JP3797877B2

JP3797877B2 - アクティブマトリックス駆動型有機ｌｅｄ表示装置

Info

Publication number: JP3797877B2
Application number: JP2001028528A
Authority: JP
Inventors: 悦昌藤田
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2001-02-05
Filing date: 2001-02-05
Publication date: 2006-07-19
Anticipated expiration: 2021-02-05
Also published as: JP2002229483A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜トランジスタを利用したアクティブマトリックス駆動型有機ＬＥＤ表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、有機ＬＥＤ表示装置においては、単純マトリックス駆動法で動画表示を行う技術が知られている（特開平２−３７３８５号公報等に開示）。
しかし、上記の駆動方法では、各走査線に対して順次駆動を行うので、走査線数が数百本と多い場合には、必要とされる瞬間輝度が数十万〜数百万ｃｄ／ｍ²にも達してしまい、下記のような問題が生じる。
（１）駆動電圧が高くなり、配線での電圧降下が大きくなる。
（２）高輝度側の発光効率が低い領域での駆動を強いられる為、消費電力が大きくなる。
【０００３】
そこで、上記の問題を解決する為、薄膜トランジスタを用いたアクティブマトリクス駆動を行う有機ＬＥＤ表示装置が開発されている（特開平７−１１１３４１号公報、特開平７―１２２３６０号公報、特開平７―１２２３６１号公報、特開平７―１５３５７６号公報、特開平８―２４１０４７号公報、特開平８―２２７２７６号公報および「ＩＤＷ‘９９」第１７７項等に開示）。
このようなアクティブマトリクス駆動を行う有機ＬＥＤ表示装置は、単純マトリックス駆動に比べて、低電圧駆動が可能であり、発光効率の高い領域での駆動ができるので、消費電力を大幅に低減できるなどの極めて優れた特徴がある。
【０００４】
また、画素の開口率を向上する目的で、薄膜トランジスタ上にも絶縁膜を介し、有機ＬＥＤ素子部を配置し、基板の逆側から発光を取り出す構造の有機ＬＥＤ表示装置も提案されている（特開平１０−１８９２５２号公報等に開示）。
一方、有機層のパターン化の方法としては、マスク蒸着法（特開平８−２２７２７６号公報に開示）、インクジェット法（特開平１０−１２３７７号公報に開示）、転写法（特開平１０−２０８８８１号公報、特開平１１−２６０５４９号公報に開示）、印刷法（特開平１１−２７３８５９号公報に開示）等が提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、有機ＬＥＤ表示装置は、通常、作動の安定性等から電流駆動型の発光制御が行われる場合が多いので、電圧駆動型の液晶表示装置の場合とは異なり、各画素に電流を供給するための電流供給線が別途必要になる。
また、有機ＬＥＤ表示装置は電流駆動型の発光素子であるため、この電流供給線に大電流を流す必要があり、電流供給線での電圧降下に伴う消費電力の上昇が、非常に深刻な問題となる。
【０００６】
また、従来より、高精細の有機ＬＥＤ表示装置の場合には１本の電流供給線を細くするとともに、画素数の多い表示装置の場合には１本の電流供給線に流す電流を大きくする必要があり、前記の電圧降下は特に深刻な問題となる。
電流供給線での抵抗を減らす方法としては、電流供給線の高さを高くする方法もある。
また、有機ＬＥＤ表示装置の場合に必要とされるスイッチング用薄膜トランジスタ、電流制御用薄膜トランジスタ、信号線、走査線、コンデンサおよび電流供給線による開口率の低下も問題となる。
【０００７】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、消費電力の少ないアクティブマトリックス駆動型有機ＬＥＤ表示装置を提供することを目的とする。
【０００８】
本発明によれば、基板上に、少なくともスイッチング用薄膜トランジスタ、電流制御用薄膜トランジスタ、信号線、走査線、電流供給線及びコンデンサと、前記電流制御用薄膜トランジスタを介して前記電流供給線に接続された画素電極、画素を形成する少なくとも１層の有機発光層を有する有機ＬＥＤ層および対向電極から構成される有機ＬＥＤ素子とを有する有機ＬＥＤ表示装置であって、前記有機ＬＥＤ素子がほぼ同一面積を有する赤、緑および青に発光させるそれぞれ有機発光層およびそれに積層された画素電極を有し、前記各有機発光層に電流を供給するそれぞれの電流供給線の幅は、少なくとも１つが他と異なり、前記スイッチング用薄膜トランジスタ、電流制御用薄膜トランジスタ、信号線、走査線、電流供給線及びコンデンサの上に平坦化膜を形成し、前記平坦化膜上に前記画素電極を形成したことを特徴とするアクティブマトリックス駆動型有機ＬＥＤ表示装置が提供される。
【０００９】
本発明により、各有機発光層に電流を供給する電流供給線の幅は、少なくとも１つの電流供給線の抵抗を下げることができるので、有機ＬＥＤ素子がほぼ同一面積を有する赤、緑および青に発光させるそれぞれ有機発光層およびそれに積層された画素電極を備える構成の場合に、赤色ＬＥＤ素子、青色ＬＥＤ素子、緑色ＬＥＤ素子の発光輝度バランスを向上させ、かつ消費電力の上昇を抑制することが可能となる。特に高精細の表示装置および画素数の多い表示装置にこの効果は顕著になる。
また本発明は、赤、緑および青の有機発光層がほぼ同一面積を有するので、有機発光層を形成するマスクを少なくすることができ、最も少なくする場合は３つの色を１つのマスクで形成することができる。
また本発明は、基板上に、スイッチング用薄膜トランジスタ、電流制御用トランジスタ、信号線、走査線、電流供給線およびコンデンサに上に平坦化膜を形成し、前記平坦化膜上に前記画素電極を形成したので、各有機発光層の開口率をほぼ均一にすることができる。さらにコンデンサが電流供給線と信号線、走査線とが互いに立体的に配置しているので、電流供給線の線幅を信号線や走査線と独立して単独に設定することができ、発光色ごとに効果的に電流供給線の線幅を設定することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらの実施の形態によって限定されない。
【００１１】
図１および図２を参照しながら、本発明のアクティブマトリックス駆動型有機ＬＥＤ表示装置の基本構成を説明する。
図１は本発明の有機ＬＥＤ表示装置における画素駆動回路を示し、図２は図１に示した回路を備えた本発明の表示装置における一断面を示す。
図１において、１画素の駆動回路は、各ＬＥＤ素子１０、すなわち、赤色，緑色または青色の各発光画素となる各有機ＬＥＤ層８を有する各ＬＥＤ素子２５，２６，２７、信号線２１、走査線２０、電流供給線２２、コンデンサ２３、スイッチング用および電流制御用の各薄膜トランジスタ２および３から主に構成される。
【００１２】
スイッチング用薄膜トランジスタ２は、信号線２１および走査線２０に接続され、走査線２０の信号によりオンオフされる。
電流制御用薄膜トランジスタ３は、コンデンサ２３、電流供給線２２および前記ＬＥＤ素子１０の１つに接続され、コンデンサ２３の電圧により電流供給線２２から各有機ＬＥＤ素子１０に電流を供給するように構成されている。
コンデンサ２３は、スイッチング用薄膜トランジスタ２および電流供給線２２に接続され、スイッチング用薄膜トランジスタ２がオン時に信号線２１からの信号により充電され、スイッチング用薄膜トランジスタ２がオフ時には電圧を維持するよう構成されている。
【００１３】
なお、コンデンサ２３は、スイッチング用薄膜トランジスタ２と走査線２０、もしくは、接地間に接続されていてもよく、信号線２１からスイッチング用薄膜トランジスタ２を介してコンデンサ２３に入力される信号は、アナログ信号でも、デジタル信号でもよい。また、ここでは、１画素を、２つの薄膜トランジスタ２，３を用いて駆動しているが、薄膜トランジスタ２，３の電気的特性のバラツキに伴う、有機ＬＥＤ素子１０の輝度のバラツキを抑制するため、１画素内に２つ以上の薄膜トランジスタを配置してもよい。
【００１４】
また、このアクティブマトリックス駆動型有機ＬＥＤ表示装置は、信号線２１と走査線２０に信号パルスを入力することにより前記薄膜トランジスタ２をスイッチ動作させることで、前記薄膜トランジスタ２に電気的に結合している単位画素中の有機ＬＥＤ素子１０が発光または発光停止して、動画及び静止画の画像表示を行う。
【００１５】
図２に示すように、本発明のアクティブマトリックス駆動型有機ＬＥＤ表示装置は、基板１あるいはデバイスの絶縁膜１７上に形成される前記デバイスおよび接続配線を薄膜として順次積層してなる。基板１あるいは絶縁膜１７上には、電流制御用薄膜トランジスタ３、ゲート絶縁膜４、層間絶縁膜５、平坦化膜６が順次積層され、この上に、画素電極７、有機ＬＥＤ層８および対向電極９からなるＬＥＤ素子１０が積層される。画素電極７はコンタクトホール１２を介して電流制御用薄膜トランジスタ３に接続されている。
さらに、ＬＥＤ素子１０上には、偏光板１６および封止膜（あるいは封止基板）１９が積層される。
【００１６】
以下に、上記の有機ＬＥＤ表示装置の積層構造における各部材の構成及び形成方法について説明する。
本発明で使用される基板１としては、特に限定されるものではなく、例えば、ガラス，石英等の無機材料，ポリエチレンテレフタレート等のプラスティックあるいはアルミナ等のセラミックスからなる絶縁性基板や、アルミニウム，鉄等の金属基板にＳｉＯ₂，有機絶縁材料等の絶縁物をコートした基板や、アルミニウム等の金属基板の表面を陽極酸化等の方法で絶縁化処理を施した基板が挙げられる。
低温プロセスで形成したポリシリコンＴＦＴを用いた薄膜トランジスタを形成する場合には、５００℃以下の温度で融解せず、かつ、歪みが生じない基板が好ましい。また、高温プロセスで形成したポリシリコンＴＦＴを用いた薄膜トランジスタを形成する場合には、１０００℃以下の温度で融解せず、かつ、歪みが生じない基板が好ましい。
【００１７】
本発明で使用されるスイッチング用薄膜トランジスタ２、電流制御用薄膜トランジスタ３等の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）は、特に限定されるものではなく、従来の薄膜トランジスタを用いることが可能である。
前記の薄膜トランジスタは、公知の材料、構造、及び、成膜方法を用いて形成することが可能である。例えば、薄膜トランジスタの活性層の材料としては、非晶質シリコン，多結晶シリコン，微結晶シリコン，セレン化カドミウム等の無機半導体材料、または、チオフエンオリゴマー，ポリ（ｐ−フェリレンビニレン）等の有機半導体材料を使用することができる。
【００１８】
薄膜トランジスタの構造としては、例えば、スタガ型，逆スタガ型，トップゲート型，コプレーナ型を使用することができる。
また、シングルゲート構造、ダブルゲート構造及びゲート電極を３つ以上有するマルチゲート構造であってもよい。
【００１９】
なお、本発明では、１画素を駆動するために、少なくともスイッチング用薄膜トランジスタ２および電流制御用薄膜トランジスタ３の両者が必要であるが、１画素を３つの薄膜トランジスタにより駆動してもよいし、４つの薄膜トランジスタにより駆動してもよい（いずれもＩＤＷ‘９９、１７７項に記載）。また、５つ以上の薄膜トランジスタで駆動してもよい。
【００２０】
薄膜トランジスタの活性層の成膜方法としては、例えば、アモルファスシリコンをプラズマＣＶＤ法により積層し、イオンドーピングする方法や、ＳｉＨ₄ガスを用いてＬＰＣＶＤ法によりアモルファスシリコンを形成し、固相成長法によりアモルファスシリコンを結晶化してポリシリコンを得た後、イオン打ち込み法によりイオンドーピングする方法や、Ｓｉ₂Ｈ₆ガスを用いたＬＰＣＶＤ法、または、ＳｉＨ₄ガスを用いたＰＥＣＶＤ法によりアモルファスシリコンを形成し、エキシマレーザー等のレーザーによりアニールし、アモルファスシリコンを結晶化してポリシリコンを得た後、イオンドーピング法によりイオンドーピングする方法（低温プロセス）が挙げられる。
【００２１】
また、減圧ＣＶＤ法またはＬＰＣＶＤ法によりポリシリコンを積層し、１０００℃以上で熱酸化してゲート絶縁膜４を形成し、その上に、ｎ＋ポリシリコンのゲート電極を形成し、その後、イオン打ち込み法によりイオンドーピングする方法（高温プロセス）等が用いることもできる。
【００２２】
本発明で使用されるゲート絶縁膜４としては、特に限定されるものではなく、従来の材料を用いることができる。
ゲート絶縁膜４の製造方法としては、ＰＥＣＶＤ、ＬＰＣＶＤ法により形成されたＳｉＯ₂、ポリシリコン膜を熱酸化して得られるＳｉＯ₂が挙げられる。また、フォトリソグラフィー法によるパターン化で製造することも可能である。
【００２３】
本発明の走査線２０、信号線２１、電流供給線２２には、従来の導電性材料を使用することができ、特に限定されるものではない。これらの導電性材料としては、Ｔａ、Ａｌ、Ｃｕ等が挙げられる。
【００２４】
本発明で使用される層間絶縁膜５としては、特に限定されるものではなく、従来の材料を用いることが可能であり、例えば、アクリル樹脂、ポリイミド等の樹脂材料、フタロシアニン、キナクロドン等の顔料やカーボンブラック等の無機材料をポリイミド等の樹脂に分散した物、ＳｉＯ₂、Ｎｉ_XＺｎ_YＦｅ₂Ｏ₄等の無機絶縁材料や感光性材料が挙げられる。
また、これらの材料を、ＣＶＤ、真空蒸着等のドライプロセス、スピンコート等のウエットプロセスにより形成することが可能であり。また、フォトリソグラフィー法によりパターン化を行うことも可能である。
【００２５】
本発明で使用される平坦化膜６としては、特に限定されるものではなく、例えば、ＳｉＯ₂、スピンオンガラス、ＳｉＮ（Ｓｉ₃Ｎ₄）、ＴａＯ（Ｔａ₂Ｏ₅）、Ｎｉ_xＺｎ_yＦｅ₂Ｏ₄等の無機材料、アクリル樹脂、レジスト材料、ブラックマトリックス材料等の有機材料が挙げられる。
【００２６】
平坦化膜６は、これらの材料を、ＣＶＤ，真空蒸着等のドライプロセス、スピンコート等のウエットプロセスを使用して形成することが可能である。また、フォトリソグラフィー法によりパターン化を行うことも可能である。しかし、平坦化膜６の膜厚は、少なくとも薄膜トランジスタ２，３の膜厚より厚くすることが好ましい。
【００２７】
本発明で使用されるコンデンサ２３としては、特に限定されるものではなく、例えば、絶縁膜として用いられるＳｉＯ₂、ＳｉＮ等をコンデンサ２３の誘電体層として用いることができる。
コンデンサ２３の一方の電極は、電流制御用薄膜トランジスタ３のゲート電極１３に電気的に接続されている必要があるが、他方の電極は、電流供給線２２または信号線２１に接続されていてもよいし、コンデンサ用電極線２４（図７および図８）に電気的に接続されていてもよい。
コンデンサ２３の電極を透明電極で形成することにより、透明画素電極７と基板１との間にコンデンサ２３をおいても開口率を減少させることがなくコンデンサ２３を配置できる。
【００２８】
本発明で使用されるコンタクトホール１２は、平坦化膜６または絶縁膜１７に設けられる。コンタクトホール１２には、従来の導電性材料を使用することができ、特に限定されるものではない。
前記コンタクトホール１２の形成方法としては、特に限定されるものではなく、例えば、平坦化膜として感光性材料を用い、フォトリソグラフィー法によりコンタクトホール１２を開口する方法や、平坦化膜上に感光性材料をフォトリソグラフィー法によりパターン化して、エッチングを行うことによりコンタクトホール１２を開口する方法や、レーザー照射によりコンタクトホール１２を開口する方法が挙げられる。
【００２９】
コンタクトホール１２の形状は、特に限定されるものではないが、例えば、コンタクトホール１２の断面形状を、基板１側より画素側で開口部が広くなる形状とすることにより、断線を起すことなくコンタクトホール１２内に接続配線を効果的に形成することが可能となる。
コンタクトホール１２の数は１つでもよいし、複数個でもよい。
【００３０】
コンタクトホール１２が形成される開口位置は、特に限定されないが、基板１側から発光を取り出す場合には、開口率を大きくする必要性からコンタクトホール１２の数は少ない方が好ましく、薄膜トランジスタ上、もしくは、薄膜トランジスタ近傍に設けることが好ましい。しかし、基板１と反対側から発光を取り出す場合には、開口率がコンタクトホール１２に依存しないので、画素電極７に均一に電流が流れ込むようにコンタクトホール１２を開口することが好ましい。
【００３１】
本発明で使用される有機ＬＥＤ素子１０は、画素電極７、少なくとも１層の有機発光層を有する有機ＬＥＤ層８および対向電極９から構成されている。
【００３２】
有機ＬＥＤ層８は、特に限定されるものではないが、有機発光層の単層構造、あるいは、電荷輸送層と有機発光層の多層構造であってもよく、例えば下記の構成が挙げられる。
▲１▼有機発光層
▲２▼正孔輸送層／有機発光層
▲３▼有機発光層／電子輸送層
▲４▼正孔輸送層／有機発光層／電子輸送層
▲５▼正孔注入層／正孔輸送層／有機発光層／電子輸送層
▲６▼バッファー層／正孔輸送層／有機発光層／電子輸送層
【００３３】
ここで、上記有機発光層は、１層であってもよいし、多層構造であってもよい。また、有機発光層に使用できる発光材料としては、有機ＬＥＤ用の公知の発光材料が使用可能であるが、特に限定されるものではない。
有機発光層に使用できる発光材料としては、例えば、低分子発光材料（例えば、４，４’−ビス（２，２’−ジフェニルビニル）−ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）等の芳香族ジメチリデェン化合物、５−メチル−２−［２−［４−（５−メチル−２−ベンゾオキサゾリル）フェニル］ビニル］ベンゾオキサゾール等のオキサジアゾール化合物、３−（４−ビフェニルイル）−４−フェニル−５−ｔ−ブチルフェニル−１，２，４−トリアゾール（ＴＡＺ）等のトリアゾ−ル誘導体、１，４−ビス（２−メチルスチリル）ベンゼン等のスチリルベンゼン化合物、チオピラジンジオキシド誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、ジフェノキノン誘導体、フルオレノン誘導体等の蛍光性有機材料、アゾメチン亜鉛錯体、（８−ヒドロキシキノリナト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３）等の蛍光性有機金属化合物等）、高分子発光材料（例えば、ポリ（２−デシルオキシ−１，４−フェニレン）ＤＯ−ＰＰＰ、ポリ［２，５−ビス−［２−（Ｎ，Ｎ，Ｎ−トリエチルアンモニウム）エトキシ］−１，４−フェニル−アルト−１，４−フェニルレン］ジブロマイド（ＰＰＰ−ＮＥｔ3+）、ポリ［２−（２’−エチルヘキシルオキシ）−５−メトキシ−１，４−フェニレンビニレン］（ＭＥＨ−ＰＰＶ）、ポリ［５−メトキシ−（２−プロパノキシサルフォニド）−１，４−フェニレンビニレン］（ＭＰＳ−ＰＰＶ）、ポリ［２，５−ビス−（ヘキシルオキシ）−１，４−フェニレン−（１−シアノビニレン）］（ＣＮ−ＰＰＶ）、（ポリ（９，９−ジオクチルフルオレン））（ＰＤＡＦ）等）、高分子発光材料の前駆体（例えば、PPV 前駆体、PNV 前駆体あるいはPPP 前駆体等）等が挙げられる。
【００３４】
また、上記有機発光層は、前記した発光材料のみから構成されてもよいし、正孔輸送材料、電子輸送材料、添加剤（ドナー、アクセプター等）、または、発光性のドーパントが含有されていてもよい、これらが、高分子材料中、もしくは、無機材料中に分散されていてもよい。
【００３５】
ここで、電荷輸送層は、１層であってもよいし、多層構造であってもよい。また、電荷輸送層に使用できる電荷輸送材料としては、有機LED 用、有機光導電体用の公知の電荷輸送材料が使用可能であるが、特に限定されるものではない。
【００３６】
上記の電荷輸送材料としては、正孔輸送材料（例えば、無機ｐ型半導体材料、ポルフィリン化合物、N,N ’‐ビス‐（３‐メチルフェニル）‐N,N ’‐ビス‐（フェニル）‐ベンジジン（ＴＰＤ）、N,N ’‐ジ（ナフタレン‐１‐イル）‐N,N ’‐ジフェニル‐ベンジジン（ＮＰＤ）等の芳香族第三級アミン化合物、ヒドラゾン化合物、キナクリドン化合物、スチリルアミン化合物等の低分子材料、ポリアニリン（ＰＡＮＩ）、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンサルフォネイト（ＰＥＤＴ／ＰＳＳ）、ポリ［トリフェニルアミン誘導体］（Ｐｏｌｙ−ＴＰＤ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＣｚ）等の高分子材料、ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）前駆体（Ｐｒｅ−ＰＰＶ）、ポリ（ｐ−ナフタレンビニレン）前駆体（Ｐｒｅ−ＰＮＶ）等の高分子材料前駆体等）、電子輸送材料（例えば、無機ｎ型半導体材料、オキサジアゾ−ル誘導体、トリアゾ−ル誘導体、チオピラジンジオキシド誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、ジフェノキノン誘導体、フルオレノン誘導体などの低分子材料、ポリ［オキサジアゾール［（Ｐｏｌｙ−ＯＸＺ）などの高分子材料等）が挙げられる。
【００３７】
また、上記電荷輸送層は、前記した電荷輸送材料のみから構成されてもよいし、添加剤等を含有してもよいし、前記電荷輸送材料が高分子材料中、または、無機材料中に分散されていてもよい。
また、これらの材料は、スピンコ−ティング法、ディッピング法、ドクターブレード法、等の塗布法、インクジェット法、印刷法等のウエットプロセス、もしくは、真空蒸着法、レーザー転写法等のドライプロセスで形成することができるが、大面積化、生産性および作製速度等を考慮すると、印刷法またはレーザー転写法が好ましい。
【００３８】
本発明の画素電極７としては、従来の電極材料を用いることが可能であり、対向電極９と対で、陽極または陰極として用いることができる。
上記の陽極として用いる場合は、仕事関数が高い金属（Ａｕ、Ｐｔ、Ｎｉ等）、もしくは、透明電極（ＩＴＯ、ＩＤＩＸＯ、ＳｎＯ₂等）を電極材料に用いることができる。
上記の陰極として用いる場合は、仕事関数の低い金属を少なくとも含有するもの（Ｃａ、Ｃｅ、Ａｌ、Ｍｇ：Ａｇ合金、Ｌｉ：Ａｌ合金）、もしくは、薄膜の絶縁層と金属電極を組み合わせたもの（ＬｉＦ／Ａｌ等）を電極材料に用いることができる。
【００３９】
画素電極７側から発光を取り出す場合には、画素電極７として透明電極を用いることが好ましい。しかし、この透明電極の電極材料は、特に限定されるものではない。
また、画素電極７は、前記の材料を用いて、ＥＢ、スパッタ、抵抗加熱蒸着法、もしくはレーザー転写法で形成することが可能であるが、特に限定されるものではない。また、フォトリソグラフィー法によりパターン化を行うことも可能である。
【００４０】
本発明の対向電極９としては、従来の電極材料を用いることが可能であり、画素電極７と対で、陽極または陰極として用いることができる。つまり、対向電極９を陽極として用いた場合は、画素電極７は陰極となり、対向電極９を陰極として用いた場合には、画素電極７は陽極となる。
対向電極９側から発光を取り出す場合には、対向電極９として透明電極を用いることが好ましい。しかし、この透明電極の電極材料は、特に限定されるものではない。
また、対向電極９は、前記の材料を用いて、ＥＢ、スパッタ、抵抗加熱蒸着法、レーザー転写法またはＤ．Ｃ．リアクティブスパッタ法で形成することが可能であるが、特に限定されるものではない。しかし、有機ＬＥＤ層８への熱的ダメージを考慮すると、抵抗加熱蒸着法、レーザー転写法またはＤ．Ｃ．リアクティブスパッタ法が好ましい。
【００４１】
前記のように、対向電極９が透明電極であれば、対向電極９側から発光を効率よく取り出すことが可能となり、かつ、対向電極９側から発光を取り出すことで、開口率を考慮することなく、スイッチング用薄膜トランジスタ、電流制御用薄膜トランジスタ、信号線、走査線、電流供給線、コンデンサを基板上に配置することが可能となる。さらに、画素電極７を反射電極とすることにより、発光を効率よく取り出すことが可能となる。
【００４２】
本発明の絶縁膜１７は、画素電極７のエッジでの電界集中による素子の劣化を防止する目的で設けられる。
絶縁膜１７の材料としては、従来の材料を用いることが可能であり、例えば、ＳｉＯ₂、スピンオンガラス、ＳｉＮ（Ｓｉ₃Ｎ₄）、ＴａＯ（Ｔａ₂Ｏ₅）、Ｎｉ_xＺｎ_yＦｅ₂Ｏ₄等の無機材料、アクリル樹脂、レジスト材料、ブラックマトリックス材料等の有機材料を使用することができるが、特に限定されるものではない。
上記絶縁膜１７は、前記の材料を用いて、ＣＶＤ、真空蒸着等のドライプロセス、スピンコート等のウエットプロセスにより形成することが可能である。またフォトリソグラフィー法によりパターン化を行うことも可能である。
【００４３】
本発明で用いることができる偏光板１６としては、従来の直線偏向板と1/4 λ板を組み合わせたものであればよい。これにより、コントラストを向上させることが可能である。
【００４４】
封止膜または封止基板１９は、従来の素子封止用の材料と従来の封止方法を用いて形成することが可能であるが、特に限定されるものではない。
例えば、窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガスをガラス、金属等で封止する方法や、不活性ガス中に酸化バリウム等の吸湿剤等を混入する方法が使用できる。また、対向電極９上に樹脂を直接スピンコートで、もしくは、樹脂を貼り合わせて封止膜１９としてもよい。これにより、外部からの酸素、水分が素子内に混入するのを防止できるので、寿命の向上を図ることができる。
【００４５】
図３から図１０を参照しながら、本発明のアクティブマトリックス駆動型有機ＬＥＤ表示装置の実施の形態１〜５で説明するが、本発明はこれらの実施の形態に限定されない。
これらの実施の形態では、それぞれの有機ＬＥＤ表示装置の積層構造が、各部材の位置関係を透視的に示す説明図と、この説明図における一部の断面図で示されるため、図示ができない部材があることを付言する。
なお、以下の実施の形態１〜４で説明する有機ＬＥＤ表示装置は、有機ＬＥＤ素子１０が前記した赤色、緑色、青色のＬＥＤ素子２５，２６，２６のいずれか１つである。
