JP3844463B2 - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3844463B2 JP3844463B2 JP2002312602A JP2002312602A JP3844463B2 JP 3844463 B2 JP3844463 B2 JP 3844463B2 JP 2002312602 A JP2002312602 A JP 2002312602A JP 2002312602 A JP2002312602 A JP 2002312602A JP 3844463 B2 JP3844463 B2 JP 3844463B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- processing
- processing apparatus
- tank
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Weting (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板等の基板(以下、単に基板と称する)を処理液で処理する基板処理装置に係り、特に、沸点直前の温度に加熱した処理液で基板を処理する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の装置として、特開平9−181041号公報に示すようなものがある。この装置は、処理液を貯留する処理槽と、この処理槽から溢れた処理液を回収する回収槽と、処理槽の処理液を高温に加熱する加熱器と、濃度を調整するために、処理槽に純水を補充する補充部とを備えている。
【0003】
このような装置により、例えば、表面にシリコン窒化膜が被着された基板をエッチング処理するには、シリコン酸化膜との高エッチングレートを維持するために、処理液の温度を、その濃度に応じた沸点直前の高温(120〜170℃)で用いる。処理液としては、例えば、燐酸(H3PO4)を含むものが挙げられる。また、濃度の変動もエッチングレートに影響が生じるが、処理液を高温に加熱している関係上、水分が蒸発しやすく、処理液の濃度が上昇してしまう。そのため、濃度の上昇に応じて沸点直前の温度に応じた濃度に戻す純水を補充部から適宜補充するようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、処理液の濃度が沸点に近い濃度に制御されている関係上、処理槽及びその周辺の状態等が変化して処理液の濃度が沸点直前の温度に応じた濃度よりも低い濃度となった場合には、沸点もそれに応じて低下し、処理槽内の処理液が急激に沸騰する「突沸」が生じることがある。このような突沸が生じた状態では、処理液の液面が激しく乱れた状態であることから、その状態で基板に対する処理を継続すると基板がその悪影響を受けるという問題点がある。
【0005】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、突沸が生じたことを検知してそれを抑制することにより、突沸による基板への悪影響を防止することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、加熱した処理液を処理槽に貯留し、処理液に基板を浸漬して処理を施す基板処理装置において、処理液の液面状態を検知する検知手段と、前記処理槽の上部に配備された開閉扉の下面と前記処理槽の上端との隙間の間隔を調節する間隔調節手段と、前記検知手段により検知した液面状態に基づいて処理液が突沸したことを判断した場合には、前記間隔調節手段により間隔を広げる制御手段と、を備えていることを特徴とするものである。
【0007】
(作用・効果)検出手段により液面状態が突沸であると判断した場合、制御手段は、間隔調節手段により、処理槽の上端と、処理槽上部の開閉扉の下面との隙間を広げるように調節する。これにより、隙間から蒸発する処理液の水分量が多くなるので、処理液の濃度が高く(濃く)なる方向へ変動する。したがって、沸点に達していた処理液の温度が不変であっても、濃度が高く(濃く)なるのに応じて沸点が上昇するので、突沸を抑制することができる。その結果、処理中の基板に対する悪影響を防止することができる。
【0008】
また、請求項1に記載の基板処理装置において、前記処理槽は、処理液を貯留する内槽と、この内槽から溢れた処理液を回収する外槽とを備え、前記間隔調節手段は、前記外槽の上端に配備されていることが好ましい(請求項2)。
【0009】
また、請求項2に記載の基板処理装置において、前記間隔調節手段は、前記開閉扉の下面で昇降可能に設けられた昇降部材と、前記昇降部材を昇降駆動する駆動手段と、を備えていることが好ましい(請求項3)。
【0010】
また、請求項4に記載の発明は、加熱した処理液を処理槽に貯留し、処理液に基板を浸漬して処理を施す基板処理装置において、処理液の液面状態を検知する検知手段と、前記処理槽を囲う外囲器から内部の気体を排出する排気風速又は排気流量を調節する排気調節手段と、前記検知手段により検知した液面状態に基づいて処理液が突沸したことを判断した場合には、前記排気調節手段により排気風速を速く又は排気流量を大きくする制御手段と、を備えていることを特徴とするものである。
【0011】
(作用・効果)検出手段により液面状態が突沸であると判断した場合、制御手段は、排気調節手段により、外囲器から内部の気体を排出する排気風速を速く又は排気流量を大きくするように調節する。これにより、処理槽から蒸発する処理液の水分量が多くなるので、処理液の濃度が高く(濃く)なる方向へ変動する。したがって、沸点に達していた処理液の温度が不変であっても、濃度が高く(濃く)なるのに応じて沸点が上昇するので、突沸を抑制することができる。その結果、処理中の基板に対する悪影響を防止することができる。
【0012】
また、請求項4に記載の基板処理装置において、前記排気調節手段は、前記外囲器の排気管に設けられたダンパと、前記ダンパの開度を調節する開度調節手段と、を備えていることが好ましい(請求項5)。
【0013】
また、請求項6に記載の発明は、加熱した処理液を処理槽に貯留し、処理液に基板を浸漬して処理を施す基板処理装置において、処理液の液面状態を検知する検知手段と、処理液を加熱する加熱手段と、前記検知手段により検知した液面状態に基づいて処理液が突沸したことを判断した場合には、前記加熱手段による加熱温度を下げる制御手段と、を備えていることを特徴とするものである。
【0014】
(作用・効果)検出手段により液面状態が突沸であると判断した場合、制御手段は、加熱手段による加熱温度を下げるように調節する。処理槽には大量の処理液が貯留している等の関係上、その温度が急激に低下することはないが、処理液の温度上昇が抑制されるので、補充手段による処理液への水分の補充が抑制される。すると、高温である処理液からは水分が蒸発し、その濃度が高く(濃く)なる方向へ変動する。したがって、沸点に達していた処理液の濃度が高く(濃く)なり、それに応じて沸点が上昇するので、突沸を抑制することができる。その結果、処理中の基板に対する悪影響を防止することができる。
【0015】
また、請求項6に記載の基板処理装置において、前記加熱手段は、前記処理槽に処理液を供給する供給配管に備えられたインラインヒータを備えていることが好ましく(請求項7)、前記加熱手段は、さらに前記処理槽の外側に付設されたヒータを備えていることが好ましい(請求項8)。
【0016】
また、請求項9に記載の発明は、請求項1から8のいずれかに記載の基板処理装置において、前記検知手段は、前記処理槽内の所定深さに検出端を有し、この検出端に付与される処理液の圧力を検知することを特徴とするものである。
【0017】
(作用・効果)所定深さの検出端には液面状態に応じて圧力がかかるので、この圧力を検知することで処理液の液面状態を知ることができる。
【0018】
また、請求項9に記載の基板処理装置において、前記検知手段は、前記検出端から気体を放出し、その放出圧力に基づいて処理液の圧力を検知し、前記制御手段は、前記検知手段の検知した処理液の圧力が低下したことに基づいて突沸を判断することが好ましい(請求項10)。
【0019】
(作用・効果)処理液が突沸すると液面が激しく乱れて液面が低下する。したがって、検出端からの放出圧力が低下するので、これに基づいて制御手段は突沸を判断することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
図1はこの発明の一実施例に係り、図1は基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【0021】
この基板処理装置は、保持アーム1と、処理槽3と、処理液配管5とを備えている。保持アーム1は、処理対象である複数枚の基板Wを保持し、処理槽3の上方位置と、図1に示す浸漬位置(処理位置)との間を昇降可能に、また上方位置から他の処理槽3の上方位置への水平移動が可能に構成されている。処理槽3は、その底部に、処理液を注入する注入管7を備えている。処理槽3は、基板Wが浸漬される内槽3aと、この内槽3aから溢れた処理液を回収して排出する外槽3bを備えている。注入管7には、処理液配管5が連通接続されている。
【0022】
処理槽3の上部には、一対の開閉扉9が配備されている。一対の開閉扉9は、各々が横向き(紙面方向)の回転軸P周りで取り付けられており、図中に二点鎖線で示すように上下方向に開閉自在に構成されている。処理槽3の周囲は、外囲器10によって囲われている。外囲器10は、カップ状を呈し、開閉扉9の下部から内槽3bの下方を覆うように設けられている。その底部には、排気口11が設けられ、外囲器10の内部の気体を排出するファン13が設けられている。また、ファン13の奥側には、流路断面積を調節するダンパ15が備えられ、モータ17を介して開度を調節することにより、排気口11からの排気風速または排気流量を調節することができる。
【0023】
なお、ダンパ15とモータ17とが本発明における排気調節手段に相当する。また、モータ17が本発明における開度調節手段に相当する。
【0024】
処理液配管5は、流通する処理液の流量及び開閉を制御する制御弁19と、フィルタ20と、インラインヒータ21と、ミキシングバルブ22と、このミキシングバルブ22に連通された第1供給配管23及び第2供給配管24と、循環ポンプ25とを備えている。
【0025】
フィルタ20は処理液中のパーティクル等を除去するものであり、インラインヒータ21は薬液及び純水を含む処理液を所定の温度に昇温するとともに一定温度となるように調節する。第1供給配管23には純水供給源が連通接続され、その流量と開閉を制御する制御弁26が取り付けられている。第2供給配管24には薬液供給源が連通接続され、その流量と開閉を制御する制御弁27が取り付けられている。
【0026】
内槽3aと外槽3bとの境界付近の上方には、補充ノズル28が配備されている。この補充ノズル28には、純水供給源に連通接続された第3供給配管29が接続されている。第3供給配管29における流量及び開閉は、制御弁30によって制御される。また、内槽3a及び外槽3bの外側面には、ヒータ31が付設されている。
【0027】
