JP3774801B2 - 放射光、X線反射用SiCミラーとその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高エネルギーのシンクロトロン放射光やX線等の照射光を反射する反射鏡に用いられるSiCミラーとその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体の集積度の高度化に伴ってマイクロリソグラフィによる露光装置の光源に紫外線より波長の短いシンクロトロン放射光やX線を利用することが提案されている。特にシンクロトロン放射光の照射エネルギーは強力であり、反射ミラーに用いられる材質にも優れた性能が要求されている。一般的に、反射ミラーの性能として、▲1▼照射エネルギーの吸収反応性が少なく損傷し難いこと、▲2▼熱的安定性が高く照射エネルギーによる形状変化や変質が小さいこと、▲3▼部分欠陥がなく均質性が高いこと、等の材質特性が必要とされている。従来から、この反射ミラーの材質には石英ガラスが用いられていたが、光源が高エネルギー化して、例えば2GeV 、70W/cm2 程度の高エネルギーを用いた場合には反射ミラーの表面溶融や破断が発生する難点がある。
【0003】
そこで、SiC焼結体や炭素材を基材として、その表面にCVD法(化学的気相蒸着法)によりSiC膜を被覆して、その表面を鏡面研磨したSiCミラーが開発されている。CVD法により形成されたSiC膜は緻密、高純度であり、耐熱性、熱伝導性、強度特性も高く、更に短波長域の反射率が高いのでX線反射用のミラーとして好適である。
【0004】
例えば、特開平6−281795号公報には純度が99%以上、粒径が0.01〜0.2μm 、表面積が30m2/g以上のSiC超微粉末を焼結助剤を添加せずに成形型に入れ、その超微粉末に50Kg/cm2以上の圧力を加えながら1900〜2200℃の温度で不活性雰囲気中で焼成して焼結SiC基材を形成する工程と、前記焼結SiC基材の表面に化学蒸着法によりSiC膜を形成する工程と、前記SiC膜をミラー研磨する工程とを具備することを特徴とする放射光・X線反射用SiCミラーの製造方法が提案されている。
【0005】
この製造方法で製造されるSiCミラーはSiC基材が焼結体であって焼結助剤を用いていないので、高純度の基材を得ることができる。しかしながら、原料SiCに超微粉末を使用しても焼結体は緻密性に欠け、存在する気孔を低位に保持することができない。したがって、焼結SiC基材とSiC膜との密着性が劣り剥離し易い難点がある。更に、気孔中に吸着したガスの放出による不純物汚染の問題もある。
【0006】
また、特開平9−80202号公報には炭化珪素又はカーボンで構成される基体の表面に炭化珪素膜を化学蒸着により被覆形成してなる複合材であって、基体が93%以上の高密度体であり、炭化珪素膜がスペクトル吸収端550nm以下のものであることを特徴とする光学要素構成材が開示されている。
【0007】
この光学要素構成材においても、炭化珪素基体には気孔が存在するために前記した特開平6−281795号公報の発明と同様の問題点がある。更に、基体がカーボンの場合には被覆形成した炭化珪素膜との熱膨張係数の違いにより、使用時に炭化珪素膜の剥離や変形が生じ易く、またカーボン基体の露出による汚染の問題もある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らは、上記の問題点を解消するために放射光、X線反射用のSiCミラーとして好適な材質性状について研究を進めた結果、CVD法により作製したSiC成形体(CVD−SiC成形体)の表面を鏡面研磨したものがSiCミラーとして優れた性能を発揮すること、また、このCVD−SiC成形体の表面にCVD法によりSiC被膜を形成被着して鏡面研磨すると更に好ましい性能が得られることを見出した。
【0009】
本発明は上記の知見に基づいて完成したもので、その目的は高エネルギーの放射光やX線が照射されても、熱的、強度的に安定で損傷し難く、反射率の優れたSiCミラーの製造方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
また、本発明による放射光、X線反射用SiCミラーの製造方法は、黒鉛材を基体とし、その表面にCVD法によりSiCを気相析出させて被着したのち基体を除去し、得られたCVD−SiC成形体の表面を鏡面研磨することを構成上の特徴とする。
【0013】
更に、上記の方法で得られたCVD−SiC成形体の表面を研磨した後CVD法により粒子径5μm 以下のSiC被膜を形成被着し、次いでSiC被膜を表面粗さRaが0.3nm以下に鏡面研磨することが好ましく、SiC被膜は30μm 以下の膜厚に形成被着することが望ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明の放射光、X線反射用SiCミラーは、CVD−SiC成形体から構成される。CVD法によるSiC成形体は、原料ガスを気相反応させて基体面上にSiCを析出させたのち基体を除去して得られるもので、材質的に緻密、高純度で組織の均質性が高いという特徴がある。更に、耐熱性、熱伝導性、強度特性にも優れており、本発明のSiCミラーは、このCVD−SiC成形体の表面が鏡面研磨されて、表面を極めて平滑な面としたものである。
【0015】
本発明の放射光、X線反射用SiCミラーはCVD−SiC成形体の特性を、密度が3.19 g/cm3以上、熱伝導率が220W/mK以上、熱膨張係数が3.5〜4.2×10-6/K(室温〜1000℃)の範囲に設定する。すなわち、組織性状が緻密かつ均質で密度が3.19 g/cm3以上、熱伝導率が220W/mK以上、熱膨張係数が3.5〜4.2×10-6/K(室温〜1000℃)という特性範囲に設定することにより、高エネルギーの放射光やX線が照射されても、照射エネルギーによる損傷が少なく、熱的安定性が高く、更に組織が均一で部分欠陥がないので反射率が安定し、SiCミラーとして優れた性能を発揮することができる。
【0016】
また、このCVD−SiC成形体の表面に更にCVD法による粒子径5μm 以下のSiC被膜を形成被着し、鏡面研磨したSiCミラーでは、SiC被膜を構成するSiC粒子の粒子径が小さいので研磨加工時に歪みや表面欠陥の発生が抑制され、鏡面研磨時におけるSiCの材質欠陥の発生を防止することができる。また、SiC被膜を構成するSiC粒子の粒子径はより平滑性の優れた鏡面性状を得るために1〜5μm が好ましい。SiC被膜を構成するSiC粒子の粒子径が5μm を超える場合には結晶欠陥や研磨後に粒界でチッピングが多くなる。
【0017】
本発明の放射光、X線反射用SiCミラーの製造方法は、黒鉛基体面にCVD法により原料ガスを気相反応させてSiCを析出させて被着した後、黒鉛基体を除去することによりCVD−SiC成形体を得て、次いでその表面を鏡面研磨するものである。基体となる黒鉛材は可及的に不純物の少ない高純度黒鉛材を用いることが好ましく、黒鉛基体をCVD反応装置にセットして、系内の空気を脱気したのち水素ガスを送入して水素ガス雰囲気に置換し、所定の温度に加熱したのち、水素ガスをキャリアガスとし、トリクロロメチルシラン、トリクロロフェニルシラン、ジクロロメチルシラン、ジクロロジメチルシラン、クロロトリメチルシラン等の有機珪素化合物を原料ガスとして送入し、気相反応によりSiCを析出させて黒鉛基体上に被着させる。この場合、析出するSiCの性状は水素ガスと原料ガスの割合、反応温度及び反応時間等を適宜設定することにより、密度、熱伝導率、熱膨張係数等を所定の特性範囲に制御する。
【0018】
次いで、黒鉛基体を除去することによりCVD−SiC成形体が得られる。黒鉛基体の除去は空気中で熱処理して黒鉛基体を燃焼除去するか、あるいは黒鉛基体を切削除去する等、適宜な手段が採られる。このようにして得られたCVD−SiC成形体は、その表面をダイヤモンド砥粒等の硬質微細な砥粒によって鏡面研磨することにより放射光、X線反射用SiCミラーが製造される。なお、このCVD−SiC成形体は、機械的強度および耐熱衝撃性の関係から厚さは3〜60mmとすることが好ましい。
【0019】
CVD−SiC成形体が、その表面にCVD法による粒子径5μm 以下のSiC被膜が形成被着されたものである場合には、CVD−SiC成形体を鏡面研磨する前に適宜な表面粗さに研磨してから、CVD法による粒子径5μm 以下のSiC被膜を形成被着すると、熱衝撃などによる剥離を防ぐことができる上に鏡面研磨時に生じる組織の歪みや表面欠陥が抑制できるので極めて精度の高い鏡面が得られるので好ましい。CVD−SiC成形体を鏡面研磨する前に施す研磨の表面粗さは、表面粗さRaで0.5〜1.5μm に研磨することが好ましい。
【0020】
また、CVD−SiC成形体を全く平面研磨しないで、その表面にCVD法による粒子径5μm 以下のSiC被膜が形成被着されたものである場合には、結晶の成長や異方性が顕著となるため平滑な表面性状を得ることが困難であり、その上CVD−SiC成形体を表面粗さRaで0.5μm 未満に平面研磨した後、その表面にCVD法による粒子径5μm 以下のSiC被膜が形成被着されたものである場合には、CVD膜とCVD−SiC成形体の密着性に劣るという問題がある。更に、平面研磨したCVD−SiC成形体はフッ酸、硝酸、塩酸等により酸洗浄を施したのち、その表面にCVD法による粒子径5μm 以下のSiC被膜を形成被着することが好ましい。
【0021】
例えば、CVD−SiC成形体の表面を、表面粗さRaが1μm 程度に研磨したのち、CVD法により粒子径が1μm 以下のSiC被膜を形成被着し、次いでSiC被膜を表面粗さRaが0.3nm以下に鏡面研磨することによりSiCミラーが製造される。このように粒子径の小さなSiC被膜を被覆すると、目的の粗さに研磨することが容易となり、研磨加工による組織の歪みや表面欠陥の発生が抑制される。なお、被着するSiC被膜の膜厚は30μm 以下で充分であり、好ましくは10〜20μm である。
【0022】
更に、本発明のCVD−SiC成形体からなるミラーは、K、Ca、Ti、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Znなどの各種金属元素をはじめとする不純物含有量が極めて少なく、全反射蛍光X線による分析値で1×1010atom/cm2 以下であり、またGD−MSによる分析値で全不純物含有量が1ppm 以下という高度の非汚染性を呈する。
【0023】
このように本発明の放射光、X線反射用SiCミラーによれば、緻密、高純度で、均質組織のCVD−SiC成形体を鏡面研磨したものであるから、気孔や組織欠陥が少なく、また高熱伝導率や低熱膨張係数などのSiCミラーとして好ましい性能が付与され、温度の不均一性による変形も抑制することが可能となる。また、CVD−SiC成形体の表面にCVD法によるSiC被膜を形成被着して鏡面研磨したSiCミラーでは、熱膨張係数が同等なのでSiC被膜の剥離や変形を生じることなく鏡面研磨が容易であり、更に研磨時の研磨代が少なく、かつ研磨欠陥の発生を防止することができる。そして、本発明の製造方法によれば、上記の優れた性能を有する放射光、X線反射用SiCミラーを容易に製造することが可能となる。
【0024】
【実施例】
以下、本発明の実施例を比較例と対比して具体的に説明する。
【0025】
実施例1
不純物含有量が20ppm 以下の高純度黒鉛材の基体をCVD装置の石英反応管内にセットし、大気圧下に反応温度1400℃で、トリクロロメチルシランと水素との混合ガス(トリクロロメチルシランの濃度7.5 vol%)を190l/min の流量で送入し、CVD反応を行って黒鉛基体上にSiCを析出被着させた。次いで、空気中で700℃の温度に加熱して黒鉛基体を燃焼除去し、切削加工して長さ100mm、巾30mm、厚さ4mmのCVD−SiC成形体を作製した。このCVD−SiC成形体をダイヤモンド砥粒により表面粗さRaが0.3nmに鏡面研磨して、SiCミラーを製造した。
【0026】
実施例2〜4
実施例1と同一の方法で作製したCVD−SiC成形体をダイヤモンド砥粒により表面粗さRaを1μm に研磨した後、表面をフッ酸洗浄した。次いで、CVD装置の石英反応管内にセットし、大気圧下に反応温度をそれぞれ1100℃、1300℃、1400℃に設定して、トリクロロメチルシランと水素との混合ガス(トリクロロメチルシランの濃度7.5 vol%)を送入し、CVD反応を行って研磨面に粒子径の異なるSiC被膜を30μm の膜厚で形成被着した。このSiC被膜をダイヤモンド砥粒により表面粗さRaが0.1nmになるまで鏡面研磨してSiCミラーを製造した。
【0027】
実施例5
CVD反応の温度を1380℃とした他は、全て実施例1と同一の方法および条件でCVD−SiC成形体を作製し、ダイヤモンド砥粒により表面粗さRaを0.3nmに鏡面研磨してSiCミラーを製造した。
【0028】
比較例1〜2
CVD反応の温度を1350℃および1250℃とした他は全て実施例1と同一の方法により作製したCVD−SiC成形体に、1100℃の反応温度で実施例2と同一の方法によりSiC被膜を形成被着し、鏡面研磨してSiCミラーを製造した。
【0029】
比較例3
純度99.8%、平均粒径0.05μm のSiC微粉末を成形型に入れて、アルゴンガス雰囲気中で圧力300Kg/cm2、温度2200℃の熱圧条件下に2時間ホットプレス焼結して、100×30×4mmのSiC焼結体を作製した。このSiC焼結体を実施例2と同一の方法によりCVD反応を行って粒子径1μm 、膜厚100μm のSiC被膜を形成被着した。次いで、ダイヤモンド砥粒により表面粗さRaが0.1nmになるまで鏡面研磨してSiCミラーを製造した。
【0030】
このようにして製造した放射光、X線反射用SiCミラーについて、CVD−SiC成形体の材質特性、およびその表面に形成被着したSiC被膜の粒子径を下記の方法により測定し、また、共振器内強度が2MWであり、かつ1パルスが5nSであるアルゴンエキシマレーザー光を照射して、X線の反射率の測定および照射後のSiCミラーの表面状況を観察した。このようにして得られた結果をまとめて表1に示した。
密度 ;寸法・重量法による。
熱伝導率 ;レーザーフラッシュ法による(JIS R1611)。
熱膨張係数;差動トランス法による。
粒子径 ;倍率3000のSEMにより観察を行い、累積面積率50%を粒子径とした。
【0031】
【表1】
【0032】
表1の結果から、密度、熱伝導率および熱膨張係数が本発明で特定した材質特性を有するCVD−SiC成形体、あるいは該CVD−SiC成形体の表面にCVD法によりSiC被膜を形成被着し、鏡面研磨した実施例のSiCミラーは、材質特性が本発明で特定した範囲を外れる比較例1〜2のSiCミラーやSiC焼結体にCVD法によりSiC被膜を被着して鏡面研磨した比較例3のSiCミラーに比べて、ミラーの変形度合いを示す熱伝導率κと線膨張係数αの比(κ/α)の値が大きく、優れた性能を有していることが判る。またレーザ光を照射後の実施例のミラー表面には外観上何の変化も認められなかったが、比較例ではミラー表面に歪みが発生したり白濁点が数カ所発生しており、レーザ光照射によりミラー表面の一部が損傷したことが観察された。
【0033】
【発明の効果】
以上のとおり、本発明の放射光、X線反射用SiCミラーによれば、高純度でほぼ理論密度に近い高密度のCVD−SiC成形体、あるいは該CVD−SiC成形体にCVD法によりSiC被膜を形成被着し、鏡面研磨したものであるから気孔が殆ど存在せず、また熱伝導率κと線膨張係数αの比(κ/α)ならびに熱伝導率κの値とも大きく、高エネルギーの放射光やX線を照射しても安定で、形状変化やミラー面の損傷を発生することがない。更に、SiC被膜の剥離も生ぜず、長期に亘って安定に使用することが可能である。また、本発明の製造方法によれば、かかる高性能の放射光、X線反射用SiCミラーを得ることが可能となる。
Claims (3)
- 黒鉛材を基体とし、その表面にCVD法によるSiCを気相析出させて被着したのち基体を除去し、得られたCVD−SiC成形体の表面を鏡面研磨することを特徴とする放射光、X線反射用SiCミラーの製造方法。
- CVD−SiC成形体の表面を研磨したのちCVD法により粒子径5μm以下のSiC被膜を形成被着し、次いでSiC被膜を表面粗さRaが0.3nm以下に鏡面研磨する請求項1記載の放射光、X線反射用SiCミラーの製造方法。
- SiC被膜の膜厚が30μm以下である請求項2記載の放射光、X線反射用SiCミラーの製造方法。
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