JP3777071B2 - 超音波検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属材料の非破壊検査に適用される超音波検査装置に係り、特に、被検体表層の健全性を評価するに好適な超音波検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、例えば特開平4−238265号公報等に記載されているように、超音波を用いて金属材料の表面に形成された溶射皮膜の密着性を非破壊で評価する技術が知られている。
【0003】
一般に、2つの材料の界面部の密着性を評価するについては、集束型の超音波プローブを被検体と対向に配置して、当該超音波プローブから送信される超音波の焦点を2つの材料の界面に合致し、界面からのエコー強度を検出するという方法がとられる。しかしながら、被検体が母材の表面に形成された溶射皮膜である場合には、溶射皮膜が0.1〜0.3mm程度の薄い膜であるため、溶射皮膜側から超音波を被検体に送信した場合、溶射皮膜の表面からのエコーと界面からのエコーとを分離することが事実上不可能であり、母材に対する溶射皮膜の密着性を評価することができない。例えば、母材の表面に形成された厚さ0.1mmのWC系溶射皮膜について考察すると、当該溶射皮膜は高周波減衰が大きく、かつ表面に数μm〜数十μm程度の凹凸があるために周波数が5〜20MHzの超音波(周期にして200〜50ns)しか検査に適用できないところ、当該溶射皮膜の縦波音速は約4200m/sであって、皮膜表面からのエコーと界面からのエコーの時間差は47.6nsに過ぎないので、両エコーを分離できないことがわかる。
【0004】
そこで、前記公知例に記載の溶射被膜評価方法においては、図14に示すように、母材101の表面に溶射被膜102が形成された被検体100と集束型の超音波プローブ200とを水中(図中の符号Wは、超音波媒質としての水を示す。)において対向に配置し、超音波プローブ200の焦点を母材101の底面に合致して溶射被膜102側から超音波201を被検体100に送信し、底面エコーの強度から母材101に対する溶射被膜102の密着度を判定する。この方法によると、界面部の密着性が悪い場合には界面部における超音波の反射量が多くなって母材底面からのエコーが低下し、界面部の密着性が良好である場合には母材101を通過する超音波が増加して母材底面からのエコーが増加するので、界面の密着性を判定することができる。また、超音波プローブ200を被検体100の表面に沿って二次元走査し、適当な走査ピッチで底面エコーレベルを取り込み、Cスコープ画像化することにより、溶射被膜102の密着性分布を得ることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、前記公知例に記載の溶射被膜評価方法は、溶射被膜102側から超音波201を被検体100に送信して、母材101の底面エコーレベルを検出するので、図15(a)に示すように、母材101の厚みhが大きくなるほど溶射被膜102の表面における超音波ビームの照射径dが大きくなって、欠陥の検出能が低下する。
【0006】
また、前記公知例に記載の溶射被膜評価方法は、上記と同様の理由から、超音波プローブ200を被検体100の表面に沿って二次元操作した場合に、図15(b)に示すように、超音波ビームの照射範囲が被検体100の端部eから外れる比較的大きな領域について欠陥検査不能領域を生じる。被検体100の端部eは、溶射被膜102の欠陥が生じやすい箇所であり、検査箇所として特に重要であるので、このような大きな欠陥検査不能領域を有することは、欠陥検査の信頼性を高める上で特に問題である。
【0007】
さらに、前記公知例に記載の溶射皮膜評価方法は、母材101の底面エコーレベルから母材101と溶射皮膜102との密着性を間接的に評価する方法であるところ、母材101の底面エコーには、溶射皮膜102の密着性を表す情報のほかに、母材101の内部や底面の状態を示す各種の情報、例えば底面の凹凸や底面に付着した錆等の情報それに母材内部の欠陥情報等が含まれているので、それらの情報と溶射皮膜102の密着性に関する情報とを分離することができず、溶射皮膜の評価を正確に行うことができないという問題もある。
【0008】
加えて、前記公知例に記載の溶射皮膜評価方法は、上記と同様の理由から、母材101がニッケル基の超合金のように超音波の減衰が大きな材料からなる場合には、十分な、又は完全な底面エコーが得られず、実用上十分な溶射皮膜の欠陥検査を行うことができない。
【0009】
なお、前記においては、溶射皮膜の欠陥検査を例にとって説明したが、被検体の表層におけるクラックの有無や、被検体表層の応力分布、破壊靭性値、熱脆化又は粒界腐蝕の検出といった、被検体表層に関する他の健全性を評価する場合にも、同様の不都合がある。
【0010】
本発明は、かかる従来技術の不備を解消するためになされたものであって、その目的は、母材の厚みや底面状態さらには素材の種類等によらず、しかも被検体の端部まで高い精度で被検体表層の健全性を評価可能な超音波検査装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記の課題を達成するため、水などの超音波媒体を介して被検体の表面に超音波を走査する超音波走査部と、当該超音波走査部の駆動部と、当該駆動部を介して前記超音波走査部を制御し、被検体表層の欠陥検査を実行する演算処理部とを備えた超音波検査装置であって、前記超音波走査部に前記被検体への漏洩弾性表面波を励起させる斜角入射波の送信と前記被検体からの漏洩波の受信とを行う超音波プローブを備え、当該超音波プローブによる前記漏洩波の受信レベルから前記被検体表層の健全性を前記演算処理部にて評価するものにおいて、前記超音波プローブとして、振動子と、前記被検体への垂直入射波及び斜角入射波の伝搬経路並びに前記被検体からの垂直反射波及び漏洩波の伝搬経路を有し、前記垂直入射波及び垂直反射波の伝搬経路における超音波の伝搬速度と前記斜角入射波及び漏洩波の伝搬経路における超音波の伝搬速度とが異なる音響レンズとを備えたものを用いるという構成にした。
【0012】
図6に示すように、超音波プローブ1から送信された超音波のうち、斜角経路A→B→Cを通って溶射皮膜S2 の表面にレーリー臨界角θL で入射した斜角入射波は、漏洩弾性表面波に変換され、溶射皮膜S2 の表面に沿って進行する。この漏洩弾性表面波は、入射点Cから溶射皮膜S2 の表面を伝搬する間にレーリー臨界角θL で漏洩し、被検体表面のD点で漏洩した漏洩波は、経路D→E→Fを通って振動子2に受信される。なお、漏洩弾性表面波は、被検体Sの表面(本例の場合には、溶射皮膜S2 の表面)から1波長程度、被検体Sの内部に浸透するとされている。
【0013】
母材S1 に対する溶射皮膜S2 の密着性が良好である場合には、被検体Sの内部に浸透した漏洩弾性表面波の母材S1 への浸透量が大きくなるため、振動子2にて受信される漏洩波のレベルが低くなる。これに対して、母材S1 に対する溶射皮膜S2 の密着性が悪い場合には、母材S1 と溶射皮膜S2 との間に剥離により空気層が生じ、当該空気層と溶射皮膜S2 との界面で漏洩弾性表面波が反射されるために漏洩弾性表面波の母材S1 への浸透量が小さくなり、相対的に振動子2にて受信される漏洩波のレベルが大きくなる。したがって、超音波プローブ1における漏洩波の受信レベルより演算処理部にて母材S1 に対する溶射皮膜S2 の密着性の良否を判定することができる。
【0014】
一方、溶射皮膜等の被膜を有しない被検体において、被検体Sの表層にクラック等の欠陥が存在する場合には、被検体Sの表層における漏洩弾性表面波の伝搬がクラック等によって妨げられるために、振動子2にて受信される漏洩波のレベルが低くなる。これに対して、被検体Sの表層にクラック等の欠陥が存在しない場合には、被検体Sの表層における漏洩弾性表面波の伝搬がクラック等によって妨げられないため、振動子2にて受信される漏洩波のレベルが高くなる。したがって、この場合にも、超音波プローブ1における漏洩波の受信レベルより演算処理部にて被検体Sの健全性を判定することができる。
【0015】
