JP3834024B2 - 光導波路部品及びその作製方法 - Google Patents
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Description
このような光導波路部品を作製するには、まず、適切な工程により作製した光導波路32を用意する。その後、ダイシングソー等により、光導波路32に斜め溝33を形成する。次に、蒸着またはスパッタ等により、斜め溝33を構成する開口部の向いた第2の傾斜面33bに反射膜35を形成する。この際、斜め溝33は外部結合導波路の上部クラッド側が凸であるので、蒸着源またはスパッタリング・ターゲットに対して基板表面を正対させるように設置して、垂直性の良い条件にて蒸着またはスパッタを行うことによって、自動的に外部結合導波路端部は保護され、斜め溝33を構成する第1の傾斜面33aには反射膜35は形成されない。
図6は、斜め溝をどのように設計するのかを説明するための図である。簡単のために、光ビームの光路を幾何光学的に計算して概略設計を行う。
外部導波路端(座標(x1,y1))から出射した光ビームは、対向する第2の傾斜面(座標(x2,y2))で反射され、(x3,y3)においてクラッドの上面から出力される。溝中を伝播するビームは、基板と並行な方向を基準として反時計周りを正として表記した角度Φで溝中を進行するものとする。光ビームは溝中では広がり角をもって伝播するため、ビームを構成する光線成分を考えると角度ΦはΦu〜Φlまでの範囲にわたることになる。
第1の方法は、ウエハ上でダイシングにより斜め溝を構成した後に、レジストを塗布・パタン化し、反射膜を蒸着またはスパッタにより被着させる。その後にレジストを剥離することによりリフトオフすれば、所望の反射膜パタンを得ることができる。このような方法は応用範囲が広く極めて有用である。反面、斜め溝の形成はダイシングソーによるため位置精度に問題があること、および段差部へのフォトリソグラフィーとなるため、図10のように、傾斜面のみに精度よくパタンを形成するには、相当の注意が必要である。
反射ポートに関しては、実施例2と同様に、斜め溝の開口部から光ビームを出射させる条件(式9)は不要であり、上部クラッドを透過して光ビームを出力すれば良い。したがって、溝開口上部から反射点を見通せる条件(式7)に加えて、出力光ビームの広がりが所望の値になるように設計すればよい。まず、最低限の条件としては、必要な光ビームがすべて上方に反射されることが必要である。これは、
x3u-x3l≦D ・・・ (式12)
図14は、図11のD−D’で切った透過ポートの断面図である。斜め溝中は光導波路と概ね屈折率を整合させた樹脂が充填されているため、光ビームはほとんど屈折なく直進して対向する光導波路に結合する。しかしながら、現実には樹脂の屈折率を完全に光導波路に一致させることは容易ではないし、また、一般に温度等の環境条件によって樹脂の屈折率が変動する問題がある。図15(a),(b)は、そのような樹脂の屈折率が光導波路と整合していない場合の溝中を伝播する光ビームの光路を示したものであり、図15(a)は第2の従来例に示したV字溝の場合、図15(b)は、本発明の場合である。図15(a)より明らかなように、V字溝の場合には溝中の樹脂の屈折率不整合によって、両側光導波路の光軸間に位置ずれx0に加えて、角度ずれ2ρが生じるのに対して、本発明の場合には位置ずれx0のみであって角度ずれは生じない。したがって、本発明を用いることにより、V字溝よりも透過損失を小さくすることが可能である。また、樹脂の屈折率が環境温度によって変動する場合には、V字溝の場合には大きな損失変動が発生するのに対して、本発明ではこれを小さく抑えることができる。
2,12,22 光導波路
2a,12a,22a コア
2b,12b,22b クラッド
3,23 斜め溝
3a,23a 斜め溝を構成する第1の傾斜面
3b,23b 斜め溝を構成する第2の傾斜面
4,14,24 面型フォトダイオード(PD)
4a,14a,24a 受光面
13 V字溝
13a V字溝13を構成する第1の傾斜面
13b V字溝13を構成する第2の傾斜面
15 金属ミラー膜
16 樹脂
25 誘電体多層膜フィルタ
26 接着剤
31 シリコン基板
32 光導波路
32a コア
32b クラッド
33 斜め溝
33a 斜め溝33を構成する第1の傾斜面
33b 斜め溝33を構成する第2の傾斜面
34 面型フォトダイオード(PD)
34a 受光面
35 反射膜
35a 金薄膜
36,37 樹脂
Claims (4)
- 基板上に設けられ、コア及びクラッドから成る複数の光導波路を備えた光導波路部品において、
前記複数の光導波路のすべてを横切って前記コアと交わり、前記基板の垂直方向に対して斜めに傾斜して略平行に対向してなる第1の傾斜面及び第2の傾斜面で構成されるとともに、開口部から前記基板方向に向けて前記コアよりも深く形成された溝が形成され、
前記複数の光導波路のうち、前記開口部に向いた前記第2の傾斜面のみの少なくとも前記コアの領域に前記光導波路の上方から蒸着又はスパッタリングによって被着された反射膜を備え、該反射膜が、前記コアからの出射光の少なくとも一部を前記クラッドの上方へ反射させるか、もしくは前記クラッドの上方からの入射光を前記コアに向けて反射させる光導波路が反射ポートを構成し、前記反射膜を備えていない光導波路が透過ポートを構成することによって、前記反射ポートと前記透過ポートが混在し、
前記反射膜を設ける前記第2の傾斜面の領域が、前記光導波路に遮られることなく前記基板の垂直上方から見通せるように、前記溝の幅及び傾斜角が設定され、
前記光導波路が、石英系又はポリマー材料からなり、
前記溝中に、屈折率が前記光導波路とほぼ等しい樹脂が充填され、
前記コアから出射し、前記反射膜によって反射される光ビームが、前記溝の開口部から前記光導波路の上方へ出射されるように、
前記溝の幅をWgap、前記傾斜角をθ0、前記コアに対し前記基板と反対側の上部クラッドの厚みをToc、ビーム広がりをφとしたときに、次の3つの式を同時に満たすように、前記溝の幅及び傾斜角が設定され、かつ前記傾斜角θ0が30°≦θ0≦45°であることを特徴とする光導波路部品。
- 基板上に設けられ、コア及びクラッドから成る複数の光導波路を備えた光導波路部品において、
前記複数の光導波路のすべてを横切って前記コアと交わり、前記基板の垂直方向に対して斜めに傾斜して略平行に対向してなる第1の傾斜面及び第2の傾斜面で構成されるとともに、開口部から前記基板方向に向けて前記コアよりも深く形成された溝が形成され、
前記複数の光導波路のうち、前記開口部に向いた前記第2の傾斜面のみの少なくとも前記コアの領域に前記光導波路の上方から蒸着又はスパッタリングによって被着された反射膜を備え、該反射膜が、前記コアからの出射光の少なくとも一部を前記クラッドの上方へ反射させるか、もしくは前記クラッドの上方からの入射光を前記コアに向けて反射させる光導波路が反射ポートを構成し、前記反射膜を備えていない光導波路が透過ポートを構成することによって、前記反射ポートと前記透過ポートが混在し、
前記反射膜を設ける前記第2の傾斜面の領域が、前記光導波路に遮られることなく前記基板の垂直上方から見通せるように、前記溝の幅及び傾斜角が設定され、
前記光導波路が、石英系又はポリマー材料からなり、
前記溝中に、屈折率が前記光導波路とほぼ等しい樹脂が充填され、
前記クラッドの上面で、かつ前記溝の開口部周辺にも反射薄膜が被着され、前記コアからの出射光が、前記溝の開口部に限定されることなく、前記クラッドを透過して出射させるように、
前記クラッドの上面の溝境界から前記第1の傾斜面側にある前記反射膜パタンの幅をWmask、前記溝の幅をWgap、前記傾斜角をθ0、前記コアに対し前記基板と反対側の上部クラッドの厚みをToc、ビーム広がりをφとしたときに、次の2つの式を同時に満たすように、前記溝の幅及び傾斜角が設定され、かつ前記溝の幅Wgapが10μm≦Wgap≦30μmで前記傾斜角θ0が7°≦θ0≦15°であることを特徴とする光導波路部品。
- 基板上に設けられ、コア及びクラッドから成る複数の光導波路を備えた光導波路部品の作製方法において、
基板上に複数の光導波路を形成する第1の工程と、
機械加工によって、前記複数の光導波路のすべてを横切って、前記コアと交わり、前記基板の垂直方向に対して斜めに傾斜して略平行に対向してなる第1の傾斜面及び第2の傾斜面とを有するとともに、開口部から前記基板方向に向けて前記コアよりも深く形成された溝を形成する第2の工程と、
前記複数の光導波路のうちの反射ポートが設けられる光導波路のみについて、前記開口部に向いた前記第2の傾斜面のみの少なくとも前記コアの領域に、前記光導波路の上方から、蒸着又はスパッタリングによって反射膜を被着し、透過ポートが設けられる光導波路には前記反射膜を被着しない第3の工程と、
前記溝中に、屈折率が前記光導波路とほぼ等しい樹脂を充填する第4の工程と
を有し、
前記第2の工程は、前記溝の幅をWgap、前記傾斜角をθ0、前記コアに対し前記基板と反対側の上部クラッドの厚みをToc、ビーム広がりをφとしたときに、次の3つの式を同時に満たし、かつ前記傾斜角θ0が30°≦θ0≦45°である前記溝の幅及び傾斜角を有する溝を形成することを特徴とする光導波路部品の作製方法。
- 基板上に設けられ、コア及びクラッドから成る複数の光導波路を備えた光導波路部品の作製方法において、
基板上に複数の光導波路を形成する第1の工程と、
機械加工によって、前記複数の光導波路のすべてを横切って、前記コアと交わり、前記基板の垂直方向に対して斜めに傾斜して略平行に対向してなる第1の傾斜面及び第2の傾斜面とを有するとともに、開口部から前記基板方向に向けて前記コアよりも深く形成された溝を形成する第2の工程と、
前記複数の光導波路のうちの反射ポートが設けられる光導波路のみについて、前記開口部に向いた前記第2の傾斜面のみの少なくとも前記コアの領域に、前記光導波路の上方から、蒸着又はスパッタリングによって反射膜を被着し、透過ポートが設けられる光導波路には前記反射膜を被着しない第3の工程と、
前記溝中に、屈折率が前記光導波路とほぼ等しい樹脂を充填する第4の工程と
を有し、
前記第3と第4の工程の間に、前記クラッドの上面で、かつ前記溝の開口部周辺にも前記反射膜が残るように、前記反射膜をパタン化する工程をさらに有し、
前記第2の工程は、前記クラッドの上面の溝境界から前記第1の傾斜面側にある前記反射膜パタンの幅をWmask、前記溝の幅をWgap、前記傾斜角をθ0、前記コアに対し前記基板と反対側の上部クラッドの厚みをToc、ビーム広がりをφとしたときに、次の2つの式を同時に満たし、かつ前記溝の幅Wgapが10μm≦Wgap≦30μmで前記傾斜角θ0が7°≦θ0≦15°である前記溝の幅及び傾斜角を有する溝を形成することを特徴とする光導波路部品の作製方法。
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Families Citing this family (13)
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JP4589884B2 (ja) * | 2006-02-21 | 2010-12-01 | 住友大阪セメント株式会社 | 光制御素子及びその製造方法 |
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KR100897887B1 (ko) * | 2007-09-07 | 2009-05-18 | (주)포토닉솔루션 | 광섬유어레이를 이용한 평판형 광도파로 소자와 능동소자의하이브리드 집적구조 |
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Family Cites Families (8)
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---|---|---|---|---|
JP2921877B2 (ja) * | 1989-09-19 | 1999-07-19 | 富士通株式会社 | 導波路分波モジュール及びその製造方法 |
JP2985791B2 (ja) * | 1996-09-06 | 1999-12-06 | 日本電気株式会社 | 光導波路と受光素子の結合構造 |
JPH1184183A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光モジュール |
SE513849C2 (sv) * | 1998-03-06 | 2000-11-13 | Ericsson Telefon Ab L M | Förfarande för att förbinda en ljusalstrande eller - mottagande elektrooptisk eller optoelektrisk anordning med en optisk vågledare |
JPH11311713A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-09 | Nok Corp | 光分岐導波路 |
EP1115012B1 (en) * | 2000-01-06 | 2003-03-26 | Corning Incorporated | Waveguide with tap recess for optical monitoring in photonic devices |
JP2001281486A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | フィルム光導波路およびその製造方法 |
WO2002073275A1 (de) * | 2001-03-09 | 2002-09-19 | Infineon Technologies Ag | Anordnung zur detektion von optischen signalen eines planaren optischen schaltkreises |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014153430A (ja) * | 2013-02-05 | 2014-08-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 集積型受光素子 |
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