JP3783299B2 - 弾性表面波デバイスの製造方法 - Google Patents
弾性表面波デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3783299B2 JP3783299B2 JP26689496A JP26689496A JP3783299B2 JP 3783299 B2 JP3783299 B2 JP 3783299B2 JP 26689496 A JP26689496 A JP 26689496A JP 26689496 A JP26689496 A JP 26689496A JP 3783299 B2 JP3783299 B2 JP 3783299B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- acoustic wave
- photosensitive film
- surface acoustic
- support member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は通信機器などに用いられる弾性表面波デバイスの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の技術による弾性表面波デバイスの製造方法は、表面に櫛形電極を形成した圧電基板上に第1の感光性膜を設け、第1の感光性膜の少なくとも一部分を露光・現像して包囲壁を形成し、形成した包囲壁上に第2の感光性膜を圧電基板全体を覆うように貼り付けたのち蓋体となる部分を残すように第2の感光性膜を露光・現像したものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の技術では、第2の感光性膜の現像時に現像液により蓋体部分の樹脂の膨潤を生じて蓋体と圧電基板上の櫛形電極とが接触し、デバイス特性を損なうという課題があった。
【0004】
本発明は安価で、かつ、信頼性の高い弾性表面波デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明は、反射器および櫛形電極が形成された基板上に第1の感光性膜を設け、第1の感光性膜の少なくとも一部分を露光した後、現像して包囲壁を形成する一方、支持部材上に第2の感光性膜を形成し、第2の感光性膜の少なくとも一部分を露光した後、現像して蓋体を形成し、包囲壁と蓋体を接着した後、支持部材と蓋体を分離したものである。これにより安価で信頼性の高い弾性表面波デバイスが製造できる。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の発明は、表面に櫛形電極を形成した圧電基板上に第1の感光性膜を設け、第1の感光性膜の少なくとも一部分を露光、現像して少なくとも櫛形電極を含む弾性表面波が伝搬する部分を囲むように包囲壁を形成する一方、支持部材上に第2の感光性膜を設け、第2の感光性膜の少なくとも一部分を露光、現像して蓋体を形成し、包囲壁と蓋体を接着した後、支持部材と蓋体を分離することにより、包囲壁と蓋体の接合以降のプロセスにおいて、使用する薬品が基板、包囲壁および蓋体で形成されるキャビティ内に侵入および残留する可能性のあるウェットプロセスを用いることが無くなり、信頼性の高い弾性表面波デバイスを得ることができる。
【0007】
本発明の請求項2に記載の発明は、支持部材が樹脂シートであることを特徴としたことにより、平坦度に優れかつ柔軟な支持部材が得られ、蓋体と包囲壁の接合を安定して行なうことができ、信頼性の高い弾性表面波デバイスを得ることができる。
【0008】
本発明の請求項3に記載の発明は、包囲壁上に蓋体を位置あわせして加熱と加圧により接合し、包囲壁と蓋体に紫外線を照射した後に、支持部材を蓋体より分離したことにより、包囲壁と蓋体を強固に接合すると共に、支持部材と蓋体の分離が容易になるので信頼性が高い弾性表面波デバイスを得ることができる。
【0009】
本発明の請求項4に記載の発明は、第2の感光性膜を枠に固定した状態で、第2の感光性膜の露光と、第2の感光性膜の現像と、包囲壁と蓋体の接着をそれぞれ行うことにより、複数のキャビティの包囲壁と蓋体を同時に接着する場合において、支持部材の変形によって各蓋体の位置関係がずれることを防止し、製造コストが低く、かつ、信頼性が高い弾性表面波デバイスを得ることができる。
【0010】
本発明の請求項5に記載の発明は、表面に櫛形電極を形成した圧電基板上に第1の感光性膜を設け、第1の感光性膜の少なくとも一部分を露光、現像して少なくとも前記櫛形電極を含む弾性表面波が伝搬する部分を囲むように包囲壁を形成する一方、支持部材上に蓋体を印刷して形成し、包囲壁と蓋体を接着した後、支持部材と蓋体を分離することにより、比較的高価な感光性樹脂ではなく感光性のない樹脂を素材として用いることができるので、製造コストの低減を図ることができ、安価な弾性表面波デバイスを得ることができる。
【0011】
本発明の請求項6に記載の発明は、蓋体の素材を紫外線硬化性樹脂あるいは熱硬化性樹脂にすることにより、感光性樹脂シートを用いた場合に比べて厚みの大きい強固な蓋体が容易に形成できる。強固な蓋体はキャビティの屋根落ちを防ぐために有効であり、信頼性の高い弾性表面波デバイスを得ることができる。
【0012】
本発明の請求項7に記載の発明は、第1の支持部材上に第1の感光性膜を設け、第1の感光性膜の少なくとも一部分を露光した後、現像して包囲壁を形成し、包囲壁と表面に櫛形電極を形成した圧電基板を包囲壁が少なくとも櫛形電極を含む弾性表面波が伝搬する部分を囲むように接着した後、第1の支持部材と包囲壁を分離する一方、第2の支持部材上に第2の感光性膜を設け、第2の感光性膜の少なくとも一部分を露光した後、現像して蓋体を形成し、包囲壁と蓋体を接着した後、第2の支持部材と蓋体を分離することにより、現像工程をすべて支持部材上で行うため、現像液による圧電基板上の電極パターンの損傷及び汚染を防止することができ、良いデバイス特性と高い信頼性を兼ね備えた弾性表面波デバイスを得ることができる。
【0013】
本発明の請求項8に記載の発明は、前記第1の支持部材が加熱機構と吸着機構とを備えた第1の真空チャックの平坦面に吸着された状態で、前記第1の感光性膜の露光および現像を行い、前記第2の支持部材が加熱機構と吸着機構とを備えた第2の真空チャックの平坦面に吸着された状態で、前記第2の感光性膜の露光および現像を行い、前記第1の真空チャックを前記第1の支持部材から分離し、さらに前記第1の支持部材を前記包囲壁から分離した後、前記第2の真空チャックによる加圧及び加熱によって前記包囲壁と前記蓋体とを接合するものであり、複数のキャビティの包囲壁と蓋体を同時に接合する場合において、露光、現像、接着の一連の操作中、支持部材のたわみにより各包囲壁及び各蓋体の位置関係がずれることを防止すると共に接合時の加熱を均一に行なうこととなり、接合時の包囲壁と蓋体の加熱及び圧着を安定して行うことができ、製造コストが低く、かつ、信頼性が高い弾性表面波デバイスを得ることができる。
【0014】
(実施の形態1)
次に、本発明の具体例を説明する。
【0015】
本発明の一実施の形態による弾性表面波デバイスの構成を図1に、実施の形態1の製造方法を図2に示す。図2において、まず、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムなどの圧電基板1の表面にアルミニウムなどの金属を用いて反射器及び櫛形電極などの電極2を設ける。続いて、感光性樹脂膜3を第1の保護膜4と第2の保護膜5で挟んだ第1のシートAの第1の保護膜4を剥離する。感光性樹脂膜3と、圧電基板1及びその上に設けられた電極2とを60〜120℃に加熱すると共にローラ6を用いて加圧して貼り合わせる。圧電基板1に貼り付けた第1のシートAの第2の保護膜5の上から包囲壁用フォトマスク7を重ね、紫外光8を照射する。感光性樹脂膜3の紫外光を受けた部分は重合及び架橋反応を生じて安定化する。第2の保護膜5を剥離した後、現像して少なくとも反射器及び櫛形電極2の一部を囲むように包囲壁9を形成する。現像に用いる現像液はアルミニウムなどの電極材料を腐食しない組成の薬液を用いる必要がある。アルミニウム電極を腐食しない現像液としては、水とジエチレングリコールモノブチルエーテルとホウ砂をそれぞれ800ml、200ml、8gの割合で混合したものがある。一方、リング状の枠10と、リング状の枠10の内径および厚みに適合した凸部を有し、かつ、感光性膜と接着を生じにくいポリエチレン、テフロンなどの材質からなるスペーサー11を嵌めあわせ、第2のシートBの第1の保護膜13を剥離して感光性樹脂膜12を60〜120℃に加熱すると共にローラ6を用いて加圧してリング状の枠10に貼り付ける。リング状の枠10に貼り付けた第2のシートの第2の保護膜14の上から蓋体用フォトマスク15を重ね、紫外光8を照射する。紫外線照射後スペーサー11を取り外し、第2のシートBの第2の保護膜14を支持部材として用いて現像し蓋体16を形成する。圧電基板1上に形成された包囲壁9と第2の保護膜14上に形成された蓋体16は、位置を合わせた後、60〜120℃に加熱すると共に、加圧して接合する。接合後、紫外線8を照射し、包囲壁9および蓋体16を硬化させたあと第2のシートBの第2の保護シート14を分離する。このようにして形成された素子をダイシングして分離し、パッケージ17に封入し、信号線の引き出し処理をした上で使用する。
【0016】
なお、上記の実施の形態1において感光性樹脂膜12を枠10に貼り付けるに際してスペーサー11を用いたが、感光性樹脂膜12にしわが生じる可能性の増加を許すならばスペーサー11を用いずに感光性樹脂膜12を枠10に貼り付けることは可能である。
【0017】
従来、パッケージの封止時に生ずる金属粉などによるSAWデバイスの動作不良が生じることがあったが、本発明の構成を取れば金属粉によるSAWデバイスの動作不良を防止することができ、信頼性の高い弾性表面波デバイスが得られる。
【0018】
(実施の形態2)
本発明の実施の形態2による弾性表面波デバイスの製造方法を図3に示す。
【0019】
