田ボール吸着検査装置となった。
【0024】
第2に二次元CCDカメラ及びラインセンサを吸着ヘッドの移動経路上に設置し、特にラインセンサによるぶら下がり状態のエキストラボールの検査を、吸着ヘッドの移動中に行うことができるものとしたためタクトタイムロスの小さい半田ボール吸着検査装置となった。
【0025】
第3にラインセンサからのライン状の光が吸着ヘッドの下部に向かって一定幅で投光されているため、吸着ヘッドの吸着面のレベルと半田ボールのレベルを比較し、かつ常に吸着面のレベルを基準値とすることによりラインセンサと吸着ヘッド面との傾きや平行のずれを補正して正確な検査が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明一実施例の流れを示す説明斜視図
【図2】ヘッドと二次元CCDカメラの関係を示す説明斜視図
【図3】吸着ヘッド下面イメージを示す説明図
【図4】ヘッドとラインセンサの関係を示す説明斜視図
【図5】ラインセンサの出力グラフ
【符号の説明】
1..........半田ボール
2、9........エキストラボール
3..........二次元CCDカメラ
4..........ラインセンサ
5..........吸着ヘッド
6..........ボール供給ユニット
7..........ミッシングボール
8..........吸着穴
10.........ポジションエラーボール
11.........ボール排出ボックス
12.........投光部
13.........ライン状の光
14.........受光部
15.........ボール搭載ユニット
16.........XYテーブル
17.........回転テーブル
18.........ボールマウントステーション
Claims (2)
- ボール供給ユニットとボール搭載ユニットを具備する半田ボールマウント装置の半田ボール吸着ヘッドの移動経路上に二次元CCDカメラを該吸着ヘッドの半田ボール吸着面が認識されるよう設置するとともに、側方からライン状の光を吸着ヘッドの下部から一定幅で吸着面に沿うよう投光する投光部と投光部に対向する光を検出する受光部とよりなるラインセンサを設置し、半田ボールを吸着した吸着ヘッドを、二次元CCDカメラにて半田ボール吸着面の平面イメージを読み取り検査するとともに、ラインセンサにより吸着面から一定幅の受光結果を読み取り検査し、上記半田ボール吸着面の平面イメージ検査と吸着面から一定幅の受光結果検査の双方が正しい場合にのみ半田ボール吸着ヘッドをボール搭載工程へ移動させることを特徴とする半田ボール吸着検査装置。
- ラインセンサは、受光部で受光した光量が予め設定したスレッシュレベルより小さい場合に不良と判断することを特徴とする請求項1記載の半田ボール吸着検査装置。
Priority Applications (1)
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JP12006498A JP3855216B2 (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | 半田ボール吸着検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP12006498A JP3855216B2 (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | 半田ボール吸着検査装置 |
Publications (2)
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JPH11297774A JPH11297774A (ja) | 1999-10-29 |
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Family Applications (1)
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JP12006498A Expired - Lifetime JP3855216B2 (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | 半田ボール吸着検査装置 |
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-
1998
- 1998-04-14 JP JP12006498A patent/JP3855216B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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