【００４６】
〔実施の形態１〕
図３は実施の形態１における画素駆動回路部分を含む有機ＬＥＤ表示装置１００を平面的にみた透視説明図であり、図４は図３のＡ−Ａ’断面図である。
有機ＬＥＤ表示装置１００における１画素の駆動回路は、信号線２１と、走査線２０と、信号線２１と走査線２０の幅よりも広い幅を有する電流供給線２２と、信号線２１および走査線２０に接続されたスイッチング用薄膜トランジスタ２と、コンデンサ２３と、コンデンサ２３と電流供給線２２と有機ＬＥＤ素子１０に接続された電流制御用薄膜トランジスタ３とから構成されている。
コンデンサ２３は、スイッチング用薄膜トランジスタ２および電流供給線２２に接続され、電流供給線２２と基板１との間に設けられている。
実施の形態１では、有機ＬＥＤ素子が、赤，緑，青に発光させるそれぞれの有機ＬＥＤ層８を有し、これらの各有機ＬＥＤ層８に電流を供給するそれぞれの電流供給線２２の幅は、赤＞青＞緑の関係になる。
電流供給線２２と信号線２１と走査線２０とは、互いに立体的に配置されている。
また、画素電極７が透明電極であり、対向電極９が反射電極である。
【００４７】
有機ＬＥＤ表示装置１００は、以下のように製造することができる。
【００４８】
ガラス基板１上に、Ｓｉ₂Ｈ₆の分解によるＬＰ−ＣＤＶ法により、膜厚５０ｎｍのα−Ｓｉ膜を成膜し、その後、エキシマレーザアニールにより、α−Ｓｉを多結晶化した。次いで、チャンネル部およびソース・ドレイン部からなるＰｏｌｙ−Ｓｉ膜をエッチング加工した。ゲート絶縁膜４として、ＳｉＯ₂を５０ｎｍ形成した後、ゲート電極１３としてＡｌをスパッタリングで成膜した。
【００４９】
次いで、ゲート電極１３をパターニングすると同時に、信号線２１と電流供給線２２のパターニングを行った。コンデンサ２３の下部電極を加工した後、ゲート電極１３の側面を陽極酸化し、オフセット部を形成した。その後、ソース・ドレイン部にイオンドーピング法によりＰを高濃度にドープした。走査線２０を形成した後、ソース、ドレインメタル、コンデンサ２３の上部電極を形成し、低温プロセスにてＰｏｌｙ−ＳｉＴＦＴを形成した。
【００５０】
ここで、信号線２１および走査線２０の各幅は４μｍである。
所望の輝度を得るために必要な電流値は、赤色ＬＥＤ素子２５が最も大きく、次いで、青色ＬＥＤ素子２７、緑色ＬＥＤ素子２６の順であるため、赤色ＬＥＤ素子２５に接続される電流供給線２２の幅を青色および緑色の発光素子のよりも広い幅である２０μｍとし、次いで、青色ＬＥＤ素子２７に接続される電流供給線２２の幅を１６μｍとし、緑色ＬＥＤ素子２６に接続される電流供給線２２の幅を１４μｍとしてそれぞれを形成した。
【００５１】
次いで、平坦化膜６としてＳｉＯ₂を膜厚３μｍで形成した。次に、この平坦化膜６上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィー法によりコンタクトホール１２（図示しない）の部分が貫けたパターンを形成した後、エッチングを行うことでコンタクトホール１２を開口し、レジストを洗い流した。
次に、スパッタ法によりＡｌを４μｍ成膜し、研磨することにより、ゲート絶縁膜４上に形成されたＡｌを除去すると同時に、ゲート絶縁膜４と前記コンタクトホール１２中の接続配線を同時に平坦化した。
【００５２】
次いで、前記の平坦化された膜上に前記コンタクトホール１２を介してドレイン電極と電気的に接続させるための画素電極となるＩＴＯをスパッタ法により膜厚１５０ｎｍになるように成膜した。ここで、スパッタ時における基板１の温度を３００℃とした。
その後、エッチングにより画素電極７とした。成膜された透明電極は、面抵抗が＜１０Ω／□、透過率が＞８７％（５５０ｎｍ）、平坦性が±２％であった。次いで、フォトリソグラフィー法により画素電極７を所定の形状にパターン化した。
【００５３】
次に、絶縁膜としてＳｉＯ₂を膜厚２００ｎｍで形成した。その上にレジストを塗布し、所定の形状にパターン化した。次に、ドライエッチにより画素間にテーパー状にＳｉＯ₂をエッチングし、絶縁膜を画素間に形成した。
これにより画素電極７のエッジ部での電界集中による素子の劣化を防止することができ、かつ、テーパー状にすることにより、印刷法で有機ＬＥＤ層８を形成した場合にも、印刷機の転写基板１が基板１にほぼ完全に密着するので、有機ＬＥＤ層８の転写されない部分を生ずるのを防止できる。
【００５４】
次に、ＰＥＤＴ／ＰＳＳ水溶液を用い、スピンコート法により前記ＩＴＯ上に膜厚５０ｎｍの正孔輸送層を形成した。
青色発光材料としてのＰＤＡＦ１ｇと、レベリング剤としてのＫＦ９６Ｌ−１（信越シリコーン社製）０．０００１ｇとを１００ｍｌのトリメチルベンゼン溶媒に溶かし、青色発光層形成用塗液とした。
次に、市販の凸版印刷機を用いて、上記青色発光層形成用塗液を正孔輸送層上に転写して青色発光層を形成した。
また、緑色発光材料としてのＰｒｅ−ＰＰＶ１ｇと、レベリング剤としてのＫＦ９６Ｌ−１（信越シリコーン社製）０．０００１ｇとを１００ｍｌのメタノール：エチレングリコール（７：３）混合溶媒に溶かし、緑色発光層形成用塗液とした。
【００５５】
次に、市販の凸版印刷機を用いて、上記緑色発光層形成用塗液を正孔輸送層上に転写して緑色発光層を形成した。
赤色発光材料としてのＭＥＨ−ＰＰＶ１ｇと、レベリング剤としてのＫＦ９６Ｌ−１（信越シリコーン社製）０．０００１ｇとを１００ｍｌのトリメチルベンゼン溶媒に溶かし、赤色発光層形成用塗液とした。
次に、市販の凸版印刷機を用いて、上記赤色発光層形成用塗液を正孔輸送層上に転写して赤色発光層を形成した。ここで転写基板としては、ＡＰＲ（ショアＡ硬度５５）を用い、印圧を０．１ｍｍとした。ここで、印刷装置Ｂは、アニロックスロールとして、３００線／ｉｎｃｈのものを用いた。
【００５６】
次に、窒素雰囲気下で１２０℃、２時間のアニールを行った後、セシウムを膜厚５０ｎｍで、さらにその上に、銀を膜厚２００ｎｍでそれぞれ真空蒸着法によりマスク蒸着して対向電極９とした。
次いで、基板１上にコントラストを向上させる目的で、偏光板１６を貼り合わせ、窒素ガス中で封止用ガラス基板を、ＵＶ硬化型樹脂を用いて前記基板１に貼り合わせた。
以上の様にして作製した有機ＬＥＤ表示装置１００の電流供給線２２に外部から電流供給電源を接続し、信号線２１に外部から映像信号を、走査線２０に走査信号を印加した。その結果、全画素から、発光ムラのない発光が観測された。
【００５７】
〔実施の形態２〕
信号線２１と走査線２０と電流供給線２２の幅を同じ幅（４μｍ）とし、走査線２０の厚さを３００ｎｍとし、信号線２１と電流供給線２２の厚さを８００ｎｍとしたこと以外は、実施の形態１と同様にして、有機ＬＥＤ表示装置１００を作製した。
以上の様にして作製した有機ＬＥＤ表示装置１００の電流供給線２２に外部から電流供給電源を接続し、信号線２１に外部から映像信号を、走査線２０に走査信号を印加した。その結果、全画素から、発光ムラのない発光が観測された。
【００５８】
〔実施の形態３〕
図５は実施の形態３における画素駆動回路部分を含む有機ＬＥＤ表示装置２００を平面的にみた説明図であり、図６は図５のＡ−Ａ’断面図である。
有機ＬＥＤ表示装置２００における１画素の駆動回路は、信号線２１と、走査線２０と、信号線２１と走査線２０の幅よりも広い幅を有する電流供給線２２と、信号線２１および走査線２０に接続されたスイッチング用薄膜トランジスタ２と、コンデンサ２３と、コンデンサ２３と電流供給線２２と有機ＬＥＤ素子１０に接続された電流制御用薄膜トランジスタ３とから構成されている。
コンデンサ２３は、前記スイッチング用薄膜トランジスタ２および電流供給線２２に接続され、電流供給線２２と基板１との間に設けられている。
実施の形態２では、電流供給線２２と信号線２１と走査線２０とは、互いに立体的に配置されている。
また、対向電極９が透明電極であり、画素電極７が反射電極である。
【００５９】
有機ＬＥＤ表示装置２００は、以下のように製造することができる。
【００６０】
基板１として膜厚：２．０ｍｍのアルミナ基板を用いた。この基板１上に、ＳｉＨ₄の分解によるＬＰ−ＣＤＶ法により、膜厚５０ｎｍのα−Ｓｉ膜を成膜し、その後、固層成長法により、α−Ｓｉを多結晶化した。次に、チャンネル部、ソース・ドレイン部からなるＰｏｌｙ−Ｓｉ膜をエッチング加工し、ゲート絶縁膜４としてｐ−Ｓｉを１０００℃以上で熱酸化して膜厚１００ｎｍのＳｉＯ₂を形成した。この後、ゲート電極１３としてＡｌをスパッタリングで成膜した。次いで、ゲート電極１３をパターニングすると同時に、信号線２１と電流供給線２２をパターニングした。また、コンデンサ２３の下部電極を加工した。
【００６１】
次いで、ゲート電極１３の側面を陽極酸化してオフセット部を形成し、その後、ソース・ドレイン部にイオン打ち込み法によりリンを高濃度にドープした。次いで、走査線２０を形成した後、ソース、コンデンサ２３の上部電極を形成し、高温プロセスでＰｏｌｙ−ＳｉＴＦＴを形成した。
ここで、信号線２１および走査線２０の幅は、４μｍであり、各色のＬＥＤ素子２５，２６，２７に接続される各電流供給線２２の幅は２０μｍであった。
【００６２】
次いで、平坦化膜６としてＳｉＯ₂を膜厚３μｍで形成した。次に、この平坦化膜６上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィー法によりコンタクトホール１２の部分を貫通するパターンを形成した後、エッチングを行って基板１側より画素側で開口部が広い形状をもつコンタクトホール１２（図示しない）を画素の中央部近傍に開口した。これにより、画素に均等に電流を供給することができる。
【００６３】
次に、スパッタ法により、平坦化膜６上にＡｌを膜厚３μｍで成膜した。次に、これを４μｍの厚み分だけ研磨することで平坦化膜６とコンタクトホール１２を含めて平坦化した。
次に、画素電極７として銀を抵抗蒸着法により膜厚１００ｎｍで成膜し、その上にフッ化リチウムを抵抗加熱蒸着法により膜厚１ｎｍで成膜し、レーザーでパターン化した。
【００６４】
次に、絶縁膜としてＳｉＯ₂を膜厚２００ｎｍで形成し、次いで、表面を研磨することで、画素電極７間にのみ絶縁膜を残し、かつ前記絶縁膜と画素電極７とを同時に平坦化した。これにより画素電極７のエッジ部における電界集中による素子の劣化を防止することができ、かつ、転写法により有機ＬＥＤ層８を形成した場合にも、ベースフィルムが完全に基板１に密着するので、有機ＬＥＤ層８が転写されない部分が生ずるのを防止できる。
【００６５】
この上に、Ａｌｑ₃を抵抗加熱蒸着法により５０ｎｍの膜厚になるように成膜し、電子輸送層とした。
次に、赤色発光画素の部分だけ開口した金属マスクを基板１に密着させ、Ａｌｑ₃とＤＣＭ₂を抵抗加熱蒸着法により共蒸着することで膜厚が３０ｎｍになるように赤色有機ＬＥＤ層８を成膜した。
次に、緑色発光素子の部分だけ開口してある金属マスクを基板１に密着させてＡｌｑ₃を抵抗加熱蒸着法により膜厚が３０ｎｍになるように蒸着させて緑色有機ＬＥＤ層８を成膜した。
【００６６】
次に、青色発光画素の部分だけ開口してある金属マスクを基板１に密着させ、ＤＰＶＢｉを抵抗加熱蒸着法により膜厚が３０ｎｍになるように蒸着させて青色有機ＬＥＤ層８を成膜した。
次に、赤色、緑色および青色の各有機ＬＥＤ層８が形成されている上に、抵抗加熱蒸着法により正孔輸送層としてＮＰＤを膜厚４０ｎｍで蒸着した。
【００６７】
次に、正孔輸送層転写基板のベースフィルムとして膜厚０．１ｍｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、レーザー光を熱に変換する層としてカーボン粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を、前記フィルム上に膜厚５μｍでコーティングした後、室温硬化させる。次に、ポリαメチルスチレン膜を膜厚１μｍでコーティングして熱伝播および剥離層を形成した後、その上に正孔注入層としてＰＥＤＴ／ＰＳＳ水溶液をマイクログラビアコーターを用いて膜厚が６０ｎｍになるように成膜した。次いで、この基板を１×１０^-3Ｔｏｒｒの真空下で、８０℃、１時間のベークを行った。
【００６８】
次に、有機ＬＥＤ層８が形成された基板１に、正孔注入層転写基板を貼り付け、１３ＷのＹＡＧレーザーで所望の位置を走査することにより、有機ＬＥＤ層８が形成された基板１上に正孔輸送層転写基板の正孔輸送層のパターン転写を行った。
次に、この基板を８０℃で５分間のベークを行った後、対向電極９として、ＩＤＩＸＯを全面に１５０ｎｍの膜厚になるようにスパッタ法により室温で成膜し、透明電極からなる対向電極９を形成した。
ここで、成膜した透明電極は、面抵抗が＜３０Ω／□、透過率が＞８０％（５５０ｎｍ）、平坦性が±２％であった。
この対向電極９上の全体に、エポキシ樹脂を膜厚が１μｍになるようにスピンコートして偏光板１６とし、この上に封止膜１９を設けた。
【００６９】
以上の様にして作製した有機ＬＥＤ表示装置２００の電流供給線２２に外部から電流供給電源を接続し、信号線２１に外部から映像信号を、走査線２０に走査信号を印加した。その結果、全画素から、発光ムラのない発光が観測された。
【００７０】
〔実施の形態４〕
図７は実施の形態４における画素駆動回路部分を含む有機ＬＥＤ表示装置３００を平面的にみた説明図である。また、図７のＡ−Ａ’断面は、前記の図２に示す。
有機ＬＥＤ表示装置３００における１画素の駆動回路は、信号線２１と、走査線２０と、信号線２１と走査線２０の幅よりも広い幅を有する電流供給線２２と、信号線２１および走査線２０に接続されたスイッチング用薄膜トランジスタ２と、スイッチング用薄膜トランジスタ２と画素電極７と基板１との間に設けられたコンデンサ２３と、コンデンサ２３と電流供給線２２と有機ＬＥＤ素子１０に接続された電流制御用薄膜トランジスタ３とから構成されている。
実施の形態３では、コンデンサ２３が、電流供給線２２および画素電極７と互いに立体的に配置される。コンデンサ２３の一方の電極は、電流制御用薄膜トランジスタ３のゲート電極１３に電気的に接続され、他方の電極は、コンデンサ用電極線２４に接続されている。
電流供給線２２と信号線２１と走査線２０とは、互いに立体的に配置されている。
また、対向電極９が透明電極であり、画素電極７が反射電極である。
【００７１】
有機ＬＥＤ表示装置３００は、以下のように製造することができる。
【００７２】
基板１として膜厚２．０ｍｍのＡｌ基板を用いた。次に、このＡｌ基板の両面をＳｉＯ₂からなる絶縁膜を膜厚１μｍとなるように成膜した。ここで、Ａｌ基板は、最終的に電流供給線２２として使用される。この基板１上に、ＳｉＨ₄の分解によるＬＰ−ＣＤＶ法により、膜厚５０ｎｍのα−Ｓｉ膜を成膜し、その後、固層成長法によりα−Ｓｉを多結晶化した。
【００７３】
次に、チャンネル部、ソース・ドレイン部からなるＰｏｌｙ−Ｓｉ膜をエッチング加工し、ゲート絶縁膜４としてｐ−Ｓｉを１０００℃以上で熱酸化して膜厚１００ｎｍのＳｉＯ₂を形成した。この後、ゲート電極１３としてＡｌをスパッタリングで成膜した。そして、ゲート電極１３をパターニングすると同時に、信号線２１をパターニングした。また、コンデンサ２３の下部電極を加工した。
【００７４】
次いで、ゲート電極１３の側面を陽極酸化し、オフセット部を形成し、その後、ソース・ドレイン部にイオン打ち込み法によりリンを高濃度にドープした。次いで、走査線電極２０を形成した。さらに、ソース、コンデンサ２３の上部電極を形成し、高温プロセスにてＰｏｌｙ−ＳｉＴＦＴを形成した。ここで、信号線２１、走査線２０の幅は、４μｍであり、各色のＬＥＤ素子１０に接続される電流供給線２２の幅は、それぞれ２０μｍであった。
【００７５】
次に、フォトリソグラフィー法によりＡｌ基板に達するコンタクトホール１２を開口した。次いで、コンタクトホール１２内にＡｌを成膜した。
この後、平坦化膜６としてＳｉＯ₂を膜厚３μｍで膜を形成した。次に、この平坦化膜６上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィー法によりコンタクトホール１２の部分が貫通したパターンを形成した後、エッチングを行うことで、基板１側より画素側で開口部が広い形状をもつコンタクトホール１２を画素の略中央部に開口した。これにより、画素に均等に電流を供給することができる。
【００７６】
次に、この絶縁膜上に、スパッタ法によりＡｌを膜厚３μｍで成膜した。次に、これを４μｍの厚み分研磨することで前記絶縁膜とコンタクトホール１２を含めて平坦化した。
次に、画素電極７として銀を抵抗蒸着法により１００ｎｍ成膜し、レーザーでパターン化した後、絶縁膜１７として、ＳｉＯ₂を膜厚２００ｎｍに形成した。次に、表面を研磨することで、画素電極７間にのみ絶縁膜を残し、かつ、前記絶縁膜と画素電極７とを同時に平坦化した。これにより画素電極７のエッジ部での電界集中による素子の劣化を防止することが可能となり、かつ、転写法により有機ＬＥＤ層８を形成した場合にも、ベースフィルムが完全に基板１に密着するので、有機ＬＥＤ層８の転写されない部分が生ずるのを防止できる。
【００７７】
次に、赤色発光層転写基板として、ベースフィルムとして膜厚０．１ｍｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、このフィルムにレーザー光を熱に変換する層としてカーボン粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を５μｍの膜厚コーティングして室温硬化した。次に、熱伝播および剥離層として、ポリαメチルスチレン膜を膜厚１μｍにコーティングして形成した。
最初に、この基板１上に、正孔輸送層としてＰＥＤＴ／ＰＳＳ水溶液をマイクログラビアコーターを用いて膜厚が６０ｎｍになるようにしたものを成膜し、８０℃で１０分間ベークした。
【００７８】
次に、赤色有機ＬＥＤ層８としてＣＮ−ＰＰＶ溶液をマイクログラビアコーターを用いて膜厚が６０ｎｍになるように成膜した後、８０℃で１０分間ベークした。次に、巻き取り式蒸着装置を用いてカルシウムを膜厚３０ｎｍに成膜した。
次に、緑色発光層転写基板として、ベースフィルムとして０．１ｍｍ膜厚のポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、このフィルムにレーザー光を熱に変換する層としてカーボン粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚５μｍにコーティングして室温硬化した。次に熱伝播および剥離層として、ポリαメチルスチレン膜を膜厚１μｍにコーティングして形成した。
【００７９】
まず、この基板１上に、正孔輸送層としてＰＥＤＴ／ＰＳＳ水溶液をマイクログラビアコーターを用いて膜厚が６０ｎｍになるようにしたものを成膜し、８０℃で１０分間ベークした。
次に、青色有機ＬＥＤ層８としてＰｒｅ−ＰＰＶ溶液をマイクログラビアコーターを用いて膜厚が６０ｎｍになるように成膜した後、１２０℃で３時間ベークしてＰｒｅ−ＰＰＶをＰＰＶに変換した。次に、巻き取り式蒸着装置を用いてカルシウムを膜厚３０ｎｍに成膜した。
【００８０】
次に、青色発光層転写基板として、ベースフィルムとして０．１ｍｍ膜厚のポリエレテレフタレートフィルムを用い、このフィルムにレーザー光を熱に変換する層としてカーボン粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚５μｍにコーティングして室温硬化した。次に熱伝播および剥離層として、ポリαメチルスチレン膜を1 μｍの膜厚にコーティングして形成した。
【００８１】
まず、この基板１上に、マイクログラビアコーターを用いて正孔輸送層としてＰＥＤＴ／ＰＳＳ水溶液を膜厚６０ｎｍになるように成膜し、８０℃で１０分間ベークした。
次に、赤色有機ＬＥＤ層８としてマイクログラビアコーターを用いてＰＤＦ溶液を膜厚が６０ｎｍになるように成膜した後、８０℃で１０分間ベークした後、巻き取り式蒸着装置を用いてカルシウムを膜厚３０ｎｍに成膜した。
【００８２】
次に、薄膜トランジスタが形成された基板１に、赤色発光層転写基板を貼り付け、１３ＷのＹＡＧレーザーで所望の位置を走査することで、赤色ＬＥＤ素子２５を基板１上にパターン転写を行った。次に、赤色発光層転写基板を剥がし、緑色発光層転写基板を貼り付け、前記と同様の工程により、緑色ＬＥＤ素子２６を基板１上にパターン転写を行った。次に、緑色発光層転写基板を剥がし、青色発光層転写基板を貼り付け、前記と同様の工程により、青色ＬＥＤ素子２７を基板１上にパターン転写を行った。なお、上記の転写工程は、窒素雰囲気下で行った。
【００８３】
次に、この基板１を８０℃で５分間ベークを行った後、対向電極９として、ＩＤＩＸＯを全面に１５０ｎｍの膜厚になるようにスパッタ法により室温で成膜し、透明電極からなる対向電極９を形成した。
ここで、成膜した透明電極は、面抵抗が＜３０Ω／□、透過率が＞８０％（５５０ｎｍ）、平坦性が±２％であった。この対向電極９上全体にエポキシ樹脂を膜厚が１μｍになるようにスピンコートして偏光板１６とし、この上に封止膜１９を設けた。
【００８４】
以上の様にして作製した有機ＬＥＤ表示装置３００の電流供給線２２に外部から電流供給電源を接続し、信号線２１に外部から映像信号を、走査線２０に走査信号を印加した。その結果、全画素から、発光ムラのない発光が観測された。
【００８５】
〔実施の形態５〕
図８は実施の形態５における画素駆動回路部分を含む有機ＬＥＤ表示装置４００を平面的にみた説明図であり、図９は図８のＡ−Ａ’断面図である。
有機ＬＥＤ表示装置４００における１画素の駆動回路は、信号線２１と、走査線２０と、電流供給線２２と、信号線２１と前記走査線２０に接続されたスイッチング用薄膜トランジスタ２と、スイッチング用薄膜トランジスタ２および電流供給線２２に接続されたコンデンサ２３と、コンデンサ２３と電流供給線２２と各有機ＬＥＤ素子１０（２５，２６，２７）に接続された電流制御用薄膜トランジスタ３とから構成されている。
【００８６】
この有機ＬＥＤ表示装置４００では、基板１と逆側から発光を取り出すことが可能である。
実施の形態４では、コンデンサ２３が、電流供給線２２および画素電極７と互いに立体的に配置される。コンデンサ２３の一方の電極は、電流制御用薄膜トランジスタ３のゲート電極１３に電気的に接続され、他方の電極は、コンデンサ用電極線２４に接続されている。
また、電流供給線２２は、信号線２１と走査線２０とに対して立体的に配置されている。
なお、有機ＬＥＤ表示装置４００の製造方法は、実施の形態３と共通するので説明を省略する。
【００８７】
図１０は本発明の有機ＬＥＤ表示装置における画素駆動回路の他の実施の形態を示す。この回路は、図１の等価回路であるため、説明を省略する。
【００８８】
【発明の効果】
本発明では、電流供給線の抵抗を下げることができるので、高精細の表示装置および画素数の多い表示装置の場合でも、電圧降下に伴う消費電力の上昇を抑制することが可能となる。
【００８９】
有機ＬＥＤ素子が赤、緑および青に発光させるそれぞれの有機発光層を有し、前記各有機発光層に電流を供給するそれぞれの電流供給線の幅は、少なくとも１つが他と異なる。すなわち、各色の発光画素に所望の輝度を与えるには、各色の発光画素に供給する電流量が異なるため、それぞれの画素に電流を供給する電流供給線の幅を最小に最適化することが可能となり、開口率の減少を抑えることが可能となる。
【００９０】
コンデンサが、電流供給線または画素電極と互いに立体的に配置されたことにより、コンデンサによる開口率の低下を低減することが可能となる。
電流供給線と信号線と走査線とが互いに立体的に配置されたので、電流供給線での電圧降下を激減することが可能となる。
【００９１】
画素電極と対向電極は、これらのうちの一方が透明電極であり、他方が反射電極であるので、画素電極側から発光を効率よく取り出すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のアクティブマトリックス駆動型有機ＬＥＤ表示装置の画素駆動回路図である。
【図２】図１に示した回路を備えた本発明の有機ＬＥＤ表示装置の一断面を示す断面図である。
【図３】実施の形態１における画素駆動回路部分を含む有機ＬＥＤ表示装置の一部を平面的にみた透視説明図である。
【図４】図３のＡ−Ａ’断面図である。
【図５】実施の形態３における画素駆動回路部分を含む有機ＬＥＤ表示装置の一部を平面的にみた透視説明図である。
【図６】図５のＡ−Ａ’断面図である。
【図７】実施の形態４における画素駆動回路部分を含む有機ＬＥＤ表示装置の一部を平面的にみた透視説明図である。
【図８】実施の形態５における画素駆動回路部分を含む有機ＬＥＤ表示装置の一部を平面的にみた透視説明図である。
【図９】図８のＡ−Ａ’断面図である。
【図１０】本発明のアクティブマトリックス駆動型有機ＬＥＤ表示装置における画素駆動回路の他の実施の形態を示す回路図である。
【符号の説明】
１基板
２スイッチング用薄膜トランジスタ
３電流制御用薄膜トランジスタ
４ゲート絶縁膜
５層間絶縁膜
６平坦化膜
７画素電極
８有機ＬＥＤ層
９対向電極
１０有機ＬＥＤ素子
１２コンタクトホール
１３ゲート
１６偏光板
１７絶縁膜
１９封止基板（封止膜）
２０走査線
２１信号線
２２電流供給線
２３コンデンサ
２４コンデンサ用電極線
２５赤色ＬＥＤ素子
２６緑色ＬＥＤ素子
２７青色ＬＥＤ素子

Claims

基板上に、少なくともスイッチング用薄膜トランジスタ、電流制御用薄膜トランジスタ、信号線、走査線、電流供給線及びコンデンサと、前記電流制御用薄膜トランジスタを介して前記電流供給線に接続された画素電極、画素を形成する少なくとも１層の有機発光層を有する有機ＬＥＤ層および対向電極から構成される有機ＬＥＤ素子とを有する有機ＬＥＤ表示装置であって、前記有機ＬＥＤ素子がほぼ同一面積を有する赤、緑および青に発光させるそれぞれ有機発光層およびそれに積層された画素電極を有し、前記各有機発光層に電流を供給するそれぞれの電流供給線の幅は、少なくとも１つが他と異なり、前記スイッチング用薄膜トランジスタ、電流制御用薄膜トランジスタ、信号線、走査線、電流供給線及びコンデンサの上に平坦化膜を形成し、前記平坦化膜上に前記画素電極を形成したことを特徴とするアクティブマトリックス駆動型有機ＬＥＤ表示装置。
前記赤、青、緑に発光させる有機発光層に電流を供給するそれぞれの電流供給線の幅は、赤＞青＞緑の関係であることを特徴とする請求項１に記載のアクティブマトリックス駆動型有機ＬＥＤ表示装置。