図3において、まず、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムなどの圧電基板1の表面にアルミニウムなどの金属を用いて反射器及び櫛形電極などの電極2を設ける。続いて、第1のシートAの第1の保護膜4を剥離して感光性樹脂膜3を60〜120℃に加熱すると共にローラ6を用いて加圧して電極2及び圧電基板1に貼り付ける。第1のシートAの第2の保護膜5の上から包囲壁用フォトマスク7を重ね、紫外光8を照射する。紫外線照射後第2の保護膜5を剥離して現像し包囲壁9を形成する。一方、紫外線を透過する材質からなる支持部材19に印刷用マスク18を重ねる。スクレーパー20を用いて紫外線硬化樹脂22を印刷用マスク18に充填した後、印刷用マスク18をはずして支持部材19上に蓋体16を形成する。圧電基板上に形成された包囲壁9と支持部材19上に形成された蓋体16は、位置を合わせた後、60〜120℃に加熱すると共に、ローラを用いて加圧して接合する。接合後、紫外線8を照射し、包囲壁9および蓋体16を硬化させたあと支持部材19を分離する。このようにして形成された素子をダイシングして分離し、パッケージ17に封入し、信号線の引き出し処理をした上で使用する。
【0020】
蓋体16の素材を紫外線硬化樹脂にすることにより、感光性樹脂シートを用いた場合に比べて厚みの大きい強固な蓋体が容易に形成できる。強固な蓋体はキャビティ内への屋根落ちを防ぐために有効であり、信頼性の高い弾性表面波デバイスが得られる。
【0021】
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3による弾性表面波デバイスの製造方法を図4に示す。図4において、まず、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムなどの圧電基板1の表面にアルミニウムなどの金属を用いて反射器及び櫛形電極などの電極2を設ける。続いて、感光性樹脂膜3を第1の保護膜4と第2の保護膜5で挟んだ第1のシートAの第2の保護膜5側を平坦面を備えた真空チャック21が有する吸着機構で真空吸着し感光性樹脂膜の伸び及びしわを防止する。
【0022】
真空チャック21は、図示はしていないが内部の平坦面にヒータを埋め込み、かつ、熱伝導性の高い材料を用いて作られている。それで、真空チャック21の平坦面を均一に加熱することができる加熱機構を有している。
【0023】
真空チャック21に真空吸着した状態で第1の保護膜4の側に包囲壁用フォトマスク7を重ね、紫外光8を照射する。感光性樹脂膜3の紫外光8を受けた部分は重合及び架橋反応を生じて安定化する。第1の保護膜4を剥離した後、現像して第2の保護膜5上に包囲壁9を形成する。次に、包囲壁9が少なくとも反射器及び櫛形電極の一部を囲むように包囲壁9と圧電基板1及びその上に設けられた電極2とを真空チャック21の加熱機構を用いて60〜120℃に加熱すると共に加圧して貼り合わせた後、第2の保護膜5を剥離する。
【0024】
一方、感光性樹脂膜12を2枚の保護膜で挟んだ第2のシートBの第2の保護膜14側を真空チャック21が有する吸着機構で吸着し感光性樹脂膜の伸び及びしわを防止する。真空チャック21に吸着した状態で第1の保護膜4の側に蓋体用フォトマスク15を重ね、紫外光8を照射する。感光性樹脂膜12の紫外光8を受けた部分は重合及び架橋反応を生じて安定化する。紫外線照射後、第1の保護膜13を剥離し、現像して蓋体16を形成する。圧電基板1上の包囲壁9と第2の保護膜14上に形成された蓋体16は、位置を合わせた後、真空チャック21の加熱機構を用いて60〜120℃に加熱すると共に、加圧して接合する。接合後、紫外線8を照射し、包囲壁9および蓋体16を硬化させたあと第2のシートBの第2の保護膜14を剥離する。このようにして形成された素子をダイシングして分離し、パッケージ17に封入し、信号線の引き出し処理をして使用する。
【0025】
圧電基板上で包囲壁を形成する場合には、現像後の洗浄を十分に行う必要があり、洗浄が不十分な場合には基板表面の汚染によるデバイス特性の劣化を招く。
【0026】
本発明の実施の形態による工法を用いれば、現像工程をすべて支持部材上で行うため、現像液による圧電基板上の電極パターンの損傷及び汚染を防止することができ、良いデバイス特性と高い信頼性を兼ね備えた弾性表面波デバイスを得ることができる。
【0027】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、安価で信頼性の高い弾性表面波デバイスが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による弾性表面波デバイスの一実施の形態による構成図
【図2】本発明による弾性表面波デバイスの実施の形態1による製造工程図
【図3】本発明による弾性表面波デバイスの実施の形態2による製造工程図
【図4】本発明による弾性表面波デバイスの実施の形態3による製造工程図
【符号の説明】
1 圧電基板
2 電極
3,12 感光性樹脂膜
4,13 第1の保護膜
5,14 第2の保護膜
6 ローラ
7 包囲壁用フォトマスク
8 紫外光
9 包囲壁
10 枠
11 スペーサー
15 蓋体用フォトマスク
16 蓋体
17 パッケージ
18 印刷用マスク
19 支持部材
20 スクレーパー
21 真空チャック
Claims (8)
- 表面に櫛型電極を形成した圧電基板上に第1の感光性膜を設け、前記第1の感光性膜の少なくとも一部分を露光、現像して少なくとも前記櫛型電極を含む弾性表面波が伝搬する部分を囲むように包囲壁を形成する一方、支持部材上に第2の感光性膜を設け、前記第2の感光性膜の少なくとも一部分を露光、現像して蓋体を形成し、前記包囲壁と前記蓋体を接合した後、前記支持部材と前記蓋体を分離することを特徴とする弾性表面波デバイスの製造方法。
- 前記支持部材が樹脂シートであることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイスの製造方法。
- 前記包囲壁上に前記蓋体を位置あわせして加熱と加圧により接合し、前記包囲壁と前記蓋体に紫外線を照射した後に、前記支持部材を前記蓋体より分離することを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイスの製造方法。
- 前記第2の感光性膜を枠に固定した状態で、前記第2の感光性膜の露光と、前記第2の感光性膜の現像と、前記包囲壁と前記蓋体の接合をそれぞれ行うことを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイスの製造方法。
- 表面に櫛型電極を形成した圧電基板上に第1の感光性膜を設け、前記第1の感光性膜の少なくとも一部分を露光、現像して少なくとも前記櫛型電極を含む弾性表面波が伝播する部分を囲むように包囲壁を形成する一方、支持部材上に蓋体を印刷して形成し、前記包囲壁と前記蓋体を接合した後、前記支持部材と前記蓋体を分離することを特徴とする弾性表面波デバイスの製造方法。
- 前記蓋体の素材が紫外線硬化性樹脂あるいは熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項5記載の弾性表面波デバイスの製造方法。
- 第1の支持部材上に第1の感光性膜を設け、前記第1の感光性膜の少なくとも一部分を露光した後、現像して包囲壁を形成し、前記包囲壁と表面に櫛型電極を形成した圧電基板を前記包囲壁が少なくとも前記櫛型電極を含む弾性表面波が伝搬する部分を囲むように接合した後、前記第1の支持部材と前記包囲壁を分離する一方、第2の支持部材上に第2の感光性膜を設け、前記第2の感光性膜の少なくとも一部分を露光した後、現像して蓋体を形成し、前記包囲壁と前記蓋体を接合した後、前記第2の支持部材と前記蓋体を分離することを特徴とする弾性表面波デバイスの製造方法。
- 前記第1の支持部材が加熱機構と吸着機構とを備えた第1の真空チャックの平坦面に吸着された状態で、前記第1の感光性膜の露光および現像を行い、前記第2の支持部材が加熱機構と吸着機構とを備えた第2の真空チャックの平坦面に吸着された状態で、前記第2の感光性膜の露光および現像を行い、前記第1の真空チャックを前記第1の支持部材から分離し、さらに前記第1の支持部材を前記包囲壁から分離した後、前記第2の真空チャックによる加圧及び加熱によって前記包囲壁と前記蓋体とを接合することを特徴とする請求項7記載の弾性表面波デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26689496A JP3783299B2 (ja) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | 弾性表面波デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26689496A JP3783299B2 (ja) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | 弾性表面波デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10112624A JPH10112624A (ja) | 1998-04-28 |
JP3783299B2 true JP3783299B2 (ja) | 2006-06-07 |
Family
ID=17437140
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26689496A Expired - Fee Related JP3783299B2 (ja) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | 弾性表面波デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3783299B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4412286B2 (ja) | 2006-01-20 | 2010-02-10 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波素子の製造方法 |
JP5258566B2 (ja) * | 2006-08-07 | 2013-08-07 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波装置の製造方法 |
WO2008081935A1 (ja) | 2006-12-28 | 2008-07-10 | Kyocera Corporation | 弾性表面波装置およびその製造方法 |
JP2014192782A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Japan Radio Co Ltd | 封止部材、封止補助部材、封止方法および封止補助方法 |
CN117378041A (zh) * | 2021-06-29 | 2024-01-09 | 京瓷株式会社 | 布线基板集合体、盖体集合体、封装件组以及电子部件的制造方法 |
-
1996
- 1996-10-08 JP JP26689496A patent/JP3783299B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10112624A (ja) | 1998-04-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4381961A (en) | Printing cylinder with an outside covering and a method and apparatus for applying a covering on a cylinder surface | |
JP3783299B2 (ja) | 弾性表面波デバイスの製造方法 | |
CN1205660C (zh) | 电元件的封装和制造方法 | |
JP2003523082A5 (ja) | ||
JPH033201B2 (ja) | ||
JPH059793B2 (ja) | ||
RU2019107154A (ru) | Подложка с наноотпечатком | |
WO2017152509A1 (zh) | 边框区线路和视窗区线路的搭接工艺及触摸屏 | |
JPH1197971A (ja) | 弾性表面波素子 | |
JP3426518B2 (ja) | ダイシング方法 | |
JP3664572B2 (ja) | 接合方法 | |
JPH11223819A (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
JP2001126851A (ja) | 半導体ウエハーにおけるヒータ装置およびその製造方法 | |
JP5339625B2 (ja) | 中空パッケージの製造方法 | |
JP2988504B2 (ja) | 光硬化性樹脂の製版方法 | |
JPH09181342A (ja) | 太陽電池セルとカバーガラスの接着方法および接着装置 | |
JPH06333808A (ja) | 薄膜フィルム圧着装置及び圧着方法 | |
JPH09266429A (ja) | 弾性表面波デバイスの製造方法及び弾性表面波デバイス並びに情報機器 | |
JPH0519306B2 (ja) | ||
JPS62283581A (ja) | 接合装置 | |
US6462272B1 (en) | Planar resist structure, in particular an encapsulation for electronic component, and thermomechanical production process | |
JPS5917809B2 (ja) | 液晶表示パネルの製造方法 | |
JP4481048B2 (ja) | 感光性樹脂印刷原版の製造方法 | |
JPS59181330A (ja) | 露光処理方法 | |
JPS5844419A (ja) | 液晶表示装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050623 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050627 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050719 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051108 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060221 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060306 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100324 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110324 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110324 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120324 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130324 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130324 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140324 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |