JP5339625B2 - 中空パッケージの製造方法 - Google Patents
中空パッケージの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5339625B2 JP5339625B2 JP2009289309A JP2009289309A JP5339625B2 JP 5339625 B2 JP5339625 B2 JP 5339625B2 JP 2009289309 A JP2009289309 A JP 2009289309A JP 2009289309 A JP2009289309 A JP 2009289309A JP 5339625 B2 JP5339625 B2 JP 5339625B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding member
- photocurable resin
- terminal
- vibration element
- recess
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1064—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices
- H03H9/1092—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices the enclosure being defined by a cover cap mounted on an element forming part of the surface acoustic wave [SAW] device on the side of the IDT's
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
〔1.中空パッケージの構成〕
図1は、中空パッケージの斜視図である。図2は、図1におけるZ−Z部の断面図である。図1及び図2に示す中空パッケージは、本実施の形態にかかる製造方法で製造可能な中空パッケージの一例である。なお、本実施の形態にかかる中空パッケージは、弾性波素子を、中空構造を有するカバーで被覆する構成であるが、弾性波素子の構造を明瞭に図示するために図1においてカバーの描画は省略している。
〔2−1.製造方法の実施例1〕
図3A〜図3Gは、実施例1にかかる中空パッケージの製造工程を示す断面図である。
図6A〜図6Fは、実施例2にかかる中空パッケージの製造方法を示す断面図である。
本実施の形態にかかる中空パッケージの製造方法によれば、振動素子4を、凹部が形成されたカバー2で覆う方法であるため、製造過程において、振動素子4に物質が付着することがなく、振動素子4の特性を劣化させずに中空パッケージを製造することができる。
2、32 カバー
2a,32a 紫外線硬化樹脂
3 基板
4 振動素子
5、6 端子
8、38 空間
Claims (8)
- 振動素子と前記振動素子に電気的に接続されている端子とが備わるデバイスに対して、中空構造を有するようにパッケージングする中空パッケージの製造方法であって、
光硬化性樹脂を硬化させる光を透過可能であり、前記デバイスにおける前記端子に対応する位置に凸部を形成し、前記振動素子に対応する位置に凹部を形成した保持部材を用意する工程と、
前記保持部材に対して、前記振動素子の振動空間を確保できる程度の厚さに前記光硬化性樹脂を塗布する工程と、
前記振動素子が前記凹部内に位置する姿勢で、前記保持部材と前記デバイスとを接合する工程と、
前記光硬化性樹脂に光を照射して前記光硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記保持部材を前記光硬化性樹脂から剥離する工程と、
前記端子を露出させる工程とを含む、中空パッケージの製造方法。 - 前記塗布する工程で塗布する光硬化性樹脂の厚みは、前記接合する工程で接合された端子部分の光硬化性樹脂の厚みよりも厚く、
前記端子を露出させる工程は、
前記光硬化性樹脂を、前記端子部分の光硬化性樹脂の厚み以上エッチングして前記端子部を露出させる処理を含む、請求項1記載の中空パッケージの製造方法。 - 前記保持部材は、
少なくとも紫外線を透過する基板部材に、前記端子部に重なる位置に第1のマスク材料を塗布する工程と、
前記基板部材をエッチングし、前記凸部を形成する工程と、
前記第1のマスク材料を除去する工程と、
前記振動素子に重なる位置に第2のマスク材料を塗布する工程と、
前記基板部材をエッチングし、前記凹部を形成する工程と、
前記第2のマスク材料を除去する工程とを含んで用意される、請求項1記載の中空パッケージの製造方法。 - 前記保持部材は、
少なくとも紫外線を透過する基板部材において、前記端子部に重なる位置にマスク材料を塗布する工程と、
前記基板部材をエッチングし、前記凹部と前記凸部を形成する工程と、
前記マスク材料を除去する工程と、
前記凸部に遮光材料を塗布する工程とを含んで用意される、請求項1記載の中空パッケージの製造方法。 - 振動素子と前記振動素子に電気的に接続されている端子とが備わるデバイスに対して、中空構造を有するようにパッケージングする中空パッケージの製造方法であって、
光硬化性樹脂を硬化させる光を透過可能であり、前記振動素子に対応する位置に第1の凹部を形成し、前記デバイスにおける前記端子に対応する位置に第2の凹部を形成した保持部材を用意する工程と、
前記保持部材に対して、前記振動素子の振動空間を確保できる程度の厚さに前記光硬化性樹脂を塗布する工程と、
前記振動素子が前記第1の凹部内に位置しかつ前記端子と前記第2の凹部とが接する姿勢で、前記保持部材と前記デバイスとを接合する工程と、
前記光硬化性樹脂に光を照射して前記光硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記保持部材を前記光硬化性樹脂から剥離する工程とを含む、中空パッケージの製造方法。 - 前記第2の凹部の深さは、前記第1の凹部の深さよりも深い、請求項5記載の中空パッケージの製造方法。
- 前記第2の凹部の内面の粗度は、前記保持部材において前記紫外線硬化樹脂に接している部分における前記第2の凹部を除く部分の粗度よりも高い、請求項5または6記載の中空パッケージの製造方法。
- 前記光硬化性樹脂は紫外線硬化樹脂である、請求項1または5記載の中空パッケージの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009289309A JP5339625B2 (ja) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | 中空パッケージの製造方法 |
PCT/JP2010/070967 WO2011077891A1 (ja) | 2009-12-21 | 2010-11-25 | 中空パッケージの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009289309A JP5339625B2 (ja) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | 中空パッケージの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011130356A JP2011130356A (ja) | 2011-06-30 |
JP5339625B2 true JP5339625B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=44195430
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009289309A Expired - Fee Related JP5339625B2 (ja) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | 中空パッケージの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5339625B2 (ja) |
WO (1) | WO2011077891A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5259024B1 (ja) * | 2011-08-22 | 2013-08-07 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置および電子部品 |
JP6787797B2 (ja) * | 2017-01-19 | 2020-11-18 | 新日本無線株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002232108A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-16 | Tdk Corp | 電子部品保護用キャップおよびその製造方法ならびに電子装置およびその製造方法 |
JP2004253937A (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-09 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波フィルタとその製造方法 |
JP2005198085A (ja) * | 2004-01-08 | 2005-07-21 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 表面弾性波デバイスの製造方法及びその方法で製造された表面弾性波デバイス |
JP4893281B2 (ja) * | 2006-04-03 | 2012-03-07 | 株式会社デンソー | カバーキャップの取付構造 |
JP5013467B2 (ja) * | 2007-07-18 | 2012-08-29 | 株式会社デンソー | 半導体装置の製造方法 |
JP5090471B2 (ja) * | 2008-01-30 | 2012-12-05 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置 |
-
2009
- 2009-12-21 JP JP2009289309A patent/JP5339625B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-11-25 WO PCT/JP2010/070967 patent/WO2011077891A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011077891A1 (ja) | 2011-06-30 |
JP2011130356A (ja) | 2011-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5117083B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法 | |
JP5113394B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP4509038B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法 | |
JP4585419B2 (ja) | 弾性表面波デバイスおよびその製造方法 | |
US7602262B2 (en) | Elastic wave device and manufacturing method of the same | |
JP3675402B2 (ja) | 光デバイス及びその製造方法、光モジュール、回路基板並びに電子機器 | |
JPH10270975A (ja) | 電子部品とその製造方法 | |
JP4551461B2 (ja) | 半導体装置とこれを備えた通信機器及び電子機器 | |
KR20020073538A (ko) | 전기 부품용 봉입물 및 그의 제조 방법 | |
JP4886485B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法 | |
JP2008218744A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5339625B2 (ja) | 中空パッケージの製造方法 | |
KR20050031191A (ko) | Fbar 듀플렉서 소자 및 그 제조 방법 | |
JP2004147220A (ja) | Sawチップの構造、その製造方法、表面実装型sawデバイス、及びその製造方法 | |
JPH11307659A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP4407800B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2007104458A (ja) | 薄膜圧電共振子デバイスおよびその製造方法 | |
JP2004253937A (ja) | 弾性表面波フィルタとその製造方法 | |
JP2008016606A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
WO2020228152A1 (zh) | 空气隙型半导体器件封装结构及其制作方法 | |
WO2020129808A1 (ja) | 電子部品モジュールの製造方法及び電子部品モジュール | |
JPH09263082A (ja) | Icモジュールの製造方法、icカードの製造方法及びicモジュール | |
JP5521016B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2006142447A (ja) | 機能素子体及びその製造方法 | |
JP5340983B2 (ja) | 電子部品およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120912 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130611 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130712 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130801 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130805 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |