JP3822937B2 - 小型電磁弁 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、弁を通過する流体のクリーン度を低下することなく、ストロークの小さい範囲で小型で大きな吸着力を要する電磁弁を提供することに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、クリーン度を要求されている電磁弁、例えば、クリーンルーム内で使用される電磁弁等においては、弁を通過する流体(エア・特殊気体・水道水または純粋等)にゴミ等が混入されたり、また、電磁弁自体からのゴミが発生したりすることがないよう各種の努力がなされている。例えば、弁においては弁と弁座との間で摺動可能に構成されるスプール弁を使用せずに、先端部がテーパ状に形成され、流体流入口をテーパ面で開閉するポペット弁が使用されたり、また、ソレノイドからの摩耗粉が混入しないように、ポペット弁が移動する弁室内を分割するようにダイアフラム等が配置されていたりする。さらに、長ストロークを必要とする場合には、ポペット弁を作動させるためにエアシリンダをポペット弁に接続し、エアシリンダの作動をソレノイドで行なうように構成するものもある。
【0003】
ダイアフラムが使用される従来の電磁弁71は、図8に示されるように、ソレノイドがプランジャタイプ、つまり、コイル体73内に可動プランジャ74が配設され、可動プランジャ74に固定されるピン75がポペット弁76に接続され、固定鉄心77に吸着された可動プランジャ74を復帰するために渦巻ばね78が配設されるソレノイド72が主に使用されていた。そして、ポペット弁76が移動される中空部79には、ソレノイド側の大気室79aと反ソレノイド側の弁室79bとを分割するダイアフラム80が配設されていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の電磁弁71は、コイル体73が固定鉄心77または可動プランジャ74の外周面を嵌合するように配設されるタイプのソレノイド72を使用しているので電磁弁71自体が大型化されていた。さらに大型のソレノイドに伴って、ダイアフラム80も大きなものが取り付けられることになる。そのためダイアフラム80が受ける流体からの圧力も大きくなり、渦巻ばね78の付勢力もその分強くしなければならないので、電磁弁がさらに大型化されてしまう。また、シリンダが配置されている弁においても、シリンダのスペース分大型化されてしまう。
【0005】
この発明は、上述の課題を解決するものであり、短ストロークの範囲で使用され、クリーン度を低下することなく小型でしかも吸着力を大きくできる小型電磁弁を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明にかかわる小型電磁弁では、上記の課題を解決するため、以下のように構成するものである。すなわち、
弁室内を移動する弁と、前記弁によって開閉可能な流体通路口を有する弁座と、を含む弁部と、
固定鉄心と、コイルの励磁により前記固定鉄心に対して吸着可能な可動鉄心と、を有して構成されるソレノイドと、
前記ソレノイドのコイルを制御する回路基板を有する回路室と、を備えて構成される小型電磁弁であって、
前記弁部には、前記ソレノイド側に中空部が形成され、前記中空部を前記ソレノイド側の大気室と反ソレノイド側の弁室に分割するようにダイアフラムが配置され、
前記固定鉄心が、中央部にセンターヨーク及び周辺部に円筒ヨークを有する断面E状に形成され、前記可動鉄心が、中央部にセンターヨーク及び周辺部に円筒ヨークを有する断面E状に形成されるかまたは平面状に形成されるとともに、前記センターヨークと前記円筒ヨークとの間にはコイルが巻回され、
前記ソレノイドの可動鉄心の中心軸部に、前記可動鉄心と前記固定鉄心とを貫通するように配設され一方の端部が前記弁に接続するように形成されるピンが固定されるとともに、前記固定鉄心のセンターヨークと円筒ヨークが、前記可動鉄心との吸着力を維持するために確保される吸着面積を有するように形成され、
前記可動鉄心が吸着解除される際に、前記可動鉄心を前記固定鉄心から離隔するようにばね手段が配設され、
前記回路室内に、前記可動鉄心の吸着を検出するセンサと、前記可動鉄心と前記固定鉄心との吸着時間より長い時間を設定する電流切替タイマーとが配設され、前記回路基板に、前記センサによる前記可動鉄心の吸着の確認信号あるいは前記電流切替タイマーのいずれかの切替信号によって、コイル電流を起動電流より電流値の低い保持電流に切り替える回路を配設することを特徴とするものである。
【0007】
また好ましくは、前記固定鉄心のセンターヨークと前記可動鉄心の吸着面積が、ソレノイドの断面積に対して少なくとも20%以上で30%以下の比率になるように形成されることを特徴とするものであれば良い。
【0008】
また、前記ばね手段が、板ばねを有して構成されていることを特徴とするものであればなお良い。
【0010】
さらに、前記弁が、ポペット弁であってもよい。
【0011】
また、前記回路基板に、逆励磁電圧を出力する逆励磁タイマーを配設すればさらに好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図面に基づいて説明する。小型電磁弁(以下、電磁弁という)1は、特に短ストローク(約0.5mm程度の範囲内)で使用され、流体の流れを開閉するための弁部2と、コイルの励磁により弁を作用させるソレノイド3と、コイル電流を制御する回路室4と、を有して一体的に構成されている。
【0013】
弁部2はソレノイド3側に中空部21を有する弁体22と、中空部21内を往復直線移動するポペット弁23とを有して構成されている。ポペット弁23は先端部がテーパ状に形成されている円錐部23aと、円錐部23aの上方に配置される円筒状のダイアフラム固定部23bとを有し、後述のソレノイド3のピンに接続される。また、中空部21内にはソレノイド側の大気室21aと反ソレノイド側の弁室21bに分割するゴムまたは薄肉金属板製のダイアフラム24が配設され、中空部21側内周面に形成される雌ねじに螺合されるダイアフラム固定ねじ25がダイアフラム24を固定している。ダイアフラム24は円形のゴムまたは薄肉の金属板で形成され、中央部がポペット弁23の円錐部23aとダイアフラム固定部23bとの間に挿入される。そのため、ポペット弁23の円錐部23aが移動する際、ダイアフラム24は固定されている外周部に対して中央部が上下方向に移動するように撓むことになる。また、弁体22には流体が流入される流入口26と、流入口26から弁室21bに向かって形成される通路27と、弁室21bから流出口28に向かって形成される通路29と、が設けられている。そして、ポペット弁23は通路27に対して開閉可能に移動される。
【0014】
ソレノイド3は、固定鉄心31と、固定鉄心31に対して移動可能な可動鉄心32と、可動鉄心32の中心軸部を貫通するように固定されるとともに、一方の端部が固定鉄心31を貫通して板ばね34を固定するように延設され他方の端部がポペット弁23に接続されるピン33とを有している。板ばね34は、帯状に形成され、ピン33を弁部2側に付勢するように固定鉄心31と回路室4との狭い空間内に配設される。
【0015】
固定鉄心31と可動鉄心32は、図1〜2に示されるように、それぞれ軸心と直交する方向の断面が円形で軸心方向の断面形状が略E状に形成され、中央の凸部がセンターヨーク31a・32aとして吸着面に形成されるとともに、外側凸部が円筒ヨーク31b・32bとして吸着面に形成され、お互いのセンターヨーク31a・32aが対向するように配置される。また、センターヨーク31a・32aと円筒ヨーク31b・32bとの間に形成される凹部31c・32cには、固定鉄心31の凹部31cと可動鉄心32の凹部32cに跨がるようにコイル35が巻回される(一般にE型ソレノイドという)。
【0016】
そして、コイル35が励磁されると、対向する位置にあるそれぞれのセンターヨーク31a・32a及び円筒ヨーク31b・32bが吸着することになり、特に、センターヨーク31a・32aの吸着面積が小型ソレノイドの吸着効率に大きく影響する。この吸着効率はいくつかの実験結果により明らかになっている。図3のグラフに示されるように、一定の電流値(2A)における吸着力は約14kg/A以上であれば良く、望ましくは約16kg/A以上あれば良く、そのためにセンターヨーク吸着断面積に対するソレノイドの断面積の比率は20%〜30%であれば良く、望ましくは22%〜26%にすることが良いことがわかっている。そのため、本形態においては、ソレノイドの外径が約37mmに対して、センターヨークの外径が約18mmに設定している。
【0017】
なお、可動鉄心は上記の形態に限らす、図4に示されるように、断面形状が平面状の可動鉄心52でも良い(一般に平型ソレノイドという)。この場合では、固定鉄心51は、センターヨーク51aと円筒ヨーク51bとの間に形成される凹部51cにコイル35がすべて巻回される。そのため、固定鉄心51は図1に示される固定鉄心31に比べて全長が長くなる。可動鉄心52の中心軸部にはピン53が固定され、前述と同様に、一方の端部が固定鉄心51を貫通して板ばね34を押し上げるように取り付けられ、他方の端部がポペット弁23の円錐部23aに接続される。そして、固定鉄心51と可動鉄心52との吸着力は、固定鉄心51のセンターヨーク51aと円筒ヨーク51bの断面積による。
【0018】
回路室4には、ソレノイド3の固定鉄心31にボルトで固定される回路ボックス41が配設され、回路ボックス41内にコイル35の電流を制御する回路基板42と、可動鉄心32に固定されているピン33の上端面の直上に配置されピン33の移動を検出するセンサ43と、が配設されている。センサ43はホール素子、または磁気抵抗素子、またはリードスイッチ等が使用され、ピン33の上端部に配設された永久磁石36の位置を検出できるようにセンサ台44に取り付けられている。また、センサ台44にはコイル35に接続されているリード線が配線される。
【0019】
回路室4の上部にカバー5が取り付けられ、カバー5の一部を貫通するように一端が回路室4内に配線されるリード線45が外部の電源及び信号源に接続される。
【0020】
なお、ソレノイド3と可動鉄心32の外周面には非磁性の薄肉円筒状の連結パイプ6が配設され、連結パイプ6は上部に固定鉄心31の外周面に形成される雄ねじと、また、下部に弁部2の弁体22の外周面に形成される雄ねじに螺合されて弁部2とソレノイド3とを一体化している。
【0021】
次に、ソレノイド3の制御回路及び電磁弁1の作用について、図5のブロック図、及び図6の電磁弁作動図、さらに図7のタイミングチャートに従って説明する。
【0022】
ソレノイドON/OFFの端子にON信号(例えば5V)が入ると、レベル切替部61で「起動」の高レベルの信号電圧(例えば5V)が出されると、その信号は比較器62に入力されPWM発振器63から出された信号と比較される。そして、高レベル信号のため、ドライブ回路64の「正」を出力するとソレノイドコイル35はパルスは幅変調されない全電圧が印加され、コイル35に始動電流が流れる。コイル35に電流が流れると可動鉄心32はピン33とともに板ばね34の付勢力に抗して固定鉄心31側に吸着され、図6に示される位置に達する。この状態ではダイアフラム24の中央部は外周部に対して上方に移動され、ポペット弁23の円錐部23aは流体の通路27を解放するので、流体は、流入口26から通路27を通って弁室21に入り、通路29を通って流出口28から流出される。
【0023】
可動鉄心32が固定鉄心31に吸着されると、センサ43はピン33の上端部に配置される永久磁石36の位置を検出すると同時に、センサ43から吸着信号ONが出力される。吸着信号がONされると、保持電流信号65によってレベル切替部61で「保持」の低レベルの信号電圧(例えば1V)が出力され、比較器62でPWM発振器63の信号と比較されてパルス幅変調された信号がドライブ回路64の「正」に送り出される。それによってコイル電圧は、幅の狭いパルスとなって出力され、コイル電流を始動電流より電流値の低い保持電流に下げる。コイルは起動時の大電流から温度上昇の安全な低電流に切り替えられることになる。
【0024】
一方、ソレノイドONの信号が出されると同時に電流切替タイマー66が作動される。タイマーの設定時間は、可動鉄心32が固定鉄心31に吸着される時間より長く設定され、もし、可動鉄心32が吸着されずに、コイル電流が保持電流に下がらない場合に、ソレノイド3の保護のため、電流切替タイマー66によりコイル電流を保持電流に切り替える役目をする。従って、コイル電流はセンサ43の信号かあるいは電流切替タイマー66の信号のいずれかの早い方の信号により、また、コイル電圧はいずれか早い信号によって幅の狭いパルス電圧に変り、よって電流は安全な低い値の保持電流に変わる。
【0025】
次に、ソレノイド3にOFFの信号が入力されると、吸着信号もOFFになる。
【0026】
一般に、本発明のような全面吸着を行なう鉄心においては、残留磁気吸引力が大きいので消磁を行なう必要がある。すなわちこの場合、逆励磁タイマー67によって、吸着信号OFFと同時に、ソレノイドの回路には逆励磁電圧が出される。逆励磁タイマー67から出力された信号はドライブ回路64で「逆」を出力して、逆励磁の電圧を設定された時間ソレノイドコイル35に入力する。そのため、可動鉄心32と固定鉄心31との間に流れる残留磁気は速やかに除去され、可動鉄心32は板ばね34の付勢力によって下方に移動され、固定鉄心31から即座に離脱することができる。
【0027】
下方に向かって移動される可動鉄心32はピン33を下方に移動させ、ピン33の下端に接続されるポペット弁23の円錐部23aを下方に移動させ通路27を閉じる。そのため流体はその流れを停止する。
【0028】
なお、上記の作用はE型ソレノイドを使用した形態で説明したが、平型ソレノイドを使用した場合の作用も同様である。
【0029】
【発明の効果】
本発明の小型電磁弁によれば、小型電磁弁は、
弁を有する弁部と、固定鉄心・可動鉄心を有するソレノイドと、回路基板を有する回路室と、を備えて一体的に構成されている。
【0030】
しかも、前記弁部の中空部に、前記ソレノイド側の大気室と反ソレノイド側の弁室に分割するようにダイアフラムが配置され、前記ソレノイドにE型ソレノイドあるいは平型ソレノイドが使用されるとともに、前記固定鉄心と前記可動鉄心が、適宜な吸着力を維持するために確保される吸着面積を有するように形成されている。そのため、ソレノイド側から排出される摩耗粉等のゴミが流体内に混入されずクリーン度を低下させることがなく、小型で吸着効率の良い電磁石を提供することができる。
【0031】
また、前記ソレノイドの固定鉄心のセンターヨークと可動鉄心との吸着面積に対するソレノイド全断面積の比率が、実験結果に基づく極めて効率の良い20%〜30%(望ましくは22%〜26%)の間に形成されているので、小型であっても大きい吸着力が確保できる。しかも、起動時には大きな力を発生し、吸着すると低い保持電流に切り替えることができるのでソレノイドを保護できる。さらにこの電磁弁は小型にするために、回路室が一体化されるとともに可動鉄心の固定鉄心に対する離脱を従来の渦巻ばねから板ばねに変更することにより軸方向のスペースを小さくし、クリーン度をさらに増すようにポペット弁を使用するように構成されている。
【0032】
従って、この電磁弁は、小型でクリーン度が低下されず、しかも吸着力が確保されるという効果を果たすことができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一形態における電磁弁を示す断面図
【図2】図1における固定鉄心または可動鉄心の平面断面図
【図3】ソレノイドの吸着面積と全断面積の面積比に対する吸着力を示すグラフ
【図4】ソレノイドの別の形態を示す図
【図5】ソレノイドの制御回路を示すブロック図
【図6】図1における電磁石の作動を示す図
【図7】ソレノイドの制御回路のタイムチャート
【図8】従来の電磁弁を示す断面図
【符号の説明】
1…電磁弁
2…弁部
3…ソレノイド
4…回路室
21…中空部
21a…大気室
21b…弁室
22…弁体
23…ポペット弁
24…ダイアフラム
31、51…固定鉄心
32、52…可動鉄心
31a、32a、51a…センターヨーク
31b、32b、51b…円筒ヨーク
33…ピン
34…板ばね
35…コイル
43…センサ
Claims (5)
- 弁室内を移動する弁と、前記弁によって開閉可能な流体通路口を有する弁座と、を含む弁部と、
固定鉄心と、コイルの励磁により前記固定鉄心に対して吸着可能な可動鉄心と、を有して構成されるソレノイドと、
前記ソレノイドのコイルを制御する回路基板を有する回路室と、を備えて構成される小型電磁弁であって、
前記弁部には、前記ソレノイド側に中空部が形成され、前記中空部を前記ソレノイド側の大気室と反ソレノイド側の弁室に分割するようにダイアフラムが配置され、
前記固定鉄心が、中央部にセンターヨーク及び周辺部に円筒ヨークを有する断面E状に形成され、前記可動鉄心が、中央部にセンターヨーク及び周辺部に円筒ヨークを有する断面E状に形成されるかまたは平面状に形成されるとともに、前記センターヨークと前記円筒ヨークとの間にはコイルが巻回され、
前記ソレノイドの可動鉄心の中心軸部に、前記可動鉄心と前記固定鉄心とを貫通するように配設され一方の端部が前記弁に接続するように形成されるピンが固定されるとともに、前記固定鉄心のセンターヨークと円筒ヨークが、前記可動鉄心との吸着力を維持するために確保される吸着面積を有するように形成され、
前記可動鉄心が吸着解除される際に、前記可動鉄心を前記固定鉄心から離隔するようにばね手段が配設され、
前記回路室内に、前記可動鉄心の吸着を検出するセンサと、前記可動鉄心と前記固定鉄心との吸着時間より長い時間を設定する電流切替タイマーとが配設され、前記回路基板に、前記センサによる前記可動鉄心の吸着の確認信号あるいは前記電流切替タイマーのいずれかの切替信号によって、コイル電流を起動電流より電流値の低い保持電流に切り替える回路を配設することを特徴とする小型電磁弁。 - 前記固定鉄心のセンターヨークと前記可動鉄心の吸着面積が、ソレノイドの断面積に対して少なくとも20%以上で30%以下の比率になるように形成されることを特徴とする請求項1記載の小型電磁弁。
- 前記ばね手段が、板ばねを有して構成されていることを特徴とする請求項1記載の小型電磁弁。
- 前記弁が、ポペット弁であることを特徴とする請求項1,2または3記載の小型電磁弁。
- 前記回路基板に、逆励磁電圧を出力する逆励磁タイマーを配設することを特徴とする請求項1記載の小型電磁弁。
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