前記超音波プローブとしては、被検体への漏洩弾性表面波を励起させる斜角入射波の送信と、被検体からの漏洩波の受信とを行えるものであれば良く、図6、図9、図10、図12、図13に示す如きものが考えられる。
【0016】
【発明の実施の形態】
まず、本発明に係る超音波検査装置の全体構成を、図1及び図2に基づいて説明する。図1は超音波検査装置のブロック図、図2は超音波検査装置における超音波走査部の一部断面した斜視図である。
【0017】
これらの図に示すように、本例の超音波検査装置は、被検体Sの表面に沿って超音波を二次元走査する超音波走査部10と、当該超音波走査部10の駆動部20と、当該駆動部20を介して前記超音波走査部10を制御し、適当な走査ピッチで取り込まれた漏洩波の受信レベルをCスコープ画像化して溶射皮膜S2 の密着性分布やクラックの有無といった被検体表層の健全性を求める演算処理部30と、超音波検査結果であるCスコープ画像を表示する表示部40とから主に構成されている。
【0018】
超音波走査部10は、図2に示すように、超音波プローブ1と、当該超音波プローブ1及び被検体Sを収納する水Wが貯えられた水槽11と、超音波プローブ1を三次元方向に駆動する機械式スキャナ12とからなる。機械式スキャナ12は、水槽11の相平行な2辺に沿ってY−Y方向に配置された一対のY軸ガイド13と、当該Y軸ガイド13によってY−Y方向に案内されるY軸スライダ14と、当該Y軸スライダ14に両端が固定され、X−X方向に配置されたX軸ガイド15と、当該X軸ガイド15によってX−X方向に案内されるX軸スライダ16と、当該X軸スライダ16に垂直に固定されたZ軸ガイド17と、前記超音波プローブ1を保持し、前記Z軸ガイド17によってZ−Z方向に案内されるZ軸スライダ18を有しており、前記各スライダ14,16,18は、3つのモータM1〜M3によって駆動される。これらの各モータには、ロータリーエンコーダ等の位置信号出力装置が備えられており、各スライダ14,16,18の座標信号を演算処理部30にて検出できるようになっている。
【0019】
超音波プローブ1としては、被検体Sへの漏洩弾性表面波を励起させる斜角入射波の送信と被検体Sからの漏洩波の受信とが可能で、振動子にて漏洩波のエコー波形のみが可能なものか、振動子にて検出される漏洩波のエコー波形と垂直反射波のエコー波形が時間軸上で分離できる構成のものが用いられる。超音波プローブ1の具体的な構成については、後に詳細に説明する。
【0020】
駆動部20には、超音波プローブ1からの超音波の発信と超音波プローブ1による超音波の受信とを行うパルサー/レシーバー21と、当該パルサー/レシーバー21の受信信号をデジタル変換するA/D変換器22と、前記機械式スキャナ12に備えられた3つのモータM1〜M3を駆動するモータドライバ23とが備えられている。
【0021】
また、演算処理部30には、CPU31と、キーボードやマウス等の入力手段32と、当該入力手段32からの指令によって駆動するトリガー33及びモータコントローラ34と、A/D変換された受信信号をモータドライバ23及びモータコントローラ34を介してモータM1〜M3から取り込まれた座標信号と共に蓄積する第1のメモリ35と、トリガー33からの信号によって起動されCPU31による信号処理のゲートを設定するタイマー36と、CPU31による信号処理の手順を記憶した第2のメモリ37とが備えられている。
【0022】
以下、前記のように構成された超音波検査装置を用いた超音波検査方法の一例を、図1乃至図4を参照して説明する。ここに、図3は超音波プローブ1のZ方向への位置決め方法を示す説明図であり、図4は超音波検査方法の手順を示すフローチャートである。
【0023】
まず、図4の手順S1において、入力手段32を操作し、機械式スキャナ12に備えられたモータM1,M2を駆動して、水槽11内に設定された被検体Sに対する超音波プローブ1のX−Y方向の位置決めを行う。このときの超音波プローブ1のX−Y座標は、モータドライバ23及びモータコントローラ34を介して第1のメモリ35に取り込まれ、超音波プローブ1の現在位置が特定される。
【0024】
次いで、図4の手順S2に移行し、入力手段32を操作して機械式スキャナ12に備えられたモータM3を駆動し、機械式スキャナ12のZ軸スライダ18に取り付けられた超音波プローブ1をZ方向に移動することにより、図3に1点鎖線で示すように、音響レンズ3の焦点を被検体Sの表面より所要のデフォーカス量ΔZだけ下方に合致させる。即ち、図3に実線で示すように、音響レンズ3の焦点が被検体Sの表面に合致すると漏洩波のエコーレベルが最大になるので、超音波プローブ1をZ方向に移動しつつ、漏洩波のエコーレベルを連続的に検知することによって、音響レンズ3の焦点を被検体Sの表面に合致させることができ、その位置から所要のデフォーカス量ΔZだけ超音波プローブ1を下降することによって、音響レンズ3の焦点を所定の位置に合致させることができる。この操作は、演算処理部30に備えられた第2のメモリ37に記憶されたプログラムに基づいて自動的に行わせることができる。
【0025】
なお、デフォーカス量ΔZが大きいほど垂直反射波の検出タイミングと漏洩波の検出タイミングとがずれて漏洩波レベルの検出が容易になるが、その反面溶射皮膜S2 による漏洩弾性表面波の減衰が大きくなって漏洩波レベルが低下するため、両者を勘案して、膜厚が0.1mmの溶射皮膜の場合、デフォーカス量ΔZを0.2mm程度とすることが好ましい。
【0026】
次いで、図4の手順S3に移行し、入力手段32を操作して所要の範囲で超音波プローブ1をX−Y方向に二次元走査しつつ、所要の走査ピッチで漏洩波のエコー像を超音波プローブ1の座標信号と共に演算処理部30に備えられた第1のメモリ35に取り込む。この操作も、演算処理部30に備えられた第2のメモリ37に記憶されたプログラムに基づいて自動的に行わせることができる。
【0027】
最後に、図4の手順S4に移行し、第1のメモリ35に蓄積されたデータを順次CPU31に取り込んでCスコープ画像化し、その結果を表示部40に表示する。この操作も、演算処理部30に備えられた第2のメモリ37に記憶されたプログラムに基づいて自動的に行わせることができる。
【0028】
図5に、前記実施形態例に係る装置にて得られた漏洩波のCスコープ画像を示す。図5(a)は、溶射皮膜S2 の形成前に母材S1 に当然施されるべき前処理としてのブラスト処理を中央部にのみ施さないで溶射皮膜S2 が形成された被検体より得られた漏洩波のCスコープ画像であり、図5(b)は、母材S1 の表面に正常に溶射皮膜S2 が形成され、溶射皮膜S2 の形成後に曲げ応力が負荷された被検体より得られた漏洩波のCスコープ画像である。
【0029】
図5(a)の例では、ブラスト処理が施されなかった母材S1 の中央部における漏洩波のエコーレベルが周囲の正常部分に比べて明らかに高くなっており、前記実施形態例に係る装置にて溶射皮膜S2 の剥離若しくは密着不足を鮮明に映像化できることが判る。また、図5(b)の例では、母材S1 の中央部に漏洩波のエコーレベルが周囲の正常部分に比べて明らかに低い縞状のエコー像が現れており、肉眼では観察できない微小(幅2〜5μm)なクラックも鮮明に映像化できることが判る。また、いずれの場合にも、被検体Sの端部e(図3参照)まで欠陥検査を実行することができた。
【0030】
なお、超音波プローブ1として、被検体Sへの漏洩弾性表面波を励起させる斜角入射波の送信と被検体Sからの漏洩波の受信とが可能ではあるが、振動子にて検出される漏洩波のエコー波形と垂直反射波のエコー波形が時間軸上で分離できないものを用いて同様の検査を行った場合には、正常部分と欠陥部のエコーレベルのレベル差が小さく、欠陥を検出することが困難であった。
【0031】
以下、本発明の超音波検査装置に備えられる超音波プローブの実施形態例を、図6乃至図16に基づいて説明する。
【0032】
〈超音波プローブの第1例〉
本発明の超音波検査装置に備えられる超音波プローブの第1例を、図6及び図7に基づいて説明する。図6は本例に係る超音波プローブの要部断面図及び平面図であり、図7は振動子によって受信される漏洩波及び垂直反射波のエコー波形である。
【0033】
図6(a),(b)から明らかなように、本例の超音波プローブ1Aは、平面形状が円形に形成された単一型の振動子2と、当該振動子2から送信された超音波を収束して被検体Sに入射する凹レンズ型の音響レンズ3とを備えた構成になっており、音響レンズ3の中央部には、振動子2が設定される平面部3aからレンズ曲率面3bまで貫通する透孔4が開設されている。振動子2は、上下面にそれぞれ上部電極2Uと下部電極2Lが設けられた圧電薄膜をもって構成される。一方、音響レンズ3は、アルミニウム等の超音波伝搬速度が大きな物質をもって構成され、振動子対向面が平面状に、レンズ曲率面が球面状に形成されている。
【0034】
なお、前記超音波プローブ1Aの上部電極2U側には、必要以上の振動の発生を抑制するためのダンパ材が取り付けられることがあり、また下部電極2L側には、振動子2の保護板が取り付けられることもある。
【0035】
また、透孔4の直径は、経路G→H→Iで示される垂直入射波、及び経路I→H→Gで示される垂直反射波の伝搬範囲以上に設定すれば足りるが、雑音の受信を極力抑制するため、経路A→B→Cで示される斜角入射波及び経路D→E→Fで示される漏洩波の伝搬を阻害しない範囲内で可能な限り大きくする方が好ましい。
【0036】
前記したように、超音波プローブは、被検体Sの評価に際して、被検体Sと共に水中に配置される。したがって、音響レンズ3の中央部に透孔4が開設された本実施形態例の超音波プローブ1Aを用いると、図6(a)に示すように、振動子2の斜角経路A→B→C及びD→E→Fと被検体Sとの間には、超音波の伝搬速度が高いアルミニウム製の音響レンズ3(音速=約6400m/s)と超音波の伝搬速度が低い水(19℃で約1480m/s、26℃で約1500m/s)とが介在するのに対して、振動子2の垂直経路G→(H)→I及びI→(H)→Gと被検体Sとの間には、超音波の伝搬速度が低い水のみが介在することになるので、経路A→B→C→D→E→Fを通る斜角入射波、漏洩弾性表面波及び漏洩波の伝搬時間よりも経路G→(H)→I→(H)→Gを通る垂直入射波及び垂直反射波の伝搬時間の方が長くなり、図7に示すように、垂直反射波のエコー波形Vと漏洩波のエコー波形Lとが分離し、かつ漏洩波のエコー波形Lの方が表面反射波のエコー波形Vよりも先行した受信信号が得られる。したがって、漏洩波のエコー波形Lからそのレベル(振幅)を求めることができ、この値から母材S1 に対する溶射皮膜S2 の密着性の良否やクラックの有無等を判定することができる。
【0037】
一例として、母材の表面に厚さ0.1mmのWC系溶射皮膜が施された被検体とレンズのど厚(図6(a)のGH間)が5mmのアルミニウム製(音速=6400m/s)の音響レンズとを用い、デフォーカス量ΔZを0.2mm、使用周波数を10MHz、WC系溶射皮膜を伝搬する漏洩弾性表面波の音速を2300m/s(表面を研磨した同種の溶射皮膜を用いて予め計測した値)、レーリー臨界角を41度として垂直反射波のエコー波形Vと漏洩波のエコー波形Lの時間差を求めると、経路A→B→C→D→E→Fを伝搬する超音波の伝搬時間が約10μsであるのに対して、経路G→(H)→I→(H)→Gを伝搬する超音波の伝搬時間は約15μsであり、その差が5μs(使用周波数の周期の50倍)となって、両エコー波形を時間軸上で明確に分離できることが判る。なお、前例においては、使用周波数を10MHzとしたが、5〜20MHzの範囲で変更した場合にも同様の結果が得られた。
【0038】
これに対して、図8に示すように、透孔4を有しない音響レンズ103を備えた超音波プローブ101を用いた場合には、振動子2の斜角経路A→B→C及びD→E→Fと被検体Sとの間にも、また振動子102の垂直経路G→(H)→I及びI→(H)→Gと被検体Sとの間にも超音波の伝搬速度が高いアルミニウム製の音響レンズ3と超音波の伝搬速度が低い水とが介在するので、経路A→B→C→D→E→Fを通る斜角入射波、漏洩弾性表面波及び漏洩波の伝搬時間と経路G→(H)→I→(H)→Gを通る垂直入射波及び垂直反射波の伝搬時間とがほぼ同じになって、垂直反射波のエコー波形Vに漏洩波のエコー波形Lが埋没して両エコー波形を分離できず、漏洩波のエコーレベルを求めることができない。なお、図8において、符号103aは音響レンズ103の振動子対向面、符号103bは音響レンズ103のレンズ曲率面を示している。
【0039】
即ち、実施形態品と同一の条件下で、両エコー波形の伝搬時間の差を求めると、図8(a)に示した経路G→H→I→H→Gを伝搬する垂直入射波及び垂直反射波の伝搬時間が10.05μSであるのに対して、図8(a)に示した経路A→B→C→D→E→F経路を伝搬する斜角入射波、漏洩弾性表面波及び漏洩波の伝搬時間は10.1μSであり、その差が50nsとなって使用周波数の周期(100ns)の半分しかないので、仮に微弱な漏洩波が受信されていても、垂直反射波のエコー波形Vに漏洩波のエコー波形Lが埋没してしまい、漏洩波のエコーレベルを求めることができない。
【0040】
〈超音波プローブの第2例〉
次に、本発明の超音波検査装置に備えられる超音波プローブの第2例を、図9に基づいて説明する。
【0041】
第2例の超音波プローブ1Bは、図9に示すように、音響レンズ3の中央部((垂直入射波及び垂直反射波の伝搬経路)に透孔4を開設する構成に代えて、音響レンズ3のレンズ曲率面3bの中央部にくぼみ5を形成したことを特徴とする。
【0042】
この超音波プローブ1を用いた場合にも、第1例に係る超音波プローブと同様に、経路A→B→C→D→E→Fを通る超音波の伝搬時間よりも経路G→I→Gを伝搬する超音波の伝搬時間を相対的に遅らせることができるので、垂直反射波のエコー波形Vと漏洩波のエコー波形Lの分離が可能になる。その他、図9の音響レンズ3は、振動子設定面3aが閉じているので、振動子2の設定を容易かつ確実に行うことができるという効果もある。
【0043】
〈超音波プローブの第3例〉
次に、本発明の超音波検査装置に備えられる超音波プローブの第3例を、図10に基づいて説明する。
【0044】
第3例の超音波プローブ1は、音響レンズ3の中央部に単に透孔4を開設するかくぼみ5を形成する構成に代えて、開設された透孔4内又は形成されたくぼみ5内に音響レンズ3を構成する素材とは超音波の伝搬速度が異なる素材からなる充填物6を充填したことを特徴とする。図10(a)は音響レンズ3の中央部に開設された透孔4内に充填物6を充填した場合、図10(b)は音響レンズ3の平面部(振動子設定面)3aに形成されたくぼみ5内に充填物6を充填した場合、図10(c)は音響レンズ3のレンズ曲率面3bに形成されたくぼみ5内に充填物6を充填した場合を示している。
【0045】
音響レンズ3を構成する素材と充填物6とは、超音波の伝搬速度の差が大きいほど好ましく、音響レンズ3がアルミニウム(音速=6400m/s)をもって構成される場合には、充填物6としてはアクリル樹脂等の樹脂材料(音速=2000〜2500m/s)が好適に用いられ、反対に音響レンズ3が樹脂材料をもって構成される場合には、充填物6としてはアルミニウムが好適に用いられる。充填部6として樹脂を用いる場合には、開設された透孔4又は形成されたくぼみ5内に充填物である樹脂をポッティングすることによって音響レンズ3を製造することができる。また、充填部6として固体を用いる場合には、開設された透孔4又は形成されたくぼみ5内に充填物である固体を圧入することによっても音響レンズ3を製造することができる。さらに、音響レンズ3が樹脂材料から構成される場合には、アルミニウム等の充填物6の周囲に樹脂をアウトサート成形することによっても所望の音響レンズ3を製造することができる。
【0046】
勿論、音響レンズ3を構成する素材よりも超音波の伝搬速度が低い充填物6を充填した場合には、経路A→B→C→D→E→Fを通る超音波の伝搬時間よりも経路G→I→Gを伝搬する超音波の伝搬時間が相対的に遅くなって、前出の図7に示すように漏洩波のエコー波形Lの方が垂直反射波のエコー波形Vより先行した形になり、逆に、音響レンズ3を構成する素材よりも超音波の伝搬速度が高い充填物6を充填した場合には、経路A→B→C→D→E→Fを通る超音波の伝搬時間よりも経路G→I→Gを伝搬する超音波の伝搬時間が相対的に速くなって、図11に示すように垂直反射波のエコー波形Vの方が漏洩波のエコー波形Lより先行した形になる。
【0047】
本例の超音波プローブは、音響レンズ3における垂直入射波及び垂直反射波の伝搬経路G→I及びI→Gと斜角入射波及び漏洩波の伝搬経路A→B→C及びD→E→Fとを音速が異なる素材で構成したので、各経路を通る超音波の伝搬時間の差が大きくなって、垂直反射波のエコー波形Vと漏洩波のエコー波形Lの分離が可能になると共に、音響レンズ3の振動子設定面が閉じた形になるので、振動子2の設定を容易かつ確実に行うことができる。
【0048】
〈超音波プローブの第4例〉
次に、本発明の超音波検査装置に備えられる超音波プローブの第4例を、図12(a),(b)に基づいて説明する。図12(a),(b)は第4例に係る超音波プローブの平面方向から見た要部斜視図及び底面方向から見た要部斜視図である。
【0049】
第4例の超音波プローブ1Dは、図12(a)に示すように、音響レンズ3としてシリンドリカルレンズを用いると共に、振動子2として複数個の振動子2a〜2nが隣接して一方向に配列されたアレイ型の振動子を備えたことを特徴とする。このシリンドリカルレンズの底面の垂直入射波及び垂直反射波の伝搬経路には、図12(b)に示すように、透孔4が開設されている。なお、シリンドリカルレンズの底面に透孔4を開設する構成に代えてくぼみを形成することも可能であり、さらには、開設された透孔又は形成されたくぼみ内に、斜角入射波及び漏洩波の伝搬経路とは超音波の伝搬速度が異なる充填物を充填することも勿論可能である。
【0050】
本例の超音波プローブ1Dは、音響レンズ3としてシリンドリカルレンズを用いると共に、振動子2としてアレイ型の振動子を備えたので、被検体Sの表面を面状にトレースすることができ、円筒形の音響レンズに単一型の振動子を備えた場合に比べて、被検体Sの検査効率を高めることができる。
【0051】
〈超音波プローブの第5例〉
次に、本発明の超音波検査装置に備えられる超音波プローブの第5例を、図13に基づいて説明する。図13は第5例に係る超音波プローブの平面方向から見た要部斜視図である。
【0052】
第5例の超音波プローブ1Eは、図13に示すように、音響レンズ3としてシリンドリカルレンズを用いると共に、振動子2として単一型の振動子を備えたことを特徴とする。このシリンドリカルレンズの底面の垂直入射波及び垂直反射波の伝搬経路には、図12(b)に示したと同様に、透孔4が開設される。勿論、シリンドリカルレンズの底面に透孔4を開設する構成に代えてくぼみを形成することも、開設された透孔又は形成されたくぼみ内に、斜角入射波及び漏洩波の伝搬経路とは超音波の伝搬速度が異なる充填物を充填することも可能である。
【0053】
本例の超音波プローブ1Eは、音響レンズ3としてシリンドリカルレンズを用いると共に、振動子2として単一型の振動子を備えたので、被検体Sの表面に超音波ビームを線状に照射することができるので、円筒形の音響レンズに単一型の振動子を備えた場合に比べて、被検体Sの検査効率を高めることができる。
【0066】
なお、前記実施形態例においては、溶射皮膜の超音波検査を例にとって説明したが、その他、被検体の表層におけるクラックの有無や、被検体表層の応力分布、破壊靭性値、熱脆化又は粒界腐蝕の検出といった他の被検体表層の健全性評価についても同様の方法で実行することができる。
【0067】
【発明の効果】
本発明の超音波検査装置は、超音波走査部に被検体への漏洩弾性表面波を励起させる斜角入射波の送信と被検体からの漏洩波の受信とを行う超音波プローブを備え、当該超音波プローブによる漏洩波の受信レベルから被検体表層の健全性を評価するので、被検体の厚みや被検体の底面状態それに被検体の内部状態等によらず、しかも被検体の端部まで、高い精度で被検体表層の健全性を評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る超音波検査装置のブロック図である。
【図2】 超音波検査装置における超音波走査部の構成図である。
【図3】 超音波プローブ1のZ方向への位置決め方法を示す説明図である。
【図4】 本発明に係る超音波検査方法の手順を示すフローチャートである。
【図5】 本発明に係る超音波検査装置で得られる漏洩波のC画像データである。
【図6】 第1実施形態例に係る超音波プローブの要部断面図及び平面図である。
【図7】 第1実施形態例に係る超音波プローブにて受信される漏洩波及び垂直反射波のエコー波形図である。
【図8】 比較例に係る超音波プローブの要部断面図及び平面図である。
【図9】 第2実施形態例に係る超音波プローブの要部断面図である。
【図10】 第3実施形態例に係る超音波プローブの要部断面図である。
【図11】 第3実施形態例に係る超音波プローブにて受信される漏洩波及び垂直反射波のエコー波形図である。
【図12】 第4実施形態例に係る超音波プローブの平面方向から見た要部斜視図及び底面方向から見た要部斜視図である。
【図13】 第5実施形態例に係る超音波プローブの平面方向から見た要部斜視図である。
【図14】 従来より知られている溶射被膜の超音波検査方法を示す説明図である。
【図15】 従来技術の不備を示す説明図である。
【符号の説明】
1 超音波プローブ
1A 第1実施形態例に係る超音波プローブ
1B 第2実施形態例に係る超音波プローブ
1C 第3実施形態例に係る超音波プローブ
1D 第4実施形態例に係る超音波プローブ
1E 第5実施形態例に係る超音波プローブ
2 振動子
3 音響レンズ
3a 平面部(振動子設定面)
3b レンズ曲率面
4 透孔
5 くぼみ
6 充填剤
10 超音波走査部
11 水槽
12 機械式スキャナ
13 Y軸ガイド
14 Y軸スライダ
15 X軸ガイド
16 X軸スライダ
17 Z軸ガイド
18 Z軸スライダ
20 駆動部
21 パルサー/レシーバー
22 A/D変換器
23 モータドライバ
30 演算処理部
31 CPU
32 入力手段
33 トリガー
34 モータコントローラ
35 第1のメモリ
36 タイマー
37 第2のメモリ
40 表示部
S 被検体
S1 母材
S2 溶射被膜
Claims (5)
- 水などの超音波媒体を介して被検体の表面に超音波を走査する超音波走査部と、当該超音波走査部の駆動部と、当該駆動部を介して前記超音波走査部を制御し、被検体表層の欠陥検査を実行する演算処理部とを備えた超音波検査装置であって、前記超音波走査部に前記被検体への漏洩弾性表面波を励起させる斜角入射波の送信と前記被検体からの漏洩波の受信とを行う超音波プローブを備え、当該超音波プローブによる前記漏洩波の受信レベルから前記被検体表層の健全性を前記演算処理部にて評価するものにおいて、前記超音波プローブとして、振動子と、前記被検体への垂直入射波及び斜角入射波の伝搬経路並びに前記被検体からの垂直反射波及び漏洩波の伝搬経路を有し、前記垂直入射波及び垂直反射波の伝搬経路における超音波の伝搬速度と前記斜角入射波及び漏洩波の伝搬経路における超音波の伝搬速度とが異なる音響レンズとを備えたものを用いたことを特徴とする超音波検査装置。
- 請求項1に記載の超音波検査装置において、前記音響レンズとして、前記垂直入射波及び垂直反射波の伝搬経路に前記振動子の設定面からこれと対向するレンズ曲率面まで貫通する透孔を開設するか、前記レンズ曲率面の前記垂直入射波及び垂直反射波の伝搬経路にくぼみを形成したものを用いたことを特徴とする超音波検査装置。
- 請求項1に記載の超音波プローブにおいて、前記音響レンズとして、前記垂直入射波及び垂直反射波の伝搬経路に前記振動子の設定面からこれと対向するレンズ曲率面まで貫通する透孔を開設するか、前記振動子の設定面又はレンズ曲率面の前記垂直入射波及び垂直反射波の伝搬経路にくぼみを形成し、これら透孔内又はくぼみ内に前記斜角入射波及び漏洩波の伝搬経路を構成する素材とは超音波の伝搬速度が異なる素材からなる充填物を充填したことを特徴とする超音波プローブ。
- 請求項1に記載の超音波プローブにおいて、前記音響レンズとして、前記振動子の設定面が平面状に形成されかつレンズ曲率面が球面状に形成された凹レンズを用いたことを特徴とする超音波プローブ。
- 請求項1に記載の超音波プローブにおいて、前記音響レンズとして、前記振動子の設定面が平面状に形成されかつレンズ曲率面が弧面状に形成されたシリンドリカルレンズを用いたことを特徴とする超音波プローブ。
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