内槽3aには、本発明における検知手段に相当する圧力測定部32が配備されている。
この圧力測定部32は、検出管33と、レギュレータ35と、圧力検出部37と、ADC39とを備えている。処理液に耐性を有するフッ素樹脂等の材料で構成された検出管33は、その検出端(先端部)が内槽3aの所定深さに位置するように設けられている。レギュレータ35は、窒素ガス供給源からの窒素ガスを一定流量にして検出管33に供給する。すると、定常状態においては、窒素ガスの放出圧力は、内槽3aの液面から所定深さにおける液圧にほぼ等しいものとみなすことができる。圧力検出部37は、この検出管33内の窒素ガス圧力を測定する圧力センサを備えている。したがって、この圧力検出部37からの出力信号は、内槽3aの液面からの所定深さにおける液圧であるとみなすことができる。
【0028】
ADC39は、圧力検出部37から出力される、液圧に応じた出力信号、具体的には、電圧をデジタル化して制御部41に対して出力する。このときのサンプリング周期は、制御部41によって予め設定されている。本発明における制御手段に相当する制御部41は、予め記憶しておいた、圧力測定部32からの圧力に応じた電圧と濃度との対応関係を表した検量線データと、圧力測定部32からの圧力に応じた電圧とに基づいて内槽3a内に貯留している処理液の濃度を求める。
【0029】
具体的な濃度算出手法は、特開平11−219931号公報に詳述されているが、簡単に説明すると以下のようなものである。
すなわち、電圧と液圧とは所定の関数関係を有し、液圧は、液面から検出管33の検出端までの距離(深さ)と、処理液の比重との積に比例する値に大気圧を加えたものとしても表すことができる。したがって、検出端における液圧は、処理液の濃度と、検出端の深さとを変数とする関数で表現することができる。このため濃度及び深さは、圧力測定部32が出力した電圧との間に一定の関係が成り立つ。この関係から、所定深さに対して濃度と電圧との関係を予め求めておくことにより、圧力測定部32からの電圧に基づいて処理液の濃度を求めることができる。
【0030】
また、制御部41は、圧力測定部32からの電圧に基づいて、内槽3a内の処理液の液面状態に基づいて処理液が突沸したか否かについて判断する。突沸であると判断した場合には、後述する「突沸回避動作」を行う。定常状態では、内槽3aの液面が安定しているが、処理液が急激に沸騰してしまう突沸が生じた場合には、検出管33の検出端から窒素ガスを放出する際の放出圧力が、処理液の液面状態に応じて変化する。制御部41は、これを検知して内槽3aの液面状態を判断する。
【0031】
さらに内槽3aには、温度センサ43が設けられており、制御部41はこの温度センサ43からの信号に応じて制御弁30等を制御する。
【0032】
外槽3bの上端には、間隔調節部45が設けられている。この間隔調節部45について図2を参照して説明する。なお、図2は、間隔調節部の要部を示す一部断面図である。
【0033】
この間隔調節部45は、開閉扉9の下面と、外槽3bの上端との隙間の間隔を調節する機能を有する。外槽3bの側壁であって、その上部両面には、縦方向にガイドレール46が取り付けられている。ガイドレール46には、外槽3bの全周上端を覆う昇降部材47が取り付けられている。この昇降部材47は、その縦断面形状が横向き「コ」の字状に形成されている。外槽3bの外側面には、本発明における駆動手段に相当するエアシリンダ48が縦向きに取り付けられている。エアシリンダ48は、平面視で複数個が所定の間隔で取り付けられている。エアシリンダ48としては、間隔の微調整が可能なように、例えば、任意の箇所でロッド49の伸縮が停止可能なロックアップシリンダやブレーキ付シリンダが好ましい。ロッド49は、昇降部材47の外側面に連結部51を介して連結固定されている。
【0034】
エアシリンダ48を作動させると、図2中に二点鎖線で示すように、昇降部材47が開閉扉9の下面に向かって上昇する。また、エアシリンダ48への圧力やブレーキ力を調節すること等により、開閉扉9の下面と昇降部材47の距離を調節することができる。この調節は、制御部41によって行われる。なお、初期状態では、昇降部材47が開閉扉9の下面に近接した位置、すなわち開閉扉9の下面と昇降部材47との隙間の間隔が狭い状態に設定されている。
【0035】
制御部41は、制御弁26,27を制御して薬液を所定濃度とする処理液を生成し、これを内槽3aに所定流量で供給・循環させつつ貯留させる。さらに、インラインヒータ21及びヒータ31を制御して、内槽3aに貯留する処理液の温度を、その濃度に応じた沸点直前(以下、『サブ沸点』と称する)の高温に維持しようとする。ここでは薬液として燐酸(H3PO4)を含む処理液を例に採って説明する。その場合、温度調節の目標としては、例えば、濃度に応じて120〜170℃の範囲の所定値に設定される。また、濃度の変動もエッチングレートに影響が生じるが、処理液を高温に加熱している関係上、水分が蒸発しやすく、処理液の濃度が上昇してしまう。そのため、制御部41は、圧力測定部32からの電圧に基づく濃度に応じて、制御弁30を制御して純水を内槽3aに対して適宜補充し、処理液の濃度を調整してサブ沸点に保つように制御する。
【0036】
ここで、図3を参照して、突沸の検出手法について説明する。なお、図3は燐酸濃度、温度とシリコン窒化膜エッチングレートとの関係を示すグラフである。
【0037】
図3に示すように、沸点BPは、燐酸濃度が高くなるほどそれにつれて高くなる性質を有する。また、本実施例では、制御部41が処理液の温度を一定に保つように制御していることから、シリコン窒化膜のエッチング時の選択比(エッチングレート)は、濃度の変動に応じて、温度ごとのエッチングレート曲線ERCに沿って移動することになる。ここでは、温度150℃の場合を曲線ERC1とし、温度160℃の場合を曲線ERC2とし、温度170℃の場合を曲線ERC3として例示している。
【0038】
この図3から明らかなように、沸点BP境界の乱域TZ側に位置するサブ沸点SBPに温度を維持することでエッチングレートを最も高く維持することができる。したがって、温度一定に維持したまま、高温に伴う水分蒸発に起因して濃度が上昇した場合には、上述したようにして純水を補充する。しかしながら、その補充が過度になったり、あるいは図示しない処理槽3上方の開閉扉に付着した水分が処理液に混入したり、処理槽3の周囲環境が変動したりする等の外乱が生じると、濃度が制御目標よりも低下してしまうことになる。この場合には、エッチングレート曲線ERCの左側に移動する。つまり処理液の温度がサブ沸点SBPから沸点BPに移動することになる。すると処理槽3内の処理液が突沸し、液面が大きく乱れることになる。
【0039】
このような突沸が生じたことを圧力測定部32からの情報に基づいて制御部41が判断するが、その場合には、制御部41が各部を制御して以下のような突沸回避動作を行う。
【0040】
『間隔調節』
上述した間隔調節部45を作動させ、昇降部材47の上面と開閉扉9の下面との間隔を広げるように調節する。これにより内槽3aと外囲器10との気流の流通が容易になり、内槽3aに貯留されている処理液から蒸発する水分量が多くなる。すると、処理液の濃度が高く(濃く)なる方向へ変動するので、沸点に達していた処理液の温度が不変であっても、濃度が高く(濃く)なるのに応じて沸点が上昇するので、突沸を抑制することができる。つまり、処理液が160℃である場合を例に採ると、図3において、沸点BPからエッチングレート曲線ERC2の上を矢印61に示すように移動させることができ、処理液の温度を沸点BPからサブ沸点SBP側にずらすことができる。
【0041】
『排気調節』
モータ17を作動させてダンパ15の開度を調節し、排気口11の流路抵抗が低くなるように設定する。つまり、外囲器10から内部の気体を外部に排出する排気風速を速く又は排気流量を大きくするように調節する。これにより、内槽3aから蒸発する処理液の水分量が多くなるので、処理液の濃度が高く(濃く)なる方向へ変動する。したがって、沸点BPに達していた処理液の温度が不変であっても、濃度が高く(濃く)なるのに応じて沸点が上昇するので、突沸を収めることができる。この場合も上記間隔調節と同様に、図3において、沸点BPからエッチングレート曲線ERC2の上を矢印61に示すように移動させることができる。
【0042】
なお、ファン13の回転数を高く調節して、排気風速又は排気流量を調節するようにしてもよい。
【0043】
『ヒータ調節』
インラインヒータ21のパワーを下げて加熱温度を低下させるように調節する。内槽3aには大量の処理液が貯留している等の関係上、その温度が急激に低下することはないが、処理液の温度上昇が抑制されるので、補充ノズル28による水分の補充が抑制される。すると、高温である処理液からは水分が蒸発し、その濃度が高く(濃く)なる方向へ変動する。したがって、処理液の濃度が高く(濃く)なり、それに応じて沸点が上昇するので、突沸を収めることができる。この場合も上記間隔調節と同様に、図3において、沸点BPからエッチングレート曲線ERC2の上を矢印61に示すように移動させることができる。
【0044】
なお、インラインヒータ21に加え、ヒータ31のパワーを下げて加熱温度を低下させるようにしてもよい。
【0045】
次に、上述した構成の装置における動作について、図4を参照して説明する。なお、図4は、上述した構成の基板処理装置における処理の流れを示すフローチャートである。ここでは、処理液の温度が既に所定値に調整されて循環され、その温度におけるサブ沸点に応じた濃度に既に調整されているものとする。
【0046】
ステップS1
処理対象である複数枚の基板Wを保持アーム1に保持し、上方位置から処理位置に移動させる。これによって複数枚の基板Wが内槽3aの処理液に浸漬される。
【0047】
ステップS2
エッチング処理に応じた時間だけ保持アーム1を処理位置に保持するが、温度センサ43により検出された温度が所定値を越えた場合には、処理液の水分蒸発に起因して濃度が高くなるので、サブ沸点に応じた濃度にするために補充ノズル23から純水を適宜注入する。
【0048】
例えば、処理液の温度を160℃としている場合、160.1℃を越えると水分を補充し、159.9℃を下回ると水分の補充を停止する。
【0049】
ステップS3
制御部41は、圧力測定部32からの電圧に基づいて突沸が生じているか否かを判断する。突沸が生じていない場合には、ステップS4に移行し、突沸が生じている場合には、ステップS6に処理を移行する。
【0050】
ステップS4
エッチング処理に応じた所定時間が経過したか否かで処理を分岐する。所定時間が経過すればステップS5に移行して保持アーム1を上方位置に移動し、所定時間内であれば保持アーム1を処理位置に維持したままステップS2に戻って処理を繰り返す。
【0051】
ステップS6
上記ステップS3において突沸が生じていると制御部41が判断した場合には、本ステップS6に移行する。すなわち、制御部41は、上述した突沸回避動作を実施して突沸を抑制する処置を施す。突沸回避動作を継続しつつ、ステップS4に移行して、基板Wに対する処理を継続する。
【0052】
このように、液面状態が突沸であると判断した制御部41は、『間隔調節』、『排気調節』、『ヒータ調節』の三つの突沸回避動作を行う。これにより蒸発する処理液の水分量が多くなること、また補充される水分量が抑制されること等に起因して、処理液の濃度が高くなる方向へ変動する。したがって、沸点に達していた処理液の温度が不変であっても、濃度が高くなるのに応じて沸点が上昇するので、突沸を収めることができる。その結果、処理中の基板Wに対する悪影響を防止することができる。
【0053】
本発明は、上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、以下のように種々変形実施が可能である。
【0054】
(1)上述した三つの突沸回避動作を全て実施することなく、いずれか一つの動作だけを実施するようにしてもよい。
【0055】
(2)外槽3bの上端と開閉扉9の下面との間にスリットが形成された部材を立設し、スリットの開度を調節して水分の蒸発量を調節するようにしてもよい。
【0056】
(3)また、内槽3aの上部に、処理液に向けて清浄気流を供給する気流供給部を設け、この気流を強めることによって処理液の水分蒸発量を高めるようにしてもよい。
【0057】
(4)水分蒸発量を高めたり、水分の補充量を抑制して処理液の濃度を高めたりするのではなく、内槽3aに薬液供給源から直接少量の薬液を注入する薬液ノズルを配備し、直接的に薬液濃度を高めて突沸を抑制するようにしてもよい。
【0058】
(5)上記の実施例では、燐酸を含む処理液を例に採って説明したが、硫酸等の他の薬液であっても本発明を適用することができる。
【0059】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、液面状態が突沸であると判断した場合、制御手段は、間隔調節手段により、処理槽の上端と、処理槽上部の開閉扉の下面との隙間を広げるように調節する。これにより、隙間から蒸発する処理液の水分量が多くなるので、処理液の濃度が高くなる方向へ変動する。したがって、沸点に達していた処理液の温度が不変であっても、濃度が高くなるのに応じて沸点が上昇するので、突沸を抑制することができる。その結果、処理中の基板に対する悪影響を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図2】間隔調節部の要部を示す一部断面図である。
【図3】燐酸濃度、温度とシリコン窒化膜エッチングレートとの関係を示すグラフである。
【図4】処理の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
W … 基板
1 … 保持アーム
3 … 処理槽
3a … 内槽
3b … 外槽
5 … 処理液配管
7 … 注入管
9 … 開閉扉
10 … 外囲器
11 … 排気口
15 … ダンパ(排気調節手段)
17 … モータ(排気調節手段、開度調節手段)
28 … 補充ノズル
32 … 圧力測定部(検知手段)
33 … 検出管
35 … レギュレータ
37 … 圧力検出部
39 … ADC
41 … 制御部(制御手段)
43 … 報知部(報知手段)
47 … 昇降部材
48 … エアシリンダ
BP … 沸点
ERC(ERC1〜3) … エッチングレート曲線
SBP … サブ沸点
Claims (10)
- 加熱した処理液を処理槽に貯留し、処理液に基板を浸漬して処理を施す基板処理装置において、
処理液の液面状態を検知する検知手段と、
前記処理槽の上部に配備された開閉扉の下面と前記処理槽の上端との隙間の間隔を調節する間隔調節手段と、
前記検知手段により検知した液面状態に基づいて処理液が突沸したことを判断した場合には、前記間隔調節手段により間隔を広げる制御手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記処理槽は、
処理液を貯留する内槽と、この内槽から溢れた処理液を回収する外槽とを備え、
前記間隔調節手段は、前記外槽の上端に配備されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記間隔調節手段は、
前記開閉扉の下面で昇降可能に設けられた昇降部材と、
前記昇降部材を昇降駆動する駆動手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 加熱した処理液を処理槽に貯留し、処理液に基板を浸漬して処理を施す基板処理装置において、
処理液の液面状態を検知する検知手段と、
前記処理槽を囲う外囲器から内部の気体を排出する排気風速又は排気流量を調節する排気調節手段と、
前記検知手段により検知した液面状態に基づいて処理液が突沸したことを判断した場合には、前記排気調節手段により排気風速を速く又は排気流量を大きくする制御手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4に記載の基板処理装置において、
前記排気調節手段は、
前記外囲器の排気管に設けられたダンパと、
前記ダンパの開度を調節する開度調節手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 加熱した処理液を処理槽に貯留し、処理液に基板を浸漬して処理を施す基板処理装置において、
処理液の液面状態を検知する検知手段と、
処理液を加熱する加熱手段と、
前記検知手段により検知した液面状態に基づいて処理液が突沸したことを判断した場合には、前記加熱手段による加熱温度を下げる制御手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項6に記載の基板処理装置において、
前記加熱手段は、前記処理槽に処理液を供給する供給配管に備えられたインラインヒータを備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項7記載の基板処理装置において、
前記加熱手段は、さらに前記処理槽の外側に付設されたヒータを備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から8のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記検知手段は、前記処理槽内の所定深さに検出端を有し、この検出端に付与される処理液の圧力を検知することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項9に記載の基板処理装置において、
前記検知手段は、前記検出端から気体を放出し、その放出圧力に基づいて処理液の圧力を検知し、
前記制御手段は、前記検知手段の検知した処理液の圧力が低下したことに基づいて突沸を判断することを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002312602A JP3844463B2 (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002312602A JP3844463B2 (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004146739A JP2004146739A (ja) | 2004-05-20 |
JP3844463B2 true JP3844463B2 (ja) | 2006-11-15 |
Family
ID=32457452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002312602A Expired - Fee Related JP3844463B2 (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3844463B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105742207A (zh) * | 2014-12-24 | 2016-07-06 | 东京毅力科创株式会社 | 基板液处理装置和基板液处理方法 |
CN109508047A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-03-22 | 湖南主导科技发展有限公司 | 一种具有防超温功能的地下水位控制水泵远程控制器 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3939630B2 (ja) * | 2002-10-31 | 2007-07-04 | エム・エフエスアイ株式会社 | 沸騰薬液の管理方法 |
TWI624890B (zh) | 2013-08-22 | 2018-05-21 | Sakura Color Prod Corp | Indicator for electronic component manufacturing apparatus, and design and/or management method of the same |
CN106030766B (zh) | 2014-02-14 | 2019-05-28 | 株式会社樱花彩色笔 | 等离子体处理检测指示器 |
WO2015170592A1 (ja) | 2014-05-09 | 2015-11-12 | 株式会社サクラクレパス | 変色層として無機物質を使用したプラズマ処理検知インジケータ |
JP6567863B2 (ja) | 2014-09-16 | 2019-08-28 | 株式会社サクラクレパス | プラズマ処理検知用インキ組成物及びプラズマ処理検知インジケータ |
JP6567817B2 (ja) | 2014-12-02 | 2019-08-28 | 株式会社サクラクレパス | プラズマ処理検知インキ組成物及びそれを用いたプラズマ処理検知インジケータ |
JP6609231B2 (ja) | 2016-09-16 | 2019-11-20 | キオクシア株式会社 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH057301U (ja) * | 1991-07-08 | 1993-02-02 | 日本ゼオン株式会社 | 突沸防止機構付き真空蒸留装置 |
JPH06204206A (ja) * | 1992-12-31 | 1994-07-22 | Sony Corp | 薬液液面検知方法及び薬液液面検知装置 |
JPH11219931A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置、濃度測定装置、および濃度測定方法 |
JP3844462B2 (ja) * | 2002-10-23 | 2006-11-15 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
-
2002
- 2002-10-28 JP JP2002312602A patent/JP3844463B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105742207A (zh) * | 2014-12-24 | 2016-07-06 | 东京毅力科创株式会社 | 基板液处理装置和基板液处理方法 |
CN105742207B (zh) * | 2014-12-24 | 2020-04-03 | 东京毅力科创株式会社 | 基板液处理装置和基板液处理方法 |
CN109508047A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-03-22 | 湖南主导科技发展有限公司 | 一种具有防超温功能的地下水位控制水泵远程控制器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004146739A (ja) | 2004-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8153017B2 (en) | Substrate treating method | |
JP3844463B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2001023952A (ja) | エッチング方法及びエッチング装置 | |
JP2007258405A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
CN105446374B (zh) | 水箱控制方法及系统 | |
US11062922B2 (en) | Substrate liquid processing apparatus | |
JP6326365B2 (ja) | 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | |
JP4001575B2 (ja) | 基板処理装置 | |
US11869781B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP2008306089A (ja) | 浸漬式洗浄装置 | |
JP3844462B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3939630B2 (ja) | 沸騰薬液の管理方法 | |
US7883635B2 (en) | Substrate treating apparatus and method | |
JP4429106B2 (ja) | 基板エッチング装置 | |
JP2018142695A (ja) | 基板液処理装置 | |
US20230107142A1 (en) | Substrate treating method and apparatus used therefor | |
JP4429189B2 (ja) | 基板処理装置及びその方法 | |
JP6407764B2 (ja) | 基板処理システム、基板処理システムの制御方法、及び記憶媒体 | |
JPH0799175A (ja) | 処理液の供給方法及び供給装置 | |
JP2004356409A (ja) | 基板処理装置 | |
JP3592923B2 (ja) | 排気装置 | |
JP4027288B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JPH11154665A (ja) | 基板の表面処理方法 | |
JP2002093773A (ja) | 基板処理装置 | |
JP3492901B2 (ja) | 基板の表面処理方法および表面処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050314 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060607 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060718 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060815 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060815 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3844463 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090825 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090825 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100825 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100825 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110825 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110825 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120825 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120825 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120825 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130825 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |